JPH05198930A - Bonding apparatus - Google Patents

Bonding apparatus

Info

Publication number
JPH05198930A
JPH05198930A JP710492A JP710492A JPH05198930A JP H05198930 A JPH05198930 A JP H05198930A JP 710492 A JP710492 A JP 710492A JP 710492 A JP710492 A JP 710492A JP H05198930 A JPH05198930 A JP H05198930A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bonding
wire
tip
pad
chip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP710492A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshihiro Morita
義裕 森田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP710492A priority Critical patent/JPH05198930A/en
Publication of JPH05198930A publication Critical patent/JPH05198930A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To remove a wire bonded to a pad by diffusion or soldering by, after moving down a bonding tip, rotating it through an angle of 90 degrees as required. CONSTITUTION:In case of the removal of a wire 3 bonded to a pad 2 by diffusion, a bonding tip 4 is positioned directly above the pad 2 and moved down, the end thereof pressing the wire 3. At the same time, oscillation is applied by an ultrasonic horn, and the bonding tip 4 is rotated by motor drive. In case of the removal of a wire 3 bonded to a pad 2 using solder 18, a bonding tip 6 is positioned directly above the pad 2 and moved down, the end thereof pressing the wire 3. At the same time, power is supplied by a power supply device 16, and the bonding tip 6 is rotated by the drive of a head rotating motor.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、振動と加熱または加熱
によって所定のパッドにワイヤを接合するボンディング
チップを備えたボンディング装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bonding apparatus having a bonding tip for bonding a wire to a predetermined pad by vibration and heating or heating.

【0002】電子機器に使用されるプリント基板に於い
ては、パターン配線の他に、配線材を用いたディスクリ
ート配線による接続が行われている。このようなディス
クリート配線は、ボンディング装置によって所定のパッ
ドにワイヤを拡散接合または半田接合によって接続が行
われる。
In a printed circuit board used in electronic equipment, in addition to pattern wiring, discrete wiring using a wiring material is used for connection. Such discrete wiring is connected to a predetermined pad by diffusion bonding or solder bonding with a bonding device.

【0003】また、一方、ディスクリート配線による接
続は、設計変更などによって接続先が変更されることが
ある。したがって、ディスクリート配線による接続は、
必要に応じて、接続変えが容易に行えるように形成され
ることが望まれている。
On the other hand, in the connection by the discrete wiring, the connection destination may be changed due to a design change or the like. Therefore, the connection with discrete wiring is
It is desired to be formed so that the connection can be easily changed if necessary.

【0004】[0004]

【従来の技術】従来は図6の従来の説明図( その1) お
よび図7の従来の説明図( その2) に示すように構成さ
れていた。図6の(a) は構成図,(b)(c1)(c2)はボンディ
ングチップの先端部の拡大図, 図7の(a) は構成図,(b)
はボンディングチップの先端部の拡大図である。
2. Description of the Related Art Conventionally, the structure is as shown in a conventional explanatory view (No. 1) of FIG. 6 and a conventional explanatory view (No. 2) of FIG. 6 (a) is a configuration diagram, (b) (c1) (c2) is an enlarged view of the tip of the bonding chip, FIG. 7 (a) is a configuration diagram, (b)
FIG. 4 is an enlarged view of a tip portion of a bonding chip.

【0005】図6の(a) に示すように、一端が揺動自在
に保持部材14によって保持された超音波ホーン15の他端
にボンディングチップ4 が固着され、超音波発振器13に
よって送出された超音波によってボンディングチップ4
が超音波ホーン15を介して振動するよう、加振S が行わ
れるように形成されている。
As shown in FIG. 6 (a), a bonding chip 4 is fixed to the other end of an ultrasonic horn 15 whose one end is swingably held by a holding member 14 and which is sent out by an ultrasonic oscillator 13. Bonding tip 4 by ultrasonic
It is formed so that the vibration S is performed so that the vibration occurs via the ultrasonic horn 15.

【0006】また、保持部材14は昇降機構11によって矢
印Z のように昇降されるように、パッド2 が配設された
プリント基板1 はテーブル10に載置され、テーブル10に
よって矢印XY方向に移送されるように形成されている。
Further, the printed circuit board 1 on which the pad 2 is arranged is placed on the table 10 so that the holding member 14 is moved up and down by the elevating mechanism 11 as indicated by the arrow Z, and is transferred by the table 10 in the XY directions. Is formed.

【0007】このようなボンディングチップ4 は図6の
(b) に示すように、先端部には湾曲した凹部5 が形成さ
れ、接続すべきワイヤ3 を挟むようにパッド2 に押圧
し、ボンディングチップ4 の振動と、レーザビームL な
どの照射によって押圧した箇所を加熱し、D 部に示す箇
所を拡散接合させることが行われていた。
Such a bonding chip 4 is shown in FIG.
As shown in (b), a curved concave part 5 is formed at the tip, and it presses against the pad 2 so as to sandwich the wire 3 to be connected, and by the vibration of the bonding chip 4 and the irradiation of the laser beam L, etc. It was performed that the above-mentioned part is heated and the part shown in the D part is diffusion bonded.

【0008】そこで、このような拡散接合を行う場合
は、先づ、ボンディングチップ4 が上昇されている時、
テーブル10の移送によってワイヤ3 の接続を行うべきパ
ッド2をボンディングチップ4 の真下に位置させ、その
パッド2 にワイヤ3 を位置決めし、ボンディングチップ
4 を降下させることで、凹部5 によってワイヤ3 をパッ
ド2 に押圧させ、次に、超音波ホーン15の振動によって
ボンディングチップ4 を振動させると同時に、レーザビ
ームL を照射させることで所定温度T の加熱が行われ
る。
Therefore, when performing such diffusion bonding, first, when the bonding chip 4 is raised,
The pad 2 to which the wire 3 is to be connected by the transfer of the table 10 is located directly below the bonding chip 4, and the wire 3 is positioned on the pad 2 to bond the bonding chip 4.
By lowering 4, the wire 5 is pressed against the pad 2 by the recess 5, and then the bonding tip 4 is vibrated by the vibration of the ultrasonic horn 15 and, at the same time, the laser beam L is irradiated so that the predetermined temperature T Heating is performed.

【0009】また、図7の(a) の場合は、昇降機構12に
よって矢印Z 方向に昇降するように保持された保持部材
17にボンディンチップ6 が固着され、ボンディンチップ
6 には電源装置16から所定の電流値となる電源V の供給
が行われるように形成されている。
Further, in the case of FIG. 7A, a holding member held by the lifting mechanism 12 so as to move up and down in the direction of arrow Z.
Bonding tip 6 is fixed to 17
The power supply device 16 is configured to be supplied with a power supply V 6 having a predetermined current value.

【0010】また、パッド2 が配設されたプリント基板
1 がテーブル10に載置され、テーブル10によって矢印XY
方向に移送されるように形成されている。このようなボ
ンディングチップ6 は図7の(b) に示すように、先端部
には湾曲した凹部7 が形成され、接続すべきワイヤ3 を
挟むようにパッド2 に押圧し、電源V の供給によりボン
ディングチップ4 に形成された絶縁層6Aによって分割さ
れたボンディングチップ4 の一方から他方に矢印A のよ
うに電流が流れることでボンディングチップ4 の先端部
が所定の温度に加熱され、半田18の溶融によってワイヤ
3 がパッド2 に接合させることが行われていた。
A printed circuit board on which the pad 2 is arranged
1 is placed on table 10 and table 10 causes arrow XY
It is formed so as to be transferred in the direction. As shown in FIG. 7 (b), such a bonding chip 6 has a curved concave portion 7 formed at its tip end, presses the pad 2 so as to sandwich the wire 3 to be connected, and supplies the power V. A current flows from one side of the bonding chip 4 divided by the insulating layer 6A formed on the bonding chip 4 to the other as indicated by the arrow A, so that the tip of the bonding chip 4 is heated to a predetermined temperature and the solder 18 melts. By wire
Bonding of 3 to pad 2 was done.

【0011】そこで、このような半田接合を行う場合
は、先づ、ボンディングチップ6 が上昇されている時、
テーブル10の移送によってワイヤ3 の接続を行うべきパ
ッド2をボンディングチップ6 の真下に位置させ、その
パッド2 にワイヤ3 を位置決めし、ボンディングチップ
6 を降下させることで、凹部7 によってワイヤ3 をパッ
ド2 に押圧させ、次に、電源V の供給によって半田18を
溶融させることで行われる。
Therefore, when performing such solder joining, first, when the bonding chip 6 is raised,
The pad 2 to which the wire 3 is to be connected by the transfer of the table 10 is positioned directly below the bonding chip 6, and the wire 3 is positioned on the pad 2 to form the bonding chip.
This is done by lowering 6 to press the wire 3 against the pad 2 by the recess 7 and then melting the solder 18 by supplying the power source V 1.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前述のような
拡散接合および半田接合によって接合されたワイヤ3 の
接続変更が必要となった場合は、いづれの場合でも、図
6の(c1)に示すように、カッタ20によってワイヤ3 を切
断し、図6の(c2)に示すように、切断されたワイヤ3 の
先端部3Aに新たなワイヤ3-1 の先端を重ね合わせること
で再度、拡散接合および半田接合を行うことになる。
However, when it is necessary to change the connection of the wire 3 joined by the diffusion joining and the solder joining as described above, in any case, as shown in (c1) of FIG. Then, the wire 3 is cut by the cutter 20, and the tip of the new wire 3-1 is overlapped with the tip 3A of the cut wire 3 as shown in (c2) of FIG. And soldering will be performed.

【0013】このような新たなワイヤ3-1 の先端を重ね
合わせ、拡散接合および半田接合を行うことでは、新た
なワイヤ3-1 の接合が確実に行われなくなるという問題
を有していた。
When the tips of the new wire 3-1 are overlapped and the diffusion bonding and the solder bonding are performed, there is a problem that the new wire 3-1 cannot be reliably bonded.

【0014】この場合、パッド2 に予め、2 本のワイヤ
3 の接合が行えるように形成することも考えられるが、
そのためにはパッド2 の外形が大きくなり、プリント基
板1に於ける実装効率が悪くなり、好ましくない。
In this case, two wires are previously attached to the pad 2.
Although it is possible to form it so that the joining of 3 can be performed,
Therefore, the outer shape of the pad 2 becomes large, and the mounting efficiency on the printed board 1 becomes poor, which is not preferable.

【0015】そこで、本発明では、所定のパッドに拡散
接合および半田接合されたワイヤの除去が容易に行える
ようにすることを目的とする。
Therefore, it is an object of the present invention to make it possible to easily remove a wire which is diffusion-bonded and solder-bonded to a predetermined pad.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】図1は本第1の発明の原
理説明図で、図2は本第2の発明の原理説明図であり、
図1に示すように、プリント基板1 に配設されたパッド
2 にワイヤ3 を拡散接合するよう超音波による加振S お
よび所定温度T の加熱が行われるボンディングチップ4
を備え、該ボンディングチップ4 を昇降させ、該ワイヤ
3 を挟むよう形成された先端部の凹部5 によって該ワイ
ヤ3 を押圧した時、必要に応じて、該ボンディングチッ
プ4 の中心C1を回転軸として該ボンディングチップ4 が
所定方向F1,F2 に回転されるように、また、図2に示す
ように、プリント基板1 に配設されたパッド2 にワイヤ
3 を半田接合するよう所定の電源V が供給されることで
所定温度に加熱されるボンディングチップ6 を備え、該
ボンディングチップ6 を昇降させ、該ワイヤ3 を挟むよ
う形成された先端部の凹部7 によって該ワイヤ3 を押圧
した時、必要に応じて、該ボンディングチップ6 の中心
C2を回転軸として該ボンディングチップ6 が所定方向F
1,F2 に回転されるように、更に、前記ボンディングチ
ップ4,6 を回転する回転角度がほぼ90°の範囲に形成さ
れるように構成する。
FIG. 1 is a diagram for explaining the principle of the first invention, and FIG. 2 is a diagram for explaining the principle of the second invention.
As shown in FIG. 1, pads arranged on the printed circuit board 1
Bonding tip 4 where ultrasonic vibration S and heating at a predetermined temperature T are performed so that wire 3 is diffusion bonded to 2
Is equipped with the bonding chip 4 and the wire is moved up and down.
When the wire 3 is pressed by the recess 5 at the tip formed so as to sandwich 3, the bonding chip 4 is rotated in the predetermined directions F1 and F2 with the center C1 of the bonding chip 4 as the rotation axis, if necessary. As shown in FIG. 2, the wires are attached to the pads 2 provided on the printed circuit board 1.
A soldering chip 6 is provided with a bonding chip 6 which is heated to a predetermined temperature by supplying a predetermined power source V, and the bonding chip 6 is moved up and down to form a concave portion 7 at a tip portion formed so as to sandwich the wire 3. When the wire 3 is pressed by the center of the bonding tip 6,
The bonding tip 6 moves in a predetermined direction F with C2 as the rotation axis.
Further, the bonding chips 4 and 6 are configured to be rotated by 1, F2, and the rotation angle for rotating the bonding chips 4 and 6 is formed within a range of approximately 90 °.

【0017】このように構成することによって前述の課
題は解決される。
The above-mentioned problems can be solved by such a configuration.

【0018】[0018]

【作用】即ち、拡散接合を行うボンディングチップ4 お
よび半田接合を行うボンディングチップ6 のそれぞれが
自身の中心C1,C2 を回転軸として回転されるようにした
ものである。
In other words, the bonding chip 4 for diffusion bonding and the bonding chip 6 for solder bonding are rotated about their own centers C1 and C2 as rotation axes.

【0019】そこで、一旦、拡散接合または半田接合さ
れたワイヤ3 を除去したい場合は拡散接合および半田接
合を行う場合と同様にボンディングチップ4,6 の先端部
をパッド2 に当接させるように降下させた時、回転させ
ることで容易にワイヤ3 の除去を行うことができる。
Therefore, when it is desired to remove the wire 3 once diffusion-bonded or solder-bonded, the tip ends of the bonding chips 4 and 6 are lowered so as to abut the pad 2 as in the case of performing diffusion-bonding and solder-bonding. When the wire 3 is rotated, the wire 3 can be easily removed by rotating it.

【0020】また、このような回転は、回転角度をほぼ
90°にすることで十分にワイヤ3 をパッド2 から取り外
すことが行え、更に、取り外した箇所に再度、ワイヤ3
の接合を行うことができる。
Further, such rotation has a rotation angle of approximately
90 ° is enough to remove the wire 3 from the pad 2, and then reattach the wire 3 to the removed position.
Can be joined.

【0021】したがって、従来のようなうな重ね合わせ
による接合に比較して、確実な接合が行え、信頼性の向
上が図れる。
Therefore, as compared with the conventional joining by superposition, reliable joining can be performed and reliability can be improved.

【0022】[0022]

【実施例】以下本発明を図3〜図5を参考に詳細に説明
する。図3は本第1の発明による一実施例の構成図, 図
4は本第2の発明による一実施例の説明図で、(a) は構
成図,(b)は回転機構の斜視図, 図5は本発明のボンディ
ングチップの回転説明図である。全図を通じて、同一符
号は同一対象物を示す。
The present invention will be described in detail below with reference to FIGS. 3 is a configuration diagram of an embodiment according to the first invention, FIG. 4 is an explanatory diagram of an embodiment according to the second invention, (a) is a configuration diagram, (b) is a perspective view of a rotating mechanism, FIG. 5 is a rotation explanatory view of the bonding tip of the present invention. Throughout the drawings, the same reference numerals denote the same objects.

【0023】図3に示すように、シャフト部8A-1がベア
リング8Bによって回転自在に保持された回転体8Aのプー
リ部8A-2と、制御部8Fにより駆動されるモータ8Eによっ
て回転されるプーリ8Dとの間にベルト8Cを張架すること
で形成された回転機構8 を設け、回転体8Aのアーム部8A
-3を昇降機構11に固着させ、回転体8Aの回転によってボ
ンディングチップ4 が矢印F1またはF2方向に回転される
ように形成したものである。
As shown in FIG. 3, a pulley 8A-2 of a rotor 8A having a shaft 8A-1 rotatably held by a bearing 8B, and a pulley 8A rotated by a motor 8E driven by a controller 8F. The rotation mechanism 8 is formed by stretching the belt 8C between the arm 8A and the arm 8A of the rotor 8A.
-3 is fixed to the elevating mechanism 11 so that the bonding chip 4 is rotated in the direction of arrow F1 or F2 by the rotation of the rotating body 8A.

【0024】また、シャフト部8A-1の中心C と、ボンデ
ィングチップ4 の中心C1とが合致するように形成され、
昇降機構11は制御部11B の制御によってモータ11A を駆
動させることで垂直な矢印Z 方向に保持部材14を介して
超音波ホーン15、超音波発振器13およびボンディングチ
ップ4 の全体を昇降させるように形成されている。
Further, the center C of the shaft portion 8A-1 and the center C1 of the bonding tip 4 are formed so as to coincide with each other,
The elevating mechanism 11 is configured to drive the motor 11A under the control of the control unit 11B to elevate and lower the ultrasonic horn 15, the ultrasonic oscillator 13, and the bonding chip 4 as a whole through the holding member 14 in the vertical arrow Z direction. Has been done.

【0025】そこで、パッド2 に拡散接合されたワイヤ
3 を除去したい場合は、ボンディングチップ4 を上昇さ
せることで、ボンディングチップ4 が所定のパッド2 の
直上に位置させるようにテーブル10のXY方向の移送によ
って位置決めし、ボンディングチップ4 の降下によって
ボンディングチップ4 の先端部によってワイヤ3 を押圧
し、同時に超音波ホーン15による加振S を行い、モータ
8Eの駆動によってボンディングチップ4 を回転させるこ
とで行える。
Therefore, a wire diffusion-bonded to the pad 2
If you want to remove 3, remove the bonding tip 4 by raising the bonding tip 4, positioning the bonding tip 4 so that it is directly above the prescribed pad 2 by moving the table 10 in the XY direction, and lowering the bonding tip 4. The wire 3 is pressed by the tip of 4 and vibration S by the ultrasonic horn 15 is performed at the same time,
This can be done by rotating the bonding chip 4 by driving 8E.

【0026】したがって、このように構成すると、ワイ
ヤ3 をパッド2 に拡散接合させることと、拡散接合され
たワイヤ3 を除去することの両者を行うことができる。
また、図4の(a) の場合は、昇降機構12に連結すること
で回転機構9 を設け、回転機構9 にボンディングチップ
6 を装着させ、ボンディングチップ6 が回転機構9 によ
って矢印F1またはF2方向に回転されるように形成したも
のである。
Therefore, according to this structure, both the wire 3 and the pad 2 can be diffusion-bonded and the diffusion-bonded wire 3 can be removed.
Further, in the case of FIG. 4A, the rotating mechanism 9 is provided by being connected to the lifting mechanism 12, and the rotating mechanism 9 is bonded to the bonding chip.
6 is mounted, and the bonding chip 6 is formed so as to be rotated in the arrow F1 or F2 direction by the rotating mechanism 9.

【0027】この回転機構9 は、図4の(b) に示すよう
に、ヘッド回転用モータ9Aによってギヤ9Bを駆動させ、
ギヤ9Bの駆動によってシヤフト9Eの一端に固着されたギ
ヤ9Cを回転させ、昇降機構12の昇降部材12C にベアリン
グ9Dを介在することで回転自在に係止されたシヤフト9E
が中心C2を回転軸として回転されるように、また、シヤ
フト9Eの中空部にはスプリング9Fが設けられ、シヤフト
9Eの他端に装着されるボンディングチップ6 を押圧する
ように形成されている。
This rotating mechanism 9 drives a gear 9B by a head rotating motor 9A, as shown in FIG.
By driving the gear 9B, the gear 9C fixed to one end of the shaft 9E is rotated, and the shaft 9E is rotatably locked by interposing a bearing 9D in the lifting member 12C of the lifting mechanism 12.
Is rotated about the center C2 as the axis of rotation, and a spring 9F is provided in the hollow part of the shaft 9E.
It is formed so as to press the bonding chip 6 attached to the other end of 9E.

【0028】また、昇降機構12は上下駆動モータ12によ
ってボールネジ12B を回転させ昇降部材12C がガイドレ
ール12D の案内によって垂直な矢印Z 方向に昇降される
ように形成されている。
Further, the elevating mechanism 12 is formed so that the ball screw 12B is rotated by the vertical drive motor 12 so that the elevating member 12C is moved up and down in the vertical arrow Z direction by the guide of the guide rail 12D.

【0029】そこで、パッド2 に半田18によって半田接
合されたワイヤ3 を除去したい場合は、ボンディングチ
ップ6 を上昇させることで、ボンディングチップ6 が所
定のパッド2 の直上に位置させるようにテーブル10のXY
方向の移送によって位置決めし、ボンディングチップ6
の降下によってボンディングチップ6 の先端部によって
ワイヤ3 を押圧し、同時に電源装置16から電源V の供給
を行い、ヘッド回転用モータ9Aの駆動によってボンディ
ングチップ6 を回転させることで行える。
Therefore, when it is desired to remove the wire 3 soldered to the pad 2 by the solder 18, the bonding chip 6 is raised so that the bonding chip 6 is positioned directly above the predetermined pad 2. XY
Positioning and bonding chip 6 by directional transfer
This can be done by pressing the wire 3 by the tip of the bonding chip 6 due to the drop of the power source, simultaneously supplying the power V from the power supply device 16, and rotating the bonding chip 6 by driving the head rotation motor 9A.

【0030】したがって、このように構成すると、前述
と同様に、ワイヤ3 をパッド2 に半田接合させること
と、半田接合されたワイヤ3 を除去することの両者を行
うことができる。
Therefore, with this structure, both the solder bonding of the wire 3 to the pad 2 and the removal of the solder bonded wire 3 can be performed as described above.

【0031】尚、拡散接合および半田接合のいづれであ
っても、図5に示すように、ボンディングチップ4,6 の
それぞれの中心C1,C2 を回転軸として90°の範囲で回転
させることでワイヤ3 をパッド2 から除去させることが
行えるので、回転機構8 および9 に於ける回転角度は90
°になるよう配慮することで十分である。
In either of the diffusion bonding and the solder bonding, as shown in FIG. 5, by rotating the respective centers C1 and C2 of the bonding chips 4 and 6 in the range of 90 ° about the rotation axis, the wire Since 3 can be removed from pad 2, the rotation angle in rotation mechanisms 8 and 9 is 90
It is sufficient to consider so that it becomes °.

【0032】[0032]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ボンディングチップを降下させた時、必要に応じて、ボ
ンディングチップを90°回転させることで拡散接合また
は半田接合されたワイヤをパッドから容易に除去するこ
とが行える。
As described above, according to the present invention,
When the bonding tip is lowered, if necessary, the bonding tip can be rotated by 90 ° to easily remove the diffusion-bonded or solder-bonded wire from the pad.

【0033】したがって、従来のような、重ね合わせに
よるワイヤの接合が不要となり、ワイヤの接合が確実と
なり、信頼性の向上が図れ、しかも、ワイヤの拡散接合
または半田接合と、その除去との両者を同じ装置を用い
ることで行えるので作業の効率化が図れ、実用的効果は
大である。
Therefore, unlike the prior art, the wire joining by superposition is not necessary, the wire joining is ensured, the reliability is improved, and both the wire diffusion joining or the solder joining and the removal thereof are performed. Since it can be performed by using the same device, work efficiency can be improved and the practical effect is great.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 本第1の発明の原理説明図FIG. 1 is an explanatory view of the principle of the first invention.

【図2】 本第2の発明の原理説明図FIG. 2 is an explanatory view of the principle of the second invention.

【図3】 本第1の発明による一実施例の構成図FIG. 3 is a configuration diagram of an embodiment according to the first invention.

【図4】 本第2の発明による一実施例の説明図FIG. 4 is an explanatory diagram of an embodiment according to the second invention.

【図5】 本発明のボンディングチップの回転説明図FIG. 5 is a rotation explanatory view of the bonding tip of the present invention.

【図6】 従来の説明図( その1)FIG. 6 is a conventional explanatory view (No. 1)

【図7】 従来の説明図( その2)FIG. 7 is an explanatory view of the related art (No. 2)

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プリント基板 2 パッド 3 ワイヤ 4,6 ボンディング
チップ 5,7 凹部
1 Printed circuit board 2 Pad 3 Wire 4,6 Bonding chip 5,7 Recess

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント基板(1) に配設されたパッド
(2) にワイヤ(3) を拡散接合するよう超音波による加振
(S) および所定温度(T) の加熱が行われるボンディング
チップ(4) を備え、該ボンディングチップ(4) を垂直方
向(Z) に昇降させ、該ワイヤ(3) を挟むよう形成された
先端部の凹部(5) によって該ワイヤ(3)を押圧した時、
必要に応じて、該ボンディングチップ(4) の中心(C1)を
回転軸として該ボンディングチップ(4) が所定方向(F1,
F2) に回転されることを特徴とするボンディング装置。
1. A pad arranged on a printed circuit board (1)
Excitation with ultrasonic waves so that the wire (3) is diffusion-bonded to (2).
(S) and a bonding tip (4) that is heated to a predetermined temperature (T) are provided, and the bonding tip (4) is moved up and down in the vertical direction (Z) to sandwich the wire (3). When the wire (3) is pressed by the concave part (5) of the part,
If necessary, the center (C1) of the bonding tip (4) is used as a rotation axis so that the bonding tip (4) moves in a predetermined direction (F1,
Bonding device characterized by being rotated by F2).
【請求項2】 プリント基板(1) に配設されたパッド
(2) にワイヤ(3) を半田接合するよう所定の電源(V) が
供給されることで所定温度に加熱されるボンディングチ
ップ(6) を備え、該ボンディングチップ(6) を垂直方向
(Z) に昇降させ、該ワイヤ(3) を挟むよう形成された先
端部の凹部(7) によって該ワイヤ(3) を押圧した時、必
要に応じて、該ボンディングチップ(6) の中心(C2)を回
転軸として該ボンディングチップ(6) が所定方向(F1,F
2) に回転されることを特徴とするボンディング装置。
2. A pad arranged on a printed circuit board (1)
(2) is equipped with a bonding chip (6) which is heated to a predetermined temperature by supplying a predetermined power (V) to solder-bond the wire (3), and the bonding chip (6) is arranged in the vertical direction.
(Z), when the wire (3) is pressed by the recess (7) at the tip formed so as to sandwich the wire (3), the center of the bonding tip (6) ( The bonding chip (6) is rotated in the predetermined direction (F1, F
2) A bonding device characterized by being rotated to.
【請求項3】 請求項1および請求項2記載の前記ボン
ディングチップ(4,6) を回転する回転角度がほぼ90°の
範囲に形成されることを特徴とするボンディング装置。
3. A bonding apparatus, wherein a rotation angle for rotating the bonding tip (4, 6) according to claim 1 or 2 is formed in a range of about 90 °.
JP710492A 1992-01-20 1992-01-20 Bonding apparatus Withdrawn JPH05198930A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP710492A JPH05198930A (en) 1992-01-20 1992-01-20 Bonding apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP710492A JPH05198930A (en) 1992-01-20 1992-01-20 Bonding apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05198930A true JPH05198930A (en) 1993-08-06

Family

ID=11656783

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP710492A Withdrawn JPH05198930A (en) 1992-01-20 1992-01-20 Bonding apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05198930A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1985005708A1 (en) * 1984-06-01 1985-12-19 Hitachi, Ltd. Control integrated circuit
US10896892B2 (en) 2014-04-17 2021-01-19 Fuji Electric Co., Ltd. Wire bonding apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1985005708A1 (en) * 1984-06-01 1985-12-19 Hitachi, Ltd. Control integrated circuit
US10896892B2 (en) 2014-04-17 2021-01-19 Fuji Electric Co., Ltd. Wire bonding apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0406351B1 (en) Ultrasonic laser soldering
US5465899A (en) Method and apparatus for fine pitch wire bonding using a shaved capillary
JP3885747B2 (en) Wire bonding method
US5565119A (en) Method and apparatus for soldering with a multiple tip and associated optical fiber heating device
JPH05198930A (en) Bonding apparatus
JPH0712051B2 (en) Bonding method and device
JP2002076590A (en) Component mounter, component mounting method, component mounting system and circuit board
JPH02213075A (en) Jointing method for lead
JPH10303241A (en) Wire bonder
JP2000012567A (en) Junction material supply method of die bonder and its device
JP2556918B2 (en) IC component mounting method and apparatus
JPH05109808A (en) Wire bonding method and device thereof
JPH02248055A (en) Wire bonding device
JPH04247700A (en) Lead joint devie of ic parts
JP3902037B2 (en) Manufacturing method of semiconductor device
JPH0878418A (en) Bump forming equipment and bump forming method
CN220774287U (en) Carrier mechanism and laser-assisted bonding system
JPH04219942A (en) Connecting method for lead of ic component
JPH02241687A (en) Laser beam machine
JP2554182B2 (en) Lead bonding method for IC parts
JP3478734B2 (en) Mounting method and mounted body of electronic component with bump
JPH06216197A (en) Flip-chip bonding apparatus
JPH0834229B2 (en) Bonding device
JP2836849B2 (en) Bump forming equipment
JPH0432785Y2 (en)

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19990408