JPH05118808A - 走査型トンネル顕微鏡 - Google Patents
走査型トンネル顕微鏡Info
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- JPH05118808A JPH05118808A JP3281561A JP28156191A JPH05118808A JP H05118808 A JPH05118808 A JP H05118808A JP 3281561 A JP3281561 A JP 3281561A JP 28156191 A JP28156191 A JP 28156191A JP H05118808 A JPH05118808 A JP H05118808A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】試料と探針の位置関係を容易に制御でき、ＳＴ
Ｍ測定を安定に行なえる走査型トンネル顕微鏡を提供す
る。 【構成】ＳＴＭユニット１３を冷却する冷媒を入れるデ
ュワー６は開口部にフランジ５が取り付けられ密閉され
る。フランジ５には回転軸導入用パイプ８と給電パイプ
９と内視鏡導入用パイプ４０を介して固定フランジ３４
が固定されている。固定フランジ３４にはＳＴＭユニッ
ト１３とユニットチャンバー２７が取り付けられる。Ｓ
ＴＭユニット１３は円筒型アクチュエーター３２を有
し、その上端部の透明板４３の中央に探針３０が取り付
けられている。粗動ネジ１２は、回転軸導入用パイプ８
の内側に挿入された回転軸７を用いて回され、探針試料
距離を調整する。内視鏡４１は内視鏡導入用パイプ４０
に挿入され、ユニットケース７１に開けた窓から探針３
０と試料２９が見える位置に配置される。
Ｍ測定を安定に行なえる走査型トンネル顕微鏡を提供す
る。 【構成】ＳＴＭユニット１３を冷却する冷媒を入れるデ
ュワー６は開口部にフランジ５が取り付けられ密閉され
る。フランジ５には回転軸導入用パイプ８と給電パイプ
９と内視鏡導入用パイプ４０を介して固定フランジ３４
が固定されている。固定フランジ３４にはＳＴＭユニッ
ト１３とユニットチャンバー２７が取り付けられる。Ｓ
ＴＭユニット１３は円筒型アクチュエーター３２を有
し、その上端部の透明板４３の中央に探針３０が取り付
けられている。粗動ネジ１２は、回転軸導入用パイプ８
の内側に挿入された回転軸７を用いて回され、探針試料
距離を調整する。内視鏡４１は内視鏡導入用パイプ４０
に挿入され、ユニットケース７１に開けた窓から探針３
０と試料２９が見える位置に配置される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は走査型トンネル顕微鏡に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）
は原子スケールの分解能を持つ顕微鏡として利用が進ん
でいる。
は原子スケールの分解能を持つ顕微鏡として利用が進ん
でいる。
【０００３】このＳＴＭは、導電性の試料と探針の間に
電圧を印加し、両者を１ｎｍ以下の距離まで近づけたと
きに流れるトンネル電流を検出しながら試料表面を探針
で走査し、走査中に検出される探針試料間距離に依存し
て生じるトンネル電流の変化に基づいて試料表面の局所
的な構造や物理特性を測定することができる。
電圧を印加し、両者を１ｎｍ以下の距離まで近づけたと
きに流れるトンネル電流を検出しながら試料表面を探針
で走査し、走査中に検出される探針試料間距離に依存し
て生じるトンネル電流の変化に基づいて試料表面の局所
的な構造や物理特性を測定することができる。
【０００４】ゼロックスコーポレーションのS. A. Elro
dやスタンフォード大学のC. F. Quate等は、３００〜
４．２Ｋの温度範囲にわたって動作するＳＴＭを「IBM
J. RESDEVELOP, VOL.30 No.4 July 1986」に発表し、低
温でのＮｂ3Ｓｎの超伝導性観察を報告している。
dやスタンフォード大学のC. F. Quate等は、３００〜
４．２Ｋの温度範囲にわたって動作するＳＴＭを「IBM
J. RESDEVELOP, VOL.30 No.4 July 1986」に発表し、低
温でのＮｂ3Ｓｎの超伝導性観察を報告している。
【０００５】また、東京大学工学部工業化学科の長谷川
哲也等は応用物理第５９巻第１２号（１９９０）でＢｉ
2Ｓｒ2ＣａＣｕＯy系超伝導体の極低温での観察を報告
している。
哲也等は応用物理第５９巻第１２号（１９９０）でＢｉ
2Ｓｒ2ＣａＣｕＯy系超伝導体の極低温での観察を報告
している。
【０００６】いずれの観察においても、探針と試料を保
持するＳＴＭユニットは、安定に低温を維持できる低温
装置の中に設置され、一連のＳＴＭ測定動作が確実にで
きることが不可欠である。
持するＳＴＭユニットは、安定に低温を維持できる低温
装置の中に設置され、一連のＳＴＭ測定動作が確実にで
きることが不可欠である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】低温装置には、液体窒
素や液体ヘリウムを冷媒とし、その冷媒を安定に保持す
るデュワーが用いられる。デュワーは上方に開口を有
し、デュワー室の底部にＳＴＭユニットが配置される。
ＳＴＭユニットは、試料と探針の位置関係をデュワー室
の外で大雑把に定めた後、これを支持する支持部と共に
デュワー室内に挿入される。この支持部はデュワー室の
開口を閉塞するフランジ部に固定される。
素や液体ヘリウムを冷媒とし、その冷媒を安定に保持す
るデュワーが用いられる。デュワーは上方に開口を有
し、デュワー室の底部にＳＴＭユニットが配置される。
ＳＴＭユニットは、試料と探針の位置関係をデュワー室
の外で大雑把に定めた後、これを支持する支持部と共に
デュワー室内に挿入される。この支持部はデュワー室の
開口を閉塞するフランジ部に固定される。
【０００８】またＳＴＭには、測定時にトンネル電流が
流れるよう探針を試料に１ｎｍ程度に近づけるために、
デュワー室の外部から操作できる探針粗動機構が設けら
れている。さらにトンネル電流検出系・ＳＴＭ制御系の
配線のためにＳＴＭユニットとデュワー室の外部を連絡
する配管も設けられている。
流れるよう探針を試料に１ｎｍ程度に近づけるために、
デュワー室の外部から操作できる探針粗動機構が設けら
れている。さらにトンネル電流検出系・ＳＴＭ制御系の
配線のためにＳＴＭユニットとデュワー室の外部を連絡
する配管も設けられている。
【０００９】このような構成において測定部を低温に保
ったままの状態で試料及び探針の位置を光学的に観察す
ることは不可能であった。
ったままの状態で試料及び探針の位置を光学的に観察す
ることは不可能であった。
【００１０】この発明は、低温用チャンバー内部に内視
鏡を導入することにより、低温中でのＳＴＭ観察領域の
光学顕微鏡による観察、探針によるＳＴＭ観察領域の位
置決め、及び探針−試料間の相対位置関係の光学顕微鏡
による観察および調整を行なうことのできる走査型トン
ネル顕微鏡の提供を目的とする。
鏡を導入することにより、低温中でのＳＴＭ観察領域の
光学顕微鏡による観察、探針によるＳＴＭ観察領域の位
置決め、及び探針−試料間の相対位置関係の光学顕微鏡
による観察および調整を行なうことのできる走査型トン
ネル顕微鏡の提供を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の走査型トンネル
顕微鏡は、導電性の探針と、試料を保持する手段と、探
針に試料表面を走査させる手段と、探針と試料の少なく
とも一方を粗く移動させる粗動部とを備えているＳＴＭ
ユニットを有し、このＳＴＭユニットと、ＳＴＭユニッ
トを収容するチャンバー容器と、チャンバー容器を収容
し、ＳＴＭユニットを冷却するための低温容器と、低温
容器の開口を閉塞するフランジと、試料を光学的に観察
するための内視鏡と、内視鏡をチャンバー容器内に案内
するための、フランジとチャンバー容器とを連絡する内
視鏡導入用パイプとを連絡する回転軸導入用パイプとを
備えている。
顕微鏡は、導電性の探針と、試料を保持する手段と、探
針に試料表面を走査させる手段と、探針と試料の少なく
とも一方を粗く移動させる粗動部とを備えているＳＴＭ
ユニットを有し、このＳＴＭユニットと、ＳＴＭユニッ
トを収容するチャンバー容器と、チャンバー容器を収容
し、ＳＴＭユニットを冷却するための低温容器と、低温
容器の開口を閉塞するフランジと、試料を光学的に観察
するための内視鏡と、内視鏡をチャンバー容器内に案内
するための、フランジとチャンバー容器とを連絡する内
視鏡導入用パイプとを連絡する回転軸導入用パイプとを
備えている。
【００１２】また本発明の別の走査型トンネル顕微鏡
は、ＳＴＭユニットと、ＳＴＭユニットを冷却する手段
と、ＳＴＭユニットと冷却手段を収容する容器と、試料
を光学的に観察するために容器に挿入された内視鏡とを
備えている。
は、ＳＴＭユニットと、ＳＴＭユニットを冷却する手段
と、ＳＴＭユニットと冷却手段を収容する容器と、試料
を光学的に観察するために容器に挿入された内視鏡とを
備えている。
【００１３】
【作用】ＳＴＭユニットを収容しているチャンバー容器
の内部に内視鏡を挿入することにより、低温状態を保っ
たまま試料の表面あるいは試料と探針の間隔が光学的に
観察される。
の内部に内視鏡を挿入することにより、低温状態を保っ
たまま試料の表面あるいは試料と探針の間隔が光学的に
観察される。
【００１４】
【実施例】本発明の第一実施例について図１を参照しな
がら説明する。本実施例の走査型トンネル顕微鏡は、Ｓ
ＴＭユニット１３を冷却するための冷媒を入れるデュワ
ー６を有している。デュワー６の開口部にはフランジ５
が取り付けられ密閉される。フランジ５の底面にはデュ
ワー６の内部を下に向かって延びる回転軸導入用パイプ
８が固定されている。回転軸導入用パイプ８の下端には
ユニット固定フランジ３４が固定されていて、このユニ
ット固定フランジ３４の下面にＳＴＭユニット１３が取
り付けられる。さらにユニット固定フランジ３４にはＳ
ＴＭユニット１３を収容するユニットチャンバー２７が
取り付けられる。フランジ５とユニット固定フランジ３
４には、回転軸導入用パイプ８の他に、トンネル電流検
出用の配線や圧電アクチュエーター駆動用の配線などを
通す給電パイプ９と内視鏡を通す内視鏡導入用パイプ４
０とが固定されている。
がら説明する。本実施例の走査型トンネル顕微鏡は、Ｓ
ＴＭユニット１３を冷却するための冷媒を入れるデュワ
ー６を有している。デュワー６の開口部にはフランジ５
が取り付けられ密閉される。フランジ５の底面にはデュ
ワー６の内部を下に向かって延びる回転軸導入用パイプ
８が固定されている。回転軸導入用パイプ８の下端には
ユニット固定フランジ３４が固定されていて、このユニ
ット固定フランジ３４の下面にＳＴＭユニット１３が取
り付けられる。さらにユニット固定フランジ３４にはＳ
ＴＭユニット１３を収容するユニットチャンバー２７が
取り付けられる。フランジ５とユニット固定フランジ３
４には、回転軸導入用パイプ８の他に、トンネル電流検
出用の配線や圧電アクチュエーター駆動用の配線などを
通す給電パイプ９と内視鏡を通す内視鏡導入用パイプ４
０とが固定されている。
【００１５】ＳＴＭユニット１３はユニットケース７１
を有し、その底部には円筒型圧電アクチュエーター３２
を固定するアクチュエーター支持部材７２が取り付けら
れている。円筒型圧電アクチュエーター３２は上端部に
透明板４３を有し、その中央に探針３０が取り付けられ
ている。試料２９は、試料台２４に固定されている板バ
ネ２５に接着され、探針３０に対峙するように配置され
ている。板バネ２５は、その中央部がコイルバネ２３を
介して粗動ネジ１２により押され、探針３０と試料２９
の間隔が調整される。粗動ネジ１２は、回転軸導入用パ
イプ８の内側を通り、その上端がＯリング１７を通って
フランジ５の外部に延出している回転軸７により回転さ
れる。
を有し、その底部には円筒型圧電アクチュエーター３２
を固定するアクチュエーター支持部材７２が取り付けら
れている。円筒型圧電アクチュエーター３２は上端部に
透明板４３を有し、その中央に探針３０が取り付けられ
ている。試料２９は、試料台２４に固定されている板バ
ネ２５に接着され、探針３０に対峙するように配置され
ている。板バネ２５は、その中央部がコイルバネ２３を
介して粗動ネジ１２により押され、探針３０と試料２９
の間隔が調整される。粗動ネジ１２は、回転軸導入用パ
イプ８の内側を通り、その上端がＯリング１７を通って
フランジ５の外部に延出している回転軸７により回転さ
れる。
【００１６】内視鏡導入用パイプ４０には、フランジ５
に設けたＯリング５０により気密性を保ったまま側視型
工業用内視鏡４１が挿入され、その先端部はユニットチ
ャンバー２７の内部に導入される。側視型内視鏡４１は
ユニットチャンバー２７の内部の真空を保ったまま上下
方向に移動でき、これを上下に移動させてユニットケー
ス７１に開けた窓から探針３０と試料２９が見えるよう
に先端部の位置を調整する。内視鏡４１の捉えた画像は
ＣＣＤカメラ４２で観察される。このように内視鏡を配
置することで、探針３０と試料２９の位置関係を高倍率
で直接観察することができるようになる。この結果、回
転軸７を操作して試料２９を探針３０に近づける際に、
誤って試料２９と探針３０を衝突させるようなことが防
止される。また、試料２９と探針３０の間隔が０．１ｍ
ｍ以下になるまで接近させることができるので、圧電ア
クチュエーター３２を用いて探針３０を試料２９に近づ
ける際に要する時間を短縮することができる。
に設けたＯリング５０により気密性を保ったまま側視型
工業用内視鏡４１が挿入され、その先端部はユニットチ
ャンバー２７の内部に導入される。側視型内視鏡４１は
ユニットチャンバー２７の内部の真空を保ったまま上下
方向に移動でき、これを上下に移動させてユニットケー
ス７１に開けた窓から探針３０と試料２９が見えるよう
に先端部の位置を調整する。内視鏡４１の捉えた画像は
ＣＣＤカメラ４２で観察される。このように内視鏡を配
置することで、探針３０と試料２９の位置関係を高倍率
で直接観察することができるようになる。この結果、回
転軸７を操作して試料２９を探針３０に近づける際に、
誤って試料２９と探針３０を衝突させるようなことが防
止される。また、試料２９と探針３０の間隔が０．１ｍ
ｍ以下になるまで接近させることができるので、圧電ア
クチュエーター３２を用いて探針３０を試料２９に近づ
ける際に要する時間を短縮することができる。
【００１７】第一実施例の変形例を図２に示す。図には
デュワー６から取り出しユニットチャンバー２７を外し
た状態を示してある。この例では、円筒型圧電アクチュ
エーター３２の内側に直視型の内視鏡４４が挿入され、
その対物レンズの光軸と探針の中心軸とを一致させて配
置されている。内視鏡４４は、アクチュエーター支持部
材７２に固定されている内視鏡位置調整用台座４６に支
持され、この内視鏡位置調整用台座４６を用いて対物レ
ンズの焦点が試料２９の表面に一致するように距離が調
整される。この例では、側視型内視鏡４１による探針試
料間距離の観察の他に、直視型内視鏡４４を用いて試料
２９の表面を透明板４３を介して光学的に観察すること
ができる。
デュワー６から取り出しユニットチャンバー２７を外し
た状態を示してある。この例では、円筒型圧電アクチュ
エーター３２の内側に直視型の内視鏡４４が挿入され、
その対物レンズの光軸と探針の中心軸とを一致させて配
置されている。内視鏡４４は、アクチュエーター支持部
材７２に固定されている内視鏡位置調整用台座４６に支
持され、この内視鏡位置調整用台座４６を用いて対物レ
ンズの焦点が試料２９の表面に一致するように距離が調
整される。この例では、側視型内視鏡４１による探針試
料間距離の観察の他に、直視型内視鏡４４を用いて試料
２９の表面を透明板４３を介して光学的に観察すること
ができる。
【００１８】本発明の第二実施例を図３を参照して説明
する。図中、第一実施例中の部材と同等の部材は同一の
符号で示してある。本実施例では、内視鏡導入用パイプ
４０が中央部に、回転軸導入用パイプ８が周辺部に設け
られている。ＳＴＭユニット１３はアクチュエーター支
持部材７２の側が固定フランジ３４に固定されている。
アクチュエーター支持部材７２には中央に開口部が設け
てあり、内視鏡導入用パイプ４０を通って外部から導入
された内視鏡４４が円筒型アクチュエーター３２の内側
まで導かれ、透明板４３を介して試料２９の表面が光学
的に観察される。内視鏡４４はフランジ５に設けた内視
鏡位置調整用台座４５により、対物レンズの光軸が探針
３０の中心軸に一致するように支持されるとともに、対
物レンズの焦点が試料２９の表面に合うように高さ位置
が調整される。また、板バネ２５に接着されている試料
２９の粗動は、板バネ２５の端部に設けられている粗動
ネジ１２を回転軸導入用パイプ８を通って導入された回
転軸７を用いて回すことにより行なわれる。
する。図中、第一実施例中の部材と同等の部材は同一の
符号で示してある。本実施例では、内視鏡導入用パイプ
４０が中央部に、回転軸導入用パイプ８が周辺部に設け
られている。ＳＴＭユニット１３はアクチュエーター支
持部材７２の側が固定フランジ３４に固定されている。
アクチュエーター支持部材７２には中央に開口部が設け
てあり、内視鏡導入用パイプ４０を通って外部から導入
された内視鏡４４が円筒型アクチュエーター３２の内側
まで導かれ、透明板４３を介して試料２９の表面が光学
的に観察される。内視鏡４４はフランジ５に設けた内視
鏡位置調整用台座４５により、対物レンズの光軸が探針
３０の中心軸に一致するように支持されるとともに、対
物レンズの焦点が試料２９の表面に合うように高さ位置
が調整される。また、板バネ２５に接着されている試料
２９の粗動は、板バネ２５の端部に設けられている粗動
ネジ１２を回転軸導入用パイプ８を通って導入された回
転軸７を用いて回すことにより行なわれる。
【００１９】本発明の第三実施例を図４を参照して説明
する。図中、第一実施例中の部材と同等の部材は同一の
符号で示してある。なお図４では配線用パイプは省略し
てある。本実施例では、粗動ネジ１２は円筒形状に作ら
れ、固定フランジ３４に螺合している。粗動ネジ１２の
端部には透明板４３が設けられていて、その中央に探針
３０が取り付けられている。この結果、粗動ネジ１２が
回転すると、探針３０が上下に移動する。フランジ５と
固定フランジ３４は回転軸導入用パイプ８で連結されて
いる。回転軸導入用パイプ８の内側には円筒状の回転軸
７が挿入され、その端部は粗動ネジ１２に連結し回転さ
せることができる。従って回転軸７を回すことにより探
針３０を上下に動かすことができる。この円筒状の回転
軸７の内側には内視鏡４１が挿入され、透明板４３を介
して試料２９の表面を光学的に観察できる。
する。図中、第一実施例中の部材と同等の部材は同一の
符号で示してある。なお図４では配線用パイプは省略し
てある。本実施例では、粗動ネジ１２は円筒形状に作ら
れ、固定フランジ３４に螺合している。粗動ネジ１２の
端部には透明板４３が設けられていて、その中央に探針
３０が取り付けられている。この結果、粗動ネジ１２が
回転すると、探針３０が上下に移動する。フランジ５と
固定フランジ３４は回転軸導入用パイプ８で連結されて
いる。回転軸導入用パイプ８の内側には円筒状の回転軸
７が挿入され、その端部は粗動ネジ１２に連結し回転さ
せることができる。従って回転軸７を回すことにより探
針３０を上下に動かすことができる。この円筒状の回転
軸７の内側には内視鏡４１が挿入され、透明板４３を介
して試料２９の表面を光学的に観察できる。
【００２０】本発明の第四実施例について図５を参照し
て説明する。図中、第一実施例中の部材と同等の部材は
同一の符号で示してある。本実施例では、ＳＴＭユニッ
ト１３を冷却するための液体ヘリウムや液体窒素を入れ
るデュワー部５９がＳＴＭユニット１３に熱的に接触さ
せて設けられている。デュワー部５９は断熱材５８を介
してデュワーケース６０の内部に固定されている。デュ
ワーケース６０にはＯリングを介してユニットチャンバ
ー２７が取り付けられている。デュワーケース６０とユ
ニットチャンバー２７とで囲まれた空間は真空に引か
れ、ＳＴＭユニット１３に結露が発生するのが防止され
る。デュワーケース６０にはＯリング１７により気密性
を保った状態で回転軸７が挿入されている。回転軸７の
端部は粗動ネジ１２に連結していて、これを回転させる
ことができる。粗動ネジ１２は回転されるとコイルスプ
リング２３を介して板バネ２５を押し出し、板バネ２５
に接着されている試料２９が探針３０に接近する。探針
３０は、円筒型アクチュエーター３２の先端部に設けた
透明板４３に取り付けられている。円筒型アクチュエー
ター３２は中央に開口を有するアクチュエーター支持部
７２に固定されている。ユニットチャンバー２７には、
Ｏリング５２により気密性を保った状態で内視鏡４４が
挿入されている。内視鏡４４は、対物レンズの軸が探針
３０の中心軸と一致するように配置されるとともに、対
物レンズの焦点が試料２９の表面に合うように調整され
る。これにより試料２９の表面が透明板４３を介して光
学的に観察され、その像はＣＣＤカメラ４２で捉えられ
る。
て説明する。図中、第一実施例中の部材と同等の部材は
同一の符号で示してある。本実施例では、ＳＴＭユニッ
ト１３を冷却するための液体ヘリウムや液体窒素を入れ
るデュワー部５９がＳＴＭユニット１３に熱的に接触さ
せて設けられている。デュワー部５９は断熱材５８を介
してデュワーケース６０の内部に固定されている。デュ
ワーケース６０にはＯリングを介してユニットチャンバ
ー２７が取り付けられている。デュワーケース６０とユ
ニットチャンバー２７とで囲まれた空間は真空に引か
れ、ＳＴＭユニット１３に結露が発生するのが防止され
る。デュワーケース６０にはＯリング１７により気密性
を保った状態で回転軸７が挿入されている。回転軸７の
端部は粗動ネジ１２に連結していて、これを回転させる
ことができる。粗動ネジ１２は回転されるとコイルスプ
リング２３を介して板バネ２５を押し出し、板バネ２５
に接着されている試料２９が探針３０に接近する。探針
３０は、円筒型アクチュエーター３２の先端部に設けた
透明板４３に取り付けられている。円筒型アクチュエー
ター３２は中央に開口を有するアクチュエーター支持部
７２に固定されている。ユニットチャンバー２７には、
Ｏリング５２により気密性を保った状態で内視鏡４４が
挿入されている。内視鏡４４は、対物レンズの軸が探針
３０の中心軸と一致するように配置されるとともに、対
物レンズの焦点が試料２９の表面に合うように調整され
る。これにより試料２９の表面が透明板４３を介して光
学的に観察され、その像はＣＣＤカメラ４２で捉えられ
る。
【００２１】第四実施例の変形例を図６に示す。この例
では内視鏡４４の他に側視型内視鏡４１がユニットチャ
ンバー２７に挿入されている。側視型内視鏡４１の対物
レンズ部はＳＴＭユニット１３の外側に配置され、ユニ
ットケース７１に設けてある開口を介して探針３０と試
料２９の間隔を観察できる。これにより、マニュアル操
作で探針試料間距離を０．１ｍｍ以下まで接近させるこ
とができ、探針のオートアプローチに要する時間を短縮
できる。
では内視鏡４４の他に側視型内視鏡４１がユニットチャ
ンバー２７に挿入されている。側視型内視鏡４１の対物
レンズ部はＳＴＭユニット１３の外側に配置され、ユニ
ットケース７１に設けてある開口を介して探針３０と試
料２９の間隔を観察できる。これにより、マニュアル操
作で探針試料間距離を０．１ｍｍ以下まで接近させるこ
とができ、探針のオートアプローチに要する時間を短縮
できる。
【００２２】
【発明の効果】ＳＴＭユニットを堅固に支持し冷却する
ので、安定なＳＴＭ測定を行なうことができる。
ので、安定なＳＴＭ測定を行なうことができる。
【図１】本発明による走査型トンネル顕微鏡の第一実施
例を示す。
例を示す。
【図２】第一実施例の変形例を示す。
【図３】本発明による走査型トンネル顕微鏡の第二実施
例を示す。
例を示す。
【図４】本発明による走査型トンネル顕微鏡の第三実施
例を示す。
例を示す。
【図５】本発明による走査型トンネル顕微鏡の第四実施
例を示す。
例を示す。
【図６】第四実施例の変形例を示す。
５…フランジ、６…デュワー、７…回転軸、８…回転軸
導入用パイプ、１２…粗動ネジ、１３…ＳＴＭユニッ
ト、２５…板バネ、３０…探針、３２…円筒型アクチュ
エーター、４０…内視鏡導入用パイプ、４１，４４…内
視鏡。
導入用パイプ、１２…粗動ネジ、１３…ＳＴＭユニッ
ト、２５…板バネ、３０…探針、３２…円筒型アクチュ
エーター、４０…内視鏡導入用パイプ、４１，４４…内
視鏡。
Claims (2)
- 【請求項１】 導電性の探針と、試料を保持する手段
と、探針に試料表面を走査させる手段と、探針と試料の
少なくとも一方を粗く移動させる粗動部とを備えている
ＳＴＭユニットと、 ＳＴＭユニットを収容するチャンバー容器と、 チャンバー容器を収容し、ＳＴＭユニットを冷却するた
めの低温容器と、 低温容器の開口を閉塞するフランジと、 試料を光学的に観察するための内視鏡と、 内視鏡をチャンバー容器内に案内するための、フランジ
とチャンバー容器とを連絡する内視鏡導入用パイプとを
備えている走査型トンネル顕微鏡。 - 【請求項２】 導電性の探針と、試料を保持する手段
と、探針に試料表面を走査させる手段と、探針と試料の
少なくとも一方を粗く移動させる粗動部とを備えている
ＳＴＭユニットと、 ＳＴＭユニットを冷却する手段と、 ＳＴＭユニットと冷却手段を収容する容器と、 容器に挿入された、試料を光学的に観察するための内視
鏡とを備えている走査型トンネル顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3281561A JPH05118808A (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | 走査型トンネル顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3281561A JPH05118808A (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | 走査型トンネル顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05118808A true JPH05118808A (ja) | 1993-05-14 |
Family
ID=17640905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3281561A Withdrawn JPH05118808A (ja) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | 走査型トンネル顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05118808A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104181335A (zh) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 中国科学院物理研究所 | 一种扫描隧道显微镜扫描探头 |
| CN104714053A (zh) * | 2013-12-11 | 2015-06-17 | 绍兴匡泰仪器设备有限公司 | 一种无液氦低温扫描隧道显微镜 |
-
1991
- 1991-10-28 JP JP3281561A patent/JPH05118808A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104181335A (zh) * | 2013-05-24 | 2014-12-03 | 中国科学院物理研究所 | 一种扫描隧道显微镜扫描探头 |
| CN104714053A (zh) * | 2013-12-11 | 2015-06-17 | 绍兴匡泰仪器设备有限公司 | 一种无液氦低温扫描隧道显微镜 |
| CN104714053B (zh) * | 2013-12-11 | 2017-10-03 | 绍兴匡泰仪器设备有限公司 | 一种无液氦低温扫描隧道显微镜 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
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