JPH0520356U - Multilayer piezoelectric - Google Patents

Multilayer piezoelectric

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JPH0520356U
JPH0520356U JP7335791U JP7335791U JPH0520356U JP H0520356 U JPH0520356 U JP H0520356U JP 7335791 U JP7335791 U JP 7335791U JP 7335791 U JP7335791 U JP 7335791U JP H0520356 U JPH0520356 U JP H0520356U
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JP
Japan
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electrode
laminated
piezoelectric
piezoelectric body
cooling medium
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JP7335791U
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Japanese (ja)
Inventor
仁 小沢
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Toyota Motor Corp
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Toyota Motor Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 積層型圧電体1の電圧−変位特性が熱で変化
するのを防止する。 【構成】 圧電板2と電極板3とを交互に複数枚積層
し、その積層体の外周側面に突出する各電極板3の耳部
31に接続する外部電極4を設けてなる積層型圧電体1に
おいて、外部電極4を中空状とし外部電極4内に冷却媒
体5を循環させる構造。圧電板2に接触している電極板
3から吸熱するので冷却効率が良い。
(57) [Summary] [Purpose] To prevent the voltage-displacement characteristics of the laminated piezoelectric material 1 from being changed by heat. [Structure] A plurality of piezoelectric plates 2 and electrode plates 3 are alternately laminated, and an ear portion of each electrode plate 3 protruding to the outer peripheral side surface of the laminated body.
In the multilayer piezoelectric body 1 provided with the external electrode 4 connected to 31, the external electrode 4 is hollow and the cooling medium 5 is circulated in the external electrode 4. Since the electrode plate 3 in contact with the piezoelectric plate 2 absorbs heat, cooling efficiency is good.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、各種のセンサ、アクチュエータ等に使用される積層型圧電体に関す る。 The present invention relates to a laminated piezoelectric material used for various sensors and actuators.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior Art]

外力を加えて変形させると誘電分極(電圧)を発生し、逆に電圧を加えると変 位(歪み)を起こす材料でできた圧電体は、スピーカ、マイクロホン、機械式フ ィルタ等に多く利用されているが、近年、自動車にも使用されるようになってき ている。例えば、ノッキングセンサ、燃料噴射制御装置のアクチュエータ等であ る。汎用されている圧電材料は、高い圧電性を示すセラミックスのチタン酸ジル コン酸鉛(PZT)、チタン酸バリウム等である。 Piezoelectric materials made of materials that generate dielectric polarization (voltage) when they are deformed by applying an external force and that distort (distort) when voltage is applied to them are often used in speakers, microphones, mechanical filters, etc. However, in recent years, it has also come to be used in automobiles. For example, it may be a knocking sensor, an actuator of a fuel injection control device, or the like. Commonly used piezoelectric materials are lead zirconate titanate (PZT), barium titanate, and the like, which are ceramics showing high piezoelectricity.

【0003】 圧電体の最小構成単位は、圧電板(板状の圧電材料;ペレットともいう)の両 面に電極を設けたものである。圧電体をアクチュエータとして利用する場合、そ の機能を充分に発揮させるためには、圧電体を多数積層してその全体の変位量を 大きくすればよい。その考えで作られたのが、いわゆる積層型圧電体である。図 4に示すように積層型圧電体1は、一般的に多数の圧電板2,2…と、端面に耳 部31を有する多数の電極板3,3…とを交互に複数枚積層し、その積層体(ス タック)の外周側面に同極電極板の耳部31,31…を接続する外部電極4,4 を設けたものである。The minimum constitutional unit of the piezoelectric body is one in which electrodes are provided on both surfaces of a piezoelectric plate (plate-shaped piezoelectric material; also called pellet). When the piezoelectric body is used as an actuator, in order to fully exhibit its function, a large number of piezoelectric bodies may be laminated to increase the displacement amount of the entire body. The so-called laminated piezoelectric body was created based on this idea. As shown in FIG. 4, the multi-layer piezoelectric body 1 is generally composed of a large number of piezoelectric plates 2, 2, ... And a large number of electrode plates 3, 3 ... External electrodes 4, 4 for connecting the ears 31, 31, ... Of the homopolar electrode plates are provided on the outer peripheral side surface of the laminated body (stack).

【0004】 積層型圧電体においては、外部温度の変化及び自己発熱(所望どうり変位させ るために電圧を加えた時の圧電体自身の発熱)が問題となる。積層型圧電体は、 その電圧−変位特性が熱に影響されるので、温度変化の激しい条件下ではアクチ ュエータ(或はセンサ)として正確に機能し難くなる。また、自己発熱は使用条 件、例えば周波数、変位の大きさ、応答速度等によって左右され、それら条件が 厳しくなれば発熱も増大し、そうなると積層型圧電体の強度が低下したり、積層 体の外周部にある絶縁チューブの劣化などを招き、絶縁破壊を起こし、使用不能 となる恐れもでてくる。。In the laminated piezoelectric body, a change in external temperature and self-heating (heat generation of the piezoelectric body itself when a voltage is applied to displace it as desired) become problems. Since the voltage-displacement characteristics of the laminated piezoelectric material are affected by heat, it becomes difficult to function accurately as an actuator (or sensor) under conditions where the temperature changes drastically. Also, self-heating depends on the usage conditions, such as frequency, magnitude of displacement, response speed, etc., and if the conditions become stricter, heat generation also increases. This may lead to deterioration of the insulation tube on the outer periphery, causing insulation breakdown, which may render it unusable. .

【0005】[0005]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

従って、使用環境・条件によっては、積層型圧電体をできるだけ一定温度に冷 却しなければならない。そのため、図6に示すように積層型圧電体1にファン8 等で空気を吹きつけるようにしたり、図5に示すように積層型圧電体1の外周に 包囲容器7で流路を設け非導電性の冷却媒体5を圧電体1の周囲に流通させたり することが試みられている。しかし、一般的に積層型圧電体の外周は、絶縁保護 のため及び取扱いの容易化のために熱収縮チューブで被覆されているので、冷却 のためにはチューブカバー6の外周から冷却する必要がある。冷却手段がカバー の外周から冷却する構造では、冷却能力に限界がある。しかも積層型圧電体の周 囲に、気体又は液体の冷却媒体を流通させるためのスペースが必要となるので、 小型の作動装置という利点が失われる。 Therefore, depending on the operating environment and conditions, it is necessary to cool the laminated piezoelectric material to a constant temperature as much as possible. Therefore, as shown in FIG. 6, the laminated piezoelectric body 1 is blown with air by a fan 8 or the like, or as shown in FIG. It has been attempted to circulate the cooling medium 5 having a conductive property around the piezoelectric body 1. However, in general, the outer circumference of the laminated piezoelectric body is covered with a heat-shrinkable tube for insulation protection and for ease of handling, so it is necessary to cool from the outer circumference of the tube cover 6 for cooling. is there. In the structure in which the cooling means cools from the outer periphery of the cover, the cooling capacity is limited. Moreover, since a space for circulating a cooling medium of gas or liquid is required around the laminated piezoelectric body, the advantage of a small actuator is lost.

【0006】 本考案は上記問題を解決する目的でなされたものであり、その解決しようとす る課題は、冷却スペースを殆ど必要とせず、確実にそして効率よく積層型圧電体 を冷却できる機構を備えた積層型圧電体を提供することにある。The present invention has been made for the purpose of solving the above-mentioned problems, and the problem to be solved is to provide a mechanism capable of reliably and efficiently cooling the laminated piezoelectric body, requiring almost no cooling space. Another object is to provide a laminated piezoelectric body having the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案の積層型圧電体は、圧電板と電極板とを交互に複数枚積層し、その積層 体の側面に突出する各電極板の耳部を接続する外部電極を設けてなる積層型圧電 体において、外部電極を中空状とし外部電極内に冷却媒体を流通させる構造とし たことを特徴とする。 The laminated piezoelectric body of the present invention comprises a laminated piezoelectric body in which a plurality of piezoelectric plates and electrode plates are alternately laminated, and external electrodes for connecting the ears of each electrode plate protruding to the side surface of the laminated body are provided. In the above, the external electrode is hollow and the cooling medium is circulated in the external electrode.

【0008】 外部電極とは、積層型圧電体の同極側の電極板を電気的に接続するもの(側面 電極とも呼ばれる)を意味しており、本考案においては外部電極として、金属パ イプのようなものが使用される。その空洞の断面の形状や面積は、積層型圧電体 の大きさ、必要とされる機能精度、使用条件等により適当に選択される。The external electrode means one that electrically connects the electrode plates on the same polarity side of the laminated piezoelectric body (also referred to as side electrode). In the present invention, the external electrode is a metal pipe. Something like that is used. The shape and area of the cross section of the cavity are appropriately selected depending on the size of the laminated piezoelectric material, the required accuracy of function, usage conditions and the like.

【0009】 電気的な接続のみを考えると、上記の各電極板は外部電極に接続する耳部を1 個有し、外部電極は2本(陰極・陽極の各1本)あれば充分である。しかし、冷 却能力を高める上では、電極板の周縁に上記耳部を多数設けて電極板を、冷却媒 体の流れる多数の外部電極と接続させるのが好ましい。Considering only electrical connection, each of the above electrode plates has one ear for connecting to an external electrode, and two external electrodes (one for cathode and one for anode) are sufficient. .. However, in order to improve the cooling capacity, it is preferable to provide a large number of ears on the periphery of the electrode plate and connect the electrode plate to a large number of external electrodes through which the cooling medium flows.

【0010】 圧電板と交互に積層された各電極板は、各々一つ置きに陽極側、陰極側の各外 部電極に接続される。従って電極板として例えば2個の耳部を有する電極板を用 いると、陰極側と陽極側とで2本づつ、計4本の外部電極を設けることになる。 その場合、各外部電極毎に独立した経路で冷却媒体を流してもよいが、各外部電 極の端部どうしを絶縁性ホースで繋ぎ、全ての外部電極で一つの連続した流路を 形成させるのが好ましい。Each of the electrode plates alternately laminated with the piezoelectric plate is connected to each of the outer electrodes on the anode side and the cathode side alternately. Therefore, if an electrode plate having, for example, two ears is used as the electrode plate, two external electrodes are provided, two on the cathode side and two on the anode side. In that case, the cooling medium may flow through an independent path for each external electrode, but the ends of each external electrode are connected with an insulating hose to form one continuous flow path for all external electrodes. Is preferred.

【0011】 冷却媒体は非導電性の流体であれば特に限定されず、空気、フレオンのような 気体や、メチレンクロライド、トリクロロベンゼン、油脂類のような液体であっ てもよいが、一般的には変圧器、コンデンサー、遮断器などの電気製品に電気の 絶縁、発生熱の除去、冷却を目的として用いられている絶縁油が好ましい。例え ば、従来から使用されている石油系鉱油ならびに最近使用されるようになってき たアルキルベンゼン系、ポリブテン系、アルキルナフタレン系、アルキルジフェ ニルエタン系及びシリコーン油系の絶縁油が挙げられる。The cooling medium is not particularly limited as long as it is a non-conductive fluid, and may be a gas such as air or freon, or a liquid such as methylene chloride, trichlorobenzene or oils and fats. Insulating oil used for electrical insulation, removal of generated heat, and cooling in electrical products such as transformers, capacitors, and circuit breakers is preferable. For example, conventionally used petroleum-based mineral oils and recently used alkylbenzene-based, polybutene-based, alkylnaphthalene-based, alkyldiphenylethane-based, and silicone oil-based insulating oils can be mentioned.

【0012】[0012]

【作用】[Action]

上記のような構成の積層型圧電体では、外部電極内に冷却媒体を流通させると 、外部電極と接続している電極板が冷却される。この冷却された電極板が、自己 発熱又は外部環境温度に起因する圧電板の昇温を防止する。 今までの積層型圧電体を被覆している絶縁保護用チューブの外周から冷却する 構成と比較すると、圧電板と交互に積層されている電極板で圧電板を直接冷却す る構成は、冷却効率を一段と高め、そして、中空状とした外部電極内に冷却媒体 を流通させる構成は、積層型圧電体の装置の小型化を可能にする。 In the laminated piezoelectric material having the above-described structure, when the cooling medium is circulated in the external electrode, the electrode plate connected to the external electrode is cooled. This cooled electrode plate prevents the temperature rise of the piezoelectric plate due to self-heating or the external environment temperature. Compared with the conventional structure in which the insulation protection tube covering the laminated piezoelectric body is cooled from the outer circumference, the structure in which the piezoelectric plate is directly cooled by the electrode plates alternately stacked with the piezoelectric plate has a higher cooling efficiency. The configuration in which the cooling medium is further increased and the cooling medium is circulated in the hollow external electrode enables downsizing of the device of the laminated piezoelectric body.

【0013】[0013]

【実施例】【Example】

以下、本考案の積層型圧電体の一実施例を図面を用いて説明する。 本実施例の積層型圧電体は、図1及び図2に示すように、多数の圧電板2,2 …と多数の電極板(内部電極)3,3…を交互に積み重ねたスタック(積層体) と、該スタックの外周側面に等間隔で平行に付設された6本の外部電極4,4… (41,42,43,44,45,46)とからなる。 An embodiment of the laminated piezoelectric material of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in FIGS. 1 and 2, the laminated piezoelectric body of the present embodiment is a stack (laminated body) in which a large number of piezoelectric plates 2, 2 ... And a large number of electrode plates (internal electrodes) 3, 3 are alternately stacked. ) And six external electrodes 4, 4 ... (41, 42, 43, 44, 45, 46) provided in parallel on the outer peripheral side surface of the stack at equal intervals.

【0014】 圧電板2は、常法に従いPbO,ZrO2 及びTiO2 を所定の割合で混合し 、仮焼し、プレス成形し、焼成し、研磨し、表面に銀電極膜を形成し、分極処理 して製造されたペレット(直径約15mm、厚さ約0.5mmの円板)状のPZ T圧電板であり、印加された電圧の増減で厚さ方向に伸縮する。The piezoelectric plate 2 is prepared by mixing PbO, ZrO 2 and TiO 2 in a predetermined ratio according to a conventional method, calcining, press-molding, firing, polishing, forming a silver electrode film on the surface, and polarization. A PZT piezoelectric plate in the form of pellets (a disk having a diameter of about 15 mm and a thickness of about 0.5 mm) manufactured by the treatment, which expands and contracts in the thickness direction by the increase and decrease of the applied voltage.

【0015】 電極板3は、ステンレススチール(SUS)製であり、円板状本体部に、3方 に突出した耳部31,31,31を有している。電極板3の円板状本体部の径は 圧電体の表面に形成されている銀電極膜21(図3参照)の大きさとほぼ同じで あり、各耳部31,31…は折り曲げられ、各電極板3,3…を同電位とするた めに外部電極41,43,45又は42,44,46に溶接されている。積層さ れた電極板3,3…は、外部電極41,43,45に接続するものと、対抗極の 外部電極42,44,46に接続するものとが1枚おきに配置された状態となる 。The electrode plate 3 is made of stainless steel (SUS), and has disc-shaped body portions with ears 31, 31, 31 protruding in three directions. The diameter of the disk-shaped main body of the electrode plate 3 is almost the same as the size of the silver electrode film 21 (see FIG. 3) formed on the surface of the piezoelectric body, and the ears 31, 31, ... The electrode plates 3, 3 ... Are welded to the external electrodes 41, 43, 45 or 42, 44, 46 so as to have the same potential. The laminated electrode plates 3, 3, ... Are arranged such that one connected to the external electrodes 41, 43, 45 and one connected to the counter electrodes external electrodes 42, 44, 46 are arranged every other sheet. Become .

【0016】 外部電極4は単なる棒状の電極ではなく、横断面が楕円形の金属製のパイプで 作られている。隣接する2本のパイプ(外部電極)の各一端をそれぞれ冷却媒体 の流入口及び流出口とし、その他の隣接するパイプ(外部電極4)の端部には絶 縁性樹脂ホース(例えばビニールパイプ)9,9…を接続して、連通させた6本 の外部電極41〜46で冷却媒体の流路が形成されている。The external electrode 4 is not a simple rod-shaped electrode, but is made of a metal pipe having an elliptical cross section. One end of each of two adjacent pipes (external electrodes) serves as an inlet and an outlet for the cooling medium, and an insulating resin hose (for example, vinyl pipe) is provided at the end of the other adjacent pipe (external electrode 4). A cooling medium flow path is formed by the six external electrodes 41 to 46, which are connected and connected to each other.

【0017】 以上のように構成された積層型圧電体は、熱収縮チューブで外周被覆されると ともに冷却媒体循環ポンプからの管が接続されて、アクチュエータ組付けケース 内に取りつけられる。アクチュエータとして作動する状態になった時は、図3に 示すように、積層型圧電体の外部電極4,4…内に、冷却媒体5として所定の温 度のシリコーンオイルが適正な流速で流通するようにされる。電極板3,3…に より圧電板2,2…に電圧が印加されると、圧電板2,2…は自己発熱するが、 熱は電極板3,3…から外部電極4内の冷却媒体5へと逃げるので、圧電体はほ ぼ一定の温度に保たれる。The laminated piezoelectric body configured as described above is attached to the inside of the actuator assembly case by being coated with a heat-shrinkable tube on the outer periphery and connected to a pipe from a cooling medium circulation pump. When it is operated as an actuator, as shown in FIG. 3, silicone oil of a predetermined temperature flows as a cooling medium 5 at an appropriate flow rate in the external electrodes 4, 4, ... Of the laminated piezoelectric body. To be done. When a voltage is applied to the piezoelectric plates 2, 2 by the electrode plates 3, 3, ..., The piezoelectric plates 2, 2, ... Self-heat, but the heat is generated from the electrode plates 3, 3 ,. Since it escapes to 5, the piezoelectric body is kept at a substantially constant temperature.

【0018】[0018]

【考案の効果】[Effect of the device]

以上の説明から明らかなように、本考案の積層型圧電体は、熱の発生源である 圧電板と接触している電極板から吸熱する構造であるので、従来のようにチュー ブカバーの外周から冷却する構造のものに比べ冷却効率が一段と良くなる。すな わち、迅速且つ確実に圧電体の熱が冷却媒体に吸熱され、圧電体の温度変化が少 なくなる。従って、電圧−変位量の関係で一層正確に機能する積層型圧電体とな る。 また、外部電極内に冷却媒体を流通させて冷却するようにしたので、積層型圧 電体を組込む側に冷却用のスペースや冷却媒体の流路を設けたり、冷却媒体の流 れ方を工夫したりする必要が無くなる。そのため、設計の簡易化が図れるととも に一段と小型化したアクチュエータ、センサ等として機能させることができる。 As is clear from the above description, the laminated piezoelectric body of the present invention has a structure that absorbs heat from the electrode plate that is in contact with the piezoelectric plate that is the source of heat generation. The cooling efficiency is much better than that of the cooling structure. That is, the heat of the piezoelectric body is quickly and reliably absorbed by the cooling medium, and the temperature change of the piezoelectric body becomes small. Therefore, the laminated piezoelectric body functions more accurately in relation to the voltage-displacement amount. In addition, since the cooling medium is circulated in the external electrode to cool it, a cooling space and a cooling medium flow path are provided on the side where the laminated piezoelectric body is installed, and the cooling medium flow method is devised. There is no need to do it. Therefore, the design can be simplified, and the actuator can function as a further downsized actuator, sensor, or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の積層型圧電体の一実施例を示す斜視図
である。
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a laminated piezoelectric material of the present invention.

【図2】図1の圧電体の水平断面図である。FIG. 2 is a horizontal sectional view of the piezoelectric body shown in FIG.

【図3】上記圧電体の部分拡大断面図である。FIG. 3 is a partially enlarged sectional view of the piezoelectric body.

【図4】従来の積層型圧電体の基本的な構造を示す断面
図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a basic structure of a conventional laminated piezoelectric material.

【図5】従来の圧電体の冷却方法の一例を説明するため
の断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view for explaining an example of a conventional piezoelectric body cooling method.

【図6】従来の圧電体の冷却方法の他の例を説明するた
めの断面図である。
FIG. 6 is a sectional view for explaining another example of a conventional method for cooling a piezoelectric body.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 積層型圧電体 2 圧電板 3 電極板 31 耳部 4(41,42,43,44,45,46) 外部電極 5 冷却媒体 1 Laminated Piezoelectric Body 2 Piezoelectric Plate 3 Electrode Plate 31 Ear 4 (41, 42, 43, 44, 45, 46) External Electrode 5 Cooling Medium

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 圧電板と電極板とを交互に複数枚積層
し、その積層体の側面に突出する各電極板の耳部を接続
する外部電極を設けてなる積層型圧電体において、外部
電極を中空状とし外部電極内に冷却媒体を流通させる構
造としたことを特徴とする積層型圧電体。
1. A laminated piezoelectric body comprising a plurality of piezoelectric plates and electrode plates, which are alternately laminated, and external electrodes for connecting the ears of the respective electrode plates protruding to the side surface of the laminated body are provided. A laminated piezoelectric body having a hollow structure in which a cooling medium is circulated in an external electrode.
JP7335791U 1991-08-20 1991-08-20 Multilayer piezoelectric Pending JPH0520356U (en)

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