JPH051224U - ウエーハバスケツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［目的］ 液の自由な出入りを可能とするとともに、軽
量化、コストダウン等を図ることができるウエーハカセ
ットを提供すること。 ［構成］ 側壁底部２ｂ−１，２ｂ−２の中央部分に開
口部Ｓ，Ｓを形成するとともに、側壁上半部２ｃ−１，
２ｃ−２のリブ９…間にスリット状の通孔１１…を形成
し、リブ９…を側壁上半部２ｃ−１，２ｃ−２に沿って
垂直に形成し、支持ステイ８，８の頂部にウエーハＷ…
の外周を支持すべき係合溝８ａ…を形成し、該係合溝８
ａ…の横断面形状を略半円形とする。各ウエーハＷは支
持ステイ８，８に対して略点接触するため、該ウエーハ
Ｗと支持ステイ８，８間に液が残留することがなく、ウ
エーハＷにシミ等が発生しない、又、当該ウエーハバス
ケット１を液中に浸漬した場合、液は開口部Ｓ，Ｓを介
して自由に出入りする。更に、開口部Ｓ，Ｓの形成によ
って、軽量化、コストダウンを図ることができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、複数枚のウエーハを収容して洗浄、乾燥、保管、搬送等するための ウエーハバスケットに関する。

【０００２】

【従来の技術】

斯かるウエーハバスケットは、耐薬品性及び耐熱性に優れたＰＦＡ（パーフル オロアルキルビニールエーテルとテトラフルオロエチレンの共重合体）で矩形枠 状に一体成形され、その相対向する側壁は内方へ後退した底部を有し、同側壁の 相対向する面（内面）にはウエーハ隔離用の複数のリブが突設され、ウエーハは 各リブの間に形成される仕切り溝にその端部が位置決めのために挿入され、側壁 の前記底部に形成されたウエーハ支持面に支持されて当該ウエーハバスケットの 前後方向に適当なピッチで配列されて収容されていた。

【０００３】 そして、当該ウエーハバスケットはハンドル等によって支持され、これに収容 された複数枚のウエーハと共に搬送されたり、処理液中に浸漬され、或いは処理 のために空中に保持される

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来のウエーハバスケットにおいては、側壁底部のウエーハ支 持面はウエーハの周縁形状に沿った凹曲面状に形成されており（例えば、特公昭 ５３−３８５９１号公報参照）、ウエーハの周縁の相当の部分がウエーハ支持面 に対して面接触しているため、ウエーハに洗浄不良が生じ、更には、洗浄工程に おいて使用されるイオン交換水（ＤＩ水）等が蒸気乾燥工程でウエーハとウエー ハ支持面との接触面間に残留するためにウエーハにシミや乾燥不良が生じたり、 イオン交換水等に含まれるパーティクルがウエーハに付着して製品の歩留りや信 頼性を低下させるという問題があった。

【０００５】 又、ウエーハの洗浄工程やエッチング工程において、ウエーハをウエーハバス ケットごと洗浄液やエッチング液中に浸漬させた場合、ウエーハバスケット内外 への液の出入りはウエーハバスケットの側壁に形成されたスリット状通孔を介し て行なわれるが、通孔の幅が小さく、従って、液の流動に抵抗が生じ、ウエーハ バスケットに対する液の自由な出入りが制限され、更にはバスケットを液から引 き上げた場合に所謂液切れが悪く、ウエーハにシミや乾燥不良が生じる。

【０００６】 本考案は上記問題に鑑みてなされたもので、その目的とする処は、液の自由な 出入りを可能とするとともに、軽量化、コストダウン、或いは収容したウエーハ の汚染防止等を図ることができるウエーハバスケットを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成すべく本考案は、相対向する側壁と該側壁を結合する端壁とで 矩形枠状に成形され、前記側壁は内方へ後退した底部を有し、同側壁の相対向す る面にはウエーハ隔離用の複数のリブを突設して成るウエーハバスケットにおい て、前記側壁の底部中央部分に開口部を形成するとともに、同側壁の上半部の前 記リブ間にスリット状の通孔を形成し、前記リブを側壁の上半部内面に沿って垂 直に形成し、前記端壁の下端部間には２つの支持ステイを前記側壁と平行に架設 し、該支持ステイの頂部にはウエーハの外周を支持すべき係合溝を形成し、該係 合溝の横断面形状を略半円形としたことを特徴とする。

【０００８】

【作用】

当該ウエーハバスケットに収容されるウエーハは支持ステイ頂部の係合溝によ って支持されるが、該係合溝の横断面の形状は略半円形であるため、ウエーハは 支持ステイに対して略点接触（厳密には、線接触）し、該ウエーハに洗浄不良が 生じたり、洗浄工程において使用されたイオン交換水等がウエーハと支持ステイ との間に残留することがなく、ウエーハにシミや乾燥不良が生じたり、パーティ クルが付着したりすることがなくなる。

【０００９】 又、本考案に係るウエーハバスケットにおいては、側壁底部には開口部が形成 されるため、該開口部を介して液が自由に出入りし、更には当該ウエーハバスケ ットを液から引き上げたときには、ウエーハバスケット内の液はその大部分が開 口部から一気に流出するため、所謂液切れが良好となってウエーハバスケット内 に液が残留せず、ウエーハにシミや乾燥不良が生じることがない。

【００１０】 更に、側壁への開口部の形成によって、当該ウエーハバスケットの材料が節約 されて材料費の節減、軽量化が図られる。

【００１１】

【実施例】

以下に本考案の一実施例を添付図面に基づいて説明する。

【００１２】 図１は本考案に係るウエーハバスケットの縦断面図（図３のＡ−Ａ線断面図） 、図２は図１のＢ部拡大詳細図、図３は同ウエーハバスケットの側面図、図４は 同平面図、図５、図６はそれぞれ図４の矢視Ｃ方向の図、矢視Ｄ方向の図、図７ はウエーハバスケットを内側から見た部分斜視図である。

【００１３】 本考案に係るウエーハバスケット１は、相対向する側壁２−１，２−２と、該 側壁２−１，２−２をその端部で結合する端壁３−１，３−２とで矩形枠状に一 体成形されており、その上、下面はそれぞれ開口している。尚、このウエーハバ スケット１の材質としては、従来と同様にフッ素樹脂系のＰＦＡが用いられてい る。

【００１４】 ところで、前記端壁３−１，３−２の上、下部はそれぞれ大きく切り欠かれて おり、これら端壁３−１，３−２は各々Ｈ状に成形されている。そして、図４に 示すように、一方の端壁３−１の補強用リブ４，４の間の部位の中央には、幅方 向（図４の左右方向）に長い断面半円状（図３参照）のインデックス用突起５が 部分的に突設されている。

【００１５】 又、前記側壁２−１，２−２の各上端部は外方へ拡がるフランジ部２ａ−１， ２ａ−２を構成しており、図４に示すように、一方のフランジ部２ａ−１の両端 部には位置決め用の円形孔６，６が形成され、他方のフランジ部２ａ−２の両端 部には位置決め用の円柱状突起７，７が突設されている。

【００１６】 更に、図１に示すように、側壁２−１，２−２の各下半部は内方へ後退した底 部２ｂ−１，２ｂ−２を構成しているが、これら底部２ｂ−１，２ｂ−２は端壁 ３−１，３−２に近い両端部２Ａ，２Ｂを各々残してその中央部分が切り欠かれ 、該底部２ｂ−１，２ｂ−２の中央部分には大きな開口部Ｓ，Ｓが形成されてい る。又、側壁底部２ｂ−１，２ｂ−２の両端部２Ａ，２Ｂの内端部には、端壁３ −１，３−２の下端部間に架設された２つの支持ステイ８，８が側壁２−１，２ −２に平行に立設されている。そして、各支持ステイ８の頂部には、ウエーハＷ の外周が係合すべき複数の係合溝８ａ…が形成されており、図２に詳細に示すよ うに、各係合溝８ａの横断面形状は略半円形とされている。

【００１７】 一方、側壁２−１，２−２の上半部２ｃ−１，２ｃ−２は垂直に起立しており 、該上半部２ｃ−１，２ｃ−２の内面には、ウエーハ隔離用のリブ９…が適当な ピッチで前後方向（図４の上下方向）に複数（図示例では、１９個）突設されて いる。各リブ９は側壁上半部２ｃ−１，２ｃ−２上端部から下方に向かって垂直 に形成されており、その下端部はナイフエッジ状に尖鋭に成形され、該下端部は 上半部２ｃ−１（２ｃ−２）の下端より下方へ突出して前記開口部Ｓ，Ｓ内に臨 んでいる。そして、リブ９…の間（但し、両端のリブ９，９においては、これと 側壁２−１，２−２内端部との間）には複数（図示例では、２０個）の仕切り溝 １０…が適当なピッチで前後方向に形成されている。尚、両側壁２−１．２−２ に各々突設されたリブ９…の前後方向の配列ピッチは互いに全く同一に設定され ており、更にこの配列ピッチは前記支持ステイ８，８の頂部に形成された係合溝 ８ａ…の配列ピッチとも一致しており、従ってリブ９…の間に形成される前記仕 切り溝１０…も同一ピッチで前後方向に配列されており、各側壁２−１，２−２ に各々形成される相対向する仕切り溝１０，１０と支持ステイ８，８に形成され た係合溝８ａ，８ａは同一平面（側壁２−１，２−２に直角な垂直平面）上に位 置する。

【００１８】 又、各側壁２−１．２−２の上半部２ｃ−１，２ｃ−２のリブ９…の間には、 前記仕切り溝１０…に開口する縦方向に長いスリット状の通孔１１…が穿設され ており、各通孔１１の上下面１１ａ，１１ｂは、図１に示すように、外方に向か って広がるテーパ面を構成している。又、側壁底部２ｂ−１，２ｂ−２の開口部 Ｓ，Ｓの各上面Ｓａも、図１に示すように、外方に向かって広がる円弧状のテー パ面を構成している。尚、通孔１１…及び開口部Ｓ，Ｓには、当該ウエーハバス ケット１を処理液中に浸漬した場合の処理液の流路となる。

【００１９】 而して、当該ウエーハバスケット１には複数（本実施例では、２０枚）のウエ ーハＷ…が収容されるが、各ウエーハＷはウエーハバスケット１の上面開口部か ら側壁２−１，２−２に形成された相対向する仕切り溝１０，１０に挿入される 。すると、図１及び図７に示すように、該ウエーハＷはその下部外周が支持ステ イ８，８の頂部に形成された係合溝８ａ，８ａに係合して位置決めされ、且つ２ 点ａ，ａが係合溝８ａ，８ａによって支持される。このようにして複数枚のウエ ーハＷ…が当該ウエーハバスケット１内に適当な間隔をあけて前後方向に配列さ れて収容される。この場合、各支持ステイ８の頂部に形成された各係合溝８ａの 断面形状は前述のように略半円形であるため、図２に詳細に示すように、各ウエ ーハＷは係合溝８ａに対して図示の点ａで略点接触（厳密には、線接触）し、該 ウエーハＷに洗浄不良が生じたり、洗浄工程において使用されたイオン交換水（ ＤＩ水）等がウエーハＷと支持ステイ８，８の係合溝８ａ，８ａとの間に残留す ることがなく、ウエーハＷにシミや乾燥不良が生じたり、パーティクルが付着し たりするこがなくなる。

【００２０】 又、本実施例に係るウエーハバスケット１においては、側壁底部２ｂ−１，２ ｂ−２に開口面積の大きな開口部Ｓ，Ｓを形成したため、側壁上半部２ｃ−１， ２ｃ−２に形成された通孔１１…に加え、主として開口部Ｓ，Ｓを介して液が自 由に出入りすることができ、当該ウエーハバスケット１内に収容されたウエーハ Ｗ…に対する洗浄、エッチング等の処理が良好になされる。そして、ウエーハバ スケット１を液から引き上げたときには、該ウエーハバスケット１内の液はその 大部分が開口面積の大きな開口部Ｓ，Ｓから一気に流出するため、所謂液切れが 良好となってウエーハバスケット１内に液が残留せず、ウエーハＷ…にシミや乾 燥不良が発生することがない。

【００２１】 更に、本実施例に係るウエーハバスケット１においては、前述のように端壁３ −１，３−２の上、下部がそれぞれ大きく切り欠かれており（図５及び図６参照 ）、側壁２−１，２−２には開口面積の大きな開口部Ｓ，Ｓが形成されているた め、素材量を少なく抑えることができ、当該ウエーハバスケット１の軽量化、コ ストダウンを図ることができる。

【００２２】

【考案の効果】

以上の説明で明らかな如く、本考案によれば、相対向する側壁と該側壁を結合 する端壁とで矩形枠状に成形され、前記側壁は内方へ後退した底部を有し、同側 壁の相対向する面にはウエーハ隔離用の複数のリブを突設して成るウエーハバス ケットにおいて、前記側壁の底部中央部分に開口部を形成するとともに、同側壁 の上半部の前記リブ間にスリット状の通孔を形成し、前記リブを側壁の上半部内 面に沿って垂直に形成し、前記端壁の下端部間には２つの支持ステイを前記側壁 と平行に架設し、該支持ステイの頂部にはウエーハの外周を支持すべき係合溝を 形成し、該係合溝の横断面形状を略半円形としたため、当該ウエーハバスケット 内外への液の自由な出入りが可能となるとともに、該ウエーハバスケットの軽量 化、コストダウン、ウエーハの汚染防止等を図ることができる

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るウエーハバスケットの縦断面図
（図３のＡ−Ａ線断面図）である。

【図２】図１のＢ部拡大詳細図である。

【図３】本考案に係るウエーハバスケットの側面図であ
る。

【図４】本考案に係るウエーハバスケットの平面図であ
る。

【図５】図４の矢視Ｃ方向の図である。

【図６】図４の矢視Ｄ方向の図である。

【図７】本考案に係るウエーハバスケットを内側から見
た部分斜視図である。

【符号の説明】

１ ウエーハバスケット ２−１，２−２ 側壁 ３−１，３−２ 端壁 ２ｂ−１，２ｂ−２ 側壁底部 ２ｃ−１，２ｃ−２ 側壁上半部 ４ 補強用リブ ５ インデックス用突起 ８ 支持ステイ ８ａ 係合溝 ９ ウエーハ隔離用リブ １１ 通孔 Ｓ 開口部 Ｗ ウエーハ

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 相対向する側壁と該側壁を結合する端壁
   とで矩形枠状に成形され、前記側壁は内方へ後退した底
   部を有し、同側壁の相対向する面にはウエーハ隔離用の
   複数のリブを突設して成るウエーハバスケットにおい
   て、前記側壁の底部中央部分に開口部を形成するととも
   に、同側壁の上半部の前記リブ間にスリット状の通孔を
   形成し、前記リブを側壁の上半部内面に沿って垂直に形
   成し、前記端壁の下端部間には２つの支持ステイを前記
   側壁と平行に架設し、該支持ステイの頂部にはウエーハ
   の外周を支持すべき係合溝を形成し、該係合溝の横断面
   形状を略半円形としたことを特徴とするウエーハバスケ
   ット。
2. 【請求項２】 前記通孔の上下面と前記側壁底部の開口
   部上面は、外方に向かって広がるテーパ面を構成してい
   ることを特徴とする請求項１記載のウエーハバスケッ
   ト。
3. 【請求項３】 前記端壁の補強用リブの間に、インデッ
   クス用突起を部分的に突設したことを特徴とする請求項
   １又は２記載のウエーハバスケット。