JPH05224046A - Optical circuit device - Google Patents

Optical circuit device

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Publication number
JPH05224046A
JPH05224046A JP2550492A JP2550492A JPH05224046A JP H05224046 A JPH05224046 A JP H05224046A JP 2550492 A JP2550492 A JP 2550492A JP 2550492 A JP2550492 A JP 2550492A JP H05224046 A JPH05224046 A JP H05224046A
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JP
Japan
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optical
substrate
switch
light
waveguide
Prior art date
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Pending
Application number
JP2550492A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toshio Suzuki
木 俊 雄 鈴
Masahiro Ikeda
田 正 宏 池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Publication date
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Publication of JPH05224046A publication Critical patent/JPH05224046A/en
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Abstract

PURPOSE:To easily connect a single-mode fiber and an optical element such as an LD switch to each other and to manufacture a large-scale matrix switch. CONSTITUTION:The optical circuit device consists of a substrate 1 and the LD switch 2, and an optical input/output waveguide 3 which communicates with the single-mode fiber and a mirror 6 which changes the direction of light to the side of the switch 2 are formed on the substrate 1. The LD switch 2 consists of a lens 7 which converges light from the mirror 6 and a mirror 8 which changes the direction of the light from the lens 7 to the inside of the LD switch 2. Plural LD switches 2 are mounted on the substrate 1 and connected by an optical link waveguide 4. Even when a large-diameter light beam spot is supplied to the optical input/output waveguide 3, a specific small-diameter light beam spot can be guided in the LD switches 2, so the single-mode fiber can easily be connected and the large-scale optical matrix switch can be manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、光交換方式や光情報
処理方式における光伝送路に接続される光回路デバイス
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical circuit device connected to an optical transmission line in an optical switching system or an optical information processing system.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種の光伝送路には、多モードファイ
バのようなモード拡散が全くなく、伝送帯域を極めて広
くとることができ、長距離伝送の可能な単一モードファ
イバが多く使用されているが、単一モードファイバはそ
のコア径が極めて小さいため、光源、光アイソレータ、
合波器、光スイッチ、分波器、光検出器など光回路網を
構成する光回路デバイスとの接続に、極めて高度の工作
を必要とする。光ファイバ同士の接続には、永久的なス
プライシング(スリーブ法・V溝法・融着法など)ある
いは着脱自在のコネクタによるものがあるが、光ファイ
バと光回路デバイスとの接続には、ビームを集束して内
部に導入する必要があるため、光ファイバの接続端部に
所定のテーパ角で先細りのテーパカップラを形成し、こ
のテーパ先端に半球状のレンズを付けるなどし、光回路
デバイスの開口内に挿入して固定している。
2. Description of the Related Art In this type of optical transmission line, a single mode fiber that does not have mode diffusion like a multimode fiber and has a very wide transmission band and is capable of long-distance transmission is often used. However, since the core diameter of a single mode fiber is extremely small, a light source, an optical isolator,
An extremely high level of work is required for connection with optical circuit devices that compose the optical circuit network, such as multiplexers, optical switches, demultiplexers, and photodetectors. There are permanent splicing (sleeve method, V-groove method, fusion method, etc.) or a detachable connector for connecting the optical fibers, but a beam is used for connecting the optical fiber and the optical circuit device. Since it needs to be focused and introduced into the inside, a tapered coupler with a predetermined taper angle is formed at the connecting end of the optical fiber, and a hemispherical lens is attached to the tapered tip to open the optical circuit device. It is inserted and fixed inside.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、例えば
レーザダイオード・光マトリクススイッチのような半導
体光素子におけるビームスポットサイズは、1μm以下
であり、単一モードファイバのコア径(一般に10μ
m)と比較して、ビームスポットサイズが非常に小さい
ため、モジュール化時にはテーパカップラ先端の球レン
ズとの光結合時の位置ずれ許容値が小さく(トレランス
が厳しい)、モジュール化が困難であった。さらに、光
ファイバの結合の困難さなどから、前述のような光素子
を基板上にコンパクトに実装することができない問題が
あった。
However, the beam spot size in a semiconductor optical device such as a laser diode / optical matrix switch is 1 μm or less, and the core diameter of a single mode fiber (generally 10 μm).
Compared to m), the beam spot size is very small, so that the tolerance of positional deviation during optical coupling with the spherical lens at the tip of the taper coupler is small (modular tolerance) when modularized, making modularization difficult. .. Further, there is a problem that the above-mentioned optical element cannot be compactly mounted on the substrate due to difficulty in coupling the optical fibers.

【0004】この発明は、前述のような問題点を解消す
べくなされたもので、その目的は、光素子の光入出力部
のビームスポットサイズの拡大化により、単一モードフ
ァイバや光導波路との結合が容易となり、さらに大規模
な光マトリクススイッチを製造することのできる光回路
デバイスを提供することにある。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to increase the beam spot size of the optical input / output portion of an optical element so that a single mode fiber or an optical waveguide can be formed. It is an object of the present invention to provide an optical circuit device that can be easily coupled to each other and can manufacture a large-scale optical matrix switch.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明は前記目的を達
成するために、次のような構成とした。すなわち、光伝
送路に接続される光回路デバイスを、光素子と、この光
素子が装着される基板から構成し、前記基板には、光伝
送路に連通する導波路と、この導波路の光を光素子側へ
方向転換し得る全反射面を設け、前記光素子には、前記
基板の全反射面からの光を集束し得るレンズ面と、この
レンズ面からの光を光素子内へ方向転換する全反射面を
設ける。光素子はレーザダイオード・光マトリクススイ
ッチ等の半導体光スイッチとし、この半導体光スイッチ
を基板上に複数装着し、基板に、光伝送路に連通する光
入出力導波路と、半導体光スイッチ同士を連結する光リ
ンク導波路を形成し、光マトリクススイッチを構成す
る。また、光素子の上には、光素子に制御信号を供給す
るフィルムキャリヤを装着する。
In order to achieve the above object, the present invention has the following constitution. That is, an optical circuit device connected to an optical transmission line is composed of an optical element and a substrate on which the optical element is mounted, and the substrate has a waveguide communicating with the optical transmission line and an optical path of the optical waveguide. Is provided with a total reflection surface capable of redirecting light to the optical element side, and the optical element has a lens surface capable of focusing light from the total reflection surface of the substrate, and the light from this lens surface is directed into the optical element. Provide a total reflection surface for conversion. The optical element is a semiconductor optical switch such as a laser diode or an optical matrix switch. Plural semiconductor optical switches are mounted on the substrate, and the optical input / output waveguides communicating with the optical transmission line and the semiconductor optical switches are connected to the substrate. An optical link waveguide is formed to configure an optical matrix switch. A film carrier that supplies a control signal to the optical element is mounted on the optical element.

【0006】[0006]

【作用】上記のような方法によっているので、単一モー
ドファイバの接続端部を従来のようなテーパに加工する
ことなく、基板の導波路にコネクタを介して接続するこ
とができ、またこの基板の導波路の光は基板の全反射
面、光素子のレンズ面・全反射面により、光素子に必要
なビーム径に集束されて光素子内に導入され、光素子の
入出力部におけるビームスポットサイズを10μm程度
に大きくできるとともに、光素子には所定の小径のビー
ムスポットを導入でき、単一モードファイバとの結合が
容易となり、また位置ずれ許容値の緩和によりモジュー
ル化が容易となる。また、基板にビームスポットサイズ
の大きい光入出力導波路・光リンク導波路を形成できる
ため、光素子と光導波路系との結合が容易となり、半導
体光スイッチを基板上に高密度に実装することができ、
さらにフィルムキャリヤにより高密度配線ができるた
め、大規模光マトリクススイッチの制作が可能となる。
Since the method described above is used, the single-mode fiber can be connected to the waveguide of the substrate through the connector without processing the connecting end portion into a taper as in the conventional case. The light in the waveguide is focused by the total reflection surface of the substrate, the lens surface and the total reflection surface of the optical element into the beam diameter required for the optical element, and is introduced into the optical element. The size can be increased to about 10 μm, a beam spot with a predetermined small diameter can be introduced into the optical element, coupling with a single mode fiber is facilitated, and modularization is facilitated by relaxing the positional deviation tolerance. In addition, since it is possible to form an optical input / output waveguide / optical link waveguide with a large beam spot size on the substrate, it is easy to connect the optical element and the optical waveguide system, and it is possible to mount the semiconductor optical switch on the substrate in high density. Can
Furthermore, since the film carrier enables high-density wiring, large-scale optical matrix switches can be manufactured.

【0007】[0007]

【実施例】以下、この発明を図示する一実施例に基づい
て説明する。これは、本発明を光マトリクススイッチに
適用して大規模光マトリクススイッチを構成した例であ
り、図1に断面図、図2に分解斜視図を示す。この光マ
トリクススイッチは、図1、図2に示すように、双方向
の通信が可能な伝送路途中に配設される装置であり、石
英ガラスからなる基板1上に光素子としてのレーザダイ
オード・光マトリクススイッチ(以下、LDスイッチと
いう)2を複数個実装して構成し、基板1の伝送方向両
端部に多数の単一モードファイバFを光コネクタ5を介
して接続する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to an illustrated embodiment. This is an example in which the present invention is applied to an optical matrix switch to configure a large-scale optical matrix switch, and FIG. 1 is a sectional view and FIG. 2 is an exploded perspective view. As shown in FIGS. 1 and 2, this optical matrix switch is a device disposed in the middle of a transmission path capable of bidirectional communication, and includes a laser diode as an optical element on a substrate 1 made of quartz glass. A plurality of optical matrix switches (hereinafter referred to as LD switches) 2 are mounted and configured, and a large number of single mode fibers F are connected to both ends of the substrate 1 in the transmission direction via optical connectors 5.

【0008】基板1の伝送方向両端部には、端面からL
Dスイッチ2の手前まで延在する光入出力導波路3を形
成する。この光入出力導波路3は、ファイバFのコア・
クラッドと同様に、基板本体より屈折率のわずかに大き
い石英ガラスから構成し、多数のファイバFのそれぞれ
に連通可能に配置する。そして、この光入出力導波路3
のLDスイッチ側端部に45°で傾斜する溝9を形成
し、この溝9の端面を45°ミラーとする。このミラー
6は、光入出力導波路3の傾斜面であり、レンズ7への
面には反射防止膜6aを施し、光入出力導波路3あるい
はLDスイッチ2からの光を全反射し、直角に方向転換
できるようにする。
At both ends of the substrate 1 in the transmission direction, L
An optical input / output waveguide 3 extending to the front of the D switch 2 is formed. The optical input / output waveguide 3 is a core of the fiber F.
Similar to the clad, it is made of quartz glass having a refractive index slightly higher than that of the substrate body, and is arranged so as to be able to communicate with each of the plurality of fibers F. Then, this optical input / output waveguide 3
A groove 9 that is inclined at 45 ° is formed at the end of the LD switch on the side, and the end surface of this groove 9 is used as a 45 ° mirror. The mirror 6 is an inclined surface of the light input / output waveguide 3, and the surface toward the lens 7 is provided with an antireflection film 6a to totally reflect the light from the light input / output waveguide 3 or the LD switch 2 and form a right angle. Be able to turn to.

【0009】LDスイッチ2は、半導体基板上に単体の
LD光スイッチ素子をマトリクス状に配列して構成され
たもので、入射する光を増幅し、あるいは直進・停止・
進路変更させて光の進路を選択することができる半導体
であり、基板1上の所定箇所に接着剤で固定する。この
LDスイッチ2の伝送方向端部における突出部2Aに、
レンズ7とミラー8を前記ミラー6からの光に対向する
位置に設ける。レンズ7は、突出部2Aにおける光素子
の基板の裏面に、ミラー8の光に対向するように凸に形
成し、また、ミラー6からの光に対しても集光して所定
の径のビームが形成されるように配置する。ミラー8は
レンズ7を通った光を直角に方向転換してLDスイッチ
2の光入出力部に結合できるようにする。また、このレ
ンズ7にも、反射防止膜7aを施しておく。
The LD switch 2 is formed by arranging a single LD optical switch element on a semiconductor substrate in a matrix, and amplifies the incident light, or goes straight / stops / stops.
It is a semiconductor whose light path can be selected by changing its path, and is fixed to a predetermined position on the substrate 1 with an adhesive. In the protrusion 2A at the end of the LD switch 2 in the transmission direction,
The lens 7 and the mirror 8 are provided at positions facing the light from the mirror 6. The lens 7 is formed on the back surface of the substrate of the optical element in the projecting portion 2A so as to be convex so as to face the light of the mirror 8, and also collects the light from the mirror 6 to form a beam having a predetermined diameter. To be formed. The mirror 8 redirects the light passing through the lens 7 at a right angle so that the light can be coupled to the light input / output unit of the LD switch 2. The lens 7 is also provided with an antireflection film 7a.

【0010】さらに、基板1の中央部には、複数のLD
スイッチ2をそれぞれ連結する光リンク導波路4を設け
る。このリンク導波路4は、光入出力導波路3と同様に
基板1よりも屈折率の大きい石英ガラスから構成し、そ
の両端部に光入出力導波路3と同様のミラー6を設け
る。
Further, a plurality of LDs are provided at the center of the substrate 1.
An optical link waveguide 4 for connecting the switches 2 is provided. The link waveguide 4 is made of quartz glass having a refractive index larger than that of the substrate 1 like the optical input / output waveguide 3, and mirrors 6 similar to the optical input / output waveguide 3 are provided at both ends thereof.

【0011】LDスイッチ2への制御信号の給電は、L
Dスイッチ2上に装着されるフィルムキャリヤ10によ
り行う。フィルムキャリヤ10には、各LDスイッチ2
へ高速スイッチ用の電気制御信号を供給する配線11が
設けられている。また、フィルムキャリヤ10の接点と
LDスイッチ2の電極とはハンダバンプ(突起)12で
電気的に接合する。
The power supply of the control signal to the LD switch 2 is L
This is performed by the film carrier 10 mounted on the D switch 2. Each LD switch 2 is attached to the film carrier 10.
A wiring 11 for supplying an electric control signal for the high speed switch is provided. Further, the contacts of the film carrier 10 and the electrodes of the LD switch 2 are electrically joined by solder bumps (protrusions) 12.

【0012】以上のような構成において、単一モードフ
ァイバFからの光は光入出力導波路3内を通ってミラー
6により方向転換し、レンズ7により集束されてLDス
イッチ2の突出部2A内に導入される。LDスイッチ2
内では、ミラー8で方向転換された光入力信号が、フィ
ルムキャリヤ10からの制御信号により光素子のマトリ
クス内をスイッチ制御され、増幅、停止、進路変更され
て導かれた光は、ミラー8で方向転換し、さらにレンズ
7とミラー6により光リンク導波路4と結合するととも
に、さらに他のLDスイッチ2に入り、前述と同様の動
作を経て所定の光ファイバFへ送出される。
In the above-mentioned structure, the light from the single mode fiber F passes through the inside of the optical input / output waveguide 3, is redirected by the mirror 6, is focused by the lens 7, and is inside the protrusion 2A of the LD switch 2. Will be introduced to. LD switch 2
In the inside, the light input signal, which is redirected by the mirror 8, is switch-controlled in the matrix of the optical elements by the control signal from the film carrier 10, and the light guided by being amplified, stopped, and diverted is guided by the mirror 8. The light is changed in direction, coupled with the optical link waveguide 4 by the lens 7 and the mirror 6, and further enters another LD switch 2, and is sent to a predetermined optical fiber F through the same operation as described above.

【0013】LDスイッチ2内に導入される光ビームス
ポットサイズを、レンズ7とミラー8により1μm程度
に集束でき、また出力される光ビームスポットサイズは
〜10μmに拡げることができる。したがって、単一モ
ードファイバFの接続端部を従来のようなテーパに加工
することなく、基板1の光入出力導波路3に光コネクタ
5を介して接続することができ、単一モードファイバと
の結合、モジュール化を容易とすることができる。ま
た、基板1にビームスポットサイズの大きい光入出力導
波路3・光リンク導波路4を形成できるため、光素子と
光導波路系との結合が容易になることから、LDスイッ
チ2を基板1上に高密度に実装することができ、さらに
フィルムキャリヤ10により高密度配線ができるため、
高性能の大規模光マトリクススイッチを再現性・歩留り
良く容易に制作できる。
The light beam spot size introduced into the LD switch 2 can be focused to about 1 μm by the lens 7 and the mirror 8, and the output light beam spot size can be expanded to about 10 μm. Therefore, the single-mode fiber F can be connected to the optical input / output waveguide 3 of the substrate 1 via the optical connector 5 without processing the connecting end portion into a taper as in the conventional case, and the single-mode fiber F Can be easily combined and modularized. Further, since the optical input / output waveguide 3 and the optical link waveguide 4 having a large beam spot size can be formed on the substrate 1, coupling between the optical element and the optical waveguide system is facilitated. Since it can be mounted at a high density in, and the film carrier 10 enables high-density wiring,
High-performance large-scale optical matrix switches can be easily produced with good reproducibility and yield.

【0014】なお、以上はLDスイッチを用いた大規模
光マトリクススイッチについて説明したが、本発明は光
アイソレータ、合波器、分波器、光検出器など光回路網
を構成するその他の光回路デバイスにも適用できる。
Although the large-scale optical matrix switch using the LD switch has been described above, the present invention is applicable to other optical circuits constituting an optical network such as an optical isolator, a multiplexer, a demultiplexer, and a photodetector. It can also be applied to devices.

【0015】[0015]

【発明の効果】前述の通り、この発明は、光回路デバイ
スを光素子と、この光素子が装着される基板から構成
し、基板には、光伝送路に連通する導波路と、光を光素
子側へ方向転換し得る全反射面を設け、前記光素子に
は、基板の全反射面からの光を集束し得るレンズ面と、
このレンズ面からの光を光素子内に方向転換し得る全反
射面を設けるように構成したため、単一モードファイバ
の接続端部を従来のようなテーパに加工することなく、
基板の導波路にコネクタを介して接続することができ、
またこの基板の導波路の光は基板の全反射面、光素子の
レンズ面・全反射面により、光素子に必要なビーム径に
集束して導入でき、光回路デバイスの入出力部における
ビームスポットサイズを大きくできるとともに、光素子
にはこれより小径のビームスポットを導入でき、単一モ
ードファイバとの結合が容易となり、また位置ずれ許容
値の緩和によりモジュール化が容易となる。また、基板
にビームスポットサイズの大きい光入出力導波路・光リ
ンク導波路を形成できるため、LDスイッチを基板上に
高密度に実装することができ、さらにフィルムキャリヤ
により高密度配線ができるため、高性能の大規模光マト
リクススイッチを再現性・歩留り良く容易に制作するこ
とができる。
As described above, according to the present invention, the optical circuit device is composed of the optical element and the substrate on which the optical element is mounted. The substrate is provided with the waveguide communicating with the optical transmission line and the optical fiber. Provided with a total reflection surface that can be turned to the element side, the optical element, a lens surface that can focus the light from the total reflection surface of the substrate,
Since it is configured to provide a total reflection surface that can redirect the light from this lens surface into the optical element, without processing the connecting end portion of the single mode fiber into a taper like the conventional one,
Can be connected to the waveguide of the board via a connector,
In addition, the light of the waveguide of this substrate can be focused and introduced into the beam diameter required for the optical element by the total reflection surface of the substrate, the lens surface of the optical element, and the total reflection surface. The size can be increased, a beam spot with a smaller diameter can be introduced into the optical element, coupling with a single-mode fiber is facilitated, and modularization is facilitated by relaxing the positional deviation tolerance. Further, since the optical input / output waveguide / optical link waveguide having a large beam spot size can be formed on the substrate, the LD switches can be mounted on the substrate at a high density, and the film carrier enables high-density wiring. High-performance large-scale optical matrix switches can be easily manufactured with good reproducibility and yield.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明を大規模光マトリクススイッチに適用
した実施例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment in which the present invention is applied to a large-scale optical matrix switch.

【図2】図1の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 9 溝 2 LDスイッチ 10 フィル
ムキャリヤ 3 光入出力導波路 4 光リンク導波路 5 光コネクタ 6,8 ミラー 7 レンズ
1 substrate 9 groove 2 LD switch 10 film carrier 3 optical input / output waveguide 4 optical link waveguide 5 optical connector 6,8 mirror 7 lens

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光伝送路に接続される光回路デバイスで
あって、 光素子と、この光素子が装着される基板から構成し、 前記基板には、光伝送路に連通する導波路と、この導波
路の光を光素子側へ方向転換し得る全反射面を設け、 前記光素子には、前記基板の全反射面からの光を集束し
得るレンズ面と、このレンズ面からの光を光素子内へ方
向転換する全反射面を設けたことを特徴とする光回路デ
バイス。
1. An optical circuit device connected to an optical transmission line, comprising an optical element and a substrate on which the optical element is mounted, wherein the substrate has a waveguide communicating with the optical transmission line. A total reflection surface capable of redirecting the light of the waveguide to the optical element side is provided, and the optical element is provided with a lens surface capable of converging light from the total reflection surface of the substrate, and light from this lens surface. An optical circuit device comprising a total reflection surface that redirects into an optical element.
【請求項2】 光素子を半導体光スイッチとし、この半
導体光スイッチを基板上に複数装着し、基板に、光伝送
路に連通する光入出力導波路と、半導体光スイッチ同士
を連結する光リンク導波路を形成したことを特徴とする
請求項1記載の光回路デバイス。
2. A semiconductor optical switch as an optical element, a plurality of the semiconductor optical switches are mounted on a substrate, and an optical input / output waveguide communicating with an optical transmission line and an optical link connecting the semiconductor optical switches are mounted on the substrate. The optical circuit device according to claim 1, wherein a waveguide is formed.
【請求項3】 光素子の上に、光素子へ制御信号を供給
するフィルムキャリヤを装着したことを特徴とする請求
項1または2記載の光回路デバイス。
3. An optical circuit device according to claim 1, wherein a film carrier for supplying a control signal to the optical element is mounted on the optical element.
JP2550492A 1992-02-12 1992-02-12 Optical circuit device Pending JPH05224046A (en)

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JP (1) JPH05224046A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6898343B2 (en) 2001-08-17 2005-05-24 Fujitsu Limited Optical switching apparatus and method for fabricating

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