JPH05182470A - Semiconductor multi-valued memory - Google Patents

Semiconductor multi-valued memory

Info

Publication number
JPH05182470A
JPH05182470A JP3345832A JP34583291A JPH05182470A JP H05182470 A JPH05182470 A JP H05182470A JP 3345832 A JP3345832 A JP 3345832A JP 34583291 A JP34583291 A JP 34583291A JP H05182470 A JPH05182470 A JP H05182470A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valued
memory
semiconductor
signal
read
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3345832A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3324129B2 (en
Inventor
Takeshi Sakata
健 阪田
Kiyoo Ito
清男 伊藤
Shinji Horiguchi
真志 堀口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP34583291A priority Critical patent/JP3324129B2/en
Publication of JPH05182470A publication Critical patent/JPH05182470A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3324129B2 publication Critical patent/JP3324129B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/56Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/56Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency
    • G11C11/565Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using storage elements with more than two stable states represented by steps, e.g. of voltage, current, phase, frequency using capacitive charge storage elements
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/24Bit-line control circuits
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/18Bit line organisation; Bit line lay-out

Abstract

PURPOSE:To provide a semiconductor multi-valued memory discriminating the reading signals of all memory cells driven by the same word line and equalizing the condition of a signal route between the reading signal and a reference signal. CONSTITUTION:This memory is provided with six pieces of sub arrays SAA, SAB constituted by containing a data line DA or DB connected with the memory cell MC and a dummy data line DDA, DDB connected with a dummy cell DC, and they are connected to a multi-valued sense circuit MSC through data generatrices GDA, GDB. Then the reading signal from the data line in the sub memory array SAA and the reference signal from the DB in the SAB are transmitted to the multi-valued sense circuit MSC simultaneously. Thus, the balance of the signal route is taken to the reading signal and the reference signal, and the semiconductor multi-valued memory with high S/N is realized.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、メモリセルに多値の情
報を記憶する半導体多値メモリに係り、特に、高集積密
度にしてしかも高S/N化に好適な半導体多値メモリに
関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor multi-valued memory which stores multi-valued information in a memory cell, and more particularly to a semiconductor multi-valued memory which is suitable for high integration density and high S / N.

【0002】[0002]

【従来の技術】メモリセルに3値以上のN値の情報を蓄
える半導体多値メモリにおいて、N値が書込まれている
メモリセルの情報を判別するためには、(N−1)種の
参照信号に対して、読出し信号の大小の判定が必要であ
る。ダミーセルを用いて参照信号を発生させる方法が、
特開昭61-117796に開示されている。高S/Nな読みだ
し動作を行うためには、読みだし信号に含まれる雑音を
参照信号とで相殺しなければならない。そのため、メモ
リセルからの信号経路とダミーセルからの信号経路との
条件を同じにする必要がある。上記発明では第3図に第
3の実施例として、データ線に接続されるメモリセル
及びダミーセルの個数、ワード線駆動時の雑音発生状
況、列選択回路経由の有無、接続される比較回路の
数のすべてを同じ条件にした構成が示されている。
2. Description of the Related Art In a semiconductor multi-level memory in which memory cells store N-value information of three or more values, to discriminate information of memory cells in which N-values are written, there are (N-1) kinds of information. It is necessary to judge the magnitude of the read signal with respect to the reference signal. The method of generating a reference signal using a dummy cell is
It is disclosed in JP-A-61-117796. In order to perform a high S / N read operation, the noise contained in the read signal must be canceled by the reference signal. Therefore, it is necessary to make the signal path from the memory cell and the signal path from the dummy cell have the same condition. In the above-mentioned invention, as a third embodiment shown in FIG. 3, the number of memory cells and dummy cells connected to the data line, the noise generation state at the time of driving the word line, the presence / absence of passage through the column selection circuit, the number of connected comparison circuits. The configuration is shown under the same conditions for all of.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記発
明では同一ワード線により駆動される全メモリセルの読
みだし信号を判別する方法に関して触れられていない。
DRAMの1トランジスタ1キャパシタセルのように破
壊読み出しを行うメモリセルでは、再書き込みのため
に、1本のワード線により同時に選択される全メモリセ
ルの読みだし信号を判別しなければならない。1個のメ
モリセルの情報を判別するために(N−1)個の比較回
路が必要である。一般に比較回路のレイアウトピッチ
は、メモリセルに比べてはるかに大きいので、同じに選
択されるメモリセル数の(N−1)倍の個数の比較器を
設けることは、レイアウト上不可能である。上記発明
は、ROMのように非破壊読みだしのメモリセルを用い
て、同一ワード線により駆動される多数のメモリセルか
ら一部を選択し、その読みだし信号しか判別しない方式
で、はじめてレイアウト可能となる。
However, the above invention does not mention the method for discriminating the read signals of all the memory cells driven by the same word line.
In a memory cell for destructive reading such as a one-transistor / one-capacitor cell of a DRAM, read-out signals of all memory cells simultaneously selected by one word line must be determined for rewriting. (N-1) comparator circuits are required to determine the information of one memory cell. In general, the layout pitch of the comparison circuit is much larger than that of the memory cells. Therefore, it is impossible in terms of layout to provide (N-1) times as many comparators as the number of memory cells selected in the same manner. The above invention uses a non-destructive read-out memory cell such as a ROM, selects a part from a large number of memory cells driven by the same word line, and discriminates only the read-out signal. Becomes

【0004】また、読みだし信号と参照信号が共に列選
択回路を経由し条件が同じになると述べられているが、
列選択回路の構成に関して触れられていない。列選択回
路内で、寄生容量などの条件が異なり、S/Nの低下に
つながる恐れがある。
It is also stated that both the read signal and the reference signal go through the column selection circuit and the conditions are the same.
No mention is made of the construction of the column selection circuit. The conditions such as parasitic capacitance are different in the column selection circuit, which may lead to a decrease in S / N.

【0005】本発明は、従来技術のこれらの問題点を解
決するためになされたものである。すなわち、本発明の
目的は、同一ワード線により駆動される全メモリセルの
読みだし信号が判別可能で、なおかつ、読みだし信号と
参照信号の信号経路の条件を同じで高S/Nに読みだし
動作を行う半導体多値メモリを実現することである。
The present invention has been made to solve these problems of the prior art. That is, the object of the present invention is to read the read signals of all the memory cells driven by the same word line, and read the read signal and the reference signal at the same signal path condition with high S / N. It is to realize a semiconductor multi-valued memory that operates.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の特徴は、等しい本数の二つのグループに分け
られた複数のデータ線と、それらと交わるように配置さ
れた複数のワード線と、データ線とワード線の所望の交
差部に配置され、少なくとも3値以上であるm値の情報
を記憶保持するメモリセルと、ワード線を駆動すること
によりメモリセルからデータ線に出力される読出し信号
を判別する多値センス回路と、m値の判別に用いられる
(m−1)種類の参照信号を発生させる複数個のダミー
セルを有し、選択されたワード線上の全メモリセルから
読出し信号が対応するデータ線に読出され、一方のグル
ープのデータ線に読出された読みだし信号が少なくとも
(m−1)個を単位として順次多値センス回路に入力さ
れ、他方のグループのデータ線に該読みだし信号の個数
と同数のダミーセルから読出された参照信号と比較され
ることにある。
The features of the present invention for achieving the above-mentioned object are that a plurality of data lines divided into two groups of an equal number and a plurality of word lines arranged so as to intersect with them. And a memory cell which is arranged at a desired intersection of the data line and the word line and stores and holds at least three-valued m-value information, and when the word line is driven, the data is output from the memory cell to the data line. A multi-valued sense circuit for discriminating read signals and a plurality of dummy cells for generating (m-1) types of reference signals used for discriminating m values are provided, and read signals are read from all memory cells on a selected word line. Are read to the corresponding data lines, the read signals read to the data lines of one group are sequentially input to the multi-valued sense circuit in units of at least (m-1), and the read signals of the other group. Is to be compared with the reference signal read said read Heading from the number as many dummy cell signal to the data lines.

【0007】[0007]

【作用】同時に読出されたメモリセルの読みだし信号
を、順次一定の個数づつ選択していくことにより、同一
ワード線により駆動される全メモリセルの読みだし信号
が判別できる。なおかつ、同数の読出し信号と参照信号
を比較することにより、信号経路の条件を揃えて雑音を
同じにして相殺することが可能であり、高S/Nにメモ
リセルの多値情報が判別される。
The read signals of all memory cells driven by the same word line can be discriminated by sequentially selecting a fixed number of read signals of the memory cells read at the same time. Moreover, by comparing the same number of read signals and reference signals, it is possible to make the noise equal by canceling the noise by making the signal path conditions uniform, and it is possible to determine multi-valued information of the memory cell with a high S / N. ..

【0008】[0008]

【実施例】以下、メモリセルMCに2ビット、すなわち
4値を蓄える場合を例にとり、本発明を実施例を用いて
説明する。以下の説明で、i=1,2,3、j=1,
2,3である。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples by taking the case of storing 2 bits, that is, 4 values in the memory cell MC as an example. In the following description, i = 1, 2, 3, j = 1,
A few.

【0009】図1に本発明の第1の実施例を示す。一方
のグループのデータ線がDA、もう一方のグループのデ
ータ線がDBである。二つのグループのデータ線DA,
DBを、さらにそれぞれ三つのデータ線群に分け、メモ
リアレーを6個のサブアレーSAA(1)〜SAA
(3),SAB(1)〜SAB(3)に分割している。
サブアレーSAA(i)あるいはSAB(i)は次のよ
うに構成される。複数のデータ線DAあるいはDBと、
複数のワード線Wとの交差部に、メモリセルMCが配置
される。また、ダミーデータ線DDAあるいはDDB
と、ワード線Wとの交差部に、メモリセルMCと同様に
構成されたダミーセルDC(i)が配置される。DDA
およびDDBは、メモリセルが接続されず、ダミーセル
のみが接続されるので、ダミーデータ線と呼ぶ。DDA
はDAと同じグループに属し、DDBはDBと同じグル
ープに属する。ダミーセルDC(i)は、i番目の参照
信号を発生するように設定される。各データ線、ダミー
データ線はスイッチSWに接続されている。これらのス
イッチSWは、各サブアレー中でいずれか1個だけがオ
ンになるように選択して動作させる。各サブアレー毎の
データ線数は同数とする。サブアレーSAA(i)はデ
ータ母線GDA(i)に、SAB(j)はGDB(j)
に接続されている。データ母線GDA,GDBには、多
値センス回路MSCが接続されている。多値センス回路
MSCは、9個の比較器CP(1,1)〜CP(3,
3)を含んで構成され、比較器CP(i,j)はデータ
母線GDA(i)及びGDB(j)に接続されている。
この図では、Xデコーダ,Yデコーダなどは省略されて
いる。
FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention. The data line of one group is DA and the data line of the other group is DB. Two groups of data lines DA,
The DB is further divided into three data line groups, and the memory array is divided into six sub arrays SAA (1) to SAA.
(3), SAB (1) to SAB (3).
The sub array SAA (i) or SAB (i) is configured as follows. A plurality of data lines DA or DB,
Memory cells MC are arranged at intersections with the plurality of word lines W. In addition, the dummy data line DDA or DDB
And a dummy cell DC (i) configured similarly to the memory cell MC is arranged at the intersection with the word line W. DDA
Since the memory cells are not connected and DDB is connected only to the dummy cells, DDB and DDB are called dummy data lines. DDA
Belongs to the same group as DA, and DDB belongs to the same group as DB. Dummy cell DC (i) is set to generate the i-th reference signal. Each data line and dummy data line are connected to the switch SW. These switches SW are selected and operated so that only one of them is turned on in each sub-array. The number of data lines for each sub-array shall be the same. The sub-array SAA (i) is on the data bus GDA (i) and SAB (j) is on GDB (j).
It is connected to the. A multi-valued sense circuit MSC is connected to the data buses GDA and GDB. The multi-level sense circuit MSC has nine comparators CP (1,1) to CP (3,
3) is included, and the comparator CP (i, j) is connected to the data buses GDA (i) and GDB (j).
In this figure, the X decoder, the Y decoder, etc. are omitted.

【0010】読出し動作は以下のように行う。Xデコー
ダ(図示せず)により選択されたワード線Wを駆動する
ことにより、各サブアレーSAA及びSAB内で各デー
タ線DA及びDBにメモリセルMCから信号が読出され
る。同時に、ダミーデータ線DDA及びDDBにダミー
セルDCから参照信号が読出される。ここで、スイッチ
SWを順次切り換えて、読みだし信号を3個を単位とし
て、多値センス回路MSCで判別していく。3個のサブ
アレーSAAもしくはSABから1個ずつ、読みだし信
号を多値センス回路MSCに入力して判別する。その順
番は任意に設定できる。サブアレーSAA内のデータ線
DAに現われた読みだし信号は、サブアレーSAB内の
ダミーデータ線DDBに現われた参照信号と比較して判
別する。サブアレーSAB内のデータ線DBに現われた
読みだし信号は、サブアレーSAA内のダミーデータ線
DDAに現われた参照信号と比較して判別する。例え
ば、サブアレーSAA(i)内でデータ線DAに接続さ
れたスイッチのいずれか一つをオンにして、データ線D
Aに現れた読出し信号をデータ母線GDA(i)に伝達
する。また、サブアレーSAB(j)内でダミーデータ
線DDBに接続されたスイッチをオンにして、参照信号
をデータ母線GDB(j)に伝達する。図1では、この
時のスイッチSWの状態を示している。多値センス回路
MSC内の比較器CP(i,j)により、データ母線G
DA(i)に伝達された読みだし信号とGDB(j)に
伝達された参照信号が比較される。その結果、サブアレ
ーSAAから伝達された読みだし信号が、多値センス回
路MSCにより判別される。Yデコーダ(図示せず)に
より多値センス回路MSCを選択し、所望のメモリセル
の読み出し信号の判別結果を出力する。
The read operation is performed as follows. By driving the word line W selected by an X decoder (not shown), a signal is read from the memory cell MC to each data line DA and DB in each sub-array SAA and SAB. At the same time, the reference signal is read from the dummy cell DC to the dummy data lines DDA and DDB. Here, the switch SW is sequentially switched, and the read signal is determined by the multi-valued sense circuit MSC in units of three. The read signals are input to the multi-valued sense circuit MSC one by one from the three sub-arrays SAA or SAB for discrimination. The order can be set arbitrarily. The read signal appearing on the data line DA in the sub array SAA is discriminated by comparing with the reference signal appearing on the dummy data line DDB in the sub array SAB. The read signal appearing on the data line DB in the sub array SAB is discriminated by comparing with the reference signal appearing on the dummy data line DDA in the sub array SAA. For example, in the sub-array SAA (i), one of the switches connected to the data line DA is turned on to turn on the data line D.
The read signal appearing at A is transmitted to the data bus GDA (i). In addition, the switch connected to the dummy data line DDB in the sub-array SAB (j) is turned on to transmit the reference signal to the data bus GDB (j). FIG. 1 shows the state of the switch SW at this time. By the comparator CP (i, j) in the multi-valued sense circuit MSC, the data bus G
The read signal transmitted to DA (i) is compared with the reference signal transmitted to GDB (j). As a result, the read signal transmitted from the sub-array SAA is discriminated by the multi-valued sense circuit MSC. The multi-valued sense circuit MSC is selected by a Y decoder (not shown), and the determination result of the read signal of the desired memory cell is output.

【0011】このように、データ線に現われた読みだし
信号を順次多値センス回路MSCに入力して時系列に判
別を行う事により、選択されたワード線W上の全メモリ
セルMCの読みだし信号を判別しても、多値センス回路
MSCの個数が少なくて済む。その結果、多値センス回
路MSCのレイアウトピッチが大きく、十分レイアウト
可能である。
As described above, the read signals appearing on the data lines are sequentially input to the multi-valued sense circuit MSC to make a time-series determination, thereby reading all the memory cells MC on the selected word line W. Even if signals are discriminated, the number of multi-valued sense circuits MSC can be small. As a result, the layout pitch of the multi-valued sense circuit MSC is large and sufficient layout is possible.

【0012】この構成では、データ線とダミーデータ線
について、メモリセルMCとダミーセルDCの構成を同
じにして、線長を等しくすることにより、寄生容量など
の電気的バランスがとれる。また、メモリセルMCとダ
ミーセルDCは、同一のワード線により選択されるの
で、ワード線からカップリングする雑音はデータ線とダ
ミーデータ線で同じになる。さらに、データ母線には、
それぞれ同数のスイッチSWと3個の比較器CPが接続
されているので、これらについても線長を等しくするこ
とにより、電気的バランスがとれる。その結果、メモリ
セルMC及びダミーセルDCから多値センス回路MSC
までの、すべての信号経路についてバランスさせること
ができ、読出し信号と参照信号に含まれる雑音成分を同
じにできる。共通な雑音成分は、比較器で除去されるの
で、高S/Nな読出しが実現できる。
In this structure, the data lines and the dummy data lines have the same structure of the memory cell MC and the dummy cell DC and have the same line length, so that the electrical balance such as parasitic capacitance can be maintained. Since the memory cell MC and the dummy cell DC are selected by the same word line, the noise coupled from the word line is the same for the data line and the dummy data line. In addition, the data bus has
Since the same number of switches SW and three comparators CP are connected to each other, they can be electrically balanced by equalizing the line lengths. As a result, the multi-valued sense circuit MSC is changed from the memory cell MC and the dummy cell DC.
Can be balanced for all signal paths up to, and the noise components included in the read signal and the reference signal can be the same. Since the common noise component is removed by the comparator, high S / N reading can be realized.

【0013】なお、図1では、サブアレーSAA(1)
〜SAA(3),サブアレーSAB(1)〜SAB
(3)の順に並べているが、チップ上での配置はこれに
限定されない。例えば、SAAとSABを交互に並べて
も良い。また、サブアレー内で、データ線,ダミーデー
タ線の順に並べているが、実際の配置はこれに限定され
ない。例えば、ダミーデータ線を複数のデータ線の間に
設けるなど、図1と異なる配置でも良い。
In FIG. 1, the sub array SAA (1) is used.
-SAA (3), sub-array SAB (1) -SAB
Although they are arranged in the order of (3), the arrangement on the chip is not limited to this. For example, SAA and SAB may be arranged alternately. Although the data lines and the dummy data lines are arranged in this order in the sub-array, the actual arrangement is not limited to this. For example, an arrangement different from that of FIG. 1 may be adopted, such as providing dummy data lines between a plurality of data lines.

【0014】図2に本発明の第2の実施例を示す。第1
の実施例では、各サブアレーから、読みだし信号もしく
は参照信号が1個ずつ多値判別回路に伝達されるが、こ
の実施例では、1個のサブアレーから同時に3個の読み
だし信号が多値判別回路に伝達される。またダミーセル
DCが、第1の実施例では各サブアレー内に分散されて
いるが、この実施例ではメモリセルを含まないサブアレ
ー、すなわちダミーサブアレーに集中して配置される。
複数のサブアレーSAA,SABが同数設けられ、ダミ
ーサブアレーDSAA,DSABが設けられる。サブア
レーSAAあるいはSABは、それぞれ次のように構成
される。3本のデータ線DA(1)〜DA(3)あるい
はDB(1)〜DB(3)と、複数のワード線Wとの交
差部に、メモリセルMCが配置される。各データ線DA
あるいはDBに、スイッチSWが接続される。これらの
スイッチSWは、各サブアレーごとに同じ動作をする。
ダミーサブアレーDSAAあるいはDSABは、次のよ
うに構成される。3本のダミーデータ線DDA(1)〜
DDA(3)あるいはDDB(1)〜DDB(3)が設
けられ、ダミーデータ線DDA(i)あるいはDDB
(i)とワード線Wとの交差部に、ダミーセルDC
(i)が設けられる。ダミーセルDC(i)は、i番目
の参照信号を発生するように設定される。各ダミーデー
タ線DDAあるいはDDBに、スイッチSWが接続され
る。サブアレーSAA及びダミーサブアレーDSAA
は、データ母線GDA(1)〜GDA(3)に接続さ
れ、SAB及びDSABはGDB(1)〜GDB(3)
に接続されている。データ母線GDA(1)〜GDA
(3),GDB(1)〜GDB(3)には、図1と同様
に多値センス回路MSCが接続されている。この図で
は、Xデコーダ,Yデコーダなどは省略されている。
FIG. 2 shows a second embodiment of the present invention. First
In this embodiment, one read signal or one reference signal is transmitted from each sub-array to the multilevel discriminator circuit. In this embodiment, however, three read signals are simultaneously discriminated from one subarray. Transmitted to the circuit. Further, the dummy cells DC are dispersed in the respective sub-arrays in the first embodiment, but in this embodiment, they are concentrated and arranged in the sub-array which does not include the memory cells, that is, the dummy sub-array.
The same number of sub-arrays SAA and SAB are provided, and dummy sub-arrays DSAA and DSAB are provided. The sub-array SAA or SAB is configured as follows, respectively. A memory cell MC is arranged at an intersection of three data lines DA (1) to DA (3) or DB (1) to DB (3) and a plurality of word lines W. Each data line DA
Alternatively, the switch SW is connected to DB. These switches SW perform the same operation for each sub array.
The dummy sub array DSAA or DSAB is configured as follows. Three dummy data lines DDA (1)-
DDA (3) or DDB (1) to DDB (3) are provided, and the dummy data line DDA (i) or DDB
At the intersection of (i) and the word line W, the dummy cell DC
(I) is provided. Dummy cell DC (i) is set to generate the i-th reference signal. A switch SW is connected to each dummy data line DDA or DDB. Sub array SAA and dummy sub array DSAA
Are connected to the data buses GDA (1) to GDA (3), and SAB and DSAB are GDB (1) to GDB (3).
It is connected to the. Data bus GDA (1) to GDA
A multi-valued sense circuit MSC is connected to (3) and GDB (1) to GDB (3) as in FIG. In this figure, the X decoder, the Y decoder, etc. are omitted.

【0015】読出し動作は以下のように行う。あるワー
ド線Wを駆動することにより、各サブアレーSAA及び
SAB内で、データ線DA及びDBにそれぞれメモリセ
ルMCから信号が読出される。同時に、ダミーデータ線
DDA及びDDBにダミーセルDCから参照信号が読出
される。ここで、サブアレーごとにスイッチSWを順次
切り換えて、読みだし信号を3個を単位として、多値セ
ンス回路MSCで判別していく。1個のサブアレーSA
AもしくはSABから3個ずつ、読みだし信号を多値セ
ンス回路MSCに入力して判別する。サブアレーを選択
する順番は任意に設定できる。サブアレーSAA内のデ
ータ線DAに現われた読みだし信号は、ダミーサブアレ
ーDSAB内のダミーデータ線DDBに現われた参照信
号と比較して判別する。一方、サブアレーSAB内のデ
ータ線DBに現われた読みだし信号は、ダミーサブアレ
ーDSAA内のダミーデータ線DDAに現われた参照信
号と比較して判別する。例えば、あるサブアレーSAA
内で3個のスイッチSWをオンにして、データ線DA
(i)に現れた読出し信号をデータ母線GDA(i)に
伝達する。また、ダミーサブアレーDSAB内で3個の
スイッチSWをオンにして、ダミーデータ線DDB
(j)に現れた参照信号をデータ母線GDB(j)に伝
達する。図2では、この時のスイッチSWの状態を示し
ている。多値センス回路MSC内の比較器CP(i,
j)により、データ母線GDA(i)に伝達された読み
だし信号とGDB(j)に伝達された参照信号が比較さ
れる。その結果、サブアレーSAAから伝達された読み
だし信号が、多値センス回路MSCにより判別される。
The read operation is performed as follows. By driving a certain word line W, a signal is read from the memory cell MC to the data lines DA and DB in each sub-array SAA and SAB. At the same time, the reference signal is read from the dummy cell DC to the dummy data lines DDA and DDB. Here, the switch SW is sequentially switched for each sub-array, and the read signal is discriminated by the multi-valued sense circuit MSC in units of three. 1 sub array SA
Three read signals from A or SAB are input to the multi-level sense circuit MSC for determination. The order of selecting subarrays can be set arbitrarily. The read signal appearing on the data line DA in the sub array SAA is discriminated by comparing it with the reference signal appearing on the dummy data line DDB in the dummy sub array DSAB. On the other hand, the read signal appearing on the data line DB in the sub array SAB is discriminated by comparing with the reference signal appearing on the dummy data line DDA in the dummy sub array DSAA. For example, a subarray SAA
Turn on the three switches SW in the data line DA
The read signal appearing at (i) is transmitted to the data bus GDA (i). In addition, the three switches SW are turned on in the dummy sub-array DSAB to turn on the dummy data line DDB.
The reference signal appearing at (j) is transmitted to the data bus GDB (j). FIG. 2 shows the state of the switch SW at this time. Comparator CP (i, in the multi-valued sense circuit MSC
j), the read signal transmitted to the data bus GDA (i) is compared with the reference signal transmitted to GDB (j). As a result, the read signal transmitted from the sub-array SAA is discriminated by the multi-valued sense circuit MSC.

【0016】この実施例は、第1の実施例とデータ線及
びダミーデータ線の配置を変えたものである。論理的に
は同一の構成であり、多値センス回路MSCのレイアウ
トピッチが十分大きいことや、読みだし信号と参照信号
の信号経路の条件をそろえて雑音を相殺できるといった
特徴は第1の実施例と同様である。この実施例では、サ
ブアレーごとにデータ母線と接続するので、スイッチS
Wの制御線をサブアレーごとに設ければ良く、レイアウ
トが容易である。
This embodiment is different from the first embodiment in the arrangement of data lines and dummy data lines. The first embodiment is characterized in that the configurations are logically the same, the layout pitch of the multi-valued sense circuit MSC is sufficiently large, and the noise can be canceled by adjusting the conditions of the signal paths of the read signal and the reference signal. Is the same as. In this embodiment, since each sub array is connected to the data bus, the switch S
A W control line may be provided for each sub-array, which facilitates layout.

【0017】なお、図2では、サブアレーSAA,ダミ
ーサブアレーDSAA,サブアレーSAB,ダミーサブ
アレーDSABの順に並べているが、チップ上での配置
はこれに限定されない。例えば、サブアレーSAAの中
間にダミーサブアレーDSABを、SABの中間にDS
AAを配置してもよい。そのような配置では、読出し信
号を発生するサブアレーと、その時の参照信号を発生す
るダミーサブアレーとのチップ上での距離が近づくた
め、位置の違いによる雑音成分の差が小さくなり、さら
に高S/N化できる。
Although the sub array SAA, the dummy sub array DSAA, the sub array SAB, and the dummy sub array DSAB are arranged in this order in FIG. 2, the arrangement on the chip is not limited to this. For example, a dummy sub array DSAB is provided in the middle of the sub array SAA, and a DS is provided in the middle of the SAB.
AA may be arranged. In such an arrangement, since the distance on the chip between the sub-array that generates the read signal and the dummy sub-array that generates the reference signal at that time is small, the difference in the noise component due to the difference in the position is small, and the high S / Can be converted to N.

【0018】図3に本発明の第3の実施例を示す。デー
タ線を対線とし、メモリセルを2交点配置した例であ
る。次のように構成されたサブアレーSAが複数設けら
れる。複数のワード線WA,WB及び2本のダミーワー
ド線DWA,DWBと交差して、6本のデータ線DA
(1)〜DA(3),DB(1)〜DB(3)が配置さ
れる。データ線DAとワード線WAとの交差部及びデー
タ線DBとワード線WBに、メモリセルMCが設けられ
る。データ線DA(i)とダミーワード線DWAとの交
差部及びデータ線DB(j)とダミーワード線DWBと
の交差部にダミーセルDC(i)が設けられる。DWA
及びDWBは、メモリセルMCを選択せず、ダミーセル
DCのみを選択するため、ここではダミーワード線と呼
ぶ。ダミーセルDC(i)は、i番目の参照信号を発生
するように設定される。各データ線DAあるいはDB
に、スイッチSWが接続される。スイッチSWは、サブ
アレーごとに6個ずつ同じ動作を行う。サブアレーSA
は、データ母線GDA(1)〜GDA(3),GDB
(1)〜GDB(3)に接続される。データ母線GDA
(1)〜GDA(3),GDB(1)〜GDB(3)
は、図1と同じ構成の多値センス回路MSCに接続され
る。この図では、Xデコーダ,Yデコーダなどは省略さ
れている。
FIG. 3 shows a third embodiment of the present invention. In this example, the data lines are paired and the memory cells are arranged at two intersections. A plurality of sub-arrays SA configured as follows are provided. Six data lines DA are intersected with the plurality of word lines WA and WB and the two dummy word lines DWA and DWB.
(1) to DA (3) and DB (1) to DB (3) are arranged. Memory cells MC are provided at the intersections of the data lines DA and the word lines WA and at the data lines DB and the word lines WB. Dummy cells DC (i) are provided at the intersections of the data lines DA (i) and the dummy word lines DWA and the intersections of the data lines DB (j) and the dummy word lines DWB. DWA
And DWB do not select the memory cell MC but only the dummy cell DC, and are therefore referred to as dummy word lines here. Dummy cell DC (i) is set to generate the i-th reference signal. Each data line DA or DB
The switch SW is connected to. Six switches SW perform the same operation for each sub-array. Sub array SA
Is a data bus GDA (1) to GDA (3), GDB
(1) to GDB (3). Data bus GDA
(1) to GDA (3), GDB (1) to GDB (3)
Are connected to the multi-valued sense circuit MSC having the same configuration as in FIG. In this figure, the X decoder, the Y decoder, etc. are omitted.

【0019】例えば、データ線DAに接続されたメモリ
セルMCの読出し動作は、以下のように行う。ワード線
WAを駆動することにより、各サブアレーSA内でデー
タ線DAにメモリセルMCから信号が読みだされる。ま
た、ダミーワード線DWBを駆動することにより、各サ
ブアレー内でDWBに接続された3個のダミーセルDC
からデータ線DBにそれぞれ参照信号が読みだされる。
ここで、サブアレーSAごとにスイッチSWを順次切り
換えて、読みだし信号を3個を単位として、多値センス
回路MSCで判別していく。サブアレーを選択する順番
は任意に設定できる。あるサブアレーSAの6個のスイ
ッチSWをオンにして、データ線DA(i)に現れた読
出し信号をデータ母線GDA(i)に、データ線DB
(j)に現れた参照信号をデータ母線GDB(j)に伝
達する。図3では、この時のスイッチSWの状態を示し
ている。多値センス回路MSC内の比較器CP(i,
j)により、データ母線GDA(i)に伝達された読み
だし信号とGDB(j)に伝達された参照信号が比較さ
れる。その結果、サブアレーSAから伝達された読みだ
し信号が、多値センス回路MSCにより判別される。
For example, the read operation of the memory cell MC connected to the data line DA is performed as follows. By driving the word line WA, a signal is read from the memory cell MC to the data line DA in each sub array SA. Further, by driving the dummy word line DWB, three dummy cells DC connected to DWB in each sub-array
To the data line DB, the reference signal is read out.
Here, the switch SW is sequentially switched for each sub-array SA, and the read signal is discriminated by the multi-valued sense circuit MSC in units of three. The order of selecting subarrays can be set arbitrarily. The six switches SW of a certain sub-array SA are turned on, and the read signal appearing on the data line DA (i) is transferred to the data bus GDA (i) and the data line DB.
The reference signal appearing at (j) is transmitted to the data bus GDB (j). FIG. 3 shows the state of the switch SW at this time. Comparator CP (i, in the multi-valued sense circuit MSC
j), the read signal transmitted to the data bus GDA (i) is compared with the reference signal transmitted to GDB (j). As a result, the read signal transmitted from the sub array SA is discriminated by the multi-valued sense circuit MSC.

【0020】データ線DBに接続されたメモリセルMC
の読出し動作も、同様に行う。その場合、ワード線WB
を駆動してデータ線DBにメモリセルMCから信号を読
みだし、ダミーワード線DWAを駆動してデータ線DA
にダミーセルDCから参照信号を読みだす。
Memory cell MC connected to data line DB
The read operation is also performed in the same manner. In that case, the word line WB
To read a signal from the memory cell MC to the data line DB and drive the dummy word line DWA to drive the data line DA.
Then, the reference signal is read from the dummy cell DC.

【0021】第1の実施例及び第2の実施例では、ダミ
ーセルDCはダミーデータ線DDに接続され、メモリセ
ルMCと同一のワード線で選択される。そのため、デー
タ線Dとダミーデータ線DDの条件を同じにするために
は、ダミーセルDCをメモリセルMCと同じ構成にしな
ければならない。それに対してこの実施例では、ダミー
セルDCはメモリセルMCと同じデータ線DA,DBに
接続され、ダミーワード線DWA,DWBで選択され
る。そのため、ダミーセルDCをメモリセルMCと異な
る構成にしても、データ線同士の条件を同じにできる。
また、読みだし信号と同じサブアレー内で発生させた参
照信号を用いるため、位置の違いによる雑音成分の差が
なくなり、高S/N化できる。
In the first and second embodiments, the dummy cell DC is connected to the dummy data line DD and selected by the same word line as the memory cell MC. Therefore, in order to make the conditions of the data line D and the dummy data line DD the same, the dummy cell DC must have the same configuration as the memory cell MC. On the other hand, in this embodiment, the dummy cell DC is connected to the same data lines DA and DB as the memory cell MC and selected by the dummy word lines DWA and DWB. Therefore, even if the dummy cell DC is configured differently from the memory cell MC, the conditions for the data lines can be the same.
Further, since the reference signal generated in the same sub-array as the read signal is used, there is no difference in noise component due to the difference in position, and high S / N can be achieved.

【0022】第1の実施例及び第2の実施例では、メモ
リセルMCとダミーセルDCの個数の比は、1本のワー
ド線上のメモリセルMCを時系列に何回に分けて判別す
るかで定まる。それに対してこの実施例では、1本のデ
ータ線上に何個のメモリセルMCを設けられるかで定ま
る。そのため、場合によっては本実施例の方が、少ない
ダミーセル数で済み、チップ面積が小さくなる。集積度
が高まる。また、通常の2値DRAMでは一般に、メモ
リセルが2交点配置されているので、この実施例のよう
にメモリセルを2交点配置した構成では2値DRAMと
全く同じメモリセル構造にでき、同一プロセスでの製造
が容易である。
In the first and second embodiments, the ratio of the number of memory cells MC to the number of dummy cells DC depends on how many times the memory cells MC on one word line are divided in time series. Determined. On the other hand, in this embodiment, it depends on how many memory cells MC can be provided on one data line. Therefore, in some cases, this embodiment requires a smaller number of dummy cells and a smaller chip area. The degree of integration increases. Further, in a normal binary DRAM, the memory cells are generally arranged at two intersections. Therefore, in the configuration in which the memory cells are arranged at two intersections as in this embodiment, the same memory cell structure as that of the binary DRAM can be obtained and the same process can be performed. Is easy to manufacture.

【0023】図4に本発明の第4の実施例を示す。特願
平2-159665に示されている概念を本発明に応用し、図1
に示した第1の実施例におけるデータ線を2階層にした
例である。6個のブロックBLKA(1)〜BLKA
(3),BLKB(1)〜BLKB(3)が設けられ
る。ブロックのチップ上での配置は、図4での順番に限
定されない。ブロックBLKA(i)あるいはBLKB
(i)は以下のように構成される。ブロック毎に共通デ
ータ線CDA(i)あるいはCDB(i)が設けられ
る。共通データ線CDA(i)あるいはCDB(i)
に、それぞれ複数個のサブアレーSAA(i)あるいは
SAB(i)が信号伝達手段DSを介して接続される。
各サブアレーSAA(i)あるいはSAB(i)は、図
1に示したように構成される。このような構成のブロッ
クBLKA(i)及びBLKB(i)は、バッファ回路
BUFと共通スイッチSWCあるいはSWDを介して、
データ母線GD(i)とダミーデータ母線DGD(i)
に接続される。データ母線GD(1)〜GD(3),ダ
ミーデータ母線DGD(1)〜DGD(3)には、多値
センス回路MSCが接続される。多値センス回路MSC
は、9個の比較器CP(1,1)〜CP(3,3)を含
んで構成され、比較器CP(i,j)はデータ母線GD
(i)とダミーデータ母線DGD(j)に接続されてい
る。この図では、Xデコーダ,Yデコーダなどは省略さ
れている。
FIG. 4 shows a fourth embodiment of the present invention. Applying the concept shown in Japanese Patent Application No. 2-159665 to the present invention, FIG.
It is an example in which the data lines in the first embodiment shown in FIG. 6 blocks BLKA (1) to BLKA
(3) and BLKB (1) to BLKB (3) are provided. The arrangement of the blocks on the chip is not limited to the order shown in FIG. Block BLKA (i) or BLKB
(I) is configured as follows. A common data line CDA (i) or CDB (i) is provided for each block. Common data line CDA (i) or CDB (i)
, A plurality of sub-arrays SAA (i) or SAB (i) are connected to each other via signal transmission means DS.
Each sub-array SAA (i) or SAB (i) is configured as shown in FIG. The blocks BLKA (i) and BLKB (i) having such a configuration are connected via the buffer circuit BUF and the common switch SWC or SWD.
Data bus GD (i) and dummy data bus DGD (i)
Connected to. A multi-valued sense circuit MSC is connected to the data bus lines GD (1) to GD (3) and the dummy data bus lines DGD (1) to DGD (3). Multi-valued sense circuit MSC
Is composed of nine comparators CP (1,1) to CP (3,3), and the comparator CP (i, j) is a data bus GD.
(I) and the dummy data bus DGD (j). In this figure, the X decoder, the Y decoder, etc. are omitted.

【0024】読出し動作は以下のように行う。あるワー
ド線を駆動することにより、各ブロックBLKA,BL
KB内でいずれかのサブアレーSAAあるいはSAB中
のデータ線DAあるいはDBにメモリセルから信号が読
出され、同時にダミーデータ線DDAあるいはDDBに
ダミーセルから参照信号が読出される。3個のブロック
BLKAあるいはBLKBから1個ずつ読みだし信号を
多値センス回路MSCに入力して、読みだし信号3個を
単位として、多値センス回路MSCで判別していく。そ
の順番は任意に設定できる。ブロックBLKA内の読み
だし信号は、ブロックBLKB内の参照信号と比較して
判別する。一方、ブロックBLKB内の読みだし信号
は、ブロックBLKA内の参照信号と比較して判別す
る。ただし、共通スイッチSWC,SWDにより、読み
だし信号はデータ母線GDに参照信号はダミーデータ母
線DGDに伝達する。例えば、ブロックBLKA(i)
中のサブアレーSAA(i)内でデータ線DAに接続さ
れたスイッチSWのいずれか一つをオンにして、データ
線DAに現れた読出し信号を信号伝達手段DSを介して
共通データ線CDA(i)に伝達する。CDA(i)に
伝えられた信号は、さらにバッファ回路BUFと共通ス
イッチSWCを介してデータ母線GD(i)に伝達され
る。また、ブロックBLKB(j)中のサブアレーSA
B(j)内でダミーデータ線DDBに接続されたスイッ
チSWをオンにして、参照信号を信号伝達手段DSを介
し共通データ線CDB(j)を通じ、さらにバッファ回
路BUFと共通スイッチSWDを介してダミーデータ母
線DGD(j)に伝達する。図4では、この時のスイッ
チSWと共通スイッチSWC,SWDの状態を示してい
る。多値センス回路MSC内の比較器CP(i,j)に
より、データ母線GD(i)に伝達された読みだし信号
とダミーデータ母線DGD(j)に伝達された参照信号
が比較される。その結果、サブアレーSAAから伝達さ
れた読みだし信号が、多値センス回路MSCにより判別
される。
The read operation is performed as follows. By driving a certain word line, each block BLKA, BL
In the KB, a signal is read from the memory cell to the data line DA or DB in any sub array SAA or SAB, and at the same time, a reference signal is read from the dummy cell to the dummy data line DDA or DDB. The read signals are input from the three blocks BLKA or BLKB one by one to the multi-valued sense circuit MSC, and the multi-valued sense circuit MSC discriminates by using three read signals as a unit. The order can be set arbitrarily. The read signal in the block BLKA is determined by comparing it with the reference signal in the block BLKB. On the other hand, the read signal in the block BLKB is determined by comparing with the reference signal in the block BLKA. However, the read signal is transmitted to the data bus GD and the reference signal is transmitted to the dummy data bus DGD by the common switches SWC and SWD. For example, block BLKA (i)
One of the switches SW connected to the data line DA in the sub-array SAA (i) therein is turned on, and the read signal appearing on the data line DA is transferred via the signal transmission means DS to the common data line CDA (i. ). The signal transmitted to CDA (i) is further transmitted to data bus GD (i) via buffer circuit BUF and common switch SWC. Also, the sub-array SA in the block BLKB (j)
The switch SW connected to the dummy data line DDB in B (j) is turned on, the reference signal is passed through the signal transmission means DS through the common data line CDB (j), and further through the buffer circuit BUF and the common switch SWD. It is transmitted to the dummy data bus DGD (j). FIG. 4 shows the states of the switch SW and the common switches SWC and SWD at this time. The comparator CP (i, j) in the multi-valued sense circuit MSC compares the read signal transmitted to the data bus GD (i) with the reference signal transmitted to the dummy data bus DGD (j). As a result, the read signal transmitted from the sub-array SAA is discriminated by the multi-valued sense circuit MSC.

【0025】この実施例では、6個のブロックに対して
1個の多値センス回路MSCを設けている。各ブロック
は複数のサブアレーで構成されているので、第1の実施
例に比べ、多くのサブアレーで多値センス回路を共有し
ている。多値センス回路MSCは、9個の比較器CPを
含むため、面積が大きいが、多数のデータ線で共有する
ことにより少ない個数で済み、占有面積を小さくでき
る。共通データ線が付加されているが、サブアレーのピ
ッチでレイアウトすれば良いので、配置は容易である。
また、共通データ線は複数のサブアレーで共有されてい
るので、共通データ線毎にバッファ回路BUFを設けて
も面積増加は小さい。バッファ回路BUFにより、デー
タ母線に接続する比較器CPの入力容量などの容量が、
共通データ線から分離されるので、読みだし動作が高速
に動作が行われる。しかも、第1の実施例と同様に、メ
モリセルMC及びダミーセルDCから多値センス回路M
SCまでの信号経路についてバランスがとれ、高S/N
な読出しが実現できる。この実施例は第1の実施例に基
づいた構成であるが、第2の実施例や第3の実施例につ
いても同様に、特願平2-159665に示されている概念を応
用し、データ線を階層化することにより、多数のサブア
レーで多値センス回路を共有する構成にできる。
In this embodiment, one multi-valued sense circuit MSC is provided for six blocks. Since each block is composed of a plurality of sub-arrays, more sub-arrays share the multi-valued sense circuit than in the first embodiment. Since the multi-valued sense circuit MSC includes nine comparators CP, it has a large area. However, the multi-valued sense circuit MSC shares a large number of data lines with a small number, and the occupied area can be reduced. Although a common data line is added, the layout is easy because the layout can be made at the pitch of the sub array.
Further, since the common data line is shared by the plurality of sub-arrays, the area increase is small even if the buffer circuit BUF is provided for each common data line. By the buffer circuit BUF, the capacitance such as the input capacitance of the comparator CP connected to the data bus is
Since it is separated from the common data line, the read operation is performed at high speed. Moreover, similar to the first embodiment, the multi-valued sense circuit M is connected to the memory cell MC and the dummy cell DC.
The signal path to the SC is well balanced and the S / N ratio is high.
Read out can be realized. Although this embodiment has a configuration based on the first embodiment, the second embodiment and the third embodiment similarly apply the concept shown in Japanese Patent Application No. 2-159665 to obtain data. By hierarchizing the lines, a multi-valued sense circuit can be shared by many sub-arrays.

【0026】この実施例では、共通スイッチSWC,S
WDを設けたことにより、データ母線GDに読出し信号
が、ダミーデータ母線DGDに参照信号が常に伝達され
る。したがって、多値センス回路MSC内で一つの読出
し信号を判別する比較器の組み合わせが、ブロックBL
KA内で読出された信号に対する場合とBLKB内で読
出された信号に対する場合で同じになる。そのため、比
較器の出力信号の処理が容易である。
In this embodiment, the common switches SWC and S
By providing WD, the read signal is always transmitted to the data bus GD and the reference signal is always transmitted to the dummy data bus DGD. Therefore, the combination of comparators for discriminating one read signal in the multi-level sense circuit MSC is the block BL.
The same is true for the signal read in KA and for the signal read in BLKB. Therefore, it is easy to process the output signal of the comparator.

【0027】以下、第4の実施例を例にとり、具体的な
回路構成と動作を説明する。図4と同一の符号は同一部
分を示している。
A specific circuit configuration and operation will be described below by taking the fourth embodiment as an example. 4 that are the same as those in FIG. 4 indicate the same parts.

【0028】図5は、ブロックBLKA(1)の構成を
示す図である。ブロックBLKA(2),BLKA
(3)は、BLKA(1)と同様の構成で同一の制御パ
ルスにより制御される。複数本のワード線Wと複数本の
データ線DAの交差部にそれぞれ、一個のNMOSトラ
ンジスタと一個の蓄積容量から成るメモリセルMCが設
けられる。また、ワード線Wとダミーデータ線DDAの
交差部に、メモリセルMCと同じ構成のダミーセルDC
(1)が複数個設けられる。複数のデータ線DAとダミ
ーデータ線DDAは、NMOSトランジスタで構成され
るプリチャージ回路PDに接続される。また、スイッチ
SWとして動作する複数のNMOSトランジスタからな
るスイッチ回路SWAにも接続される。以上でサブアレ
ーSAA(1)が構成されている。スイッチ回路SWA
は、3個のNMOSトランジスタQ1〜Q3で構成され
る信号伝達手段DSに接続される。信号伝達手段DS内
のトランジスタQ1のゲート端子には、共通プリチャー
ジ回路PDAが接続される。トランジスタQ2及びQ3
のドレイン端子は共通データ線CDA(1)に接続され
る。
FIG. 5 is a diagram showing the configuration of the block BLKA (1). Block BLKA (2), BLKA
(3) has the same configuration as BLKA (1) and is controlled by the same control pulse. A memory cell MC including one NMOS transistor and one storage capacitor is provided at each intersection of the plurality of word lines W and the plurality of data lines DA. At the intersection of the word line W and the dummy data line DDA, the dummy cell DC having the same structure as the memory cell MC is formed.
A plurality of (1) are provided. The plurality of data lines DA and the dummy data lines DDA are connected to the precharge circuit PD composed of NMOS transistors. Further, it is also connected to a switch circuit SWA composed of a plurality of NMOS transistors that operate as a switch SW. The sub array SAA (1) is configured as described above. Switch circuit SWA
Is connected to a signal transmission means DS composed of three NMOS transistors Q1 to Q3. The common precharge circuit PDA is connected to the gate terminal of the transistor Q1 in the signal transmission means DS. Transistors Q2 and Q3
The drain terminal of is connected to the common data line CDA (1).

【0029】図6は、ブロックBLKB(1)の構成を
示す図である。サブアレーSAB(1)はSAA(1)
と同様の構成であるが、データ線をDB,ダミーデータ
線をDDB,共通データ線をCDB(1)と呼ぶ。ま
た、制御パルスFPDAで制御される共通プリチャージ
回路PDAの代わりに、制御パルスFPDBで制御され
る共通プリチャージ回路PDBが設けられる。制御パル
スFSAD,FSA(1)〜FSA(t)で制御される
スイッチ回路SWAの代わりに、制御パルスFSBD,
FSB(1)〜FSB(t)で制御されるスイッチ回路
SWBが設けられる。すなわち、ブロックBLKB
(1)はBLKA(1)と同様に構成されているが、制
御パルスが異なっている。ブロックBLKA(2),B
LKB(3)は、BLKB(1)と同様の構成で同一の
制御パルスにより制御される。
FIG. 6 is a diagram showing the structure of the block BLKB (1). Sub-array SAB (1) is SAA (1)
The data line is called DB, the dummy data line is called DDB, and the common data line is called CDB (1). Further, instead of the common precharge circuit PDA controlled by the control pulse FPDA, a common precharge circuit PDB controlled by the control pulse FPDB is provided. Instead of the switch circuit SWA controlled by the control pulses FSAD, FSA (1) to FSA (t), control pulses FSBD,
A switch circuit SWB controlled by FSB (1) to FSB (t) is provided. That is, the block BLKB
(1) has the same configuration as BLKA (1), but the control pulse is different. Block BLKA (2), B
LKB (3) has the same configuration as BLKB (1) and is controlled by the same control pulse.

【0030】図5及び図6に示したように、各サブアレ
ーは、PMOSトランジスタを含まず、n型ウェルが不
要である。したがって、ウェル分離領域を必要としな
い。
As shown in FIGS. 5 and 6, each subarray does not include a PMOS transistor and does not require an n-type well. Therefore, no well isolation region is needed.

【0031】図7は、ブロックBLKA(1)に接続さ
れるバッファ回路BUFなどを示す図である。ブロック
BLKA(2),BLKA(3)にも、同様な構成の回
路が接続され同一の制御パルスにより制御される。共通
データ線CDA(1)は、バッファ回路BUFと書き込
み用スイッチSWEに接続される。バッファ回路BUF
は、2個のPMOSトランジスタQ4,Q5と差動増幅
器DAMPで構成される。差動増幅器DAMPの出力端
子は、共通スイッチSWCを介して、データ母線GD
(1)及びダミーデータ母線DGD(1)に接続され
る。また、書込み用スイッチSWEも、データ母線GD
(1)及びダミーデータ母線DGD(1)に接続され
る。
FIG. 7 is a diagram showing a buffer circuit BUF and the like connected to the block BLKA (1). The blocks BLKA (2) and BLKA (3) are also connected to circuits having the same configuration and controlled by the same control pulse. The common data line CDA (1) is connected to the buffer circuit BUF and the write switch SWE. Buffer circuit BUF
Is composed of two PMOS transistors Q4 and Q5 and a differential amplifier DAMP. The output terminal of the differential amplifier DAMP is connected to the data bus GD via the common switch SWC.
(1) and the dummy data bus DGD (1). In addition, the write switch SWE is also connected to the data bus GD.
(1) and the dummy data bus DGD (1).

【0032】図8は、ブロックBLKB(1)に接続さ
れるバッファ回路BUFなどを示す図である。図7と同
様な構成であるが、制御パルスFSC,FSCDで制御
される共通スイッチSWCの代わりに、制御パルスFS
D,FSDDで制御される共通スイッチSWDが設けら
れる。また、制御パルスFSE,FSEDで制御される
書込み用スイッチSWEの代わりに、制御パルスFS
F,FSFDで制御される書込み用スイッチSWFが設
けられる。すなわち、ブロックBLKB(1)には、B
LKA(1)と同様な構成の回路が接続されるが、制御
パルスが異なっている。ブロックBLKA(2),BL
KB(3)にも、図8と同様な構成の回路が接続され同
一の制御パルスにより制御される。
FIG. 8 is a diagram showing a buffer circuit BUF and the like connected to the block BLKB (1). 7 has the same configuration as that of FIG. 7, but instead of the common switch SWC controlled by the control pulses FSC and FSCD, the control pulse FS
A common switch SWD controlled by D and FSDD is provided. Further, instead of the write switch SWE controlled by the control pulses FSE and FSED, the control pulse FS
A write switch SWF controlled by F and FSFD is provided. That is, in the block BLKB (1), B
A circuit having the same configuration as LKA (1) is connected, but the control pulse is different. Block BLKA (2), BL
A circuit having the same configuration as in FIG. 8 is also connected to KB (3) and controlled by the same control pulse.

【0033】図9は、多値センス回路MSCの構成を示
している。データ母線GD(1)〜GD(3)及びダミ
ーデータ母線DGD(1)〜DGD(3)に接続される
多値センス回路MSCは、それぞれ3個ずつ同じ構成の
多値判別回路MLR(1)〜MLR(3)、レジスタ回
路MDR(1)〜MDR(3)、多値書込み回路MLW
(1)〜MLW(3)と、共通書込み用スイッチ回路S
WWで構成される。多値判別回路MLR(i)は、デー
タ母線GD(i)とダミーデータ母線DGD(j)に接
続された3個の比較器CP(i,j)で構成される。レ
ジスタ回路MDR(i)は、それぞれ複数ビットを記憶
する3個のレジスタDR(i,1)〜DR(i,3)で
構成され、比較器CP(i,1)〜CP(i,3)の出
力信号が入力される。これらのレジスタは、最初に入力
された情報が最初に出力される構成(FIFO)であ
る。レジスタ回路MDR(i)は、多値書込み回路ML
W(i)の入力端子に接続される。多値書込み回路ML
W(i)の出力端子は、共通書込み用スイッチ回路SW
W内のNMOSトランジスタを介して、データ母線GD
(i)に接続される。また、参照信号電圧VREF
(j)が、共通書込み用スイッチ回路SWW内のNMO
Sトランジスタを介して、ダミーデータ母線DGD
(j)に接続される。多値書込み回路MLW(1)〜M
LW(3)は、例えば特願平2-322967の第12図に4値
の場合について示されているような構成で実現できる。
FIG. 9 shows the structure of the multi-valued sense circuit MSC. The multi-valued sense circuits MSC connected to the data bus lines GD (1) to GD (3) and the dummy data bus lines DGD (1) to DGD (3) each have three multi-valued determination circuits MLR (1) having the same configuration. -MLR (3), register circuits MDR (1) -MDR (3), multi-value write circuit MLW
(1) to MLW (3) and common write switch circuit S
It is composed of WW. The multi-value discrimination circuit MLR (i) is composed of three comparators CP (i, j) connected to the data bus GD (i) and the dummy data bus DGD (j). The register circuit MDR (i) is composed of three registers DR (i, 1) to DR (i, 3) each storing a plurality of bits, and has comparators CP (i, 1) to CP (i, 3). The output signal of is input. These registers have a configuration (FIFO) in which the first input information is first output. The register circuit MDR (i) is a multilevel write circuit ML.
It is connected to the input terminal of W (i). Multi-value writing circuit ML
The output terminal of W (i) is a common write switch circuit SW
Data bus GD via NMOS transistor in W
Connected to (i). In addition, the reference signal voltage VREF
(J) is the NMO in the common write switch circuit SWW
Dummy data bus DGD via S-transistor
Connected to (j). Multi-value writing circuit MLW (1) to M
The LW (3) can be realized, for example, by the configuration as shown in FIG. 12 of Japanese Patent Application No. 2-322967 for four values.

【0034】図10は、図5から図9に示した第4の実
施例の具体的構成について、読出し動作のタイミングを
示す図である。これを用いて、読出し動作を説明する。
待機状態では、制御パルスFPD,FPDA,FPDB
を高電位VCCとし、FSA(1)〜FSA(t),F
SAD,FSB(1)〜FSB(t),FSBDをワー
ド線電位(VCC+α)として、各サブアレー内のデー
タ線DA,DB及びダミーデータ線DDA,DDBとス
イッチ回路SWA,SWBをプリチャージ電位VPにプ
リチャージしておく。まず、制御パルスFPD,FSA
(1)〜FSA(t),FSAD,FSB(1)〜FS
B(t),FSBDを低電位0Vにして、プリチャージ
回路PD及びスイッチ回路SWA,SWB内のトランジ
スタをオフにし、データ線DA,DB及びダミーデータ
線DDA,DDBをプリチャージ電位VPのフローティ
ング状態とする。次に、Xデコーダ(図示せず)により
選択されたワード線Wをワード線電位(VCC+α)に
上げ、それに接続されたメモリセルMCから信号をデー
タ線DA,DBに、ダミーセルDCから参照信号をダミ
ーデータ線DDA,DDBに読出す。ここで、制御パル
スFDRを高電位VCCに、FBUFを低電位0Vにし
て、信号伝達手段DSとバッファ回路BUFを動作状態
にする。
FIG. 10 is a diagram showing the timing of the read operation for the specific configuration of the fourth embodiment shown in FIGS. 5 to 9. The read operation will be described using this.
In the standby state, control pulses FPD, FPDA, FPDB
Is a high potential VCC, and FSA (1) to FSA (t), F
SAD, FSB (1) to FSB (t), FSBD are used as the word line potential (VCC + α), and the data lines DA, DB and the dummy data lines DDA, DDB and the switch circuits SWA, SWB in each sub-array are set to the precharge potential VP. Precharge. First, control pulses FPD, FSA
(1) to FSA (t), FSAD, FSB (1) to FS
B (t) and FSBD are set to a low potential of 0V, the transistors in the precharge circuit PD and the switch circuits SWA and SWB are turned off, and the data lines DA and DB and the dummy data lines DDA and DDB are in a floating state of the precharge potential VP. And Next, the word line W selected by the X decoder (not shown) is raised to the word line potential (VCC + α), a signal is output from the memory cell MC connected thereto to the data lines DA and DB, and a reference signal is input from the dummy cell DC. The dummy data lines DDA and DDB are read. Here, the control pulse FDR is set to the high potential VCC and FBUF is set to the low potential 0V to activate the signal transmission means DS and the buffer circuit BUF.

【0035】このとき、信号伝達手段DSで、NMOS
トランジスタQ1のゲートに入力された電圧に応じた電
流が、共通データ線CDAあるいはCDBからトランジ
スタQ2を通じてQ1に流れ込む。すなわち、信号電圧
が信号電流に変換されて出力される。スイッチ回路SW
A,SWBから見た信号伝達手段DSの入力インピーダ
ンスは大きい。共通データ線CDAあるいはCDBの配
線容量などが加わらないため、データ線容量が小さく、
読みだし信号が大きいので、高S/Nに読みだし動作が
行われる。信号伝達手段DSの出力電流は、バッファ回
路BUFのPMOSトランジスタQ4からQ5を通じて
流れる。共通データ線CDAあるいはCDBの電圧が差
動増幅器DAMPに入力され、バイアス電位VBと差動
増幅されて、その出力がトランジスタQ4のゲートに加
わる。負帰還により、共通データ線CDAあるいはCD
Bから見たバッファ回路BUFの入力インピーダンスが
小さく、共通データ線CDAあるいはCDBの電位はバ
イアス電位VBとほぼ同じになる。共通データ線CDA
あるいはCDBの電位変動が小さく、配線容量が充放電
されないため、高速に信号が伝達される。バッファ回路
BUFの差動アンプDAMPの出力電圧が、共通スイッ
チSWCあるいはSWDへ伝達される。すなわち、信号
伝達手段DSの出力電流がバッファ回路BUFにより電
圧に変換される。
At this time, the signal transmission means DS causes the NMOS
A current corresponding to the voltage input to the gate of the transistor Q1 flows into the transistor Q1 from the common data line CDA or CDB through the transistor Q2. That is, the signal voltage is converted into a signal current and output. Switch circuit SW
The input impedance of the signal transmission means DS viewed from A and SWB is large. Since the wiring capacitance of the common data line CDA or CDB is not added, the data line capacitance is small,
Since the read signal is large, the read operation is performed at a high S / N. The output current of the signal transmission means DS flows through the PMOS transistors Q4 to Q5 of the buffer circuit BUF. The voltage of the common data line CDA or CDB is input to the differential amplifier DAMP, differentially amplified with the bias potential VB, and the output is applied to the gate of the transistor Q4. By negative feedback, common data line CDA or CD
The input impedance of the buffer circuit BUF seen from B is small, and the potential of the common data line CDA or CDB becomes almost the same as the bias potential VB. Common data line CDA
Alternatively, since the potential fluctuation of CDB is small and the wiring capacitance is not charged / discharged, a signal is transmitted at high speed. The output voltage of the differential amplifier DAMP of the buffer circuit BUF is transmitted to the common switch SWC or SWD. That is, the output current of the signal transmission means DS is converted into a voltage by the buffer circuit BUF.

【0036】ブロックBLKA中のサブアレーSAA内
のデータ線DAに現れた読出し信号を先に判別する。制
御パルスFSCDを高電位VCCにし、共通スイッチS
WCにより、サブアレーSAA(i)の信号をデータ母
線GD(i)に伝達する。また、制御パルスFSDDを
高電位VCCにし、共通スイッチSWDにより、サブア
レーSAB(j)の信号をダミーデータ母線DGD
(j)に伝達する。制御パルスFPDA,FPDBを低
電位0Vにして共通プリチャージ回路PDA,PDBを
オフにする。FSA(1)をワード線電位(VCC+
α)に上げ、サブアレーSAA(1)〜SAA(3)
で、スイッチ回路SWAにより信号伝達手段DSにデー
タ線DAを接続する。サブアレーSAA(i)中のデー
タ線DAから読出し信号が、スイッチ回路SWA,信号
伝達手段DS,共通データ線CDA(i),バッファ回
路BUF,共通スイッチSWC,データ母線GD(i)
を介して、多値センス回路MSC中の多値判別回路ML
R(i)内の3個の比較器CP(i,1)〜CP(i,
3)に入力される。同時に、FSBDをワード線電位
(VCC+α)に上げ、サブアレーSAB(1)〜SA
B(3)で、スイッチ回路SWBにより信号伝達手段D
Sにダミーデータ線DDBを接続する。サブアレーSA
B(j)中のダミーデータ線DDAから参照信号が、ス
イッチ回路SWB,信号伝達手段DS,共通データ線C
DB(j),バッファ回路BUF,共通スイッチSW
D,ダミーデータ母線DGD(j)を介して、多値セン
ス回路MSC中の3個の比較器CP(1,j)〜CP
(3,j)に入力される。比較器でそれぞれ、読出し信
号と参照信号の比較が行われ、MLR(i)での比較結
果がレジスタ回路MDR(i)に入力され蓄えられる。
そして、制御パルスFSA(1)を低電位0Vにし、サ
ブアレーSAA(1)〜SAA(3)で、データ線DA
を信号伝達手段DSから切り離す。また、FPDAを高
電位VCCに上げ、共通プリチャージ回路PDAによ
り、スイッチ回路SWAと信号伝達手段DSの接続部分
をプリチャージする。以下、制御パルスFSAをFSA
(t)まで順次ワード線電位(VCC+α)に上げ、デ
ータ線DA上の読出し信号を、多値センス回路MSCに
伝達し、多値判別回路MLR(1)〜MLR(3)によ
る判別とレジスタ回路MDR(1)〜MDR(3)への
格納を行う。このとき、制御パルスFSAのカップリン
グ雑音の影響を参照信号にも加えるために、制御パルス
FSBDは一旦低電位0Vにしてワード線電位(VCC
+α)に戻すことを繰り返す。そして、制御パルスFS
BD,FSC,FSDDを低電位0Vに戻す。制御パル
スFPDB,FPDAを高電位VCCにし、共通プリチ
ャージ回路PDA,PDBにより、スイッチ回路SW
A,SWBと信号伝達手段DSの接続部分をプリチャー
ジする。
The read signal appearing on the data line DA in the sub-array SAA in the block BLKA is first discriminated. The control pulse FSCD is set to the high potential VCC, and the common switch S
The signal of the sub-array SAA (i) is transmitted to the data bus GD (i) by the WC. Further, the control pulse FSDD is set to the high potential VCC, and the signal of the sub array SAB (j) is transferred to the dummy data bus DGD by the common switch SWD.
It is transmitted to (j). The control pulses FPDA and FPDB are set to a low potential of 0 V to turn off the common precharge circuits PDA and PDB. FSA (1) is connected to the word line potential (VCC +
α), sub-array SAA (1) ~ SAA (3)
Then, the data line DA is connected to the signal transmission means DS by the switch circuit SWA. The read signal from the data line DA in the sub-array SAA (i) is read by the switch circuit SWA, the signal transmission means DS, the common data line CDA (i), the buffer circuit BUF, the common switch SWC, and the data bus GD (i).
Via the multivalued sense circuit MSC
Three comparators CP (i, 1) to CP (i, in R (i)
Input to 3). At the same time, FSBD is raised to the word line potential (VCC + α), and sub-arrays SAB (1) to SAB
At B (3), the signal transmission means D is generated by the switch circuit SWB.
The dummy data line DDB is connected to S. Sub array SA
The reference signal from the dummy data line DDA in B (j) is the switch circuit SWB, the signal transmission means DS, and the common data line C.
DB (j), buffer circuit BUF, common switch SW
D, through the dummy data bus DGD (j), the three comparators CP (1, j) to CP in the multi-valued sense circuit MSC.
Input to (3, j). The comparator compares the read signal with the reference signal, and the comparison result of MLR (i) is input to and stored in the register circuit MDR (i).
Then, the control pulse FSA (1) is set to a low potential of 0 V, and the data lines DA are set by the sub-arrays SAA (1) to SAA (3).
Is disconnected from the signal transmission means DS. Further, FPDA is raised to the high potential VCC, and the common precharge circuit PDA precharges the connection portion between the switch circuit SWA and the signal transmission means DS. Hereinafter, the control pulse FSA is changed to FSA.
Up to (t), the word line potential (VCC + α) is sequentially increased, the read signal on the data line DA is transmitted to the multi-valued sense circuit MSC, and the determination and the register circuit by the multi-valued determination circuits MLR (1) to MLR (3) are performed. The data is stored in MDR (1) to MDR (3). At this time, in order to add the influence of the coupling noise of the control pulse FSA to the reference signal, the control pulse FSBD is once set to the low potential 0V and the word line potential (VCC).
Repeat returning to + α). Then, the control pulse FS
BD, FSC, and FSDD are returned to low potential 0V. The control pulses FPDB and FPDA are set to the high potential VCC, and the common precharge circuits PDA and PDB are used to switch the switch circuit SW.
The connection portion between A and SWB and the signal transmission means DS is precharged.

【0037】引き続き、ブロックBLKB中のサブアレ
ーSAB内のデータ線DBに現れた読出し信号を判別す
る。制御パルスFSCDを高電位VCCにし、共通スイ
ッチSWCにより、サブアレーSAA(j)の信号をダ
ミーデータ母線DGD(j)に伝達する。また、制御パ
ルスFSDを高電位VCCにし、共通スイッチSWDに
より、サブアレーSAB(i)の信号をデータ母線GD
(i)に伝達する。制御パルスFPDA,FPDBを低
電位0Vにして共通プリチャージ回路PDA,PDBを
オフにする。FSB(1)をワード線電位(VCC+
α)に上げ、サブアレーSAB(1)〜SAB(3)
で、スイッチ回路SWBにより信号伝達手段DSにデー
タ線DBを接続する。サブアレーSAB(i)中のデー
タ線DBから読出し信号が、スイッチ回路SWB,信号
伝達手段DS,共通データ線CDB(i),バッファ回
路BUF,共通スイッチSWD,データ母線GD(i)
を介して、多値センス回路MSC中の多値判別回路ML
R(i)内の3個の比較器CP(i,1)〜CP(i,
3)に入力される。同時に、FSADをワード線電位
(VCC+α)に上げ、サブアレーSAA(1)〜SA
A(3)で、スイッチ回路SWAにより信号伝達手段D
Sにダミーデータ線DDAを接続する。サブアレーSA
A(j)中のダミーデータ線DDAから参照信号が、ス
イッチ回路SWA,信号伝達手段DS,共通データ線C
DA(j),バッファ回路BUF,共通スイッチSW
C,ダミーデータ母線DGD(j)を介して、多値セン
ス回路MSC中の3個の比較器CP(1,j)〜CP
(3,j)に入力される。比較器でそれぞれ、読出し信
号と参照信号の比較が行われ、その結果がレジスタ回路
MDR(1)〜MDR(3)に入力され蓄えられる。次
に、サブアレーSAB(1)〜SAB(3)について、
制御パルスFSB(1)を低電位0Vにし、FPDBを
高電位VCCに上げ、共通プリチャージ回路PDBによ
り、スイッチ回路SWBと信号伝達手段DSの接続部分
をプリチャージする。以下、制御パルスFSBをFSB
(t)まで順次ワード線電位(VCC+α)に上げ、デ
ータ線DB上の読出し信号を、多値センス回路MSCに
伝達し、多値判別回路MLR(1)〜MLR(3)によ
る判別とレジスタ回路MDR(1)〜MDR(3)への
格納を行う。このとき、制御パルスFSBのカップリン
グ雑音の影響を参照信号にも加えるために、制御パルス
FSADは一旦低電位0Vにしてワード線電位(VCC
+α)に戻すことを繰り返す。そして、制御パルスFS
AD,FSCD,FSDを低電位0Vに戻す。また、制
御パルスFDRを低電位0Vに、FBUFを高電位VC
Cにして、信号伝達手段DSとバッファ回路BUFを非
動作状態にする。
Subsequently, the read signal appearing on the data line DB in the sub array SAB in the block BLKB is discriminated. The control pulse FSCD is set to the high potential VCC, and the signal of the sub array SAA (j) is transmitted to the dummy data bus DGD (j) by the common switch SWC. Further, the control pulse FSD is set to the high potential VCC, and the signal of the sub array SAB (i) is sent to the data bus GD by the common switch SWD.
Communicate to (i). The control pulses FPDA and FPDB are set to a low potential of 0 V to turn off the common precharge circuits PDA and PDB. FSB (1) is connected to the word line potential (VCC +
α), sub array SAB (1) ~ SAB (3)
Then, the data line DB is connected to the signal transmission means DS by the switch circuit SWB. The read signal from the data line DB in the sub-array SAB (i) is the switch circuit SWB, the signal transmission means DS, the common data line CDB (i), the buffer circuit BUF, the common switch SWD, the data bus GD (i).
Via the multivalued sense circuit MSC
Three comparators CP (i, 1) to CP (i, in R (i)
Input to 3). At the same time, FSAD is raised to the word line potential (VCC + α), and sub-arrays SAA (1) to SA
At A (3), the signal transmission means D is generated by the switch circuit SWA.
The dummy data line DDA is connected to S. Sub array SA
The reference signal from the dummy data line DDA in A (j) is the switch circuit SWA, the signal transmission means DS, and the common data line C.
DA (j), buffer circuit BUF, common switch SW
C, through the dummy data bus DGD (j), the three comparators CP (1, j) to CP in the multi-valued sense circuit MSC.
Input to (3, j). Each of the comparators compares the read signal and the reference signal, and the result is input to and stored in the register circuits MDR (1) to MDR (3). Next, regarding the sub arrays SAB (1) to SAB (3),
The control pulse FSB (1) is set to the low potential 0V, the FPDB is raised to the high potential VCC, and the common precharge circuit PDB precharges the connection portion between the switch circuit SWB and the signal transmission means DS. Hereinafter, the control pulse FSB is set to FSB.
The word line potential (VCC + α) is sequentially increased until (t), the read signal on the data line DB is transmitted to the multi-valued sense circuit MSC, and the multi-valued determination circuits MLR (1) to MLR (3) perform the determination and the register circuit. The data is stored in MDR (1) to MDR (3). At this time, in order to add the influence of the coupling noise of the control pulse FSB to the reference signal as well, the control pulse FSAD is once set to the low potential 0 V and the word line potential (VCC).
Repeat returning to + α). Then, the control pulse FS
AD, FSCD, FSD are returned to low potential 0V. In addition, the control pulse FDR is set to low potential 0V and FBUF is set to high potential VC.
Then, the signal transmission means DS and the buffer circuit BUF are set to C so as to be inoperative.

【0038】図11は、図10に示した読出し動作のあ
とに行われる再書込み動作のタイミングを示す図であ
る。まず、サブアレーSAA(1)〜SAA(3)に蓄
積電圧を伝達する。制御パルスFSA(1)を上げるこ
とにより、サブアレーSAA(i)内で、読みだし信号
の判別が最初に行われたデータ線DAを、スイッチ回路
SWAにより信号伝達手段DSに接続する。制御パルス
FDWをワード線電位(VCC+α)に上げ、サブアレ
ーSAA(i),SAB(j)内で、信号伝達手段DS
のトランジスタQ3により、スイッチ回路SWAもしく
はSWBを共通データ線CDA(i)あるいはCDB
(j)に接続する。また、制御パルスFSEをワード線
電位(VCC+α)に上げ、共通データ線CDA(i)
を書き込み用スイッチSWEによりデータ母線GD
(i)に接続する。さらに、制御パルスFWをワード線
電位(VCC+α)に上げ、データ母線GD(i)を、
多値センス回路MSC内で共通書込み用スイッチ回路S
WWにより多値書込み回路MLW(i)に接続する。以
上により、サブアレーSAA(i)内のデータ線DA
が、スイッチ回路SWA,信号伝達手段DS,共通デー
タ線CDA(i),書き込み用スイッチSWE,データ
母線GD(i),共通書込み用スイッチ回路SWWを介
して、多値書込み回路MLW(i)に接続される。ここ
で、レジスタ回路MDR(i)から、サブアレーSAA
(i)内のデータ線DAに現れた読出し信号の判別結果
を、多値書込み回路MLW(i)に伝達する。例えば、
レジスタ回路MDR(1)内のレジスタDR(1,1)
〜DR(1,3)から1ビットずつを、多値書込み回路
MLW(1)に伝達する。それに応じて、m値の蓄積電
圧のいずれかが、多値書込み回路MLW(i)から出力
され、サブアレーSAA(i)内のデータ線DAに伝達
される。制御パルスFSA(1)を下げることにより、
サブアレーSAA(i)内で、データ線DAがスイッチ
回路SWBにより信号伝達手段DSから切り離される。
以下、制御パルスFSAをFSA(t)まで順次ワード
線電位(VCC+α)に上げて同様な動作を繰返し、レ
ジスタ回路MDRに蓄えていた読出し信号の判別結果に
応じた蓄積電圧を、多値書込み回路MLWからサブアレ
ーSAA内のデータ線DAに伝達する。その後、制御パ
ルスFSEを低電位0Vに下げ、ブロックBLKA
(i)の共通データ線CDA(i)をデータ母線GD
(i)から分離する。
FIG. 11 is a diagram showing the timing of the rewriting operation performed after the reading operation shown in FIG. First, the stored voltage is transmitted to the sub-arrays SAA (1) to SAA (3). By raising the control pulse FSA (1), the data line DA in which the read signal is first discriminated in the sub-array SAA (i) is connected to the signal transmission means DS by the switch circuit SWA. The control pulse FDW is raised to the word line potential (VCC + α), and the signal transmission means DS is generated in the sub-arrays SAA (i) and SAB (j).
Of the switching circuit SWA or SWB by the transistor Q3 of the common data line CDA (i) or CDB.
Connect to (j). Further, the control pulse FSE is raised to the word line potential (VCC + α), and the common data line CDA (i)
Data bus GD by writing switch SWE
Connect to (i). Further, the control pulse FW is raised to the word line potential (VCC + α), and the data bus GD (i) is changed to
Common write switch circuit S in the multi-valued sense circuit MSC
It is connected to the multilevel write circuit MLW (i) by WW. From the above, the data line DA in the sub-array SAA (i) is
Through the switch circuit SWA, the signal transmission means DS, the common data line CDA (i), the write switch SWE, the data bus GD (i), and the common write switch circuit SWW to the multilevel write circuit MLW (i). Connected. Here, from the register circuit MDR (i), the sub array SAA
The determination result of the read signal appearing on the data line DA in (i) is transmitted to the multilevel write circuit MLW (i). For example,
Register DR (1,1) in register circuit MDR (1)
One bit at a time from ~ DR (1,3) is transmitted to the multi-level write circuit MLW (1). In response to this, one of the m-valued accumulated voltages is output from the multi-level write circuit MLW (i) and transmitted to the data line DA in the sub-array SAA (i). By lowering the control pulse FSA (1),
In the sub-array SAA (i), the data line DA is separated from the signal transmission means DS by the switch circuit SWB.
Thereafter, the control pulse FSA is sequentially increased to the word line potential (VCC + α) up to FSA (t) and the same operation is repeated, and the accumulated voltage according to the determination result of the read signal stored in the register circuit MDR is changed to the multi-value writing circuit. It is transmitted from the MLW to the data line DA in the sub array SAA. After that, the control pulse FSE is lowered to the low potential 0V, and the block BLKA is
The common data line CDA (i) of (i) is connected to the data bus GD
Separate from (i).

【0039】引き続き、サブアレーSAB(1)〜SA
B(3)に蓄積電圧を伝達する。制御パルスFSB
(1)を上げることにより、サブアレーSAB(j)内
で最初に読みだし信号が判別されたデータ線DBをスイ
ッチ回路SWBにより信号伝達手段DSに接続する。ま
た、制御パルスFSFをワード線電位(VCC+α)に
上げ、共通データ線CDB(j)を書き込み用スイッチ
SWFによりデータ母線GD(j)に接続する。サブア
レーSAB(j)内のデータ線DBが、スイッチ回路S
WB,信号伝達手段DS,共通データ線CDB(1),
書き込み用スイッチSWF,データ母線GD(j),共
通書込み用スイッチ回路SWWを介して、多値書込み回
路MLW(j)に接続される。ここで、レジスタ回路M
DR(j)から、サブアレーSAB(j)内のデータ線
DBに現れた読出し信号の判別結果を、多値書込み回路
MLW(j)に伝達する。それに応じて、m値の蓄積電
圧のいずれかが、多値書込み回路MLW(j)から出力
され、サブアレーSAB(j)内のデータ線DBに伝達
される。制御パルスFSB(1)を下げることにより、
サブアレーSAB(j)内で、データ線DBがスイッチ
回路SWBにより信号伝達手段DSから切り離される。
以下、制御パルスFSBをFSB(t)まで順次ワード
線電位(VCC+α)に上げて同様な動作を繰返し、サ
ブアレーSAB内の全てのデータ線DBに蓄積電圧を伝
達する。そして、制御パルスFSFを低電位0Vに下
げ、サブアレーSAB(j)の共通データ線CDB
(j)をデータ母線GD(j)から分離する。また、制
御パルスFWを低電位0Vに下げ、データ母線GD
(j)を多値書込み回路MLW(j)から分離する。
Subsequently, sub arrays SAB (1) to SA
The stored voltage is transmitted to B (3). Control pulse FSB
By raising (1), the data line DB for which the read signal is first determined in the sub-array SAB (j) is connected to the signal transmission means DS by the switch circuit SWB. Further, the control pulse FSF is raised to the word line potential (VCC + α), and the common data line CDB (j) is connected to the data bus GD (j) by the write switch SWF. The data line DB in the sub array SAB (j) is connected to the switch circuit S
WB, signal transmission means DS, common data line CDB (1),
It is connected to the multilevel write circuit MLW (j) via the write switch SWF, the data bus GD (j), and the common write switch circuit SWW. Here, the register circuit M
The determination result of the read signal appearing on the data line DB in the sub-array SAB (j) is transmitted from DR (j) to the multilevel write circuit MLW (j). In response to this, one of the m-valued accumulated voltages is output from the multi-level write circuit MLW (j) and transmitted to the data line DB in the sub-array SAB (j). By lowering the control pulse FSB (1),
In the sub array SAB (j), the data line DB is separated from the signal transmission means DS by the switch circuit SWB.
Thereafter, the control pulse FSB is sequentially raised to the word line potential (VCC + α) up to FSB (t) and the same operation is repeated to transmit the accumulated voltage to all the data lines DB in the sub array SAB. Then, the control pulse FSF is lowered to the low potential 0V, and the common data line CDB of the sub-array SAB (j) is
(J) is separated from the data bus GD (j). In addition, the control pulse FW is lowered to the low potential 0V, and the data bus GD
(J) is separated from the multilevel write circuit MLW (j).

【0040】その後、サブアレーSAA(1)〜SAA
(3),SAB(1)〜SAB(3)中のダミーデータ
線DDA,DDBに参照電圧を伝達する。制御パルスF
SAD,FSBDを上げることにより、サブアレーSA
A(i),SAB(i)内で、ダミーデータ線DDAを
スイッチ回路SWA,SWBにより信号伝達手段DSに
接続する。また、制御パルスFWDをワード線電位(V
CC+α)に上げ、共通データ線CDA(i),CDB
(i)を書き込み用スイッチSWE,SWFによりダミ
ーデータ母線DGD(i)に接続し、ダミーデータ母線
DGD(i)に、多値センス回路MSC内で共通書込み
用スイッチ回路SWWにより参照電圧VREF(i)を
伝達する。この参照電圧VREF(i)が、ダミーデー
タ母線DGD(i),書き込み用スイッチSWEあるい
はSWF,共通データ線CDA(i)あるいはCDB
(i),信号伝達手段DS,スイッチ回路SWAあるい
はSWBを介して、サブアレーSAA(i),SAB
(i)内のダミーデータ線DDAあるいはDDBに伝達
される。そして、制御パルスFSAD,FSBDを低電
位0Vに下げサブアレーSAA(i),SAB(i)内
で、ダミーデータ線DDA,DDBを信号伝達手段DS
から分離する。制御パルスFDWを下げ、スイッチ回路
SWAもしくはSWBを共通データ線CDA(i)から
分離する。制御パルスFWDを下げ、共通データ線CD
A(i),CDB(i)をダミーデータ母線DGD
(i)から分離するとともに、共通書込み用スイッチ回
路SWW内のトランジスタをオフにする。
After that, the sub-arrays SAA (1) to SAA
(3) The reference voltage is transmitted to the dummy data lines DDA and DDB in SAB (1) to SAB (3). Control pulse F
By increasing SAD and FSBD, sub array SA
In A (i) and SAB (i), the dummy data line DDA is connected to the signal transmission means DS by the switch circuits SWA and SWB. In addition, the control pulse FWD is applied to the word line potential (V
CC + α), common data lines CDA (i), CDB
(I) is connected to the dummy data bus DGD (i) by the write switches SWE and SWF, and the dummy data bus DGD (i) is connected to the reference voltage VREF (i by the common write switch circuit SWW in the multi-valued sense circuit MSC. ) Is transmitted. The reference voltage VREF (i) is the dummy data bus DGD (i), the write switch SWE or SWF, the common data line CDA (i) or CDB.
(I), the signal transmitting means DS, the switch circuit SWA or SWB, through the sub-array SAA (i), SAB
It is transmitted to the dummy data line DDA or DDB in (i). Then, the control pulses FSAD and FSBD are lowered to the low potential 0V, and the dummy data lines DDA and DDB are connected to the signal transmission means DS in the sub-arrays SAA (i) and SAB (i).
Separate from. The control pulse FDW is lowered to separate the switch circuit SWA or SWB from the common data line CDA (i). Control pulse FWD lowered, common data line CD
A (i) and CDB (i) are dummy data bus DGD
Separated from (i), the transistors in the common write switch circuit SWW are turned off.

【0041】以上で、サブアレーSAA(1)〜SAA
(3),SAB(1)〜SAB(3)中で信号が読出さ
れたデータ線DA,DB及びダミーデータ線DDA,D
DBに、蓄積電圧もしくは参照電圧が伝達され、それぞ
れフローティング状態となっている。ここで、ワード線
Wを低電位0Vに下げることにより、それらの蓄積電圧
もしくは参照電圧が、メモリセルMCもしくはダミーセ
ルDCに蓄えられる。その後、制御パルスFPD,FP
DA,FPDBを高電位VCCとし、FSA(1)〜F
SA(t),FSAD,FSB(1)〜FSB(t),
FSBDをワード線電位(VCC+α)として、各サブ
アレー内のデータ線DA,DBとダミーデータ線DD
A,DDBとスイッチ回路SWAをプリチャージ電位V
Pにプリチャージし、待機状態に戻す。
With the above, the sub-arrays SAA (1) to SAA
(3), data lines DA and DB from which signals are read in SAB (1) to SAB (3) and dummy data lines DDA and D
The accumulated voltage or the reference voltage is transmitted to DB, and each is in a floating state. Here, by lowering the word line W to a low potential of 0V, the storage voltage or the reference voltage of the word line W is stored in the memory cell MC or the dummy cell DC. After that, control pulses FPD, FP
DA and FPDB are set to high potential VCC, FSA (1) to F
SA (t), FSAD, FSB (1) to FSB (t),
Using FSBD as the word line potential (VCC + α), the data lines DA and DB and the dummy data line DD in each sub-array
A, DDB and switch circuit SWA are precharged to V
Precharge to P and return to standby state.

【0042】このようにして読出し動作と再書込み動作
を行うことにより、ワード線Wに接続されたメモリセル
MCのリフレッシュができる。ワード線を順次選択して
同様な動作を行うことにより、すべてのメモリセルのリ
フレッシュが行われる。また、読出し動作と再書込み動
作の間に、Yデコーダ(図示せず)により多値判別回路
を選択し、外部との信号の授受を行うことにより、外部
からの書込みもしくは読出しができる。外部との信号の
授受は、メモリセルMC一個分の情報量を単位とするこ
とも可能であるし、1ビットを単位として行っても良
い。また、同一の多値判別回路MLR(i)で時系列に
判別するメモリセル分の情報量を単位とすることもでき
る。
By performing the read operation and the rewrite operation in this way, the memory cell MC connected to the word line W can be refreshed. All memory cells are refreshed by sequentially selecting word lines and performing the same operation. Further, between the read operation and the rewrite operation, the multi-value discrimination circuit is selected by the Y decoder (not shown) and the signal is exchanged with the outside, whereby the external writing or reading can be performed. The exchange of signals with the outside can be performed in units of the amount of information for one memory cell MC, or in units of 1 bit. Further, it is also possible to use the amount of information for the memory cells that are discriminated in time series by the same multi-level discrimination circuit MLR (i) as a unit.

【0043】以上では、サブアレーSAA(1)〜SA
A(3)の読出し信号を判別し、引き続きサブアレーS
AB(1)〜SAB(3)の読出し信号を判別し、その
後でサブアレーSAA(1)〜SAA(3)に蓄積電圧
を伝達し、引き続きサブアレーSAB(1)〜SAB
(3)に蓄積電圧を伝達する動作を説明した。読出し動
作及び再書込み動作におけるデータ線の選択の順番は、
これに限定されない。たとえば、読出し動作と逆の順番
でデータ線を選択して再書込み動作を行うこともでき
る。その場合、レジスタ回路MDR(1)〜MDR
(3)は、最後に入力された情報が最初に出力される構
成(LIFO)とする。多値判別回路MLR(1)〜M
LR(3)で最後に判別した結果を、レジスタ回路MD
Rに蓄えず多値書込み回路MLWに入力すれば、レジス
タ回路内のレジスタDRの記憶容量を、1ビット減らす
ことができる。
In the above, the sub-arrays SAA (1) to SA
The read signal of A (3) is discriminated, and then the sub array S
The read signals of AB (1) to SAB (3) are discriminated, and then the accumulated voltage is transmitted to the sub-arrays SAA (1) to SAA (3), and subsequently the sub-arrays SAB (1) to SAB (3) are transmitted.
The operation of transmitting the accumulated voltage has been described in (3). The order of data line selection in read and rewrite operations is
It is not limited to this. For example, the data line can be selected in the reverse order of the read operation to perform the rewrite operation. In that case, the register circuits MDR (1) to MDR
In (3), the last input information is first output (LIFO). Multi-value discrimination circuit MLR (1) to M
The result determined last by LR (3) is the register circuit MD
If the data is not stored in R and is input to the multi-level writing circuit MLW, the storage capacity of the register DR in the register circuit can be reduced by 1 bit.

【0044】また、レジスタ回路MDRを用いずに、多
値判別回路MLR(1)〜MLR(3)で読出し信号を
判別する毎に、その判別結果を多値書込み回路MLW
(1)〜MLW(3)に入力して再書込みすることも可
能である。その場合、信号が読出されているデータ線と
隣接するデータ線に蓄積電圧が伝達されるため、データ
線間干渉雑音が問題となるが、例えばアイ・イー・イー
・イー,トランザクション オン エレクトロン デバ
イシズ,第37巻,3(1990年3月)第737頁か
ら第743頁(IEEE,Trans.on Electron Devices,vol3
7,on.3(March 1990)pp.737-743)に記載されているよう
な、データ線間を別な導電層でシールドして、データ線
間の結合容量を小さくしたメモリセルを用いることによ
り、その影響を小さくできる。
Further, each time the read signal is discriminated by the multilevel discriminator circuits MLR (1) to MLR (3) without using the register circuit MDR, the discriminant result is output as the multilevel write circuit MLW.
It is also possible to rewrite by inputting into (1) to MLW (3). In that case, since the accumulated voltage is transmitted to the data line adjacent to the data line from which the signal is being read, the interference noise between the data lines becomes a problem. For example, IEE, transaction on electron devices, Volume 37, 3 (March 1990) pp. 737 to 743 (IEEE, Trans.on Electron Devices, vol3
7, on.3 (March 1990) pp.737-743), using a memory cell with a small coupling capacitance between data lines by shielding the data lines with another conductive layer. Can reduce the effect.

【0045】1トランジスタ1キャパシタ形メモリセル
を用いるとき、データ線に現われる信号は、メモリセル
中の蓄積容量に蓄えられた電荷が、データ線の容量に再
配分されることによるデータ線の電位変化である。その
ため、信号の大きさが、プロセス変動などによるメモリ
セルの蓄積容量及びデータ線の容量の偏差に影響され
る。本発明では、ダミーセルに蓄えた電荷をダミーデー
タ線に読出すことにより得られる参照信号により参照信
号を得るので、参照信号も同様に、ダミーセルの蓄積容
量及びダミーデータ線の容量の偏差に影響される。よっ
て、メモリセルとダミーセル、データ線とダミーデータ
線の電気的特性の整合を取ることにより、これらの偏差
の影響は相殺される。
When a one-transistor / one-capacitor type memory cell is used, the signal appearing on the data line is a change in the potential of the data line due to the charge stored in the storage capacitance of the memory cell being redistributed to the capacitance of the data line. Is. Therefore, the magnitude of the signal is affected by the deviation of the storage capacity of the memory cell and the capacity of the data line due to process variations and the like. In the present invention, since the reference signal is obtained by the reference signal obtained by reading the charge stored in the dummy cell to the dummy data line, the reference signal is also affected by the deviation between the storage capacity of the dummy cell and the capacity of the dummy data line. It Therefore, by matching the electrical characteristics of the memory cell and the dummy cell and the data line and the dummy data line, the influence of these deviations is offset.

【0046】本実施例では、ダミーセルDCに、対応す
るメモリセルMCへの蓄積電圧の書込みと同時に、参照
電圧VREF(j)が蓄えられ、その後は次の選択時ま
で放置される。すなわち、ダミーセルDCに蓄えられた
電荷は、メモリセルMCに蓄えられた電荷と同様に、蓄
積容量部でのリーク電流等により、時間とともに減衰し
ていく。したがって、従来のDRAMでのダミーセルの
構成法、例えば1980年アイ・イー・イー・イー,インタ
ーナショナル ソリッド ステート サーキッツ コン
ファレンス,ダイジェスト オブ テクニカル ペーパ
ーズ,第234頁から第235頁(1980 IEEE ISSCC Digest o
f Technical Papers, pp.234-235)に記載されているよ
うな、ダミーセルにダミーセル内の端子を所望の電位に
設定する回路を付加し、プリチャージの期間その電位に
固定しておく方法などを応用した場合に比べ、メモリセ
ルMCに蓄えられた電荷が減衰し、読出し信号が誤判定さ
れるまでの時間、すなわちデータ保持時間を長くするこ
とができる。このことは、メモリセルMCをリフレッシュ
する時間間隔を長くできることであり、半導体記憶装置
がリフレッシュ動作を行っている時間の割合を小さく、
システムにとって半導体記憶装置を使用できる時間の割
合を大きくできる。また、リフレッシュに要する消費電
力を小さくできる。
In this embodiment, the reference voltage VREF (j) is stored in the dummy cell DC at the same time when the storage voltage is written in the corresponding memory cell MC, and thereafter the reference voltage VREF (j) is left as it is until the next selection. That is, the charge stored in the dummy cell DC is attenuated with time due to a leak current or the like in the storage capacitor portion, like the charge stored in the memory cell MC. Therefore, conventional dummy cell construction methods such as the 1980 IEE, International Solid State Circuits Conference, Digest of Technical Papers, pp. 234-235 (1980 IEEE ISSCC Digest o
f Technical Papers, pp.234-235), such as the method of adding a circuit to the dummy cell to set the terminal in the dummy cell to the desired potential and fixing it to that potential during the precharge. As compared with the case of application, it is possible to extend the time until the charge accumulated in the memory cell MC is attenuated and the read signal is erroneously determined, that is, the data holding time. This means that the time interval for refreshing the memory cell MC can be lengthened, and the ratio of the time during which the semiconductor memory device is performing a refresh operation can be reduced.
It is possible to increase the percentage of time the semiconductor memory device can be used in the system. In addition, the power consumption required for refresh can be reduced.

【0047】1トランジスタ1キャパシタ形メモリセル
は、蓄積電荷をデータ線に再配分して読みだすため、読
み出し信号が小さい。しかも、破壊読み出しのため、同
一ワード線により駆動されるすべてのメモリセルの読み
出し信号を判別して再書き込みしなければならない。多
値メモリは、m値を蓄えるため、実効的な読み出し信号
の大きさすなわち隣接レベルの差が2値の(m−1)分
の1になる。したがって、1トランジスタ1キャパシタ
形メモリセルに多値を蓄える場合、実効的な読み出し信
号の大きさは非常に小さいので、高S/N化技術が特に
大切である。本発明による半導体多値メモリは、同一ワ
ード線により駆動される全メモリセルの読みだし信号が
判別でき、なおかつ、信号経路の条件を揃えて雑音を同
じにして相殺することが可能であり、高S/Nな動作が
実現できるため、1トランジスタ1キャパシタ形メモリ
セルを用いる場合に特に有効である。
In the one-transistor / one-capacitor type memory cell, since the accumulated charges are redistributed and read out to the data lines, the read signal is small. Moreover, for destructive read, read signals of all memory cells driven by the same word line must be discriminated and rewritten. Since the multi-valued memory stores m values, the size of the effective read signal, that is, the difference between adjacent levels becomes one-half of the binary value (m-1). Therefore, when storing multiple values in a one-transistor / one-capacitor memory cell, the effective read-out signal is very small, and thus a high S / N technique is particularly important. The semiconductor multi-valued memory according to the present invention can determine the read signals of all the memory cells driven by the same word line, and can make the noise the same by canceling the noise by adjusting the signal path conditions. Since an S / N operation can be realized, it is particularly effective when using a one-transistor / one-capacitor memory cell.

【0048】なお、本発明は1トランジスタ1キャパシ
タ形メモリセル以外のメモリセルを用いた半導体多値メ
モリにも適用可能である。例えば、CCDやBBDとい
った電荷転送素子をメモリセルとして用いる場合にも、
本発明は適用できる。
The present invention can also be applied to a semiconductor multilevel memory using memory cells other than the one-transistor / one-capacitor type memory cell. For example, when a charge transfer element such as CCD or BBD is used as a memory cell,
The present invention can be applied.

【0049】図12は、本発明による半導体記憶装置の
応用例で、音声記録再生装置を構成した例を、ブロック
図で示したものである。図中MICは音声入力手段たる
マイク、SPは音声出力手段たるスピーカ、PAMP及
びMAMPは増幅器、ADCはアナログ/デジタル変換
器、DACはデジタル/アナログ変換器、Mは本発明に
よる半導体多値メモリ、MCTは半導体多値メモリMを
制御する制御回路である。同図では、帯域制限用ローパ
スフィルタ及び波形整形用ローパスフィルタ等は省略し
ている。
FIG. 12 is a block diagram showing an example of application of the semiconductor memory device according to the present invention, which constitutes an audio recording / reproducing device. In the figure, MIC is a microphone as a voice input means, SP is a speaker as a voice output means, PAMP and MAMP are amplifiers, ADC is an analog / digital converter, DAC is a digital / analog converter, M is a semiconductor multi-valued memory according to the present invention, The MCT is a control circuit that controls the semiconductor multilevel memory M. In the same figure, the bandpass low pass filter and the waveform shaping low pass filter are omitted.

【0050】録音動作は、マイクMICに入力された音
声を、増幅器PAMPにより増幅し、そのアナログ信号
をアナログ/デジタル変換器ADCによりデジタル信号
に変換し、制御回路MCTで制御して半導体多値メモリ
Mに書込むことにより行われる。このとき、半導体多値
メモリMのアドレスやクロック信号等を制御回路MCT
で発生させる。一方、再生動作は、制御回路MCTによ
り半導体多値メモリMを制御して、記憶している情報を
読出し、デジタル/アナログ変換器DACによりアナロ
グ信号に変換し、増幅器MAMPにより増幅して、スピ
ーカSPより出力する。
In the recording operation, the voice input to the microphone MIC is amplified by the amplifier PAMP, the analog signal is converted into a digital signal by the analog / digital converter ADC, and the semiconductor circuit is controlled by the control circuit MCT. It is done by writing in M. At this time, the address and clock signal of the semiconductor multi-level memory M are supplied to the control circuit MCT.
Generated by. On the other hand, in the reproducing operation, the semiconductor multi-valued memory M is controlled by the control circuit MCT, the stored information is read out, converted into an analog signal by the digital / analog converter DAC, amplified by the amplifier MAMP, and then the speaker SP. Output more.

【0051】半導体多値メモリMの入出力が1ビット毎
のとき、アナログ/デジタル変換器ADCから複数ビッ
トの情報が並列に出力される場合には、パラレル/シリ
アル変換器を設け、時系列な情報に変換して、半導体多
値メモリMに伝達すれば良い。また、デジタル/アナロ
グ変換器ADCが複数ビットの情報が並列に入力される
構成の場合には、シリアル/パラレル変換器を設け、半
導体多値メモリMの出力を、並列な情報に変換すれば良
い。
When the input / output of the semiconductor multi-valued memory M is bit by bit, and when a plurality of bits of information are output in parallel from the analog / digital converter ADC, a parallel / serial converter is provided to perform time series. It may be converted into information and transmitted to the semiconductor multilevel memory M. When the digital / analog converter ADC has a configuration in which a plurality of bits of information are input in parallel, a serial / parallel converter may be provided to convert the output of the semiconductor multilevel memory M into parallel information. ..

【0052】音声情報のデータレートは、64kビット
/秒で良く、サイクル時間が15μsの半導体多値メモ
リで対応できる。また、情報は時系列に連続なデータで
ある。このため、音声記録装置に用いる記憶装置は、速
度は問題とならず、安価で大容量であることが要求され
る。本発明による半導体多値メモリは、高S/Nで高集
積化に適しており、チップ面積を削減してビット単価を
下げることが可能である。したがって、このような用途
には、従来のDRAMよりも本発明の半導体多値メモリ
が適している。
The data rate of the voice information may be 64 kbit / sec, and a semiconductor multilevel memory having a cycle time of 15 μs can be used. The information is data that is continuous in time series. Therefore, the storage device used for the voice recording device is required to be inexpensive and have a large capacity without causing a speed problem. The semiconductor multi-valued memory according to the present invention has a high S / N and is suitable for high integration, and can reduce the chip area and the bit unit price. Therefore, the semiconductor multi-valued memory of the present invention is more suitable for such applications than the conventional DRAM.

【0053】[0053]

【発明の効果】以上に述べた実施例で明らかなように、
等しい本数の二つのグループに分けられた複数のデータ
線と、それらと交わるように配置された複数のワード線
と、データ線とワード線の所望の交差部に配置され、少
なくとも3値以上であるm値の情報を記憶保持するメモ
リセルと、ワード線を駆動することによりメモリセルか
らデータ線に出力される読出し信号を判別する多値セン
ス回路と、m値の判別に用いられる(m−1)種類の参
照信号を発生させる複数個のダミーセルDCを有し、選
択されたワード線上の全メモリセルから読出し信号が対
応するデータ線に読出され、一方のグループのデータ線
に読出された読みだし信号が少なくとも(m−1)個を
単位として順次多値センス回路に入力され、他方のグル
ープのデータ線に該読みだし信号の個数と同数のダミー
セルから読出された参照信号と比較されることにより、
同一ワード線により駆動される全メモリセルの読みだし
信号が判別でき、なおかつ、同数の読出し信号と参照信
号を比較することにより、信号経路の条件を揃えて雑音
を同じにして相殺することが可能であり、高S/Nな半
導体多値メモリを実現できる。
As is apparent from the embodiments described above,
A plurality of data lines divided into two groups of an equal number, a plurality of word lines arranged so as to intersect with them, and a plurality of word lines arranged at desired intersections of the data lines and the word lines and having at least three values or more. A memory cell that stores and holds information on an m value, a multi-valued sense circuit that determines a read signal output from a memory cell to a data line by driving a word line, and a multivalued sense circuit (m-1) ) Has a plurality of dummy cells DC for generating reference signals, and read signals are read from all memory cells on the selected word line to corresponding data lines and read out to one group of data lines. The signals are sequentially input to the multi-valued sense circuit in units of at least (m-1), and read from the same number of dummy cells as the number of the read signals to the data line of the other group. By being compared with the reference signal,
Read signals of all memory cells driven by the same word line can be identified, and by comparing the same number of read signals and reference signals, it is possible to cancel the noise by making the signal path conditions uniform. Therefore, a high S / N semiconductor multilevel memory can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】第1実施例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment.

【図2】第2実施例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment.

【図3】第3実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment.

【図4】第4実施例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a fourth embodiment.

【図5】ブロックBLKA(1)の構成を示す図であ
る。
FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a block BLKA (1).

【図6】ブロックBLKB(1)の構成を示す図であ
る。
FIG. 6 is a diagram showing a configuration of a block BLKB (1).

【図7】ブロックBLKA(1)に接続されるバッファ
回路BUF等を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing a buffer circuit BUF and the like connected to a block BLKA (1).

【図8】ブロックBLKB(1)に接続されるバッファ
回路BUF等を示す図である。
FIG. 8 is a diagram showing a buffer circuit BUF and the like connected to a block BLKB (1).

【図9】多値センス回路MSCの構成を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a configuration of a multi-valued sense circuit MSC.

【図10】読出し動作のタイミング図である。FIG. 10 is a timing diagram of a read operation.

【図11】再書込み動作のタイミング図である。FIG. 11 is a timing chart of a rewriting operation.

【図12】音声記録再生装置に応用した例のブロック図
である。
FIG. 12 is a block diagram of an example applied to an audio recording / reproducing device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

MC…メモリセル、DC…ダミーセル、W…ワード線、
DWA,DWB…ダミーワード線、DA,DB…データ
線、DDA,DDB…ダミーデータ線、BUF…バッフ
ァ回路、GD,GDA,GDB…データ母線、DGD…
ダミーデータ母線、DC…ダミーセル、MSC…多値セ
ンス回路、CP…比較器、CDA,CDB…共通データ
線、DS…信号伝達手段、SAA,SAB,SA…サブ
アレー、DSAA,DSAB…サブダミーアレー、SW
…スイッチ、SWA,SWB,…スイッチ回路、SW
C,SWD…スイッチ回路、PD…プリチャージ回路、
PDA,PDB…共通プリチャージ回路、SWE,SW
F…書込み用スイッチ、DAMP…差動増幅器、SWW
…共通書込み用スイッチ回路、MLR…多値判別回路、
MDR…レジスタ回路、DR…レジスタ、MLW…多値
書込み回路、MIC…マイク、SP…スピーカ、PAM
P,MAMP…増幅器、ADC…アナログ/デジタル変
換器、DAC…デジタル/アナログ変換器、M…半導体
多値メモリ、MCT…制御回路。
MC ... Memory cell, DC ... Dummy cell, W ... Word line,
DWA, DWB ... Dummy word line, DA, DB ... Data line, DDA, DDB ... Dummy data line, BUF ... Buffer circuit, GD, GDA, GDB ... Data bus bar, DGD ...
Dummy data bus, DC ... Dummy cell, MSC ... Multi-valued sense circuit, CP ... Comparator, CDA, CDB ... Common data line, DS ... Signal transmission means, SAA, SAB, SA ... Sub array, DSAA, DSAB ... Sub dummy array, SW
... switch, SWA, SWB, ... switch circuit, SW
C, SWD ... switch circuit, PD ... precharge circuit,
PDA, PDB ... Common precharge circuit, SWE, SW
F ... Writing switch, DAMP ... Differential amplifier, SWW
... Common write switch circuit, MLR ... Multi-value discrimination circuit,
MDR ... Register circuit, DR ... Register, MLW ... Multi-value writing circuit, MIC ... Mic, SP ... Speaker, PAM
P, MAMP ... Amplifier, ADC ... Analog / digital converter, DAC ... Digital / analog converter, M ... Semiconductor multi-valued memory, MCT ... Control circuit.

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】等しい本数の二つのグループに分けられた
複数のデータ線と、それらと交わるように配置された複
数のワード線と、上記データ線と上記ワード線の所望の
交差部に配置され、少なくとも3値以上であるm値の情
報を記憶保持するメモリセルと、上記ワード線を駆動す
ることにより該メモリセルから該データ線に出力される
読出し信号を判別する多値センス回路と、上記多値セン
ス回路におけるm値の判別に用いられる(m−1)種類
の参照信号を発生させる複数個のダミーセルを有し、選
択された上記ワード線上の全メモリセルが対応するデー
タ線に読出され、少なくとも(m−1)以上のq個を単
位として、一方のグループのデータ線に読出された読み
だし信号が順次上記多値センス回路に入力され、他方の
グループのデータ線にダミーセルから読出されたq個の
参照信号と比較される半導体多値メモリ。
1. A plurality of data lines divided into two groups of an equal number, a plurality of word lines arranged so as to intersect with them, and arranged at a desired intersection of the data lines and the word lines. A memory cell for storing and holding information of m value which is at least three values or more, a multi-valued sense circuit for discriminating a read signal outputted from the memory cell to the data line by driving the word line, The multi-valued sense circuit has a plurality of dummy cells for generating (m-1) kinds of reference signals used for determining the m value, and all the memory cells on the selected word line are read to the corresponding data line. , In units of at least (m-1) or more, the read signals read out to the data lines of one group are sequentially input to the multi-valued sense circuit, and the data of the other group are read. Semiconductor multi-valued memory is compared with q number of reference signal read from the dummy cell.
【請求項2】上記多値センス回路は、同時に入力される
読出し信号及び参照信号の数qの2乗個の比較器を含ん
で構成され、読出し信号及び参照信号はそれぞれq個の
上記比較器に入力されることを特徴とする請求項1に記
載した半導体多値メモリ。
2. The multi-valued sense circuit is configured to include comparators of the square of the number q of read signals and reference signals input at the same time, and the read signals and the reference signals are q comparators. 2. The semiconductor multi-valued memory according to claim 1, wherein
【請求項3】請求項2に記載の半導体多値メモリにおい
て、多値センス回路に同時に入力される読出し信号及び
参照信号の数qは、メモリセルに蓄えられる多値のレベ
ル数mより1小さい参照レベル数と等しいことを特徴と
する半導体多値メモリ。
3. The semiconductor multi-valued memory according to claim 2, wherein the number q of read signals and reference signals simultaneously input to the multi-valued sense circuit is one less than the number m of multi-valued levels stored in the memory cell. A semiconductor multi-valued memory characterized by being equal to the number of reference levels.
【請求項4】請求項2に記載の半導体多値メモリにおい
て、多値センス回路に同時に入力される読出し信号及び
参照信号の数qは、メモリセルに蓄えられる多値のレベ
ル数mと等しいことを特徴とする半導体多値メモリ。
4. The semiconductor multi-valued memory according to claim 2, wherein the number q of read signals and reference signals simultaneously input to the multi-valued sense circuit is equal to the number m of multi-valued levels stored in the memory cell. A semiconductor multi-valued memory characterized by.
【請求項5】請求項1に記載の半導体多値メモリにおい
て、上記データ線と同じ形状のダミーデータ線が設けら
れ、上記ダミーセルはダミーデータ線とワード線の交差
部に配置されることを特徴とする半導体多値メモリ。
5. The semiconductor multi-valued memory according to claim 1, wherein a dummy data line having the same shape as the data line is provided, and the dummy cell is arranged at an intersection of the dummy data line and the word line. And semiconductor multi-valued memory.
【請求項6】請求項1に記載の半導体多値メモリにおい
て、上記ワード線と同じ形状のダミーワード線が設けら
れ、上記データ線は対線からなり、あるワード線とデー
タ線対のいずれか一方との交差部に上記メモリセルが配
置され、ダミーワード線とデータ線対いずれか一方との
交差部に上記ダミーセルが配置されることを特徴とする
半導体多値メモリ。
6. The semiconductor multi-valued memory according to claim 1, wherein a dummy word line having the same shape as that of said word line is provided, said data line is composed of a pair of lines, and any one of a certain word line and data line pair is provided. A semiconductor multi-valued memory characterized in that the memory cell is arranged at an intersection with one and the dummy cell is arranged at an intersection between one of a dummy word line and a data line pair.
【請求項7】請求項1に記載の半導体多値メモリにおい
て、上記データ線と垂直にデータ母線が設けられ、デー
タ母線に上記多値センス回路が接続され、上記読出し信
号は上記データ母線を通じて該多値センス回路に伝達さ
れることを特徴とする半導体多値メモリ。
7. The semiconductor multi-valued memory according to claim 1, wherein a data bus bar is provided perpendicular to the data line, the multi-valued sense circuit is connected to the data bus line, and the read signal is transmitted through the data bus line. A semiconductor multi-valued memory which is transmitted to a multi-valued sense circuit.
【請求項8】請求項7に記載の半導体多値メモリにおい
て、入力インピーダンスが大きいバッファ回路が上記デ
ータ母線に接続され、上記読出し信号は該バッファ回路
を介して該データ母線に伝達されることを特徴とする半
導体多値メモリ。
8. The semiconductor multilevel memory according to claim 7, wherein a buffer circuit having a large input impedance is connected to said data bus, and said read signal is transmitted to said data bus via said buffer circuit. Characteristic semiconductor multi-level memory.
【請求項9】請求項1に記載の半導体多値メモリにおい
て、上記データ線と平行に共通データ線が設けられ、上
記読出し信号は該共通データ線を通じて上記多値センス
回路に伝達されることを特徴とする半導体多値メモリ。
9. The semiconductor multilevel memory according to claim 1, wherein a common data line is provided in parallel with said data line, and said read signal is transmitted to said multilevel sense circuit through said common data line. Characteristic semiconductor multi-level memory.
【請求項10】請求項9に記載の半導体多値メモリにお
いて、上記データ線は入力インピーダンスが大きい信号
伝達手段により上記共通データ線に接続され、上記読出
し信号は該信号伝達手段を介して該共通データ線に伝達
されることを特徴とする半導体多値メモリ。
10. The semiconductor multi-valued memory according to claim 9, wherein said data line is connected to said common data line by a signal transmitting means having a large input impedance, and said read signal is said common signal via said signal transmitting means. A semiconductor multilevel memory characterized by being transmitted to a data line.
【請求項11】請求項1に記載の半導体多値メモリにお
いて、上記データ線から上記多値センス回路までの信号
経路中にスイッチ回路が設けられ、該スイッチ回路によ
り複数の読出し信号から選択的にq個が上記多値センス
回路に入力されることを特徴とする半導体多値メモリ。
11. The semiconductor multi-valued memory according to claim 1, wherein a switch circuit is provided in a signal path from the data line to the multi-valued sense circuit, and the switch circuit selectively selects from a plurality of read signals. A semiconductor multi-valued memory, wherein q pieces are inputted to the multi-valued sense circuit.
【請求項12】請求項7に記載の半導体多値メモリにお
いて、上記データ母線と平行にダミーデータ母線が設け
られ、該データ母線及び該ダミーデータ母線に上記多値
センス回路が接続され、上記読出し信号は該データ母線
を通じて該多値センス回路に伝達され、上記参照信号は
該ダミーデータ母線を通じて該多値センス回路に伝達さ
れることを特徴とする半導体多値メモリ。
12. The semiconductor multi-valued memory according to claim 7, wherein a dummy data bus is provided in parallel with the data bus, and the multi-valued sense circuit is connected to the data bus and the dummy data bus, and the read operation is performed. A semiconductor multi-valued memory, wherein a signal is transmitted to the multi-valued sense circuit through the data bus and the reference signal is transmitted to the multi-valued sense circuit through the dummy data bus.
【請求項13】請求項12に記載の半導体多値メモリに
おいて、上記データ母線及び上記ダミーデータ母線に共
通スイッチ回路が設けられ、上記読出し信号は該共通ス
イッチ回路を介して上記データ母線に、上記参照信号は
該共通スイッチ回路を介して該ダミーデータ母線に伝達
されることを特徴とする半導体多値メモリ。
13. The semiconductor multi-valued memory according to claim 12, wherein a common switch circuit is provided to the data bus and the dummy data bus, and the read signal is sent to the data bus via the common switch circuit to the data bus. A semiconductor multi-valued memory, wherein a reference signal is transmitted to the dummy data bus through the common switch circuit.
【請求項14】請求項7に記載の半導体多値メモリにお
いて、上記データ母線は対線で構成され、該データ母線
対に上記多値センス回路が接続され、上記読出し信号は
データ母線対のいずれか一方を通じて該多値センス回路
に伝達され、上記参照信号は該データ母線対の他方を通
じて該多値センス回路に伝達されることを特徴とする半
導体多値メモリ。
14. The semiconductor multi-valued memory according to claim 7, wherein said data bus line is composed of a pair of lines, said multi-valued sense circuit is connected to said data bus line pair, and said read signal is one of said data bus line pair. A semiconductor multi-valued memory, wherein the reference signal is transmitted to the multi-valued sense circuit through one of the data bus lines, and the reference signal is transmitted to the multi-valued sense circuit through the other of the data bus pairs.
【請求項15】請求項1に記載の半導体多値メモリにお
いて、上記メモリセルは、1個のMOSトランジスタと
1個の蓄積容量とで構成されることを特徴とする半導体
多値メモリ。
15. The semiconductor multi-valued memory according to claim 1, wherein the memory cell comprises one MOS transistor and one storage capacitor.
【請求項16】請求項15に記載の半導体多値メモリに
おいて、上記蓄積容量は、上記トランジスタの一方の不
純物添加領域に接しており、上記トランジスタ及びデー
タ線の上まで延びている電極と、その上に設けられた絶
縁膜と、さらにその上に設けられた導電性電極により構
成されることを特徴とする半導体メモリ。
16. The semiconductor multi-valued memory according to claim 15, wherein the storage capacitor is in contact with one of the impurity-doped regions of the transistor, and extends over the transistor and the data line, and the electrode. A semiconductor memory comprising an insulating film provided on the upper surface and a conductive electrode further provided on the insulating film.
【請求項17】請求項1に記載の半導体多値メモリにお
いて、上記多値センス回路は、上記比較器を含む多値判
別回路と、多値信号を出力する多値書込み回路とを含ん
で構成されることを特徴とする半導体多値メモリ。
17. The semiconductor multi-valued memory according to claim 1, wherein the multi-valued sense circuit includes a multi-valued determination circuit including the comparator, and a multi-valued write circuit that outputs a multi-valued signal. A semiconductor multi-valued memory characterized by being processed.
【請求項18】請求項17に記載の半導体多値メモリに
おいて、上記多値センス回路は、上記多値判別回路の出
力を一時的に蓄えるレジスタ回路を含むことを特徴とす
る半導体多値メモリ。
18. The semiconductor multi-valued memory according to claim 17, wherein said multi-valued sense circuit includes a register circuit for temporarily storing the output of said multi-valued discrimination circuit.
【請求項19】請求項1から請求項18のいずれかに記
載した半導体メモリにおいて、音声入力手段と、該音声
入力手段の出力信号を増幅する増幅器と、該増幅器の出
力信号が入力されるアナログ/デジタル変換器と、該ア
ナログ/デジタル変換器の出力信号が入力される半導体
メモリと、該半導体メモリの出力信号が入力されるデジ
タル/アナログ変換器と、該デジタル/アナログ変換器
の出力信号を増幅する増幅器と、該増幅器の出力信号が
入力される音声出力手段とを有する音声記録再生装置
の、構成要素であることを特徴とする半導体メモリ。
19. The semiconductor memory according to claim 1, wherein the voice input means, an amplifier for amplifying an output signal of the voice input means, and an analog to which the output signal of the amplifier is input. A digital / analog converter, a semiconductor memory to which the output signal of the analog / digital converter is input, a digital / analog converter to which the output signal of the semiconductor memory is input, and an output signal of the digital / analog converter. A semiconductor memory, which is a constituent element of an audio recording / reproducing apparatus having an amplifier for amplifying and an audio output means to which an output signal of the amplifier is input.
JP34583291A 1991-12-27 1991-12-27 Semiconductor multilevel memory Expired - Fee Related JP3324129B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34583291A JP3324129B2 (en) 1991-12-27 1991-12-27 Semiconductor multilevel memory

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP34583291A JP3324129B2 (en) 1991-12-27 1991-12-27 Semiconductor multilevel memory

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05182470A true JPH05182470A (en) 1993-07-23
JP3324129B2 JP3324129B2 (en) 2002-09-17

Family

ID=18379282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP34583291A Expired - Fee Related JP3324129B2 (en) 1991-12-27 1991-12-27 Semiconductor multilevel memory

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3324129B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1160795A1 (en) * 2000-05-31 2001-12-05 STMicroelectronics S.r.l. Reference cells matrix structure for reading data in a nonvolatile memory device
US6507517B2 (en) 2000-05-31 2003-01-14 Stmicroelectronics S.R.L. Circuital structure for programming data in a non-volatile memory device
KR100537256B1 (en) * 1996-11-19 2006-07-10 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 Semiconductor memory device
JP2015041388A (en) * 2013-08-20 2015-03-02 株式会社半導体エネルギー研究所 Storage device and semiconductor device
CN109256157A (en) * 2017-07-12 2019-01-22 格科微电子(上海)有限公司 The implementation method of multivalued storage

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100537256B1 (en) * 1996-11-19 2006-07-10 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 Semiconductor memory device
EP1160795A1 (en) * 2000-05-31 2001-12-05 STMicroelectronics S.r.l. Reference cells matrix structure for reading data in a nonvolatile memory device
US6507517B2 (en) 2000-05-31 2003-01-14 Stmicroelectronics S.R.L. Circuital structure for programming data in a non-volatile memory device
US6549473B2 (en) 2000-05-31 2003-04-15 Stmicroelectronics S.R.L. Circuital structure for reading data in a non-volatile memory device
JP2015041388A (en) * 2013-08-20 2015-03-02 株式会社半導体エネルギー研究所 Storage device and semiconductor device
CN109256157A (en) * 2017-07-12 2019-01-22 格科微电子(上海)有限公司 The implementation method of multivalued storage

Also Published As

Publication number Publication date
JP3324129B2 (en) 2002-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0068645B1 (en) A semiconductor device
KR0177776B1 (en) Data sensing circuit for highly integrated semiconductor memory device
JP3350045B2 (en) Semiconductor storage device
US4841483A (en) Semiconductor memory
JPH0713872B2 (en) Semiconductor memory device
US4086662A (en) Memory system with read/write control lines
JPH06223572A (en) Dram structure
JP2691280B2 (en) Semiconductor memory device
JP3112021B2 (en) Semiconductor memory
KR19990023425A (en) Semiconductor memory devices with sense amplifiers shared between open bit lines that are less affected by adjacent open bit lines
US5881006A (en) Semiconductor memory device
JP2001043684A (en) Semiconductor memory
US6023437A (en) Semiconductor memory device capable of reducing a precharge time
JPS5894188A (en) Amplifier
US6515927B2 (en) Semiconductor memory having a wide bus-bandwidth for input/output data
KR19990030221A (en) Dynamic Semiconductor Memory Device with Threshold Compensation
JPS6177194A (en) Semiconductor memory device
JP3324129B2 (en) Semiconductor multilevel memory
US5745423A (en) Low power precharge circuit for a dynamic random access memory
KR100231404B1 (en) Small-sized multi-valued semiconductor memory device
US4916666A (en) Dynamic random access memory device and operating method therefor
JPH11149784A (en) Dynamic semiconductor memory
US5544093A (en) Dual port multiple block memory capable of time divisional operation
US6728122B2 (en) Semiconductor memory device capable of rewriting data signal
JP3415420B2 (en) Semiconductor integrated circuit device

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080705

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080705

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090705

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees