JPH05118804A - Tactile device and measuring method for position - Google Patents
Tactile device and measuring method for positionInfo
- Publication number
- JPH05118804A JPH05118804A JP3280174A JP28017491A JPH05118804A JP H05118804 A JPH05118804 A JP H05118804A JP 3280174 A JP3280174 A JP 3280174A JP 28017491 A JP28017491 A JP 28017491A JP H05118804 A JPH05118804 A JP H05118804A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- low
- moving mechanism
- friction moving
- article
- contact
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、測定対象物に接触子等
を接触させて、３次元寸法等を測定する触覚装置及び位
置測定方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tactile device and a position measuring method for contacting an object to be measured with a contactor or the like to measure three-dimensional dimensions and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来例としては、特開昭６０−１０４２
０２号公報と特開昭６０−１１９４０２号公報が挙げら
れる。2. Description of the Related Art As a conventional example, JP-A-60-1042
No. 02 and JP-A-60-119402.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】これらは、剛性の低い
物品でも測定できるとあるが、接触子の移動機構が平行
バネであるため、非常に低い接触圧を設定することは困
難である。本発明は上述の点に鑑みて提供したものであ
って、非常に低い接触圧を任意に設定することが可能な
触覚装置及び位置測定方法を提供することを目的とした
ものである。It is said that these can be measured even in articles having low rigidity, but it is difficult to set a very low contact pressure because the moving mechanism of the contactor is a parallel spring. The present invention has been provided in view of the above points, and an object of the present invention is to provide a tactile device and a position measuring method capable of arbitrarily setting a very low contact pressure.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明は、低摩擦移動機
構と、この低摩擦移動機構を駆動するリニア直流アクチ
ュエータまたは電磁石からなる駆動手段と、低摩擦移動
機構の位置を検出する位置検出センサーと、位置検出セ
ンサーの出力に基づいて駆動手段をフィードバック制御
する制御手段とを備えたものである。According to the present invention, there is provided a low-friction moving mechanism, a driving means including a linear DC actuator or an electromagnet for driving the low-friction moving mechanism, and a position detecting sensor for detecting the position of the low-friction moving mechanism. And a control means for feedback-controlling the driving means based on the output of the position detection sensor.
【０００５】また、請求項２では、リニア直流アクチュ
エータが取り付けられる低摩擦移動機構として、１軸上
に移動する流体軸受を設け、低摩擦移動機構の一部に接
触子を配置し、物品の位置を検出するようにしたもので
ある。請求項３では、リニア直流アクチュエータが取り
付けられる低摩擦移動機構として、１軸上に移動する磁
気軸受を設け、低摩擦移動機構の一部に接触子を配置
し、物品の位置を検出するようにしたものである。According to a second aspect of the present invention, as a low-friction moving mechanism to which a linear DC actuator is attached, a fluid bearing that moves on one axis is provided, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to position the article. Is to be detected. According to a third aspect of the present invention, as the low-friction moving mechanism to which the linear DC actuator is attached, a magnetic bearing that moves on one axis is provided, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of the article. It was done.
【０００６】請求項４では、リニア直流アクチュエータ
と１軸の低摩擦移動機構を一体とし、低摩擦移動機構の
一部に接触子を配置し、物品の位置を検出するようにし
たものである。請求項５では、３個以上の電磁石を配置
し、それらの電磁力が作用する低摩擦移動機構として、
平面上に移動する流体軸受を設け、その低摩擦移動機構
の一部に接触子を配置し、物品の平面上の変位量を検出
するようにしたものである。According to a fourth aspect of the present invention, the linear DC actuator and the uniaxial low friction moving mechanism are integrated, and a contactor is arranged in a part of the low friction moving mechanism to detect the position of the article. In claim 5, three or more electromagnets are arranged, and as a low-friction moving mechanism on which electromagnetic force acts,
A fluid bearing which moves on a plane is provided, and a contactor is arranged on a part of the low friction moving mechanism to detect the amount of displacement of the article on the plane.
【０００７】請求項６では、３個以上のリニア直流アク
チュエータが取り付けられる低摩擦移動機構として、平
面上に移動する流体軸受を設け、その低摩擦移動機構の
一部に接触子を配置し、物品の平面上の変位量及び平面
上の角度を一度に検出するようにしたものである。請求
項７では、１軸の測定方法であり、一定の電流をリニア
直流アクチュエータのコイルに流すことにより一定力が
生じ、接触子が物品に接触するまで、低摩擦移動機構を
等加速度運動をさせ、接触後、その一定力の測定圧のも
とで、位置を測定するようにしたものである。According to a sixth aspect of the present invention, as a low-friction moving mechanism to which three or more linear DC actuators are attached, a fluid bearing which moves on a plane is provided, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to obtain an article. The amount of displacement on the plane and the angle on the plane are detected at once. According to claim 7, which is a uniaxial measuring method, a constant current is applied to the coil of the linear DC actuator to generate a constant force, and the low-friction moving mechanism is caused to perform uniform acceleration motion until the contactor comes into contact with the article. After the contact, the position is measured under the constant measurement pressure.
【０００８】請求項８では、１軸の測定方法であり、位
置検出センサーの値を入力とし、コイル電流を出力とす
るフィードバック制御を行い、低摩擦移動機構の目標位
置を１ステップづつ物品に近づけていき、フィードバッ
ク電流が、接触圧に要するコイル電流値を越えた段階で
接触を確認し、希望する接触圧で位置を測定するように
したものである。According to the eighth aspect of the present invention, which is a uniaxial measuring method, feedback control is performed in which the value of the position detection sensor is input and the coil current is output to bring the target position of the low friction moving mechanism closer to the article step by step. Then, the contact is confirmed when the feedback current exceeds the coil current value required for the contact pressure, and the position is measured at the desired contact pressure.
【０００９】請求項９では、１軸の測定方法であり、位
置検出センサーの値を入力とし、コイル電流を出力とす
るフィードバック制御を行い、物品に接触子が衝突する
ように低摩擦移動機構の目標位置を設定し、接触を位置
検出センサーで感知した後、希望する接触圧に変換し、
位置を測定するようにしたものである。According to a ninth aspect of the present invention, which is a uniaxial measuring method, feedback control is performed in which the value of the position detection sensor is input and the coil current is output, and the low friction moving mechanism of the low friction moving mechanism is used so that the contact collides with the article. After setting the target position and sensing the contact with the position detection sensor, convert it to the desired contact pressure,
The position is measured.
【００１０】[0010]
【作用】而して、位置検出が可能な低摩擦移動機構に対
し、リニア直流アクチュエータまたは電磁石の電磁力に
流す電流を制御可能とし、その電流値を制御することに
より、各々の力を任意に発生させ、その既知の力がかか
った低摩擦移動機構の位置を精密に検出し、位置制御や
力制御、コンプライアンス制御、ダンピング制御等がで
き、更に、制御時の力の検出も可能であり、力センサー
としての機能も持つことができ、よって、例えば、低荷
重の力制御とダンピング制御を同時に行えば、振動を最
小にして、低接触圧で測定することが可能となる。With the low-friction moving mechanism capable of detecting the position, the current flowing in the electromagnetic force of the linear DC actuator or electromagnet can be controlled, and by controlling the current value, each force can be controlled arbitrarily. Generated and precisely detect the position of the low-friction moving mechanism to which the known force is applied, position control, force control, compliance control, damping control, etc. can be performed, and also the force at the time of control can be detected, It can also have a function as a force sensor. Therefore, for example, if force control with low load and damping control are performed at the same time, vibration can be minimized and measurement can be performed with low contact pressure.
【００１１】また、請求項２では、低摩擦移動機構とし
て、１軸上に移動する流体軸受を設け、その低摩擦移動
機構の一部に接触子を配置し、物品の位置を検出するよ
うにしたものであり、流体としては、気体や液体を用い
ることで、摩擦のない移動機構として用いることができ
る。更に、請求項３では、低摩擦移動機構として、１軸
上に移動する磁気軸受を設け、その低摩擦移動機構の一
部に接触子を配置し、物品の位置を検出するようにした
ものであり、磁気軸受としては電磁石による能動制御型
や永久磁石による受動型があり、特に、永久磁石による
受動型は、流体軸受と比べて、剛性の面では劣るもの
の、流体の経路を設計する必要がないため、装置を簡単
にすることができる。In the second aspect, as the low-friction moving mechanism, a fluid bearing which moves on one axis is provided, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of the article. By using gas or liquid as the fluid, it can be used as a friction-free moving mechanism. Further, in claim 3, a magnetic bearing that moves on one axis is provided as the low-friction moving mechanism, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of the article. There are active control types using electromagnets and passive types using permanent magnets as magnetic bearings.In particular, the passive type using permanent magnets is inferior in rigidity to fluid bearings, but it is necessary to design a fluid path. Since it does not exist, the device can be simplified.
【００１２】また、請求項４では、リニア直流アクチュ
エータと１軸の低摩擦移動機構を一体とすることで、装
置をコンパクトにでき、小型軽量化できるものである。
また、請求項５では、流体軸受よりなる低摩擦移動機構
の可動体に、吸引・反発力を作用させる３個以上の電磁
石からなる駆動手段を配置し、可動体の位置を検出する
平面内２自由度の位置検出センサーに基づいて各駆動手
段をフィードバック制御する制御手段を設け、３個以上
の駆動手段により可動体に２自由度位置制御可能な吸引
・反発力を作用させて、可動体を所望の位置で制御でき
るようにしたものであり、平面内の位置検出を精度良く
行うことができる。According to the present invention, the linear DC actuator and the uniaxial low-friction moving mechanism are integrated, so that the apparatus can be made compact and the size and weight can be reduced.
Further, according to a fifth aspect of the present invention, a driving means formed of three or more electromagnets for exerting attraction / repulsion force is arranged on the movable body of the low-friction moving mechanism including a fluid bearing, and the in-plane 2 for detecting the position of the movable body is arranged. A control means for feedback-controlling each drive means based on the position detection sensor of the degree of freedom is provided, and three or more drive means apply a suction / repulsion force capable of position control in two degrees of freedom to move the movable body. Since the control can be performed at a desired position, the position in the plane can be detected with high accuracy.
【００１３】更に、請求項６では、流体軸受よりなる低
摩擦移動機構の可動体に、力を作用させる３個以上のリ
ニア直流アクチュエータからなる駆動手段を配置し、可
動体の位置を検出する平面内３自由度の位置検出センサ
ーに基づいて各駆動手段をフィードバック制御する制御
手段を設け、３個以上の駆動手段により可動体に３自由
度位置制御可能な力を作用させて、可動体を所望の位置
・角度で制御できるようにしたものであり、その可動体
の一部に接触子を配置させ、物品の平面上の位置及び平
面上の角度を一度に検出することができる。Further, according to a sixth aspect of the present invention, a driving means including three or more linear DC actuators for exerting a force is arranged on the movable body of the low-friction moving mechanism including a fluid bearing to detect the position of the movable body. A control means for feedback-controlling each drive means based on a position detection sensor having three degrees of freedom is provided, and a force capable of controlling the position of three degrees of freedom is applied to the movable body by three or more drive means to obtain the desired movable body. The position and angle of the article can be controlled, and a contactor can be arranged on a part of the movable body to detect the position and the angle of the article on the plane at once.
【００１４】請求項７では、１軸方向の測定方法であ
り、一定の電流をリニア直流アクチュエータのコイルに
流すことにより、一定力が生じ、接触子が物品に接触す
るまで、低摩擦移動機構を等加速度運動させ、接触後、
その一定力の測定圧のもとで、位置を測定することによ
り、フィードバック制御しなくても、所望の測定圧で、
簡単に測定することができる。According to a seventh aspect of the present invention, which is a uniaxial measurement method, a constant current is applied to the coil of the linear DC actuator to generate a constant force, and a low-friction moving mechanism is used until the contactor comes into contact with the article. After contact with uniform acceleration motion,
By measuring the position under the measurement pressure of the constant force, without feedback control, at the desired measurement pressure,
It can be easily measured.
【００１５】また、請求項８では、１軸方向の測定方法
であり、位置検出センサーの値を入力とし、コイル電流
を出力とするフィードバック制御を行い、低摩擦移動機
構の目標位置を１ステップづつ物品に近づけていき、フ
ィードバック電流が、接触圧に要するコイル電流値を越
えた段階で接触を確認し、所望する測定圧で、位置を測
定することにより、物品に対する衝撃を小さくできる。According to the eighth aspect of the present invention, which is a method of measuring in one axis direction, feedback control is performed in which the value of the position detection sensor is input and the coil current is output, and the target position of the low-friction moving mechanism is step by step. The impact on the article can be reduced by approaching the article, confirming the contact when the feedback current exceeds the coil current value required for the contact pressure, and measuring the position at the desired measurement pressure.
【００１６】更に、請求項９では、１軸方向の測定方法
であり、位置検出センサーの値を入力とし、コイル電流
を出力とするフィードバック制御を行い、物品に接触子
が衝突するように、低摩擦移動機構の目標位置を設定
し、接触を位置検出センサーで感知した後、所望する測
定圧に変換し、位置を測定することにより、物品に速く
到達できるため、測定速度が速くなる。Further, according to a ninth aspect of the present invention, which is a uniaxial measurement method, feedback control is performed by using a value of a position detection sensor as an input and a coil current as an output, so that a contactor collides with an article. By setting the target position of the frictional movement mechanism, detecting the contact with the position detection sensor, converting it to a desired measurement pressure, and measuring the position, the article can be reached quickly, so that the measurement speed is increased.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１〜図３は本発明の一実施例を示すものであ
る。図１において、低摩擦移動機構１は、流体軸受とし
て空気軸受を用いたものであり、外部から圧縮空気が送
りこまれる。低摩擦移動機構１の中央部には１軸テーブ
ルとして可動体２が移動自在に設けてあり、可動体２の
下面には接触子３が取り付けられている。また、可動体
２の側面にはターゲット４が設けてあり、このターゲッ
ト４に対応して低摩擦移動機構１の位置を検出する位置
検出センサー５が配設されている。尚、低摩擦移動機構
１の流体軸受として、液体軸受として構成してもよい。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 3 show an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the low-friction moving mechanism 1 uses an air bearing as a fluid bearing, and compressed air is sent from the outside. A movable body 2 is movably provided as a uniaxial table in the center of the low-friction moving mechanism 1, and a contactor 3 is attached to the lower surface of the movable body 2. A target 4 is provided on the side surface of the movable body 2, and a position detection sensor 5 that detects the position of the low-friction moving mechanism 1 is provided corresponding to the target 4. The fluid bearing of the low friction moving mechanism 1 may be a liquid bearing.
【００１８】低摩擦移動機構１を駆動する駆動手段であ
るリニア直流アクチュエータ６は、Ｅ型のヨーク７と、
ヨーク７の中央部分に嵌挿した可動コイル８等で構成さ
れており、可動コイル８は低摩擦移動機構１の可動体２
に設けた支持片９と連結されている。従って、可動体２
は横方向に移動自在となっている。尚、リニア直流アク
チュエータ６は、ここではボイスコイルモータ（ＶＣ
Ｍ）を使用している。A linear DC actuator 6 which is a driving means for driving the low friction moving mechanism 1 includes an E-shaped yoke 7 and
The movable coil 8 is formed by inserting the movable coil 8 into the central portion of the yoke 7, and the movable coil 8 is the movable body 2 of the low-friction moving mechanism 1.
Is connected to the support piece 9 provided on the. Therefore, the movable body 2
Is movable laterally. The linear DC actuator 6 is a voice coil motor (VC
M) is used.
【００１９】また、位置検出センサー５の出力に基づい
てリニア直流アクチュエータ６をフィードバック制御す
る制御手段が設けられ、この制御手段は図２の制御シス
テムに示すように、リニア直流アクチュエータ６の出力
をフィードバックして、信号を位置検出センサー５に送
っている。リニア直流アクチュエータ６にて低摩擦移動
機構１の可動体２を駆動し、接触子３が被測定物１０に
接触し、可動体２の位置を位置検出センサー５にて検出
し、位置を測定するようにしている。すなわち、リニア
直流アクチュエータ６により、可動体２にローレンツ力
を作用させて、可動体２を所定の位置で制御できるよう
にしたものである。尚、ダンピングにおいては、圧縮空
気で外部からの微小振動に対して、リニア直流アクチュ
エータ６のダンピング制御で対応している。Further, control means for feedback-controlling the linear DC actuator 6 based on the output of the position detection sensor 5 is provided, and this control means feeds back the output of the linear DC actuator 6 as shown in the control system of FIG. Then, the signal is sent to the position detection sensor 5. The movable body 2 of the low-friction moving mechanism 1 is driven by the linear DC actuator 6, the contact 3 comes into contact with the DUT 10, the position of the movable body 2 is detected by the position detection sensor 5, and the position is measured. I am trying. That is, the linear DC actuator 6 applies a Lorentz force to the movable body 2 so that the movable body 2 can be controlled at a predetermined position. Incidentally, in the damping, damping control of the linear DC actuator 6 is used to cope with a small vibration from the outside by compressed air.
【００２０】このように、位置検出が可能な低摩擦移動
機構１に対し、リニア直流アクチュエータ６または電磁
石の電磁力に流す電流を制御可能とし、その電流値を制
御することにより、各々の力を任意に発生させ、その既
知の力がかかった低摩擦移動機構１の位置を精密に検出
し、位置制御や力制御、コンプライアンス制御、ダンピ
ング制御等ができ、更に、制御時の力の検出も可能であ
り、力センサーとしての機能も持つことができ、よっ
て、例えば、低荷重の力制御とダンピング制御を同時に
行えば、振動を最小にして、低接触圧で測定することが
可能となるものである。As described above, for the low-friction moving mechanism 1 capable of detecting the position, it is possible to control the current flowing in the electromagnetic force of the linear DC actuator 6 or the electromagnet, and by controlling the current value, each force is controlled. The position of the low-friction moving mechanism 1 that is generated arbitrarily and applied with the known force is precisely detected, and position control, force control, compliance control, damping control, etc. can be performed, and the force during control can also be detected. It is also possible to have a function as a force sensor. Therefore, for example, if force control with low load and damping control are performed at the same time, vibration can be minimized and measurement can be performed with low contact pressure. is there.
【００２１】図３は図１に示す構成を用いた例を示し、
架台１１にはＸ軸テーブル１２、Ｚ軸テーブル１３が設
置され、また、ワーク１４、測定子（スタイラス）１
５、ワーク用のクランパー１６、アクチュエータ１７等
が設けられている。ここで、大ストロークは一般の位置
決め装置を用い、小ストロークはリニア直流アクチュエ
ータ６と低摩擦移動機構１とを用いて、位置を正確に測
定するようにしている。FIG. 3 shows an example using the configuration shown in FIG.
An X-axis table 12 and a Z-axis table 13 are installed on the gantry 11, a work piece 14, a stylus 1
5, a work clamper 16, an actuator 17 and the like are provided. Here, a general positioning device is used for a large stroke, and a linear DC actuator 6 and a low-friction moving mechanism 1 are used for a small stroke to accurately measure the position.
【００２２】（実施例２）図４及び図５は請求項３に対
応した実施例を示し、上記の流体軸受の代わりに、反発
型の磁気軸受を用いたものである。すなわち、磁気浮上
１軸テーブルとして、図５に示すように着磁した永久磁
石１８からなる可動体２と、この永久磁石１８に反発す
るように着磁した永久磁石１９とで構成し、可動体２の
下面に接触子３を取り付けたものである。(Embodiment 2) FIGS. 4 and 5 show an embodiment corresponding to claim 3, in which a repulsion type magnetic bearing is used in place of the above fluid bearing. That is, the magnetic levitation uniaxial table is constituted by the movable body 2 composed of the permanent magnets 18 magnetized as shown in FIG. 5, and the permanent magnet 19 magnetized so as to repel the permanent magnets 18. The contactor 3 is attached to the lower surface of 2.
【００２３】このように、低摩擦移動機構として、１軸
上に移動する磁気軸受を設け、その低摩擦移動機構の一
部に接触子を配置し、物品の位置を検出するようにした
ものであり、磁気軸受としては電磁石による能動制御型
や永久磁石による受動型があり、特に、永久磁石による
受動型は、流体軸受と比べて、剛性の面では劣るもの
の、流体の経路の設計の必要がないため、装置を簡単に
することができる。As described above, as the low-friction moving mechanism, a magnetic bearing that moves on one axis is provided, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of the article. There are active control types using electromagnets and passive types using permanent magnets as magnetic bearings.In particular, the passive type using permanent magnets is inferior in rigidity to fluid bearings, but it is necessary to design a fluid path. Since it does not exist, the device can be simplified.
【００２４】（実施例３）図６及び図７は請求項４に対
応した実施例を示すものであり、リニア直流アクチュエ
ータ６と空気軸受からなる低摩擦移動機構１とを一体構
造としたものである。従って、リニア直流アクチュエー
タ６と１軸の低摩擦移動機構１を一体とすることで、装
置をコンパクトにでき、小型軽量化できるものである。(Embodiment 3) FIGS. 6 and 7 show an embodiment corresponding to claim 4, in which a linear DC actuator 6 and a low friction moving mechanism 1 composed of an air bearing are integrated. is there. Therefore, by integrating the linear DC actuator 6 and the uniaxial low-friction moving mechanism 1, the device can be made compact and the size and weight can be reduced.
【００２５】（実施例４）図８及び図９は請求項５に対
応した実施例を示すものである。空気軸受（スラスト）
からなる低摩擦移動機構１と、低摩擦移動機構１の可動
体に吸引・反発力を作用させる３個以上の駆動手段であ
る電磁石２０と、可動体の位置を検出する平面内２自由
度の位置検出センサー５と、位置検出センサー５の出力
に基づいて各電磁石２０をフィードバック制御する制御
手段（図示せず）により、電磁石２０の吸引力で、可動
体に２自由度位置制御可能な吸引力を作用させて、可動
体を所望の位置で制御できるようにしたものである。こ
れにより、平面内の位置検出を精度良く行うことができ
る。(Embodiment 4) FIGS. 8 and 9 show an embodiment corresponding to the fifth aspect. Air bearing (thrust)
A low-friction moving mechanism 1, an electromagnet 20 which is three or more driving means for applying attraction / repulsive force to the movable body of the low-friction moving mechanism 1, and a two-degree-of-freedom in-plane detecting the position of the movable body. The position detection sensor 5 and a control unit (not shown) that feedback-controls each electromagnet 20 based on the output of the position detection sensor 5 are attracting force of the electromagnet 20 so that the movable body can be position controlled in two degrees of freedom. To allow the movable body to be controlled at a desired position. As a result, it is possible to accurately detect the position in the plane.
【００２６】本実施例では２次（Ｘ，Ｙ）制御であり、
平面上の点を化計測可能としている。また、３次元測定
器のプローブの代わりに取り付けることもできる。図９
は測定システムの一例を示すものである。 （実施例５）図１０及び図１１は請求項６に対応した実
施例を示すものである。空気軸受からなる低摩擦移動機
構１と、低摩擦移動機構１の可動体に力を作用させる３
個のリニア直流アクチュエータ６と、可動体の位置を検
出する平面内３自由度の位置検出センサー５の出力に基
づいて各リニア直流アクチュエータ６をフィードバック
制御する制御手段（図示せず）を設けたものである。In this embodiment, the secondary (X, Y) control is performed.
The points on the plane can be measured. It can also be attached instead of the probe of the three-dimensional measuring device. Figure 9
Shows an example of the measurement system. (Embodiment 5) FIGS. 10 and 11 show an embodiment corresponding to claim 6. A low-friction moving mechanism 1 including an air bearing, and a force acting on a movable body of the low-friction moving mechanism 1 3
One in which a linear DC actuator 6 and control means (not shown) for feedback-controlling each linear DC actuator 6 based on the output of the position detection sensor 5 having three degrees of freedom in the plane for detecting the position of the movable body are provided. Is.
【００２７】そして、リニア直流アクチュエータ６で可
動体に３自由度位置制御可能な力を作用させて、可動体
を所望の位置・角度で制御できるようにしたものであ
り、その可動体の一部に接触子３を配置し、物品の平面
上の位置及び平面上の角度を一度（同時）に検出するこ
とができる。また、３次元測定器のプローブの代わりに
取り付けることもできる。The linear DC actuator 6 applies a force capable of position control in three degrees of freedom to the movable body so that the movable body can be controlled at a desired position and angle, and a part of the movable body is controlled. By arranging the contactor 3 on, the position on the plane and the angle on the plane of the article can be detected at once (simultaneously). It can also be attached instead of the probe of the three-dimensional measuring device.
【００２８】（実施例６）図１２及び図１３は請求項７
に対応した実施例を示すものである。本実施例は、１軸
方向の測定方法であって、加速法であり、一定電流Ｉ
（一定力Ｆ）にて加速と負荷を与え、接触子３の停止点
を測定するものである。すなわち、一定の電流をリニア
直流アクチュエータ６の可動コイル８に流すことによ
り、一定力が生じ、接触子３が物品つまり被測定物１０
に接触するまで、低摩擦移動機構１を等加速度運動さ
せ、接触子３が被測定物１０に接触した後、その一定力
の測定圧のもとで、位置を測定するものである。従っ
て、フィードバック制御しなくても、所望の測定圧で、
簡単に測定することができる。(Embodiment 6) FIG. 12 and FIG.
It shows an embodiment corresponding to. The present embodiment is a uniaxial measurement method, an acceleration method, and a constant current I
Acceleration and load are applied with (constant force F), and the stop point of the contactor 3 is measured. That is, by applying a constant current to the movable coil 8 of the linear DC actuator 6, a constant force is generated and the contactor 3 is an article, that is, the object to be measured 10.
The low-friction moving mechanism 1 is moved at a constant acceleration until the contact point 3 comes into contact with the object 10 and the contact 3 comes into contact with the object 10 to be measured, and then the position is measured under the constant measurement pressure. Therefore, without feedback control, at the desired measurement pressure,
It can be easily measured.
【００２９】（実施例７）図１４及び図１５は請求項８
に対応した実施例を示すものであり、１軸方向の測定方
法であって、目標位置増加法であり、１ステップずつ目
標位置を被測定物１０に近づけ、接触子３の停止点を測
定することにより、衝撃を最小になるようにしたもので
ある。(Embodiment 7) FIG. 14 and FIG.
The method of measuring the stop point of the contactor 3 by measuring the stop position of the contact 3 by bringing the target position closer to the object to be measured 10 step by step, which is a uniaxial measurement method and a target position increasing method. By doing so, the impact is minimized.
【００３０】すなわち、位置検出センサー５の値を入力
とし、可動コイル８のコイル電流を出力とするフィード
バック制御を行い、低摩擦移動機構１の目標位置を１ス
テップづつ被測定物１０に近づけていき、フィードバッ
ク電流が、接触圧に要するコイル電流値を越えた段階で
接触（停止）を確認し、所望する測定圧で、位置を測定
するものである。これにより、物品に対する衝撃を小さ
くできる。That is, feedback control is performed by using the value of the position detection sensor 5 as an input and the coil current of the movable coil 8 as an output to bring the target position of the low friction moving mechanism 1 closer to the object to be measured 10 step by step. The contact (stop) is confirmed when the feedback current exceeds the coil current value required for the contact pressure, and the position is measured at the desired measurement pressure. This can reduce the impact on the article.
【００３１】（実施例８）図１６及び図１７は請求項９
に対応した実施例を示し、１軸方向の測定方法であっ
て、目標位置設定法であり、目標位置を被測定物１０に
必ず当たる範囲で設定し、停止点で低荷重に設定し直
し、測定するようにしたものであり、測定速度が最大と
なるものである。(Embodiment 8) FIG. 16 and FIG.
Shows an embodiment corresponding to, is a measurement method in the 1-axis direction, is a target position setting method, the target position is set within a range that always hits the DUT 10, and the load is reset at the stop point, The measurement speed is maximized.
【００３２】すなわち、位置検出センサー５の値を入力
とし、可動コイル８のコイル電流を出力とするフィード
バック制御を行い、被測定物１０に接触子３が衝突する
ように、低摩擦移動機構１の目標位置を設定し、接触を
位置検出センサー５で感知した後、所望する測定圧に変
換し、位置を測定するものである。これにより、被測定
物１０に速く到達できるため、測定速度が速くなる。That is, feedback control is performed in which the value of the position detection sensor 5 is input and the coil current of the movable coil 8 is output, so that the contact 3 collides with the object 10 to be measured. The target position is set, the contact is sensed by the position detection sensor 5, and then converted into a desired measurement pressure to measure the position. As a result, the object to be measured 10 can be reached quickly, and the measurement speed is increased.
【００３３】[0033]
【発明の効果】本発明は上述のように、低摩擦移動機構
と、この低摩擦移動機構を駆動するリニア直流アクチュ
エータまたは電磁石からなる駆動手段と、低摩擦移動機
構の位置を検出する位置検出センサーと、位置検出セン
サーの出力に基づいて駆動手段をフィードバック制御す
る制御手段とを備えたものであるから、位置検出が可能
な低摩擦移動機構に対し、リニア直流アクチュエータま
たは電磁石の電磁力に流す電流を制御可能とし、その電
流値を制御することにより、各々の力を任意に発生さ
せ、その既知の力がかかった低摩擦移動機構の位置を精
密に検出し、位置制御や力制御、コンプライアンス制
御、ダンピング制御等ができ、更に、制御時の力の検出
も可能であり、力センサーとしての機能も持つことがで
き、よって、例えば、低荷重の力制御とダンピング制御
を同時に行えば、振動を最小にして、低接触圧で測定す
ることが可能となる効果を奏するものである。As described above, the present invention has a low-friction moving mechanism, a driving means including a linear DC actuator or an electromagnet for driving the low-friction moving mechanism, and a position detecting sensor for detecting the position of the low-friction moving mechanism. And a control means for feedback-controlling the driving means based on the output of the position detection sensor, the current flowing in the electromagnetic force of the linear DC actuator or electromagnet is applied to the low friction movement mechanism capable of position detection. By controlling the current value, each force can be generated arbitrarily, and the position of the low-friction moving mechanism to which the known force is applied is precisely detected, and position control, force control, compliance control , Damping control, etc. can be performed, the force at the time of control can be detected, and a function as a force sensor can be provided. Therefore, for example, By performing the force control and damping control of the load at the same time, with minimal vibration, in which an effect of making it possible to measure at a low contact pressure.
【００３４】また、請求項２では、低摩擦移動機構とし
て、１軸上に移動する流体軸受を設け、その低摩擦移動
機構の一部に接触子を配置し、物品の位置を検出するよ
うにしたものであり、流体としては、気体や液体を用い
ることで、摩擦のない移動機構として用いることがで
き、また、低摩擦移動機構として流体軸受を用いること
で、低摩擦移動機構の可動体自ら物品に接触し、所望の
測定圧を高精度に出力できるという効果がある。According to a second aspect of the present invention, as the low-friction moving mechanism, a fluid bearing which moves on one axis is provided, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of the article. By using gas or liquid as the fluid, it can be used as a friction-free moving mechanism, and by using a fluid bearing as the low-friction moving mechanism, the movable body itself of the low-friction moving mechanism can be used. There is an effect that a desired measurement pressure can be output with high accuracy by contacting an article.
【００３５】更に、請求項３では、低摩擦移動機構とし
て、１軸上に移動する磁気軸受を設け、その低摩擦移動
機構の一部に接触子を配置し、物品の位置を検出するよ
うにしたものであり、磁気軸受としては電磁石による能
動制御型や永久磁石による受動型があり、特に、永久磁
石による受動型は、流体軸受と比べて、剛性の面では劣
るものの、流体の経路を設計する必要がないため、装置
を簡単にすることができるという効果がある。Further, in claim 3, as the low-friction moving mechanism, a magnetic bearing which moves on one axis is provided, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of the article. Magnetic bearings include active control type using electromagnets and passive type using permanent magnets.In particular, passive type using permanent magnets is inferior in rigidity to fluid bearings, but the fluid path is designed. Since there is no need to do so, there is an effect that the device can be simplified.
【００３６】また、請求項４では、リニア直流アクチュ
エータと１軸の低摩擦移動機構を一体とすることで、装
置をコンパクトにでき、小型軽量化できるという効果が
ある。また、請求項５では、流体軸受よりなる低摩擦移
動機構の可動体に、吸引・反発力を作用させる３個以上
の電磁石からなる駆動手段を配置し、可動体の位置を検
出する平面内２自由度の位置検出センサーに基づいて各
駆動手段をフィードバック制御する制御手段を設け、３
個以上の駆動手段により可動体に２自由度位置制御可能
な吸引・反発力を作用させて、可動体を所望の位置で制
御できるようにしたものであり、平面内の位置検出を精
度良く行うことができるという効果がある。According to the present invention, by integrating the linear DC actuator and the uniaxial low friction moving mechanism, the device can be made compact and the size and weight can be reduced. Further, according to a fifth aspect of the present invention, a driving means formed of three or more electromagnets for exerting attraction / repulsion force is arranged on the movable body of the low-friction moving mechanism including a fluid bearing, and the in-plane 2 for detecting the position of the movable body is arranged. A control means for feedback-controlling each drive means based on a position detection sensor having a degree of freedom is provided.
The movable body can be controlled at a desired position by applying a suction / repulsion force capable of controlling the position of the two degrees of freedom to the movable body by means of at least one driving means, and the position in the plane can be accurately detected. The effect is that you can.
【００３７】更に、請求項６では、流体軸受よりなる低
摩擦移動機構の可動体に、力を作用させる３個以上のリ
ニア直流アクチュエータからなる駆動手段を配置し、可
動体の位置を検出する平面内３自由度の位置検出センサ
ーに基づいて各駆動手段をフィードバック制御する制御
手段を設け、３個以上の駆動手段により可動体に３自由
度位置制御可能な力を作用させて、可動体を所望の位置
・角度で制御できるようにしたものであり、その可動体
の一部に接触子を配置させ、物品の平面上の位置及び平
面上の角度を一度に検出することができるという効果が
ある。Further, according to a sixth aspect of the present invention, a driving means composed of three or more linear DC actuators for exerting a force is arranged on a movable body of a low friction moving mechanism composed of a fluid bearing, and a plane for detecting the position of the movable body. A control means for feedback-controlling each drive means based on a position detection sensor having three degrees of freedom is provided, and a force capable of controlling the position of three degrees of freedom is applied to the movable body by three or more drive means to obtain the desired movable body. It is possible to control the position and angle of the article, and it is possible to detect the position of the article on the plane and the angle on the plane at a time by disposing a contactor on a part of the movable body. ..
【００３８】請求項７では、１軸方向の測定方法であ
り、一定の電流をリニア直流アクチュエータのコイルに
流すことにより、一定力が生じ、接触子が物品に接触す
るまで、低摩擦移動機構を等加速度運動させ、接触後、
その一定力の測定圧のもとで、位置を測定することによ
り、フィードバック制御しなくても、所望の測定圧で、
簡単に測定することができるという効果がある。According to a seventh aspect of the present invention, which is a uniaxial measuring method, a constant current is applied to the coil of the linear DC actuator to generate a constant force, and a low friction moving mechanism is used until the contactor comes into contact with the article. After contact with uniform acceleration motion,
By measuring the position under the measurement pressure of the constant force, without feedback control, at the desired measurement pressure,
It has an effect that it can be easily measured.
【００３９】また、請求項８では、１軸方向の測定方法
であり、位置検出センサーの値を入力とし、コイル電流
を出力とするフィードバック制御を行い、低摩擦移動機
構の目標位置を１ステップづつ物品に近づけていき、フ
ィードバック電流が、接触圧に要するコイル電流値を越
えた段階で接触を確認し、所望する測定圧で、位置を測
定することにより、物品に対する衝撃を小さくできると
いう効果がある。According to the eighth aspect of the present invention, which is a measuring method in the direction of one axis, feedback control is performed in which the value of the position detection sensor is input and the coil current is output, and the target position of the low-friction moving mechanism is set step by step. By bringing the feedback current closer to the article and confirming the contact when the feedback current exceeds the coil current value required for the contact pressure, and measuring the position with the desired measurement pressure, the effect on the article can be reduced. ..
【００４０】更に、請求項９では、１軸方向の測定方法
であり、位置検出センサーの値を入力とし、コイル電流
を出力とするフィードバック制御を行い、物品に接触子
が衝突するように、低摩擦移動機構の目標位置を設定
し、接触を位置検出センサーで感知した後、所望する測
定圧に変換し、位置を測定することにより、物品に速く
到達できるため、測定速度が速くなるという効果があ
る。Further, in the ninth aspect of the present invention, it is a uniaxial measurement method, and feedback control is performed by using the value of the position detection sensor as an input and the coil current as an output so that the contactor collides with the article. By setting the target position of the friction movement mechanism, detecting the contact with the position detection sensor, converting it to the desired measurement pressure, and measuring the position, it is possible to reach the article quickly, so the measurement speed is increased. is there.
【図１】本発明の実施例の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention.
【図２】同上の制御システムのブロック図である。FIG. 2 is a block diagram of the control system of the above.
【図３】同上の測定システムの一例を示す斜視図であ
る。FIG. 3 is a perspective view showing an example of the above measurement system.
【図４】同上の実施例２の概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a second embodiment of the above.
【図５】同上の実施例２の概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a second embodiment of the same.
【図６】同上の実施例３の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of Example 3 of the above.
【図７】同上の概略構成図である。FIG. 7 is a schematic configuration diagram of the above.
【図８】同上の実施例４の斜視図である。FIG. 8 is a perspective view of Example 4 of the above.
【図９】同上の測定システムの一例を示す斜視図であ
る。FIG. 9 is a perspective view showing an example of the above measurement system.
【図１０】同上の実施例５の斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of Example 5 of the above.
【図１１】同上の測定システムの一例を示す斜視図であ
る。FIG. 11 is a perspective view showing an example of the above measurement system.
【図１２】同上の実施例６の説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram of Example 6 of the above.
【図１３】同上のフローチャートを示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a flowchart of the above.
【図１４】同上の実施例７の説明図である。FIG. 14 is an explanatory diagram of Example 7 of the above.
【図１５】同上のフローチャートを示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a flowchart of the above.
【図１６】同上の実施例８の説明図である。FIG. 16 is an explanatory diagram of Example 8 of the above.
【図１７】同上のフローチャートを示す図である。FIG. 17 is a diagram showing a flowchart of the above.
１ 低摩擦移動機構 ２ 可動体 ３ 接触子 ５ 位置検出センサー ６ リニア直流アクチュエータ ８ 可動コイル １０ 被測定物 1 Low Friction Moving Mechanism 2 Movable Body 3 Contact 5 Position Detection Sensor 6 Linear DC Actuator 8 Moving Coil 10 Object to be Measured
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成３年１２月２６日[Submission date] December 26, 1991
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図１[Name of item to be corrected] Figure 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図１】 [Figure 1]
Claims (9)
を駆動するリニア直流アクチュエータまたは電磁石から
なる駆動手段と、低摩擦移動機構の位置を検出する位置
検出センサーと、位置検出センサーの出力に基づいて駆
動手段をフィードバック制御する制御手段とを備えたこ
とを特徴とする触覚装置。1. A low-friction moving mechanism, a driving means including a linear DC actuator or an electromagnet for driving the low-friction moving mechanism, a position detecting sensor for detecting the position of the low-friction moving mechanism, and an output of the position detecting sensor. A haptic device, comprising: a control unit that feedback-controls the driving unit based on the haptic device.
れる低摩擦移動機構として、１軸上に移動する流体軸受
を設け、低摩擦移動機構の一部に接触子を配置し、物品
の位置を検出するようにしたことを特徴とする請求項１
記載の触覚装置。2. A low-friction moving mechanism to which a linear DC actuator is attached is provided with a fluid bearing which moves on one axis, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of an article. Claim 1 characterized in that
The tactile device described.
れる低摩擦移動機構として、１軸上に移動する磁気軸受
を設け、低摩擦移動機構の一部に接触子を配置し、物品
の位置を検出するようにしたことを特徴とする請求項１
記載の触覚装置。3. A low-friction moving mechanism to which a linear DC actuator is attached is provided with a magnetic bearing that moves on one axis, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of an article. Claim 1 characterized in that
The tactile device described.
擦移動機構を一体とし、低摩擦移動機構の一部に接触子
を配置し、物品の位置を検出するようにしたことを特徴
とする請求項１記載の触覚装置。4. A linear DC actuator and a uniaxial low-friction moving mechanism are integrated, and a contactor is arranged in a part of the low-friction moving mechanism to detect the position of an article. The tactile device according to 1.
磁力が作用する低摩擦移動機構として、平面上に移動す
る流体軸受を設け、その低摩擦移動機構の一部に接触子
を配置し、物品の平面上の変位量を検出するようにした
ことを特徴とする請求項１記載の触覚装置。5. A fluid bearing that moves on a plane is provided as a low-friction moving mechanism on which three or more electromagnets are arranged, and an electromagnetic force thereof acts, and a contact is arranged on a part of the low-friction moving mechanism. The tactile device according to claim 1, wherein the displacement amount on the plane of the article is detected.
取り付けられる低摩擦移動機構として、平面上に移動す
る流体軸受を設け、その低摩擦移動機構の一部に接触子
を配置し、物品の平面上の変位量及び平面上の角度を一
度に検出するようにしたことを特徴とする請求項１記載
の触覚装置。6. A low friction moving mechanism to which three or more linear DC actuators are attached is provided with a fluid bearing that moves on a plane, and a contactor is arranged on a part of the low friction moving mechanism to arrange it on a plane of an article. The haptic device according to claim 1, wherein the displacement amount and the angle on the plane are detected at one time.
ニア直流アクチュエータのコイルに流すことにより一定
力が生じ、接触子が物品に接触するまで、低摩擦移動機
構を等加速度運動をさせ、接触後、その一定力の測定圧
のもとで、位置を測定するようにしたことを特徴とする
請求項１〜６記載の位置測定方法。7. A uniaxial measuring method, in which a constant current is applied to a coil of a linear DC actuator to generate a constant force, and the low-friction moving mechanism is caused to perform uniform acceleration motion until the contactor comes into contact with an article. The position measuring method according to any one of claims 1 to 6, wherein after the contact, the position is measured under a constant measurement pressure.
ーの値を入力とし、コイル電流を出力とするフィードバ
ック制御を行い、低摩擦移動機構の目標位置を１ステッ
プづつ物品に近づけていき、フィードバック電流が、接
触圧に要するコイル電流値を越えた段階で接触を確認
し、希望する接触圧で位置を測定するようにしたことを
特徴とする請求項１〜６記載の位置測定方法。8. A uniaxial measuring method, wherein feedback control using a value of a position detection sensor as an input and a coil current as an output is performed to bring a target position of a low friction moving mechanism closer to an article step by step. 7. The position measuring method according to claim 1, wherein contact is confirmed when the feedback current exceeds a coil current value required for contact pressure, and the position is measured at a desired contact pressure.
ーの値を入力とし、コイル電流を出力とするフィードバ
ック制御を行い、物品に接触子が衝突するように低摩擦
移動機構の目標位置を設定し、接触を位置検出センサー
で感知した後、希望する接触圧に変換し、位置を測定す
るようにしたことを特徴とする請求項１〜６記載の位置
測定方法。9. A uniaxial measuring method, wherein feedback control using a value of a position detection sensor as an input and a coil current as an output is performed to set a target position of a low-friction moving mechanism so that a contact collides with an article. The position measuring method according to any one of claims 1 to 6, wherein the position is set, and after the contact is detected by the position detection sensor, the contact pressure is converted into a desired contact pressure and the position is measured.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3280174A JP2642818B2 (en) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | Position measuring device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3280174A JP2642818B2 (en) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | Position measuring device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05118804A true JPH05118804A (en) | 1993-05-14 |
| JP2642818B2 JP2642818B2 (en) | 1997-08-20 |
Family
ID=17621337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3280174A Expired - Fee Related JP2642818B2 (en) | 1991-10-28 | 1991-10-28 | Position measuring device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2642818B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011515694A (en) * | 2008-03-25 | 2011-05-19 | デルファイ・テクノロジーズ・ホールディング・エス．アー．エール．エル． | Sensor configuration |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143247A (en) * | 1983-12-29 | 1985-07-29 | Mitsubishi Electric Corp | Harmonic gear device |
| JPS6432108A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-02 | Kyocera Corp | Touch sensor |
-
1991
- 1991-10-28 JP JP3280174A patent/JP2642818B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60143247A (en) * | 1983-12-29 | 1985-07-29 | Mitsubishi Electric Corp | Harmonic gear device |
| JPS6432108A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-02 | Kyocera Corp | Touch sensor |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011515694A (en) * | 2008-03-25 | 2011-05-19 | デルファイ・テクノロジーズ・ホールディング・エス．アー．エール．エル． | Sensor configuration |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2642818B2 (en) | 1997-08-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5786654A (en) | Movable stage utilizing electromechanical transducer | |
| US7797850B2 (en) | Contact type measuring instrument | |
| JPH05504100A (en) | Ultra-high-speed electrodynamic X, Y, Θ positioning stage | |
| US9410984B2 (en) | Surface force measuring method and surface force measuring apparatus | |
| EP1071097A4 (en) | Stage positioning device | |
| Stadler et al. | High precision hybrid reluctance actuator with integrated orientation independent zero power gravity compensation | |
| JPH05118804A (en) | Tactile device and measuring method for position | |
| JP2003028974A (en) | Stage apparatus | |
| JP2000002636A (en) | Material testing machine | |
| Morita et al. | A miniaturized levitation system with motion control using a piezoelectric actuator | |
| KR100953521B1 (en) | Testing apparatus of load and testing method using the same | |
| JP4376697B2 (en) | Micro displacement control apparatus and apparatus and method using the same | |
| JP4557657B2 (en) | Contact type probe and shape measuring device | |
| JPH08340682A (en) | Movable table with electro-mechanical conversion element | |
| Mehrtash et al. | Micro-domain force estimation using hall-effect sensors for a magnetic microrobotic station | |
| JP3121528B2 (en) | Vibration detection device and vibration detection method | |
| Morita et al. | Micro levitation system with motion contorl | |
| JPH05116087A (en) | Posture control method for movable body by compliance mechanism | |
| KR100434975B1 (en) | Positioning System of Nano-Meter Stage and Method Thereof | |
| Fuchiwaki et al. | The basic performance of a miniature omnidirectional 6-legged inchworm robot from cm-to μm-scale precise positioning | |
| Yatsurugi et al. | Modeling and primary experiment of a 3-axis PID control with 50 nm resolution for a holonomic precision inchworm robot | |
| JPH05203510A (en) | Method and apparatus for measuring frictional force | |
| JPH10148204A (en) | Actuator | |
| Nakamura et al. | A micro operation hand and its application to microdrawing | |
| Lin et al. | High precision eddy current damped electromagnetic positioner with flexure-suspension |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19951205 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |