JPH05126512A - Angle detector - Google Patents

Angle detector

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JPH05126512A
JPH05126512A JP3288781A JP28878191A JPH05126512A JP H05126512 A JPH05126512 A JP H05126512A JP 3288781 A JP3288781 A JP 3288781A JP 28878191 A JP28878191 A JP 28878191A JP H05126512 A JPH05126512 A JP H05126512A
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JP
Japan
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housing
magnetic
angle detector
rotating body
magnetic field
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Withdrawn
Application number
JP3288781A
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Japanese (ja)
Inventor
Shinkichi Shimizu
信吉 清水
Shigemi Kurashima
茂美 倉島
Shigeo Tanji
成生 丹治
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/50Fuel cells

Abstract

PURPOSE:To achieve miniaturization and low cost by forming a conductor pattern on a surface inside a housing enclosing a rotary body and then mounting a magnetic detection part and other electronic parts for achieving a function of printed-circuit board. CONSTITUTION:A conductor pattern 21 of a specified circuit is formed by copper-plating a bottom surface inside a housing and then a magnetic resistance element 13 which is a magnetic detection part is mounted on it. In a rotary body 16, permanent magnets l7a and 17b are mounted to the tip opposingly in different poles, they are interlocked to an object to be measured for rotation by a rotary shaft 18 through the housing 12, and then a measurement magnetic field ranges is + or -90 degrees by a stopper 24 inside the housing 12. Then, when the magnets 17a and 17b of the rotary body 16 are rotated according to rotation of the object to be measured, a magnetic field according to the rotary angle is applied to the element 13, thus achieving miniaturization and low cost of a device.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、被測定物の回転角度を
検出する角度検出器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an angle detector for detecting a rotation angle of an object to be measured.

【0002】近年、被測定物の回転角度を検出する場
合、検出素子として磁気抵抗(MR)素子が主に使用さ
れる。このMR素子を使用した角度検出器において、小
型かつ安価であることが望まれている。
In recent years, a magnetoresistive (MR) element has been mainly used as a detection element when detecting the rotation angle of an object to be measured. An angle detector using this MR element is desired to be small and inexpensive.

【0003】[0003]

【従来の技術】図4に、従来の角度検出器の構成図を示
す。図4(A)は側部断面図であり、図4(B)は検出
部分の一部斜視図を示したものである。
2. Description of the Related Art FIG. 4 is a block diagram of a conventional angle detector. FIG. 4A is a side sectional view, and FIG. 4B is a partial perspective view of the detection portion.

【0004】図4(A),(B)の角度検出器11A
おいて、ハウジング12内にバーバーポール型のMR素
子13及びその他電子部品が実装されたプリント基板1
4が配置され、該プリント基板14にハウジング12の
外部に延出する出力コネクタ15が接続される。
In the angle detector 11 A shown in FIGS. 4A and 4B, a printed circuit board 1 in which a barber pole type MR element 13 and other electronic parts are mounted in a housing 12
4 is arranged, and the output connector 15 extending to the outside of the housing 12 is connected to the printed circuit board 14.

【0005】一方、略「コ」の字状の回転体16の先端
には永久磁石17a,17bがそれぞれ取り付けられて
対向する。この対向する永久磁石17a,17b間にM
R素子13が位置するように回転体16が配置される。
この場合、対向する永久磁石17a,17bは、MR素
子13側が互いに異なる極性で位置される。回転体16
は中心部に取り付けられた回転軸18によって回転し、
回転軸18が被測定物(図示せず)に連結される。
On the other hand, permanent magnets 17a and 17b are attached to the tip of the substantially U-shaped rotating body 16 and face each other. M between the opposing permanent magnets 17a and 17b
The rotating body 16 is arranged so that the R element 13 is located.
In this case, the permanent magnets 17a and 17b facing each other are positioned with different polarities on the MR element 13 side. Rotating body 16
Is rotated by the rotating shaft 18 attached to the center,
The rotating shaft 18 is connected to an object to be measured (not shown).

【0006】このような角度検出器1A は、被測定物に
連結された回転軸18により回転体が回転すると、永久
磁石17a,17bによるMR素子13を横切る磁界が
変化する。MR素子13は、磁界方向の変化に応じて異
なる電圧を出力し、これにより回転体16の回転位置を
認識するものである。
In such an angle detector 1 A , when the rotating body is rotated by the rotating shaft 18 connected to the object to be measured, the magnetic field across the MR element 13 by the permanent magnets 17a and 17b is changed. The MR element 13 outputs a different voltage according to the change in the magnetic field direction, thereby recognizing the rotational position of the rotating body 16.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のよう
に、ハウジング12内には、MR素子13を実装し、出
力コネクタ15を接続するプリント基板14が設けられ
ている。このプリント基板14は例えば厚さが1.6m
m程度あり、また安全性を確保するためにハウジング1
2の内側底面より3mm程度離間させている。従って、
ハウジング12内は、該プリント基板14のためのスペ
ースを必要とし、小型化が図れないと共に、低コスト化
が図れないという問題がある。
However, as described above, the printed circuit board 14 for mounting the MR element 13 and connecting the output connector 15 is provided in the housing 12. The printed circuit board 14 has a thickness of 1.6 m, for example.
About 1 m, and housing 1 to ensure safety
It is separated from the inner bottom surface of 2 by about 3 mm. Therefore,
The inside of the housing 12 requires a space for the printed circuit board 14, and there is a problem that the size cannot be reduced and the cost cannot be reduced.

【0008】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、小型化かつ低コスト化を図る角度検出器を提供
することを目的とする。
Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an angle detector which is downsized and reduced in cost.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題は、ハウジング
に内包する回転体に固定された対向する永久磁石を、磁
気検出部の周囲で回転させ、該永久磁石からの磁界方向
による該磁気検出部の出力変化で、該回転体の回転角度
を検出する角度検出器において、前記ハウジングの内側
底面に、所定の導体パターンを形成し、前記磁気検出部
及び所定回路を形成する電子部品を実装することにより
解決される。
SUMMARY OF THE INVENTION The above-mentioned problems are solved by rotating opposing permanent magnets fixed to a rotating body contained in a housing around a magnetic detecting portion, and by changing the magnetic field direction from the permanent magnet. In the angle detector that detects the rotation angle of the rotating body by the change in the output of the electronic component, a predetermined conductor pattern is formed on the inner bottom surface of the housing, and an electronic component that forms the magnetic detection unit and the predetermined circuit is mounted. Will be solved by.

【0010】[0010]

【作用】上述のように、ハウジングの内側底面に形成し
た導体パターン上に、磁気検出部その他電子部品を表面
実装する。すなわち、ハウジングの内側底面をプリント
基板と同様の役割をさせるものである。
As described above, the magnetic detector and other electronic components are surface-mounted on the conductor pattern formed on the inner bottom surface of the housing. That is, the inner bottom surface of the housing plays a role similar to that of the printed circuit board.

【0011】これにより、プリント基板が不要となるこ
とから、低コスト化されると共に、その分のスペースを
確保する必要がなく、小型化することが可能となる。
As a result, a printed circuit board is not required, so that the cost can be reduced, and it is not necessary to secure a space for the cost, and the size can be reduced.

【0012】[0012]

【実施例】図1に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図1(A)は縦断面図であり、図1(B)は上部断面図
であり、図1(C)はチップ実装の断面図である。な
お、図4と同一の構成部分には同一の符号を付す。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a block diagram of an embodiment of the present invention.
1A is a vertical sectional view, FIG. 1B is an upper sectional view, and FIG. 1C is a sectional view of chip mounting. The same components as those in FIG. 4 are designated by the same reference numerals.

【0013】図1(A),(B)の角度検出器11B
おいて、ハウジング12内に磁気検出部であるMR素子
(ホール素子でもよい)13が配置される。
In the angle detector 11 B shown in FIGS. 1A and 1B, an MR element (which may be a Hall element) 13 as a magnetic detector is arranged in a housing 12.

【0014】ハウジング12は、PBT(ポリブチレン
テレフタレート)等の射出成形材料に形成され、内側底
面に銅膜をメッキして所定回路の導体パターン21が形
成される。この導体パターン21に、MR素子13がは
んだにより、実装されると共に、外部に配置される出力
コネクタ15が接続される。
The housing 12 is formed of an injection molding material such as PBT (polybutylene terephthalate), and a copper film is plated on the inner bottom surface to form a conductor pattern 21 of a predetermined circuit. The MR element 13 is mounted on the conductor pattern 21 by soldering, and the output connector 15 arranged outside is connected.

【0015】また、該導体パターン21上には、図1
(C)に示すように、例えば増幅器、定電流回路、温度
補償回路等を構成する電子部品(チップ)22がはんだ
23により実装される。
Further, on the conductor pattern 21 is shown in FIG.
As shown in (C), for example, an electronic component (chip) 22 that constitutes an amplifier, a constant current circuit, a temperature compensation circuit, etc. is mounted by solder 23.

【0016】MR素子13は、いわゆるバーバーポール
型のもので、シリコン等からなる基板にSiO2 (シリ
コン酸化膜)等の絶縁層を形成し、該絶縁層の上につづ
ら折り形状の磁性パターンを形成し、次いで磁性パター
ンの長手方向に一軸磁気異方性(内部磁化)Miを付与
せしめた後、Au等の導電膜を一定間隔で斜めに形成し
たものである。
The MR element 13 is a so-called barber pole type, and an insulating layer such as SiO 2 (silicon oxide film) is formed on a substrate made of silicon or the like, and a zigzag-shaped magnetic pattern is formed on the insulating layer. Then, uniaxial magnetic anisotropy (internal magnetization) Mi is applied in the longitudinal direction of the magnetic pattern, and thereafter, a conductive film such as Au is obliquely formed at regular intervals.

【0017】このようなMR素子13は磁性体パターン
の内部磁化Miの方向と、導電膜を流れる電流Iの成す
角度θが、π/4+nπ(または7/4π−nπ)(n
=0.1…)であれば、出力を増大させることができ
る。
In such an MR element 13, the angle θ formed by the direction of the internal magnetization Mi of the magnetic material pattern and the current I flowing through the conductive film is π / 4 + nπ (or 7 / 4π-nπ) (n
= 0.1 ...), the output can be increased.

【0018】なお、後述する永久磁石17a,17bの
温度特性を補償するために、MR素子13の裏面であっ
て、検出方向に直角の極性で補助磁石を取り付けてもよ
い。この補助磁石は、温度によるMR素子13の抵抗値
の変動を、磁界検出感度の変化で吸収しようとするもの
であり、MR素子13の磁化容易軸方向(回転体の角度
が0°の方向)で補償するものである。
In order to compensate the temperature characteristics of permanent magnets 17a and 17b, which will be described later, an auxiliary magnet may be attached on the back surface of the MR element 13 with a polarity perpendicular to the detection direction. This auxiliary magnet tries to absorb the change in the resistance value of the MR element 13 due to the temperature by the change in the magnetic field detection sensitivity, and is in the easy axis of magnetization of the MR element 13 (the angle of the rotating body is 0 °). It will be compensated in.

【0019】一方、回転体16が、例えば電磁軟鉄(J
IS C 2504)、特に電磁鋼鉄、ケイ素網等のソ
フト磁性材料の磁性金属で略「コ」の字状に形成され
る。この回転体16の先端には永久磁石17a,17b
が、異なる極を対向させて固着される。永久磁石17
a,17bは、例えば稀上類磁石(サマリウム・コバル
ト、ネオジウム)又は押し出し成形に適合したプラスチ
ック稀上類磁石(サマリウム・コバルト、ネオジウム)
により形成される。
On the other hand, the rotating body 16 is made of, for example, electromagnetic soft iron (J
IS C 2504), and in particular, it is formed of a magnetic metal of a soft magnetic material such as electromagnetic steel, silicon mesh, etc. in a substantially U-shape. Permanent magnets 17a, 17b are provided at the tip of the rotating body 16.
However, they are fixed with different poles facing each other. Permanent magnet 17
a and 17b are, for example, rare magnets (samarium-cobalt, neodymium) or plastic rare-magnets suitable for extrusion (samarium-cobalt, neodymium).
Is formed by.

【0020】この場合、回転体16は、対向する永久磁
石17a,17bの対向しない磁性面をシャント効果
(発生磁界の減少による均一化)により磁気特性を安定
化させるものである。
In this case, the rotating body 16 stabilizes the magnetic characteristics of the opposing magnetic surfaces of the opposing permanent magnets 17a and 17b by the shunt effect (uniformization by reducing the generated magnetic field).

【0021】そして、回転体16は、中心部に取り付け
られた回転軸18によって回転し、回転軸18が被測定
物(図示せず)に連結される。この回転軸18は、軸受
け18aを介在させてハウジング12を貫通する。軸受
けは、例えばセラミック又は非磁性ステンレスのボール
ベアリングや銅系の焼結構造の非磁性の材質により形成
される。
The rotating body 16 is rotated by a rotating shaft 18 attached to the center thereof, and the rotating shaft 18 is connected to an object to be measured (not shown). The rotary shaft 18 penetrates the housing 12 with a bearing 18a interposed. The bearing is made of, for example, a ceramic or non-magnetic stainless ball bearing or a non-magnetic material having a copper-based sintered structure.

【0022】また、ハウジング12内側には、回転体1
6を±90°の範囲で回転させるために、ストッパ22
が形成される。すなわち、MR素子13は磁界方向が1
80°を越えるとヒステリシスが発生することから、ス
トッパ24により測定磁界範囲を±90°とするもので
ある。
Inside the housing 12, the rotating body 1
In order to rotate 6 within the range of ± 90 °, the stopper 22
Is formed. That is, the magnetic field direction of the MR element 13 is 1
Since the hysteresis occurs when the angle exceeds 80 °, the measurement magnetic field range is set to ± 90 ° by the stopper 24.

【0023】なお、図示しないがハウジング12の外周
を、例えばPCパーマロイ、PBパーマロイ、ケイ素銅
等で磁気シールドされる。これは、MR素子13は、微
弱な磁界をも検出することから、外部磁界の影響を回避
するためである。
Although not shown, the outer periphery of the housing 12 is magnetically shielded with, for example, PC permalloy, PB permalloy, silicon copper or the like. This is because the MR element 13 also detects a weak magnetic field, so that the influence of the external magnetic field is avoided.

【0024】このような角度検出器11B は、被測定物
が回転することにより回転体16の永久磁石17a,1
7bが回転すると、該永久磁石17a,17b間の回転
角度に応じた磁界がMR素子13に印加される。
Such an angle detector 11 B has the permanent magnets 17 a, 1 a of the rotating body 16 when the object to be measured rotates.
When 7b rotates, a magnetic field corresponding to the rotation angle between the permanent magnets 17a and 17b is applied to the MR element 13.

【0025】ここで、図2に、図1のMR素子の出力特
性のグラフを示す。MR素子13は、検出する磁界の強
さでその抵抗値が変化することにより、出力電圧が変化
する。すなわち、図2のグラフのように、出力電圧と回
転体16との回転角度との関係が得られるものである。
Here, FIG. 2 shows a graph of output characteristics of the MR element of FIG. The MR element 13 changes its resistance value depending on the strength of the magnetic field to be detected, so that the output voltage changes. That is, as shown in the graph of FIG. 2, the relationship between the output voltage and the rotation angle of the rotating body 16 can be obtained.

【0026】上述のように角度検出器11B は、プリン
ト基板を設けずに、ハウジング12自体にMR素子13
やチップ22等を実装することから、低コストにするこ
とができると共に、プリント基板自体の厚さ及び配置間
隙を確保する必要がなく小型とすることができる。
As described above, the angle detector 11 B includes the MR element 13 in the housing 12 itself without providing a printed circuit board.
By mounting the chip 22 and the like, the cost can be reduced and the size can be reduced without the need to secure the thickness and the arrangement gap of the printed circuit board itself.

【0027】次に、図3に、本発明の他の実施例の構成
図を示す。図1の説明においては、角度検出器11B
おけるハウジング12の外周に磁気シールドを行う場合
を示したが、図3の角度検出器11B は、ハウシング1
2に磁性シールドするためのシールド部材25を内設し
たものである。シールド部材25は、例えば上述と同様
のPCパーマロイ、PBパーマロイ、ケイ素銅等の磁性
金属で形成される。
Next, FIG. 3 shows a block diagram of another embodiment of the present invention. In the description of FIG. 1, although the case where a magnetic shield on the outer circumference of the housing 12 in the angle detector 11 B, the angle detector 11 B of FIG. 3 Housing 1
2 is internally provided with a shield member 25 for magnetically shielding. The shield member 25 is formed of a magnetic metal such as PC permalloy, PB permalloy, and silicon copper, which are similar to those described above.

【0028】この場合、シールド部材25は、絶縁性の
ハウシング12の射出成形材料で完全に覆われた状態と
なり、内側底面で形成される導体パターン21とは絶縁
状態となる。
In this case, the shield member 25 is completely covered with the injection molding material for the insulating housing 12, and is insulated from the conductor pattern 21 formed on the inner bottom surface.

【0029】これにより、外周に磁気シールドを行わな
いことから、全体として小型となるものである。
As a result, the magnetic shield is not provided on the outer circumference, so that the size is reduced as a whole.

【0030】[0030]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ハウジン
グの内側底面に導体パターンを形成し、磁気検出部及び
所定回路を形成する電子部品を実装し、またハウジング
にシールド部材を内設することにより、装置全体の小型
化から低コスト化を図ることができる。
As described above, according to the present invention, the conductor pattern is formed on the inner bottom surface of the housing, the electronic parts forming the magnetic detection portion and the predetermined circuit are mounted, and the shield member is provided inside the housing. As a result, it is possible to reduce the size of the entire device and reduce the cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.

【図2】図1のMR素子の出力特性のグラフである。FIG. 2 is a graph of output characteristics of the MR element of FIG.

【図3】本発明の他の実施例の構成図である。FIG. 3 is a configuration diagram of another embodiment of the present invention.

【図4】従来の角度検出器の構成図である。FIG. 4 is a configuration diagram of a conventional angle detector.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11A ,11B 角度検出器 12 ハウジング 13 MR素子 16 回転体 15 回転体 17a,17b 永久磁石 18 回転軸 21 導体パターン 22 チップ 24 ストッパ 25 シールド部材11 A , 11 B Angle detector 12 Housing 13 MR element 16 Rotating body 15 Rotating body 17a, 17b Permanent magnet 18 Rotating shaft 21 Conductor pattern 22 Chip 24 Stopper 25 Shield member

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ハウジング(12)に内包される回転体
(16)に固定された対向する永久磁石(17a,17
b)を、磁気検出部(13)の周囲で回転させ、該永久
磁石(17a,17b)からの磁界方向による該磁気検
出部(13)の出力変化で、該回転体(16)の回転角
度を検出する角度検出器において、 前記ハウシング(12)の内側底面に、所定の導体パタ
ーン(21)を形成し、前記磁気検出部(13)及び所
定回路を形成する電子部品(22)を実装することを特
徴とする角度検出器。
1. An opposing permanent magnet (17a, 17) fixed to a rotating body (16) contained in a housing (12).
b) is rotated around the magnetic detection part (13), and the rotation angle of the rotating body (16) is changed by the output change of the magnetic detection part (13) depending on the magnetic field direction from the permanent magnets (17a, 17b). In the angle detector for detecting, a predetermined conductor pattern (21) is formed on the inner bottom surface of the housing (12), and the magnetic detector (13) and an electronic component (22) forming a predetermined circuit are mounted. An angle detector characterized in that
【請求項2】 前記ハウジング(12)に、磁気シール
ドするためのシールド部材(25)を内設することを特
徴とする請求項1記載の角度検出器。
2. The angle detector according to claim 1, wherein a shield member (25) for magnetically shielding is provided inside the housing (12).
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0968403A (en) * 1995-08-31 1997-03-11 Denso Corp Opening sensor for throttle valve
WO2002004896A1 (en) * 2000-07-12 2002-01-17 Kayaba Kogyo Industry Co., Ltd. Angular sensor
JP2005501239A (en) * 2001-08-23 2005-01-13 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Magnetoresistive angle sensor
JP2008122254A (en) * 2006-11-13 2008-05-29 Ulvac Japan Ltd Differential transformer for displacement sensor in probe type step profiler
JP2009047426A (en) * 2007-08-13 2009-03-05 Niles Co Ltd Noncontact rotation angle detecting sensor
WO2013183724A1 (en) * 2012-06-07 2013-12-12 株式会社ミクニ Angular sensor
CN104704726A (en) * 2013-01-04 2015-06-10 可控动力技术有限公司 Position sensing system
CN111137838A (en) * 2019-12-20 2020-05-12 清华大学 MEMS capacitive gate type angular displacement sensor and manufacturing method thereof
JP2022148809A (en) * 2021-03-24 2022-10-06 Tdk株式会社 Angle detection device, angle detection system, park lock system, and pedal system
JP2022148808A (en) * 2021-03-24 2022-10-06 Tdk株式会社 Angle detection device, angle detection system, park lock system, and pedal system

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0968403A (en) * 1995-08-31 1997-03-11 Denso Corp Opening sensor for throttle valve
WO2002004896A1 (en) * 2000-07-12 2002-01-17 Kayaba Kogyo Industry Co., Ltd. Angular sensor
US6724185B2 (en) 2000-07-12 2004-04-20 Kayaba Industry Co., Ltd. Sensor for detecting rotation angle with permanent magnets and flux density detector
JP2005501239A (en) * 2001-08-23 2005-01-13 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Magnetoresistive angle sensor
JP2008122254A (en) * 2006-11-13 2008-05-29 Ulvac Japan Ltd Differential transformer for displacement sensor in probe type step profiler
JP2009047426A (en) * 2007-08-13 2009-03-05 Niles Co Ltd Noncontact rotation angle detecting sensor
WO2013183724A1 (en) * 2012-06-07 2013-12-12 株式会社ミクニ Angular sensor
CN104704726A (en) * 2013-01-04 2015-06-10 可控动力技术有限公司 Position sensing system
KR20150102932A (en) * 2013-01-04 2015-09-09 컨트롤드 파워 테크놀로지스 엘티디 Position sensing system
JP2016505852A (en) * 2013-01-04 2016-02-25 コントロールド パワー テクノロジーズ リミテッド Position sensing system
JP2018136321A (en) * 2013-01-04 2018-08-30 フェデラル−モーグル・コントロールド・パワー・リミテッドFederal−Mogul Controlled Power Limited Position sensing system
US10110096B2 (en) 2013-01-04 2018-10-23 Federal-Mogul Controlled Power Limited Position sensing system
CN111137838A (en) * 2019-12-20 2020-05-12 清华大学 MEMS capacitive gate type angular displacement sensor and manufacturing method thereof
CN111137838B (en) * 2019-12-20 2022-08-30 清华大学 MEMS capacitive gate type angular displacement sensor and manufacturing method thereof
JP2022148809A (en) * 2021-03-24 2022-10-06 Tdk株式会社 Angle detection device, angle detection system, park lock system, and pedal system
JP2022148808A (en) * 2021-03-24 2022-10-06 Tdk株式会社 Angle detection device, angle detection system, park lock system, and pedal system

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