JPH05192953A - Mold press device - Google Patents
Mold press deviceInfo
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- JPH05192953A JPH05192953A JP4007060A JP706092A JPH05192953A JP H05192953 A JPH05192953 A JP H05192953A JP 4007060 A JP4007060 A JP 4007060A JP 706092 A JP706092 A JP 706092A JP H05192953 A JPH05192953 A JP H05192953A
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- mold
- plate
- servo motor
- transfer device
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- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体の樹脂成
形に用いられるモールドプレス装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mold pressing apparatus used for resin molding of semiconductors, for example.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、例えば半導体の樹脂成形に用
いられるモールドプレス装置としては図6に示すように
下プレート1と上プレート2とが4本のタイバー3をガ
イドとして、上下移動可能に設けられている。上プレー
ト2の下面中央には上型5が配設され、移動プレート4
の下面中央には、トランスファ装置7が配設されてい
る。前記下プレート1と移動プレート4との間にはトラ
ンスファ装置7の周囲に例えば左右に位置して油圧シリ
ンダ8が設けられている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a mold press device used for resin molding of semiconductors, as shown in FIG. 6, a lower plate 1 and an upper plate 2 are provided so as to be vertically movable by using four tie bars 3 as guides. Has been. An upper die 5 is arranged at the center of the lower surface of the upper plate 2, and the moving plate 4
A transfer device 7 is arranged in the center of the lower surface of the. Between the lower plate 1 and the moving plate 4, a hydraulic cylinder 8 is provided around the transfer device 7, for example, on the left and right sides.
【0003】上記構成のものに於て、モールドプレスを
行なう場合、まず、上型5及び下型6を一定温度に加熱
した後、油圧シリンダ8,8を同時に作動させて移動プ
レート4を上昇させ、下型6を上型5に押し付けて型締
めを行なう。この状態でトランスファ装置7により溶融
樹脂を量型5.6内に注入し、一定の時間保持して溶融
樹脂を固化させ、その後移動プレート4従って下型6を
下降させ、樹脂成形した製品を離形させる。When performing mold pressing with the above structure, first, the upper die 5 and the lower die 6 are heated to a constant temperature, and then the hydraulic cylinders 8 are simultaneously actuated to raise the moving plate 4. , The lower mold 6 is pressed against the upper mold 5 to perform mold clamping. In this state, the transfer device 7 injects the molten resin into the mold 5.6, holds it for a certain period of time to solidify the molten resin, and then lowers the moving plate 4, and hence the lower mold 6, to release the resin-molded product. Shape.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで移動プレート
4、従って下型6の上下駆動には油圧シリンダを用いて
おり、使用油圧も型締め力を大きくする為に200〜5
00kgf/cm2と高くなっている。このような高い
圧力で使用する場合、油の流れを変える為にバブル切換
えを行うと配管系統に大きな振動が発生すると共に大き
な音が出る。このような状況で長期間使用すると配管継
手からの油洩れが必ず発生すると共に油圧シリンダに於
てもパッキンの摩耗から油のもれが起る。また、この洩
れた油の気化により樹脂成形品である半導体へ影響が懸
念される。最近設備に要求されるクリーン化、低騒音、
低振動に対しても問題となる。従って、本発明の目的
は、製品に質の向上,耐環境性の向上を図るモールドプ
レス装置を提供するにある。By the way, a hydraulic cylinder is used to vertically move the moving plate 4, and hence the lower mold 6, and the hydraulic pressure used is 200 to 5 in order to increase the mold clamping force.
It is as high as 00 kgf / cm 2 . When using at such a high pressure, if bubble switching is performed in order to change the oil flow, a large vibration is generated in the piping system and a loud noise is produced. If used for a long time in such a situation, oil leakage from the pipe joint will occur without fail, and oil leakage will occur due to wear of the packing even in the hydraulic cylinder. Further, there is concern that the vaporization of the leaked oil may affect the semiconductor, which is a resin molded product. Cleanliness, low noise, required recently for equipment,
It is also a problem for low vibration. Therefore, an object of the present invention is to provide a mold press device for improving the quality of products and improving the environmental resistance.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、上下に対向状
態に配置固定された上プレート及び下プレートと、この
上プレート及び下プレートとの間に上下移動可能に設け
られた移動プレートと、前記上プレート下面中央に設け
られた上型と、前記移動プレート上面中央に前記上プレ
ートと対向するように設けられた下型と、前記移動プレ
ートの下面中央にもうけられたトランスファ装置と、前
記下プレートと移動プレートの間にあって、前記トラン
スファ装置の周囲に複数個配設され、この移動プレート
を上昇及び下降させて前記上型と下型とを型合せ及び型
開きさせるサーボモータにより駆動のネジと、前記トラ
ンスファ装置の下方に位置して空圧シリンダーにて作動
されるトグル式リンク及び空圧シリンダーに対向して配
設されるサーボモータ駆動のストッパからなる型締め装
置から成るものである。According to the present invention, there are provided an upper plate and a lower plate which are arranged and fixed in a vertically opposed state, and a movable plate which is vertically movable between the upper plate and the lower plate. An upper mold provided at the center of the lower surface of the upper plate, a lower mold provided at the center of the upper surface of the moving plate so as to face the upper plate, a transfer device provided at the center of the lower surface of the moving plate, and the lower mold. A plurality of screws are provided between the plate and the moving plate, and are arranged around the transfer device. The screws are driven by a servo motor that raises and lowers the moving plate to match and open the upper mold and the lower mold. , A toggle type link located below the transfer device and operated by a pneumatic cylinder, and a servo motor arranged opposite to the pneumatic cylinder. It is made of the mold clamping device comprising a motor drive of the stopper.
【0006】[0006]
【作用】サーボモータの動力をネジを介し移動プレート
を上昇させることにより下型を上型に型合せし、トラン
スファ装置下部のトグル式リンクを空圧シリンダーでサ
ーボモータ駆動のストッパまで作動させ型締めを行な
う。[Function] The power of the servo motor is raised by moving the moving plate through the screw to match the lower mold to the upper mold, and the toggle link at the bottom of the transfer device is operated by the pneumatic cylinder to the stopper of the servo motor drive and the mold is clamped. Do.
【0007】この一連の動作にてサーボモータは移動プ
レート,下型,トランスファ装置のプラス余裕の推力を
有しておればよく、これに比し動作距離は少ないが10
倍以上の推力を要する型締めには、トグル式リンクによ
る倍力機構を空圧シリンダーにて作動させるものであ
る。尚、その時空圧シリンダーの動作限をサーボモータ
駆動のストッパにて調整し、型締圧を調整するものであ
る。In this series of operations, the servomotor has only to have a thrust force of the moving plate, the lower die, and the transfer device. Compared with this, the operating distance is short, but 10
For mold clamping that requires more than twice the thrust, a booster mechanism with a toggle type link is operated by a pneumatic cylinder. At this time, the operation limit of the pneumatic cylinder is adjusted by a stopper driven by a servo motor to adjust the mold clamping pressure.
【0008】[0008]
【実施例】以下、本発明の実施例につき、図1乃至図5
を参照して説明する。図1乃至図5は前述の図6と同一
部分に同一符号を付している。従って、1及び2はタイ
バー3によって上下対向状態に配置固定された下プレー
ト及び上プレート、4は両プレート1・2間に位置して
タイバー3をガイドとして上下移動可能に設けられた移
動プレート、5は上プレート2の下面中央に設けられた
上型、6は移動のプレート4の上面中央に設けられた下
型、7は移動プレート4の下面中央に設けられたトラン
スファ装置、9は前記プレート1と移動プレート4との
間にトランスファ装置7の周囲例えば左右に位置して設
けられた移動プレート4、下型6を上下方向に駆動する
ネジ、10はサーボモータでこの軸端にはプーリ11、
前記ネジ9の下部軸端にはプーリ12が取り付けられ、
これらの両プーリ11,12はベルト13で連結されて
いる。EXAMPLES Examples of the present invention will be described below with reference to FIGS.
Will be described. 1 to 5, the same parts as those in FIG. 6 are designated by the same reference numerals. Therefore, 1 and 2 are a lower plate and an upper plate which are arranged and fixed in a vertically opposed state by the tie bar 3, and 4 is a movable plate which is located between the plates 1 and 2 and is vertically movable with the tie bar 3 as a guide, 5 is an upper die provided at the center of the lower surface of the upper plate 2, 6 is a lower die provided at the center of the upper surface of the moving plate 4, 7 is a transfer device provided at the lower surface of the moving plate 4, and 9 is the plate. 1 and a moving plate 4, a moving plate 4 provided around the transfer device 7, for example, left and right, a screw for driving the lower die 6 in the vertical direction, a servo motor 10 and a pulley 11 at the end of the shaft. ,
A pulley 12 is attached to the lower shaft end of the screw 9,
These pulleys 11 and 12 are connected by a belt 13.
【0009】前記トランスファ装置7の下面と下プレー
ト1の間には図4乃至図5に詳細を示すトグル式リンク
の型締め機構が設けられ、これはトランスファ装置7の
下部にナット14で上下方向に微調整できる構造の上部
軸受15が設けられ、該軸受15と半径R1のリンク1
6はヒンジピン17で連結されている。Between the lower surface of the transfer device 7 and the lower plate 1, a mold clamping mechanism of a toggle type link, which is shown in detail in FIGS. 4 to 5, is provided. Is provided with an upper bearing 15 having a structure that can be finely adjusted, and the bearing 15 and the link 1 having a radius R1.
6 are connected by a hinge pin 17.
【0010】一方下プレート1の上面には下部軸受18
が取り付けられ、前述のリンク16と半径R1=R2の
関係を有するリンク19とはヒンジピン20にて連結さ
れている。前述のリンク16の他端と該リンク19の他
端はヒンジピン21にて連結され、連結部中央にローク
22を有する。前記リンク19とヒンジピン20はピン
23にて固定され、ヒンジピン20の一端にはプーリ2
4が固定される。On the other hand, a lower bearing 18 is provided on the upper surface of the lower plate 1.
Is attached, and the above-mentioned link 16 and the link 19 having the relationship of radius R1 = R2 are connected by a hinge pin 20. The other end of the link 16 and the other end of the link 19 are connected to each other by a hinge pin 21, and a lock 22 is provided at the center of the connecting portion. The link 19 and the hinge pin 20 are fixed by a pin 23, and the pulley 2 is attached to one end of the hinge pin 20.
4 is fixed.
【0011】一方、下プレート1上に設置した回転位置
検出器25の軸端に固定した前記プーリ24と同歯数の
プーリ26がベルト27により連結され、リンク19の
揺動角度と同じ回転位置検出器25が廻る関係をとる。
28は型締めの為にローラ22を押しつけるプレートで
あり、29の型締め用空圧シリンダーのロッド端に固定
される。On the other hand, a pulley 26 having the same number of teeth as the pulley 24 fixed to the shaft end of a rotational position detector 25 installed on the lower plate 1 is connected by a belt 27, and the rotational position is the same as the swing angle of the link 19. The relationship that the detector 25 rotates is taken.
Reference numeral 28 denotes a plate for pressing the roller 22 for mold clamping, which is fixed to the rod end of the mold clamping pneumatic cylinder 29.
【0012】ストッパ30はプレート28がローラ22
を押したとき、同動作軸上で対向して停止しており、ス
トッパとして働くもので、その停止位置はサーボモータ
31からギア32,ネジ33による動力伝達により微妙
な位置設定ができる様になっている。さらにストッパ3
0は、型締めを開放する為にローラ22を押すこともで
きる様になっている。In the stopper 30, the plate 28 is the roller 22.
When is pressed, it stops on the same axis as it opposes and acts as a stopper. The stop position can be set delicately by power transmission from the servo motor 31 by the gear 32 and the screw 33. ing. Further stopper 3
In 0, the roller 22 can be pushed to release the mold clamping.
【0013】さて、上記構成に於て、モールドプレスを
行なう場合、図2に示す移動プレート4が下降の状態に
てサーボモータ10を回動すると、この動力はプーリ1
1,ベルト13を介してプーリ12,12を回動し、ネ
ジ9,9を回動させ下型6を上昇させて上型5に型合わ
せする。この時トランスファ装置7も上昇し、下プレー
ト1から上記ストロークS分離間する。これに合わせト
ランスファ装置7の下面に取り付けられた上部軸受15
も上昇し、リンク16,17及びローラ22は図4に示
す2点鎖線の状態から実線の形となる。この状態にて図
3に示すように空圧シリンダー29を作動させプレート
28をローラ22を介してストッパ30に押し当てトグ
ル作用にてトランスファ装置7を上方に押し付け、この
上方に位置する下型6を上型5に押し付け型締めをす
る。Now, in the above structure, when performing mold pressing, when the servo motor 10 is rotated while the moving plate 4 shown in FIG.
1, the pulleys 12 and 12 are rotated via the belt 13 and the screws 9 and 9 are rotated to raise the lower mold 6 and align the mold with the upper mold 5. At this time, the transfer device 7 also rises, and the stroke S is separated from the lower plate 1. In accordance with this, the upper bearing 15 attached to the lower surface of the transfer device 7
Also, the links 16 and 17 and the roller 22 change from the two-dot chain line state shown in FIG. 4 to the solid line shape. In this state, as shown in FIG. 3, the pneumatic cylinder 29 is operated to press the plate 28 against the stopper 30 via the roller 22 to press the transfer device 7 upward by the toggle action, and the lower die 6 located above this. Is pressed against the upper mold 5 and the mold is clamped.
【0014】このトグル方式は少ない力で大きな推力を
出す機構であるがストロークが少ないと言う欠点があ
り、モールド型の熱により上下の型5,6、移動プレー
ト4、トランスファ装置7により僅かではあるが寸法変
化を生じさせる。この変化による型締め力の変化を防ぐ
為には型締め初めのリンク16,19の角度θ1,θ2
を略一定にする必要がある。この為に前述のサーボモー
タ10にて下型6を上型に型合せした後、ナット14を
回動させリンクの角度θ1,θ2が当初計画値となる様
リンク19の動揺角に応じヒンジピン20,プーリ2
4,ベルト27,プーリ26を介して連動する回転位置
検出器25の値(図示しない)を読みとり調整する。型
締め力の変更はストッパ30の停止位置を変更する事に
より容易に行なうことができる。This toggle system is a mechanism for producing a large thrust with a small force, but has a drawback that the stroke is short, and it is slightly due to the upper and lower molds 5 and 6, the moving plate 4, and the transfer device 7 due to the heat of the mold. Causes a dimensional change. In order to prevent the change in the mold clamping force due to this change, the angles θ1 and θ2 of the links 16 and 19 at the beginning of the mold clamping.
Should be approximately constant. For this purpose, after the lower die 6 is fitted to the upper die by the servo motor 10 described above, the nut 14 is rotated to make the link angles θ1 and θ2 equal to the initially planned values. , Pulley 2
4, the value (not shown) of the rotational position detector 25 that is interlocked via the belt 27 and the pulley 26 is read and adjusted. The mold clamping force can be easily changed by changing the stop position of the stopper 30.
【0015】次に型開きをする場合、リンク16,19
の型締め時の角度が0に近い場合、空圧シリンダー29
を後退させても軸受部の摩擦抵抗に比し、復元力が弱
く、この補助としてサーボモータ10にてネジ9,9を
逆転させ、型開き作動すると同時にサーボモータ31を
作動させてストッパ30にてローラ22を押し、トグル
式リンクのロック状態を外す。Next, when the mold is opened, the links 16 and 19
If the angle when clamping the mold is close to 0, the pneumatic cylinder 29
Even if it is moved backward, the restoring force is weaker than the frictional resistance of the bearing portion. To assist this, the screws 9, 9 are reversely rotated by the servo motor 10 and the mold opening operation is performed, and at the same time, the servo motor 31 is operated to act as the stopper 30. Push the roller 22 to unlock the toggle link.
【0016】本実施例によれば比較的少ない推力で良い
が高速で且つ高い位置精度を要求する型合わせにサーボ
モータを用い、型締めと言う大きな推力を要する部分に
トグル式リンクを空圧シリンダー駆動とした2系統とす
ることにより、油圧レス化が計られ装置のクリーン化,
低振動,低騒音化が計れるようになる。又、トグル式リ
ンクのストッパをサーボモータ駆動としたため、こめ細
かい型締圧力設定ができる様になる事から製品品質上に
おいても有効となる。 (他の実施例)According to the present embodiment, a relatively small thrust is sufficient, but a servomotor is used for mold matching that requires high speed and high position accuracy, and a toggle type link is used in a pneumatic cylinder at a portion requiring a large thrust called mold clamping. By using two systems that are driven, it is possible to reduce hydraulic pressure and make the equipment cleaner.
It will be possible to reduce vibration and noise. Moreover, since the stopper of the toggle type link is driven by the servo motor, it is possible to set the fine mold clamping pressure, which is effective in terms of product quality. (Other embodiments)
【0017】型締め初めの角度調整を自動で行なう為に
第7図a,bに示すようにナットの外周をウォームホイ
ル34とし、ウォーム軸35をモータ36にて回転する
機構をとることも可能である。In order to automatically adjust the angle at the beginning of mold clamping, it is possible to adopt a mechanism in which the outer circumference of the nut is a worm wheel 34 and the worm shaft 35 is rotated by a motor 36, as shown in FIGS. Is.
【0018】[0018]
【発明の効果】本発明は以上の記述で明かな様に、推力
は小さいが、高速で且つ制御の容易なサーボモータ駆動
とすることにより、上型と下型の型合わせ時に上下型の
間に異物をはさみこんだ場合でも、型の損傷を防止でき
ると共に正規の型締め位置に対し異物による移動量の変
化をサーボモータのパルスカウントで検出する事ができ
る。As is apparent from the above description, the present invention employs a servomotor drive which has a small thrust but is high speed and easy to control, so that when the upper die and the lower die are aligned, the space between the upper die and the lower die is increased. Even if a foreign object is sandwiched between the two, it is possible to prevent damage to the mold, and it is possible to detect a change in the movement amount due to the foreign matter with respect to the regular mold clamping position by the pulse count of the servo motor.
【0019】従って薄い異物の検出ができると共に型締
めは高出力の出せるトグル式リンク機構を大きな出力が
容易に出せる空圧シリンダ駆動とし、サーボモータ駆動
のストッパでそのストロークを制御する事によりクリー
ンで且つ低振動,低騒音,高精度型締め圧力設定可能が
計れるという優れた効果を奏する。Therefore, a thin foreign object can be detected, and the mold clamping is a toggle type link mechanism that can output a high output, and a pneumatic cylinder drive that can easily output a large output is used, and the stroke can be controlled by a servo motor drive stopper to achieve a clean. In addition, it has excellent effects of low vibration, low noise, and highly accurate setting of mold clamping pressure.
【図1】本発明の一実施例を示し型締め状態における全
体の正面図、FIG. 1 is an overall front view of a mold clamped state according to an embodiment of the present invention,
【図2】型開き状態における全体の一部を断面した側面
図、FIG. 2 is a side view in which a part of the whole is shown in a mold open state,
【図3】図2と同方向から見た全体の型締め図、FIG. 3 is an overall mold clamping diagram viewed from the same direction as FIG.
【図4】図2および図3に示す型締め部の拡大詳細断面
図、FIG. 4 is an enlarged detailed cross-sectional view of the mold clamping portion shown in FIGS. 2 and 3.
【図5】図4の正面図、5 is a front view of FIG.
【図6】従来例を示す図1相当図、FIG. 6 is a view corresponding to FIG. 1 showing a conventional example,
【図7】型締め高さ調整の変形例を示した図。FIG. 7 is a view showing a modified example of adjusting the mold clamping height.
1は下プレート、 2は上プレート、4は
移動プレート、 5は上型、6は下型、
7はトランスファ装置、9はネジ、
10はサーボモータ、25は回転位
置検出器、 29は空圧シリンダー、30はスト
ッパー、 31はサーボモータ、33はネ
ジ。1 is a lower plate, 2 is an upper plate, 4 is a moving plate, 5 is an upper mold, 6 is a lower mold,
7 is a transfer device, 9 is a screw,
10 is a servo motor, 25 is a rotational position detector, 29 is a pneumatic cylinder, 30 is a stopper, 31 is a servo motor, and 33 is a screw.
Claims (1)
ート及び下プレートと、この上プレート及び下プレート
との間に上下移動可能に設けられた移動プレートと、前
記上プレート下面中央に設けられた上型と、前記移動プ
レート上面中央に前記上プレートと対向するように設け
られた下型と、前記移動プレートの下面中央に設けられ
たトランスファ装置と、前記下プレートと移動プレート
との間にあって前記トランスファ装置の周囲に複数配置
され、この移動プレートを上昇及び下降させて前記上型
と下型とを型合せ及び型開きさせるサーボモータにより
駆動されるネジと、前記下プレートに前記トランスファ
装置の下方に位置して配設されたサーボ駆動ストッパを
有するシリンダ駆動によるトグル型締め装置を具備して
なることを特徴とするモールドプレス装置。1. An upper plate and a lower plate, which are arranged and fixed to face each other in an up-down direction, a moving plate vertically movable between the upper plate and the lower plate, and provided in the center of the lower surface of the upper plate. An upper mold, a lower mold provided at the center of the upper surface of the moving plate so as to face the upper plate, a transfer device provided at the center of the lower surface of the moving plate, and between the lower plate and the moving plate. A plurality of screws, which are arranged around the transfer device, are driven by a servo motor that raises and lowers the moving plate to match and open the upper mold and the lower mold, and the lower plate is provided with a screw of the transfer device. A toggle-type clamping device driven by a cylinder having a servo-driving stopper arranged below. Mold press equipment.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4007060A JPH05192953A (en) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | Mold press device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4007060A JPH05192953A (en) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | Mold press device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05192953A true JPH05192953A (en) | 1993-08-03 |
Family
ID=11655526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4007060A Pending JPH05192953A (en) | 1992-01-20 | 1992-01-20 | Mold press device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05192953A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100516438B1 (en) * | 1997-12-02 | 2005-12-14 | 가부시끼가이샤 사이넥스 | Resin Encapsulation Device |
KR100780738B1 (en) * | 2006-02-23 | 2007-11-29 | 주식회사동서기전 | The squeeze casting-device which becomes accomplished with link structure and lnclined cooling plate |
JP2020062824A (en) * | 2018-10-18 | 2020-04-23 | 東洋機械金属株式会社 | Injection molding machine and injection molding method |
-
1992
- 1992-01-20 JP JP4007060A patent/JPH05192953A/en active Pending
Cited By (3)
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