JPH05118288A - Bearing case for vacuum pump - Google Patents

Bearing case for vacuum pump

Info

Publication number
JPH05118288A
JPH05118288A JP25468591A JP25468591A JPH05118288A JP H05118288 A JPH05118288 A JP H05118288A JP 25468591 A JP25468591 A JP 25468591A JP 25468591 A JP25468591 A JP 25468591A JP H05118288 A JPH05118288 A JP H05118288A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing
cooling water
tube
bearing case
vacuum pump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP25468591A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiro Watanabe
泰弘 渡辺
Hiroaki Ogamino
宏明 小神野
Seigo Murakami
生吾 村上
Katsuaki Usui
克明 臼井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP25468591A priority Critical patent/JPH05118288A/en
Publication of JPH05118288A publication Critical patent/JPH05118288A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent clogging of various types of piping and the like due to corrosion inside a cooling water passage in a lubricating oil reservoir constituted of a bearing case for housing a bearing for supporting a rotation shaft by incorporating a tube of a corrosion resistant material as a cooling water passage in the bearing case. CONSTITUTION:In a vacuum pump, a pair of rotating bodies 2 engaging with each other are arranged in a casing 1 and bearings 5, 6 to rotating-support respective rotating bodies 2 are housed respectively in bearing cases 10, 11. The bearing cases 10, 11 are respectively serving also as lubricating oil reservoirs, and lubricating oil 38 is housed therein at a predetermined level being a level for submerging an outer circumferential surface of gears 8. In this case, a tube 15 formed of a stainless tube and the like and made of a corrosion resistant material is insert-molded integrally with each of the bearing cases 10, 11 at each bottom of the bearing cases 10, 11. Stainless pipes 17 for a cooling water supply passage are connected to both ends of each tube 15 to flow cooling water in each tube 15 so as to cool the bearing cases 10, 11.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は真空ポンプの軸受ケース
に係り、特に真空ポンプの回転軸を支承する軸受を収容
した軸受ケースが潤滑油溜めを構成する真空ポンプの軸
受ケースに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bearing case of a vacuum pump, and more particularly to a bearing case of a vacuum pump in which a bearing case which supports a rotating shaft of the vacuum pump constitutes a lubricating oil sump.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、回転軸に沿ってロータを備え
た回転体を相隣接して設け、相対向したロータが互いに
逆方向へ回転して吸入排気を行う真空ポンプが知られて
いる。真空ポンプ用ロータは相対向するロータ同士及び
ロータとケーシングとの間に僅かな隙間を保って、接触
することなく回転する。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a vacuum pump in which rotors having rotors are provided adjacent to each other along a rotation axis, and rotors facing each other rotate in opposite directions to perform suction and exhaust. The rotors for vacuum pumps rotate without contacting each other with a slight gap maintained between the rotors facing each other and between the rotors and the casing.

【0003】しかして、上記ロータを支持する回転軸
は、その両端に軸受が設けられており、この軸受によっ
てロータおよび回転軸が回転支承されるようになってい
る。また一対の回転軸の軸端部にはそれぞれ歯車が設け
られていて、一方の回転軸から他方の回転軸へ動力が伝
達されるようになっている。そして、上記軸受や歯車等
の機器類を潤滑するために、真空ポンプの軸受ケースは
潤滑油溜めを構成しており、この潤滑油溜め内に収容さ
れた潤滑油によって上記軸受及び歯車等が油潤滑される
ようになっている。
However, the rotary shaft supporting the rotor is provided with bearings at both ends thereof, and the rotor and the rotary shaft are rotatably supported by the bearings. Gears are provided at the shaft ends of the pair of rotary shafts, respectively, so that power is transmitted from one rotary shaft to the other rotary shaft. In order to lubricate the bearings, gears, and other devices, the bearing case of the vacuum pump constitutes a lubricating oil sump, and the lubricating oil accommodated in the lubricating oil sump causes the bearings, gears, etc. to be oiled. It is supposed to be lubricated.

【0004】次に、従来の真空ポンプの軸受ケースにつ
いて図4を参照して説明する。図4において、符号31
は軸受ケースであり、この軸受ケースは潤滑油溜めを構
成している。軸受ケース31には、その底部に冷却水ジ
ャケット32が形成されている。冷却水ジャケット32
には、チューブ継手36を介して冷却水チューブ33が
接続されていて、冷却水が冷却水ジャケット32内に供
給されるようになっている。
Next, a bearing case of a conventional vacuum pump will be described with reference to FIG. In FIG. 4, reference numeral 31
Is a bearing case, and this bearing case constitutes a lubricating oil sump. A cooling water jacket 32 is formed on the bottom of the bearing case 31. Cooling water jacket 32
A cooling water tube 33 is connected to the cooling water tube 33 via a tube joint 36, and cooling water is supplied into the cooling water jacket 32.

【0005】一方、軸受ケース31内には、一対の回転
軸34,34の端部に設けられた歯車35,35が収容
されており、また、この軸受ケース31内には、回転軸
31を支承する軸受も収容されている(図示せず)。そ
して、潤滑油溜めを構成する軸受ケース31内に収容さ
れた潤滑油38が歯車及び軸受を潤滑するようになって
いる。この潤滑によって温められた潤滑油は、前記冷却
水ジャケット32内の冷却水によって冷却されるように
なっている。
On the other hand, the bearing case 31 accommodates gears 35, 35 provided at the ends of the pair of rotary shafts 34, 34, and the rotary shaft 31 is housed in the bearing case 31. Bearings for bearing are also housed (not shown). Then, the lubricating oil 38 contained in the bearing case 31 forming the lubricating oil sump lubricates the gear and the bearing. The lubricating oil warmed by this lubrication is cooled by the cooling water in the cooling water jacket 32.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の真空ポンプの軸受ケースにおいては、冷却水ジ
ャケット32内が腐食し、冷却水が汚れ、その結果、冷
却水ジャケットの循環経路にあるフロースイッチ、フロ
ーメータ、カプラーやバルブ等の狭い流路を有した機器
類が詰まってしまい、冷却水が流れなくなるという事態
が生ずることがあるという問題点があった。
However, in the above-mentioned bearing case of the conventional vacuum pump, the inside of the cooling water jacket 32 is corroded and the cooling water is contaminated, and as a result, the flow switch in the circulation path of the cooling water jacket. However, there is a problem in that the equipment having a narrow flow passage such as a flow meter, a coupler and a valve may be clogged, and the cooling water may not flow.

【0007】また、フローメータ等の計器類において
は、腐食による汚染物によって指示部分が見えなくなっ
たり、フロースイッチにおいては、この汚染物が誤動作
の原因となるという問題点もあった。
In addition, in instruments such as a flow meter, there is a problem that a pointing portion becomes invisible due to contaminants due to corrosion, and the contaminants cause malfunction in the flow switch.

【0008】さらには、冷却水は工場内を循環している
ために、冷却水自体の汚れによって真空ポンプ以外の他
の機器へ影響を与えるという問題点があった。
Further, since the cooling water circulates in the factory, there is a problem that the contamination of the cooling water itself affects other devices other than the vacuum pump.

【0009】本発明は前述の点に鑑みてなされたもの
で、その目的とする処は、軸受ケース内の潤滑油を冷却
する冷却用のチューブを、耐食性材料によって形成し、
このチューブを軸受ケースに内蔵することによって、前
記腐食による汚れを除去することができる真空ポンプの
軸受ケースを提供することにある。
The present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to form a cooling tube for cooling lubricating oil in a bearing case with a corrosion resistant material.
It is an object of the present invention to provide a bearing case for a vacuum pump, which is capable of removing the dirt due to the corrosion by incorporating this tube in the bearing case.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ため、本発明の真空ポンプの軸受ケースは、真空ポンプ
の回転軸を支承する軸受を収容した軸受ケースが潤滑油
溜めを構成し、この潤滑油溜めの油面内又は油面よりも
上方にある軸受や歯車等の機器類を潤滑するようにした
真空ポンプの軸受ケースにおいて、この軸受ケースが耐
食性材料のチューブを冷却水流路として内蔵したことを
特徴とするものである。
In order to achieve the above-mentioned object, in the bearing case of the vacuum pump of the present invention, the bearing case accommodating the bearing for supporting the rotary shaft of the vacuum pump constitutes a lubricating oil sump. In a bearing case of a vacuum pump that lubricates equipment such as bearings and gears in or above the oil surface of the lubricating oil sump, this bearing case incorporates a tube of corrosion resistant material as a cooling water flow path. It is characterized by that.

【0011】[0011]

【作用】前述した構成からなる本発明によれば、軸受ケ
ースが耐食性材料のチューブを冷却水流路として内蔵し
ているため、冷却水流路内が腐食することがなく、冷却
水の循環経路に設けられた各種配管や各機器が汚染物に
よって詰まる恐れがなく、各機器が正常に作動可能とな
る。すなわち、フロースイッチやフローメータ等の冷却
水の循環経路にある機器類を詰まらせる恐れがなく、ま
たフロースイッチ等を誤動作させることもない。また、
計器類の指示部分が腐食による汚染物によって見えなく
なる等の事態を防止することができる。
According to the present invention having the above-mentioned structure, since the bearing case has the tube of the corrosion resistant material built therein as the cooling water passage, the cooling water passage is not corroded and is provided in the cooling water circulation passage. There is no risk that the various pipes and equipment will be clogged with contaminants, and each equipment will operate normally. That is, there is no risk of clogging equipment such as the flow switch or flow meter in the circulation path of the cooling water, and no malfunction of the flow switch or the like. Also,
It is possible to prevent a situation in which the indicating portion of the instrument is invisible due to contaminants due to corrosion.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明に係る真空ポンプの軸受ケース
を図1乃至図3を参照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A bearing case for a vacuum pump according to the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0013】図1は本発明に係る軸受ケースを組み込ん
だ真空ポンプの全体構成を示す図であり、図2は図1の
II−II線に沿った断面図である。
FIG. 1 is a diagram showing the overall construction of a vacuum pump incorporating the bearing case according to the present invention, and FIG.
It is sectional drawing which followed the II-II line.

【0014】図1及び図2において、符号1はケーシン
グであり、このケーシング1内に一対の回転体2,2が
配設されている。回転体2は、回転軸3とこの回転軸の
軸方向に沿って配置された複数のロータ4とを備えてい
る。回転体2はその一端において軸受5によって回転支
承されるとともに、その他端において軸受6によって回
転支承されており、一方の回転体2はモータ7に接続さ
れている。そして、一方の回転体2から他方の回転体2
へは、回転軸3の軸端に固定された歯車8(図1におい
ては、一方の歯車のみ示す)によって動力が伝達され、
一対の回転体2,2は互いに逆方向に回転し、僅かな隙
間を持って相対向するロータが互いに逆方向へ回転して
吸入排気が行われるようになっている。
In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 is a casing, and inside the casing 1, a pair of rotating bodies 2 and 2 are arranged. The rotating body 2 includes a rotating shaft 3 and a plurality of rotors 4 arranged along the axial direction of the rotating shaft. The rotating body 2 is rotatably supported by a bearing 5 at one end thereof and a bearing 6 at the other end thereof, and one rotating body 2 is connected to a motor 7. Then, from one rotating body 2 to the other rotating body 2
Is transmitted by a gear 8 (only one gear is shown in FIG. 1) fixed to the shaft end of the rotary shaft 3,
The pair of rotating bodies 2 and 2 rotate in mutually opposite directions, and rotors facing each other with a slight gap rotate in mutually opposite directions to perform intake and exhaust.

【0015】また、前記軸受5は軸受ケース10内に収
容され、軸受6及び歯車8も同様に軸受ケース11内に
収容されている。そして、各軸受5,6及び歯車8は軸
受ケース10,11内の潤滑油によって油潤滑がされる
ようになっている。
The bearing 5 is housed in the bearing case 10, and the bearing 6 and the gear 8 are also housed in the bearing case 11. The bearings 5, 6 and the gear 8 are lubricated by the lubricating oil in the bearing cases 10, 11.

【0016】次に、上記軸受ケース10,11の詳細構
造を図3を参照して説明する。図3において、軸受ケー
ス10,11は潤滑油溜めを構成しており、すなわち軸
受ケース内には潤滑油38が所定液面まで収容されてい
る。そして、この液面は歯車8,8の外周部を浸すよう
になっている。軸受ケース10,11の底部には、ステ
ンレスチューブ等からなる耐食性材料のチューブ15が
軸受ケースと一体に鋳ぐるまれている。このチューブ1
5は、その両端部でチューブ継手16,16を介してス
テンレスパイプ17,17に接続されており、図示され
ない冷却水供給経路によってステンレスパイプ17に冷
却水が供給され、この冷却水はチューブ継手16を介し
てチューブ15内に供給され、軸受ケース10,11を
冷却するようになっている。
Next, the detailed structure of the bearing cases 10 and 11 will be described with reference to FIG. In FIG. 3, the bearing cases 10 and 11 form a lubricating oil sump, that is, the lubricating oil 38 is contained in the bearing case up to a predetermined liquid level. The liquid surface is adapted to immerse the outer peripheral portions of the gears 8, 8. At the bottom of the bearing cases 10 and 11, a tube 15 made of a corrosion resistant material such as a stainless steel tube is cast around the bearing cases. This tube 1
5 is connected to the stainless pipes 17 and 17 via the tube joints 16 and 16 at both ends thereof, and the cooling water is supplied to the stainless pipe 17 by a cooling water supply path (not shown). Is supplied to the inside of the tube 15 to cool the bearing cases 10 and 11.

【0017】このように本実施例によれば、冷却水を供
給するチューブ15を軸受ケース10,11に一体に設
け、このステンレスパイプからなるチューブ15に冷却
水を供給するようにしたため、従来の冷却水ジャケット
の方式とは異なって、冷却水の循環経路に腐食するよう
な材料がどこにもなく、したがって、冷却水が汚染物に
よって汚染されることがない。その結果、冷却水の循環
経路に設けられた各種配管や、フロースイッチ、フロー
メータ、継手やバルブ等の機器類の狭い流路に汚染物が
詰まる恐れがなく、各機器が正常に作動可能となる。ま
た冷却水が汚染される恐れがないため、真空ポンプ以外
の他の機器への汚染物の影響も排除できる。
As described above, according to this embodiment, the tube 15 for supplying the cooling water is provided integrally with the bearing cases 10 and 11, and the cooling water is supplied to the tube 15 made of the stainless pipe. Unlike the cooling water jacket method, there is no material that corrodes the cooling water circulation path, and therefore the cooling water is not contaminated by contaminants. As a result, it is possible to operate each device normally without the risk of contaminating the various pipes provided in the cooling water circulation path and the narrow flow paths of devices such as flow switches, flow meters, fittings and valves. Become. Further, since there is no risk of the cooling water being contaminated, it is possible to eliminate the influence of contaminants on equipment other than the vacuum pump.

【0018】本実施例においては、ステンレスチューブ
をアルミニウム材料からなる軸受ケースによって鋳ぐる
んだ実施例を示したが、軸受ケースに穴加工後、ステン
レスチューブ等からなる耐食性材料のチューブを圧入
し、または冷しばめ、あるいは焼きばめによって一体に
設けてもよい。
In this embodiment, the stainless steel tube is cast into a bearing case made of an aluminum material, but the bearing case is bored and then a tube made of a corrosion resistant material such as a stainless steel tube is press-fitted into the bearing case. Alternatively, they may be integrally provided by cold fitting or shrink fitting.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、軸
受ケースが耐食性材料のチューブを冷却水流路として内
蔵しているため、冷却水流路内が腐食することがなく、
冷却水の循環経路に設けられた各種配管や各機器が汚染
物によって詰まる恐れがなく、各機器が正常に作動可能
となる。すなわち、フロースイッチやフローメータ等の
冷却水の循環経路にある機器類を詰まらせる恐れがな
く、またフロースイッチ等を誤動作させることもない。
また、計器類の指示部分が腐食による汚染物によって見
えなくなる等の事態を防止することができる。
As described above, according to the present invention, since the bearing case incorporates the tube of the corrosion resistant material as the cooling water passage, the inside of the cooling water passage is not corroded.
Various pipes and each device provided in the circulation path of the cooling water are not likely to be clogged with contaminants, and each device can operate normally. That is, there is no risk of clogging equipment such as the flow switch or flow meter in the circulation path of the cooling water, and no malfunction of the flow switch or the like.
In addition, it is possible to prevent a situation in which the indicating portion of the instrument is invisible due to a contaminant due to corrosion.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る真空ポンプの軸受ケースを組み込
んだ真空ポンプの全体構成を示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing the overall structure of a vacuum pump incorporating a bearing case of the vacuum pump according to the present invention.

【図2】図1のII−II線に沿った断面図。FIG. 2 is a sectional view taken along line II-II in FIG.

【図3】本発明に係る真空ポンプの軸受ケースの一実施
例を示す断面図。
FIG. 3 is a sectional view showing an embodiment of a bearing case of the vacuum pump according to the present invention.

【図4】従来の真空ポンプの軸受ケースを示す断面図。FIG. 4 is a sectional view showing a bearing case of a conventional vacuum pump.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ケーシング 2 回転体 3 回転軸 4 ロータ 5,6 軸受 7 モータ 8 歯車 10,11 軸受ケース 15 チューブ 16 チューブ継手 17 ステンレスパイプ 1 Casing 2 Rotating Body 3 Rotating Shaft 4 Rotor 5,6 Bearing 7 Motor 8 Gear 10, Gear 11 and 11 Bearing Case 15 Tube 16 Tube Joint 17 Stainless Pipe

フロントページの続き (72)発明者 臼井 克明 神奈川県藤沢市本藤沢4丁目2番1号 株 式会社荏原総合研究所内Front Page Continuation (72) Inventor Katsuaki Usui 4-2-1 Motofujisawa, Fujisawa City, Kanagawa Prefecture EBARA Research Institute

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 真空ポンプの回転軸を支承する軸受を収
容した軸受ケースが潤滑油溜めを構成し、この潤滑油溜
めの油面内又は油面よりも上方にある軸受や歯車等の機
器類を潤滑するようにした真空ポンプの軸受ケースにお
いて、この軸受ケースが耐食性材料のチューブを冷却水
流路として内蔵したことを特徴とする真空ポンプの軸受
ケース。
1. A bearing case accommodating a bearing for supporting a rotary shaft of a vacuum pump constitutes a lubricating oil sump, and equipment such as bearings and gears in or above the oil level of the lubricating oil sump. A bearing case of a vacuum pump, wherein a tube made of a corrosion resistant material is incorporated as a cooling water flow path in the bearing case of the vacuum pump.
【請求項2】 前記チューブは軸受ケースに一体に鋳ぐ
るまれていることを特徴とする請求項1記載の真空ポン
プの軸受ケース。
2. The bearing case of the vacuum pump according to claim 1, wherein the tube is integrally encased in the bearing case.
JP25468591A 1991-09-05 1991-09-05 Bearing case for vacuum pump Pending JPH05118288A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25468591A JPH05118288A (en) 1991-09-05 1991-09-05 Bearing case for vacuum pump

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25468591A JPH05118288A (en) 1991-09-05 1991-09-05 Bearing case for vacuum pump

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05118288A true JPH05118288A (en) 1993-05-14

Family

ID=17268445

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25468591A Pending JPH05118288A (en) 1991-09-05 1991-09-05 Bearing case for vacuum pump

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05118288A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2807477A1 (en) * 2000-04-06 2001-10-12 Cit Alcatel VACUUM PUMP COOLING SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
WO2004083643A1 (en) * 2003-03-19 2004-09-30 Ebara Corporation Positive-displacement vacuum pump
CN109974805A (en) * 2019-04-08 2019-07-05 江南造船(集团)有限责任公司 A kind of liquid level monitoring device and its installation method
CN110651124A (en) * 2017-08-07 2020-01-03 株式会社爱发科 Vacuum pump

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2807477A1 (en) * 2000-04-06 2001-10-12 Cit Alcatel VACUUM PUMP COOLING SYSTEM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
EP1150016A1 (en) 2000-04-06 2001-10-31 Alcatel Cooling system for vacuum pump and method for its realisation
JP2002005023A (en) * 2000-04-06 2002-01-09 Alcatel Vacuum pump cooling system and its manufacturing method
US6530762B2 (en) 2000-04-06 2003-03-11 Alcatel Vacuum pump cooling system, and a method of making it
WO2004083643A1 (en) * 2003-03-19 2004-09-30 Ebara Corporation Positive-displacement vacuum pump
JP2006520873A (en) * 2003-03-19 2006-09-14 株式会社荏原製作所 Positive displacement vacuum pump
CN110651124A (en) * 2017-08-07 2020-01-03 株式会社爱发科 Vacuum pump
US10895258B2 (en) 2017-08-07 2021-01-19 Ulvac, Inc. Vacuum pump
CN110651124B (en) * 2017-08-07 2021-03-05 株式会社爱发科 Vacuum pump
CN109974805A (en) * 2019-04-08 2019-07-05 江南造船(集团)有限责任公司 A kind of liquid level monitoring device and its installation method

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2132050A1 (en) Submersible gearmotor
KR950011885A (en) Lubrication of the Power Splitter on Tandem Drive Axles
JPH05118288A (en) Bearing case for vacuum pump
RU2126582C1 (en) Geared motor
JP2003184999A (en) Axle lubricant isolation
JPS58200899A (en) Lubricating oil supply structure of bearing device in vehicle speed chenge gear
US5129482A (en) Closed lubrication system for bearings
US20040219045A1 (en) Enclosed mechanical booster
JPH109258A (en) Bearing unit for supporting pinion shaft of differential gear
US2620124A (en) Compressor apparatus
JPS5815721A (en) Oil supply device for turbocharger
JPS62167999A (en) Automatic lubricating and automatic purifying bearing
JPH0763218A (en) Sliding bearing and underwater worm decelerator using the same
JP2005163928A (en) Bearing device and differential device
JP2005188729A (en) Shaft seal part structure for dip-feed lubrication type transmission gear
JP2002303297A (en) Horizontal shaft type pump
US4141434A (en) Lubrication wand for transmission
JP2778933B2 (en) Underwater machine
KR100206345B1 (en) Plain bearing
JPS6251724A (en) Lubricating device for supercharger of internal combustion engine
Holdmeyer Regrease properly
JPS6337496Y2 (en)
KR200170918Y1 (en) Structure of preventing leakage of case oil seal for manual transmission
SU615284A1 (en) Lubricating system for horizontal shaft bearings
KR100909509B1 (en) Seal device, processing device using this seal device, micro flow control device