JPH05142499A - Plastic beam splitter - Google Patents

Plastic beam splitter

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JPH05142499A
JPH05142499A JP3331179A JP33117991A JPH05142499A JP H05142499 A JPH05142499 A JP H05142499A JP 3331179 A JP3331179 A JP 3331179A JP 33117991 A JP33117991 A JP 33117991A JP H05142499 A JPH05142499 A JP H05142499A
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JP
Japan
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beam splitter
plastic
film
base material
shape
Prior art date
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Application number
JP3331179A
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Japanese (ja)
Inventor
Kenji Kobayashi
健志 小林
Kumajirou Sekine
熊二郎 関根
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SEKINOSU KK
Original Assignee
SEKINOSU KK
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To enable the mass production of the plastic beam splitter at a low cost while maintaining high plane accuracy by taking the advantage of the free shape characteristic possessed by plastic and further to enable the free control of the astigmatic difference in an astigmatism system without changing an inter-face, spacing (on the optical axis) and to form the spot shape at the time of focusing to a circular shape. CONSTITUTION:A plastic base material 9 consisting of PMMA and having an H-section shape in section is formed by an injection molding method. A lambda/4 film consisting of silicon (Si) is formed as a 1st layer 11 on the plastic base material 9 on the 1st surface 10 of a plane which is a reflection surface. Further, a lambda/4 film consisting of silicon dioxide (SiO2) is formed as a 2nd layer 12 and a non-polarizing film having a two-layered film structure is formed. The 2nd surface 13 is formed as a recessed cylindrical surface.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザー(L
D)を光源とする光ピックアップ光学系等におけるプラ
スチックビームスプリッターに関する。
This invention relates to a semiconductor laser (L
The present invention relates to a plastic beam splitter in an optical pickup optical system using D) as a light source.

【0002】[0002]

【従来の技術】光ピックアップのバルク型光学系におい
て、現在主流をなす有限系光ピックアップの基本構成図
を図7に示す(トラッキング誤差信号は回折格子による
3スポット式を用い、フォーカス誤差信号は非点収差方
式による)。本光学系において、ビームスプリッター1
は、回折格子2を通った光源3の半導体レーザー光の一
部を対物レンズ4へ導く一方、光ディスク5からの戻り
光を光検出器受光面6へと光分岐させながら非点収差を
付与させる目的がある。図8は図7に示した光学系にお
ける光検出器受光面6のスポットダイヤグラムを示すも
ので、非点隔差は0.48mmである。
2. Description of the Related Art In a bulk type optical system of an optical pickup, a basic configuration diagram of a finite system optical pickup which is currently the mainstream is shown in FIG. 7 (a tracking error signal uses a three-spot type using a diffraction grating, and a focus error signal is According to the point aberration method). In this optical system, the beam splitter 1
Guides part of the semiconductor laser light of the light source 3 that has passed through the diffraction grating 2 to the objective lens 4, while imparting astigmatism while branching the return light from the optical disk 5 to the photodetector light-receiving surface 6. There is a purpose. FIG. 8 shows a spot diagram of the photodetector light-receiving surface 6 in the optical system shown in FIG. 7, and the astigmatic difference is 0.48 mm.

【0003】従来、上記ビームスプリッター1はBK7
等の光学ガラスを基板とする平行平面板を用いてその第
1面7に無偏光膜を形成していた。そして、このビーム
スプリッター1の製造は、直径75mm程度の大きなガ
ラス基材の両面を荒研削・中研削・精研削・研磨・洗浄
し、その片面に無偏光膜を真空蒸着法にて形成させた
後、所望の5×9×2.4tサイズとなるようにダイヤ
モンドホイールにてカッティングしていた。ところが、
ガラス基板であるが故に、このカッティングもワックス
による貼付け・カッティング・剥がし・洗浄と付随工程
が多く、また製造工程の自動化も難しい面があった。す
なわち、ガラス製のビームスプリッター1は安価に大量
生産し難い問題を有していた。
Conventionally, the beam splitter 1 is a BK7.
The non-polarizing film was formed on the first surface 7 of the parallel plane plate using the optical glass as a substrate. The beam splitter 1 was manufactured by rough-grinding, medium-grinding, fine-grinding, polishing, and cleaning both surfaces of a large glass base material having a diameter of about 75 mm, and forming a non-polarizing film on one surface of the glass base material by a vacuum evaporation method. After that, it was cut with a diamond wheel so as to have a desired size of 5 × 9 × 2.4t. However,
Since it is a glass substrate, this cutting also involves many steps such as sticking, cutting, peeling and cleaning with wax, and automation of the manufacturing process is also difficult. That is, the glass beam splitter 1 has a problem that it is difficult to mass-produce the beam splitter 1 at low cost.

【0004】そこで近年、特開平2−281202号公
報に記載されるように、光学ガラスを用いずにプラスチ
ック基材へ3層以上の薄膜層からなる無偏光膜を蒸着形
成したものが知られている。
Therefore, in recent years, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-281202, there has been known one in which a non-polarizing film composed of three or more thin film layers is formed by vapor deposition on a plastic substrate without using optical glass. There is.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、光検出
器側の光線開口数がNA=0.08程度であるため、非
点収差方式における必要な非点隔差〜0.5mmとする
ためには、プラスチック製のビームスプリッター1の板
厚を2.4mm厚としなければならない。5×9mmサ
イズで2.4mm厚とすることは、射出成形法等では必
要な面精度を維持しながら短サイクル化することが難し
く、結果として低コストの部品製造は難しかった。ま
た、従来のプラスチックビームスプリッターでは3層膜
以上の膜構成であり、無偏光膜形成時における成膜時間
の短縮化が考慮されていなかった。さらに、フォーカス
信号検出の非点収差方式における非点隔差やスポットサ
イズを自在に制御することができない問題があった。
However, since the numerical aperture of the light beam on the photodetector side is about NA = 0.08, in order to achieve the required astigmatic difference of 0.5 mm in the astigmatism method, The plate thickness of the plastic beam splitter 1 must be 2.4 mm. The 5 × 9 mm size and the 2.4 mm thickness make it difficult to shorten the cycle while maintaining the required surface accuracy by the injection molding method or the like, and as a result, it has been difficult to manufacture low-cost parts. Further, the conventional plastic beam splitter has a film structure of three layers or more, and the reduction of the film formation time at the time of forming the non-polarization film has not been considered. Further, there is a problem that the astigmatic difference and the spot size cannot be freely controlled in the astigmatism method of focus signal detection.

【0006】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので、プラスチックの有する自由形状性を生か
して高精度の面精度を維持しながら低コストで大量生産
でき、さらに非点収差方式における非点隔差を面間隔
(光軸上)を変化せずに自在に制御可能とし、しかも合
焦時のスポット形状を円形にできるプラスチックビーム
スプリッターを提供とすることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and by utilizing the free formability of plastics, it is possible to mass-produce at low cost while maintaining high precision surface accuracy, and further, the astigmatism method. It is an object of the present invention to provide a plastic beam splitter capable of freely controlling the astigmatic difference in (3) without changing the surface spacing (on the optical axis) and making the spot shape in focus circular.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、レーザー光学系のビームスプリッターをプ
ラスチックにより形成するとともに、その第1面の平面
に特定の分波比を有する無偏光膜を形成する一方、第2
面を曲面としてプラスチックビームスプリッターを構成
した。
In order to achieve the above object, the present invention provides a non-polarizing film having a beam splitter of a laser optical system made of plastic and having a specific demultiplexing ratio on its first plane. While forming a second
A plastic beam splitter was constructed with the surface as a curved surface.

【0008】本発明において用いるプラスチック基材と
しては、例えば熱可塑性樹脂としてポリメチルメタクリ
レート、ポリスチレン、ポリカーボネイト、ポリ塩化ビ
ニル、メチルメタクリレートと他のビニルモノマーとの
共重合体等が挙げられ、熱硬化性樹脂としてはポリジエ
チレングリコールビスアリルカーボネイト等が挙げられ
る。このうち、透過性、複屈折等の点からポリメチルメ
タクリレートが特に好ましい。
Examples of the plastic substrate used in the present invention include thermoplastic resins such as polymethylmethacrylate, polystyrene, polycarbonate, polyvinyl chloride, copolymers of methylmethacrylate and other vinyl monomers, and the like. Examples of the resin include polydiethylene glycol bisallyl carbonate. Among these, polymethylmethacrylate is particularly preferable from the viewpoints of transparency and birefringence.

【0009】ここに、前記無偏光膜はケイ素およびケイ
素酸化物のλ/4膜により形成すると良い。また、前記
第2面を円筒面やトーリック面としても良い。
Here, the non-polarizing film is preferably formed of a λ / 4 film of silicon and silicon oxide. Further, the second surface may be a cylindrical surface or a toric surface.

【0010】[0010]

【作用】上記構成の本発明のプラスチックビームスプリ
ッターによれば、射出成形法等により基材を形成するこ
とができ、複雑な形状でも量産性に富み低コスト化が可
能であって、ビームスプリッターの第2面に曲率を付与
させることによって非点収差方式における合焦時のスポ
ット形状を自在に制御可能となる。
According to the plastic beam splitter of the present invention having the above-mentioned structure, the base material can be formed by the injection molding method or the like, the mass productivity is high and the cost can be reduced even in a complicated shape. By giving curvature to the second surface, it becomes possible to freely control the spot shape at the time of focusing in the astigmatism method.

【0011】ただし、第2面を円筒面としただけでは合
焦時のスポット形状はコマ収差の影響により略三角形状
となるため、これを補正するために第2面をトーリック
面とすればほぼ円形スポットを得ることができる。
However, if only the second surface is a cylindrical surface, the spot shape at the time of focusing becomes a substantially triangular shape due to the influence of coma aberration. Therefore, if the second surface is a toric surface to correct this, it is almost the same. A circular spot can be obtained.

【0012】なお、図8に示したスポットダイヤグラム
と同等の非点隔差を1.0mm厚で実現させる手段とし
て、プリズム頂角0.5度を有するウェッジ板を用いる
こともできるが角度公差として±3分程度に押さえなけ
ればならず、大量生産に適した構造と言えない。
A wedge plate having a prism apex angle of 0.5 degrees can be used as a means for realizing an astigmatic difference equivalent to the spot diagram shown in FIG. 8 with a thickness of 1.0 mm, but the angle tolerance is ±. It has to be held for about 3 minutes, so it cannot be said that the structure is suitable for mass production.

【0013】[0013]

【実施例1】図1は本実施例のプラスチックビームスプ
リッターを示すもので、自由形状の得られる射出成形法
等によって、PMMAからなる剛性の高い断面H鋼型形
状のプラスチック基材9が形成されている。そして、反
射面である平面の第1面10には、プラスチック基材9
上に第1層11としてケイ素(Si)のλ/4膜が形成
され、さらに第2層12として二酸化ケイ素(Si
2)のλ/4膜が形成され、2層膜構造の無偏光膜が
形成されている。目的とする波長780nmでのp偏光
反射率およびs偏光反射率は、それぞれ45°入射条件
でRp=35.9%およびRs=36.5%である。一
方、第2面13は曲率半径600mm前後の凹状円筒面
に形成されており、第1面10と第2面13との面間隔
は1.0mmに形成されている。
[Embodiment 1] FIG. 1 shows a plastic beam splitter of the present embodiment, in which a plastic base material 9 made of PMMA and having a H-shaped cross section with high rigidity is formed by an injection molding method or the like to obtain a free shape. ing. Then, the plastic base material 9 is formed on the first surface 10 which is a reflection surface.
A λ / 4 film of silicon (Si) is formed as the first layer 11 on the upper surface, and silicon dioxide (Si) is further formed as the second layer 12.
A λ / 4 film of O 2 ) is formed, and a non-polarizing film having a two-layer film structure is formed. The target p-polarized light reflectance and s-polarized light reflectance at a wavelength of 780 nm are Rp = 35.9% and Rs = 36.5% under a 45 ° incidence condition, respectively. On the other hand, the second surface 13 is formed as a concave cylindrical surface having a curvature radius of about 600 mm, and the surface distance between the first surface 10 and the second surface 13 is 1.0 mm.

【0014】上記構成のプラスチックビームスプリッタ
ーを製造するには、まず射出成形法によりプラスチック
基材9を成形し、これを超音波洗浄機により洗浄して油
脂等の汚れを落とした。その後、プラスチック基材9に
含まれる水分を除くために予備乾燥を行った。そして、
コーティング被処理面である第1面10が蒸発源に向か
うように、プラスチック基材9をベルジャー内に装填し
た。次いで、ベルジャー内の真空度が2×10-5Tor
rとなるように準備し、基板加熱を60〜70℃に設定
するとともに、蒸着試料のSiとSiO2 とを電子銃用
ルツボにセットした。排気後、開始真空度2×10-5
orrから蒸着を開始し、コート中心波長λ=880n
mにてモニタリングし、第1層11としてSiのλ/4
膜を形成した。次に、同様にして第2層12のSiO2
のiのλ/4膜を形成した。
In order to manufacture the plastic beam splitter having the above-mentioned structure, first, the plastic base material 9 is molded by the injection molding method, and the plastic base material 9 is cleaned by the ultrasonic cleaning machine to remove dirt such as oil and fat. After that, preliminary drying was performed in order to remove water contained in the plastic substrate 9. And
The plastic base material 9 was loaded into the bell jar so that the first surface 10, which is the surface to be coated, faces the evaporation source. Next, the degree of vacuum in the bell jar is 2 × 10 -5 Tor
The substrate was heated to 60 to 70 ° C., and Si and SiO 2 as vapor deposition samples were set in the crucible for electron gun. After evacuation, start vacuum degree 2 × 10 -5 T
Starting vapor deposition from orr, coating center wavelength λ = 880n
m, and λ / 4 of Si as the first layer 11
A film was formed. Then, similarly, the second layer 12 is formed of SiO 2
A λ / 4 film of i was formed.

【0015】表1に本膜構成と屈折率を示す。Table 1 shows the constitution of the film and the refractive index.

【0016】[0016]

【表1】 [Table 1]

【0017】図2は上記構成のプラスチックビームスプ
リッター14の第1面10に形成された2層膜からなる
無偏光膜の分光特性データを示すものである。なお、図
2はケイ素の複素屈折率(n−ik)の波長分散を考慮
した設計値であり、実際に本膜構成でのコーティング膜
の実測値と良い一致を見ている。
FIG. 2 shows spectral characteristic data of a non-polarizing film formed of a two-layer film formed on the first surface 10 of the plastic beam splitter 14 having the above structure. Note that FIG. 2 is a design value in consideration of wavelength dispersion of the complex refractive index (n-ik) of silicon, and actually agrees well with the actually measured value of the coating film in this film configuration.

【0018】図3は本実施例のプラスチックビームスプ
リッター14を用いた有限系光ピックアップの基本構成
図であり、図4はその光検出器受光面6でのスポットダ
イヤグラムを示している。本実施例のプラスチックビー
ムスプリッター14は第1面10と第2面13との面間
隔がわずか1.0mmであるのに平行平面板の板厚2.
4mmの従来品と同様の非点隔差が得られる。すなわ
ち、図8と同等の非点隔差0.48mmおよび合焦時ス
ポットサイズを得られることが判る。
FIG. 3 is a basic configuration diagram of a finite system optical pickup using the plastic beam splitter 14 of this embodiment, and FIG. 4 shows a spot diagram on the light receiving surface 6 of the photodetector. In the plastic beam splitter 14 of this embodiment, the plane distance between the first surface 10 and the second surface 13 is only 1.0 mm, but the plate thickness of the plane parallel plate is 2.
The same astigmatic difference as the conventional product of 4 mm can be obtained. That is, it can be seen that an astigmatic difference of 0.48 mm and a spot size at the time of focusing, which are equivalent to those in FIG. 8, can be obtained.

【0019】[0019]

【実施例2】図5は合焦時にほぼ円形スポットが得られ
るプラスチックビームスプリッター15の一実施例を示
すもので、第1面16には上記実施例1と同様に無偏光
膜が形成されており、第2面17はトーリック面に形成
されている。そのトーリック面はY軸断面方向の曲率半
径RY が2000mmであり、X軸断面方向の曲率半径
X が69.98mmである。
[Embodiment 2] FIG. 5 shows an embodiment of a plastic beam splitter 15 which can obtain a substantially circular spot at the time of focusing. A non-polarizing film is formed on the first surface 16 as in Embodiment 1 above. The second surface 17 is a toric surface. The toric surface has a radius of curvature R Y in the Y-axis sectional direction of 2000 mm and a radius of curvature R X in the X-axis sectional direction of 69.98 mm.

【0020】図6は上記本実施例のプラスチックビーム
スプリッター15を用いた時に得られるスポットダイヤ
グラムを示すもので、非点隔差1.2mmでほぼ円形ス
ポットが得られることが判る。
FIG. 6 shows a spot diagram obtained when the plastic beam splitter 15 of the present embodiment is used, and it can be seen that a substantially circular spot is obtained with an astigmatic difference of 1.2 mm.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上のように、本発明のプラスチックビ
ームスプリッターによれば、射出成形法等の生産手段に
より安価に大量生産可能で製造工程の自動化も容易とな
り、2層膜により無偏光膜を形成することによりコーテ
ィング時間を短縮することができ、また非点隔差を自在
に設定できる構造としているために光ピックアップ設計
時の自由度が増大し、特に第2面をトーリック面とする
ことにより合焦時のスポット形状を円形にすることがで
きる。
As described above, according to the plastic beam splitter of the present invention, it is possible to mass-produce inexpensively by the production means such as the injection molding method, the automation of the manufacturing process is facilitated, and the non-polarizing film is formed by the two-layer film. By forming it, the coating time can be shortened, and the astigmatic difference can be set freely, which increases the degree of freedom when designing the optical pickup. Especially, by making the second surface a toric surface, The spot shape at the time of focusing can be made circular.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例1のプラスチックビームスプリ
ッターを示す縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical sectional view showing a plastic beam splitter according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例1におけるp偏光、s偏光の透
過率および反射率の設計分光特性図である。
FIG. 2 is a design spectral characteristic diagram of p-polarized light and s-polarized light transmittance and reflectance in Example 1 of the present invention.

【図3】図1に示すプラスチックビームスプリッターを
用いた有限系光ピックアップの基本構成図である。
FIG. 3 is a basic configuration diagram of a finite optical pickup using the plastic beam splitter shown in FIG.

【図4】図3に示す光学系における光検出器受光面のス
ポットダイヤグラムである。
FIG. 4 is a spot diagram of a light receiving surface of a photodetector in the optical system shown in FIG.

【図5】本発明の実施例2のプラスチックビームスプリ
ッターを示す構成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram showing a plastic beam splitter according to a second embodiment of the present invention.

【図6】図5に示す光学系における光検出器受光面のス
ポットダイヤグラムである。
6 is a spot diagram of a light receiving surface of a photodetector in the optical system shown in FIG.

【図7】従来のビームスプリッターを用いた有限系光ピ
ックアップの基本構成図である。
FIG. 7 is a basic configuration diagram of a finite system optical pickup using a conventional beam splitter.

【図8】図7に示す光学系における光検出器受光面のス
ポットダイヤグラムである。
8 is a spot diagram of a light receiving surface of a photodetector in the optical system shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ビームスプリッター 2 回折格子 3 光源(LD) 4 有限系対物レンズ 5 光ディスク 6 光検出器受光面 9 プラスチック基材 7、10、16 第1面 11 第1層 12 第2層 8、13、17 第2面 14、15 プラスチックビームスプリッター DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Beam splitter 2 Diffraction grating 3 Light source (LD) 4 Finite system objective lens 5 Optical disk 6 Photodetector light receiving surface 9 Plastic substrate 7, 10, 16 1st surface 11 1st layer 12 2nd layer 8, 13, 17th 2 side 14, 15 plastic beam splitter

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザー光学系のビームスプリッターを
プラスチックにより形成するとともに、その第1面の平
面に特定の分波比を有する無偏光膜を形成する一方、第
2面を曲面としたことを特徴とするプラスチックビーム
スプリッター。
1. A beam splitter of a laser optical system is formed of plastic, and a non-polarizing film having a specific demultiplexing ratio is formed on the plane of its first surface, while the second surface is curved. And a plastic beam splitter.
【請求項2】 前記無偏光膜はケイ素およびケイ素酸化
物のλ/4膜からなることを特徴とする請求項1記載の
プラスチックビームスプリッター。
2. The plastic beam splitter according to claim 1, wherein the non-polarizing film is a λ / 4 film of silicon and silicon oxide.
【請求項3】 前記第2面が円筒面であることを特徴と
する請求項1または2記載のプラスチックビームスプリ
ッター。
3. The plastic beam splitter according to claim 1, wherein the second surface is a cylindrical surface.
【請求項4】 前記第2面がトーリック面であることを
特徴とする請求項1または2記載のプラスチックビーム
スプリッター。
4. The plastic beam splitter according to claim 1, wherein the second surface is a toric surface.
JP3331179A 1991-11-20 1991-11-20 Plastic beam splitter Pending JPH05142499A (en)

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