JPH05107399A - Electron beam application device - Google Patents

Electron beam application device

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JPH05107399A
JPH05107399A JP29486091A JP29486091A JPH05107399A JP H05107399 A JPH05107399 A JP H05107399A JP 29486091 A JP29486091 A JP 29486091A JP 29486091 A JP29486091 A JP 29486091A JP H05107399 A JPH05107399 A JP H05107399A
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JP
Japan
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electron beam
web
beam irradiation
tray
tray carrier
Prior art date
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Application number
JP29486091A
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Japanese (ja)
Inventor
Ryoji Fujimori
良治 藤盛
Hitoshi Goto
均 後藤
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Iwasaki Denki KK
Original Assignee
Iwasaki Denki KK
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Abstract

PURPOSE:To provide an electron beam application device which can prevent a web from suspending within an electron beam irradiation area. CONSTITUTION:An electron beam application device is provided with an electron beam generating portion 2, an electron beam irradiation area 4, a conveying line 6, guide rollers 8a, 8b for guiding a web 50, and a tray carrier 10 for holding a tray. The web 50 is supported by the guide rollers 8a, 8b and the tray carrier 10 is moved to a position near the electron beam irradiation portion 4 and at which no electron beam is applied and then an electron beam is applied to the web 50.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、連続方式及びバッチ方
式の両用タイプの電子線照射装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electron beam irradiation apparatus of both continuous type and batch type.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は従来の電子線照射装置の概略構成
図である。図5に示す電子線照射装置は、加速した電子
線をシート状の被処理物(ウェブ(web ))90に照射
する電子線照射領域60と、ウェブ90を搬送する搬送
路70と、ウェブ90を案内するために搬送路70内の
両端部に設けられたガイドローラ80a,80bとを備
えるものである。このように構成された電子線照射装置
では、ウェブ90は、ガイドローラ80a,80bによ
り案内されて送り出され、搬送路70の中間部に設けら
れた電子線照射領域60で電子線を照射される。
2. Description of the Related Art FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a conventional electron beam irradiation apparatus. The electron beam irradiation apparatus shown in FIG. 5 has an electron beam irradiation region 60 for irradiating a sheet-like object (web) 90 with accelerated electron beams, a conveyance path 70 for conveying the web 90, and a web 90. Guide rollers 80a and 80b provided at both ends in the conveyance path 70 for guiding the sheet. In the electron beam irradiation apparatus thus configured, the web 90 is guided and sent out by the guide rollers 80a and 80b, and is irradiated with the electron beam in the electron beam irradiation region 60 provided in the intermediate portion of the transport path 70. ..

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、たとえば、
実験用の電子線照射装置では、ガイドローラ80a,8
0b間の距離は約2mもあるため、ガイドローラ80
a,80bでウェブ90を支持しても、電子線照射領域
60が設けられた搬送路70の中間部では、ウェブ90
が垂れ下がってしまうことがである。一方、電子線を取
り出すための高電圧及びビーム電流は、ウェブ90がピ
ンと張られた状態のときを基準にして設定してあるの
で、ウェブ90が垂れ下がると、所望の電子線照射処理
を施すことができないという問題があった。
By the way, for example,
In the experimental electron beam irradiation device, the guide rollers 80a, 8a
Since the distance between 0b is about 2m, the guide roller 80
Even if the web 90 is supported by a and 80b, the web 90 is not formed in the middle portion of the transport path 70 where the electron beam irradiation area 60 is provided.
May hang down. On the other hand, since the high voltage and the beam current for extracting the electron beam are set with reference to the state where the web 90 is taut, if the web 90 hangs down, a desired electron beam irradiation process should be performed. There was a problem that I could not.

【0004】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、ウェブが電子線照射領域で垂れ下がるのを防止
することができる電子線照射装置を提供することを目的
とするものである。
The present invention has been made under the above circumstances, and an object thereof is to provide an electron beam irradiation apparatus capable of preventing the web from hanging in the electron beam irradiation region.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明に係る電子線照射装置は、電子線を被処理物
に照射する電子線照射領域を備え、シート状の被処理物
を連続的に搬送する連続方式及び被処理物をトレイに入
れ該トレイをトレイキャリアで保持して搬送するバッチ
方式のいずれの方式でも被処理物に電子線を照射するこ
とができる電子線照射装置において、前記トレイキャリ
アに前記シート状の被処理物を支持する支持手段を設
け、前記シート状の被処理物に電子線を照射するときに
は、前記トレイキャリアを移動して前記電子線照射領域
の近傍に位置するように構成したことを特徴とするもの
である。
An electron beam irradiation apparatus according to the present invention for achieving the above object comprises an electron beam irradiation region for irradiating an object to be processed with an electron beam, and a sheet-shaped object to be processed. In an electron beam irradiation apparatus capable of irradiating an electron beam to an object to be processed by any of a continuous method of continuously carrying and a batch method of carrying an object to be processed in a tray and holding the tray with a tray carrier The tray carrier is provided with supporting means for supporting the sheet-shaped object to be processed, and when the sheet-shaped object to be processed is irradiated with an electron beam, the tray carrier is moved to the vicinity of the electron beam irradiation region. It is characterized by being configured to be located.

【0006】[0006]

【作用】本発明は上記の構成によって、シート状の被処
理物に電子線を照射するときには、トレイキャリアを移
動して電子線照射領域の近傍に位置させることにより、
シート状の被処理物は、電子線照射領域の近傍でトレイ
キャリアに設けられた支持手段によって支持される。
According to the present invention, when the sheet-like object to be processed is irradiated with the electron beam, the tray carrier is moved to be positioned near the electron beam irradiation area.
The sheet-shaped object to be processed is supported by the supporting means provided on the tray carrier in the vicinity of the electron beam irradiation region.

【0007】[0007]

【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図1及び図2は本発明の一実施例である電子
線照射装置の概略構成図、図3は本実施例で使用するト
レイキャリアの概略平面図、図4は本実施例装置を制御
するスイッチ類を示す平面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 are schematic configuration diagrams of an electron beam irradiation apparatus according to one embodiment of the present invention, FIG. 3 is a schematic plan view of a tray carrier used in this embodiment, and FIG. 4 is a switch for controlling the apparatus of this embodiment. It is a top view showing a class.

【0008】図1及び図2に示す電子線照射装置は、い
わゆる連続方式とバッチ方式の両用タイプのものであ
り、電子線発生部2と、電子線照射領域4と、被処理物
を搬送する搬送路6と、連続方式で電子線照射処理を行
う際にシート状の被処理物(ウェブ(web ))50を案
内するためのガイドローラ8a,8bと、バッチ方式で
電子線照射処理を行う際に被処理物が載置されるトレイ
を保持・搬送するためのトレイキャリア10とを備える
ものである。
The electron beam irradiation apparatus shown in FIGS. 1 and 2 is of a so-called continuous type and batch type, and conveys an electron beam generating section 2, an electron beam irradiation region 4 and an object to be treated. Conveyance path 6, guide rollers 8a and 8b for guiding a sheet-shaped object (web) 50 when performing electron beam irradiation processing in a continuous method, and electron beam irradiation processing in a batch method In this case, a tray carrier 10 for holding and carrying a tray on which an object to be processed is placed is provided.

【0009】電子線発生部2では、フィラメントに所定
の電力を供給して熱電子を発生させ、その熱電子を加速
管12において印加した高電圧により加速してカーテン
状の電子線を発生する。電子線照射領域4では、チタン
箔などによって仕切られた照射窓14を通して電子線を
電子線発生部2から取り出し、搬送路6内を搬送される
被処理物50に照射する。
In the electron beam generator 2, a predetermined electric power is supplied to the filament to generate thermoelectrons, and the thermoelectrons are accelerated by the high voltage applied in the accelerating tube 12 to generate a curtain-shaped electron beam. In the electron beam irradiation region 4, the electron beam is taken out from the electron beam generating unit 2 through the irradiation window 14 partitioned by a titanium foil or the like, and the processed object 50 conveyed in the conveyance path 6 is irradiated with the electron beam.

【0010】搬送路6の両側にはウェブアダプタ16
a,16bが設けられ、それぞれウェブ入口部18a、
ウェブ出口部18bと接続されている。ウェブ入口部1
8a及びウェブ出口部18bを、搬送路6に対して所定
の角度だけ傾けているのは、X線の漏洩を防止するため
である。本実施例では、搬送路6の長さを約2mとし、
搬送路6の中間部に電子線照射領域4を形成している。
また、ガイドローラ8a,8bは、それぞれウェブアダ
プタ16a,16b内に設けられ、搬送路6の底面から
ガイドローラ8a,8bの上部までの高さHを約20m
mとしている。尚、初期状態では、トレイキャリア10
は、搬送路6の左側の所定位置(図1に示す位置)に配
置されている。
Web adapters 16 are provided on both sides of the conveyance path 6.
a and 16b are provided, and the web inlets 18a and 18a,
It is connected to the web outlet 18b. Web entrance 1
The reason that 8a and the web outlet portion 18b are inclined with respect to the transport path 6 by a predetermined angle is to prevent leakage of X-rays. In this embodiment, the length of the transport path 6 is about 2 m,
The electron beam irradiation region 4 is formed in the middle of the transport path 6.
The guide rollers 8a and 8b are provided in the web adapters 16a and 16b, respectively, and the height H from the bottom surface of the conveyance path 6 to the upper portions of the guide rollers 8a and 8b is about 20 m.
m. In the initial state, the tray carrier 10
Is arranged at a predetermined position (the position shown in FIG. 1) on the left side of the transport path 6.

【0011】トレイキャリア10は、図3に示すよう
に、枠体状に形成され、左右の内側面に形成された四つ
の小ローラ22と、上下部分の枠体として設けられた、
支持手段でもある大ローラ(又は円柱状の部材)24と
を備える。トレイは、これらの小ローラ22及び大ロー
ラ24により保持される。搬送路6の底面から大ローラ
24の上部までの高さは約20mmである。また、トレ
イキャリア10には、図3に示すように左右の外側面に
駆動用のチェーンコンベア26が取り付けられている。
トレイキャリア10は、パルスモータ等によりチェーン
コンベア26を駆動することにより移動する。
As shown in FIG. 3, the tray carrier 10 is formed in the shape of a frame, and is provided with four small rollers 22 formed on the left and right inner side surfaces and a frame for the upper and lower portions.
A large roller (or a cylindrical member) 24 that also serves as a supporting unit. The tray is held by these small rollers 22 and large rollers 24. The height from the bottom surface of the transport path 6 to the upper portion of the large roller 24 is about 20 mm. Further, as shown in FIG. 3, the tray carrier 10 has drive chain conveyors 26 attached to its left and right outer surfaces.
The tray carrier 10 moves by driving the chain conveyor 26 with a pulse motor or the like.

【0012】また、図示しないが、搬送路6より高さが
低い位置に、搬送路6と搬送方向が約直角であるように
副搬送路が形成されている。本実施例の電子線照射装置
では、副搬送路の前端部においてトレイの送り出し及び
取り出しを行い、搬送路6と副搬送路との間では、トレ
イを昇降装置(不図示)により搬送するように構成して
いる。尚、この副搬送路は、バッチ方式のときのみ使用
される。
Although not shown, a sub-conveyance path is formed at a position lower than the conveyance path 6 so that the conveyance direction is at a right angle to the conveyance path 6. In the electron beam irradiation apparatus of the present embodiment, the tray is sent out and taken out at the front end portion of the sub transport path, and the tray is transported by the lifting device (not shown) between the transport path 6 and the sub transport path. I am configuring. This sub-transport path is used only in the batch system.

【0013】また、副搬送路の前端部近傍には、図4に
示すように、コンベアシステム操作パネル30と、セレ
クトスイッチ40とが設けられている。コンベアシステ
ム操作パネル30には、トレイキャリア10を移動させ
るチェーンコンベア26を制御するための複数のコンベ
ア制御スイッチ32、トレイの送出口及び取出口の扉を
開閉するための扉スイッチ34、搬送されているトレイ
の現在の位置及び進行方向を表示するための発光ダイオ
ード36、さらにトレイキャリア10を電子線照射領域
4の近傍に移動させるための“WEB STAN”スイ
ッチ38等が備えられている。また、セレクトスイッチ
40は、ウェブ50を搬送路6内に通したり、電子線発
生部2に高電圧及びビーム電流を出力したりするもので
ある。
Further, as shown in FIG. 4, a conveyor system operation panel 30 and a select switch 40 are provided in the vicinity of the front end portion of the sub-conveyance path. On the conveyor system operation panel 30, a plurality of conveyor control switches 32 for controlling the chain conveyor 26 that moves the tray carrier 10, a door switch 34 for opening and closing the tray outlet and outlet doors, and a conveyor switch. A light emitting diode 36 for displaying the current position and traveling direction of the existing tray, and a "WEB STAN" switch 38 for moving the tray carrier 10 to the vicinity of the electron beam irradiation area 4 are provided. The select switch 40 is for passing the web 50 through the conveyance path 6 and outputting a high voltage and a beam current to the electron beam generator 2.

【0014】本実施例の電子線照射装置において、ウェ
ブ50に電子線を照射する場合の動作を説明する。ま
ず、搬送路4のウェブ入口側のウェブアダプタ16aか
ら、ウェブ50を入れ、セレクトスイッチ40を“WE
B SET”にすることにより、ウェブ50を搬送路6
内に通す。ウェブ50の通しを終了すると、セレクトス
イッチ40を“OFF”にすることにより、トレイキャ
リア10が左側に戻る。そして、コンベアシステム操作
パネル30の“WEB STAN”スイッチ38を押す
と、発光ダイオード38aが点灯すると共に、トレイキ
ャリア10は搬送路6の左側から移動し、電子線照射領
域4の近傍であって、電子線が照射されない位置(図2
に示す位置)で停止する。尚、トレイキャリア10に電
子線が照射されると、トレイキャリア10が劣化した
り、また酸化したりするので、本実施例では、これらを
防止するためトレイキャリア10を図2に示す位置で停
止しているが、トレイキャリア10は電子線照射領域4
の真下に位置させてもよい。これにより、シート状の被
処理物の垂れ下がりを確実に防止することができる。
The operation of irradiating the web 50 with the electron beam in the electron beam irradiation apparatus of this embodiment will be described. First, the web 50 is inserted from the web adapter 16a on the web entrance side of the transport path 4, and the select switch 40 is set to "WE".
By setting B SET ”, the web 50 is conveyed to the conveying path 6
Pass through. When the passing of the web 50 is completed, the tray switch 10 is returned to the left side by turning off the select switch 40. Then, when the "WEB STAN" switch 38 of the conveyor system operation panel 30 is pressed, the light emitting diode 38a is turned on, the tray carrier 10 is moved from the left side of the transport path 6, and is in the vicinity of the electron beam irradiation area 4. Position where electron beam is not irradiated (Fig. 2
Stop at the position shown in. Incidentally, when the tray carrier 10 is irradiated with an electron beam, the tray carrier 10 is deteriorated or oxidized. Therefore, in this embodiment, the tray carrier 10 is stopped at the position shown in FIG. 2 in order to prevent these. However, the tray carrier 10 has an electron beam irradiation area 4
It may be located directly below. As a result, it is possible to reliably prevent the sheet-shaped object to be processed from hanging down.

【0015】このようにして、ウェブ50は、ガイドロ
ーラ8a,8bと、搬送路6の略中間部に位置するロー
ラ24,24により支持されることになる。この状態
で、ウェブ50を送り出し、セレクトスイッチ40を
“HV(high voltage) ON”にすると、電子線発生
部2に高電圧及びビーム電流が出力され、発生した電子
線が電子線照射領域4においてウェブ50に照射され
る。処理が終わったら、セレクトスイッチ40を“OF
F”にして電子線の照射を終了する。最後に、コンベア
システム操作パネル30の“WEB STAN”スイッ
チ38を押すことにより、発光ダイオード38aが消灯
すると共に、トレイキャリア10が搬送路6の元の位置
(図1に示す位置)に戻る。
In this way, the web 50 is supported by the guide rollers 8a and 8b and the rollers 24 and 24 located substantially in the middle of the conveying path 6. In this state, when the web 50 is sent out and the select switch 40 is turned “HV (high voltage) ON”, a high voltage and a beam current are output to the electron beam generator 2 and the generated electron beam is emitted in the electron beam irradiation region 4. The web 50 is irradiated. When the process is completed, set the select switch 40 to "OF
Then, the irradiation of the electron beam is terminated. Finally, by pressing the "WEB STAN" switch 38 of the conveyor system operation panel 30, the light emitting diode 38a is turned off, and the tray carrier 10 is returned to the original position of the transport path 6. Return to the position (position shown in FIG. 1).

【0016】本実施例では、ウェブに電子線を照射する
際に、ウェブをガイドローラで支持し、更にトレイキャ
リアを電子線照射領域の近傍に位置させたことにより、
従来の電子線照射装置に比べて、搬送路内でウェブを支
持する間隔を約半分にすることができる。これにより、
電子線照射領域でウェブが著しく垂れるのを防止して、
ウェブに確実に所望の電子線照射処理を施すことができ
る。また、トレイキャリアの上下の枠体をローラで形成
したことにより、ウェブを円滑に搬送することができ
る。
In this embodiment, when the web is irradiated with the electron beam, the web is supported by the guide rollers, and the tray carrier is positioned near the electron beam irradiation area.
As compared with the conventional electron beam irradiation apparatus, the interval for supporting the web in the transport path can be reduced to about half. This allows
Prevents the web from drooping significantly in the electron beam irradiation area,
The desired electron beam irradiation treatment can be reliably applied to the web. Further, by forming the upper and lower frames of the tray carrier with rollers, the web can be smoothly transported.

【0017】尚、上記の実施例では、搬送路の底面から
トレイキャリアの二つの大ローラの上部までの高さが、
搬送路の底面からガイドローラの上部までの高さと同じ
になるように形成した場合について説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、トレイキャリアの二
つの大ローラの径を大きくして、大ローラの上部までの
高さがガイドローラの上部までの高さよりも大きくなる
ように形成してもよい。また、トレイキャリアの二つの
大ローラのうち、たとえば一方の大ローラの径を他方の
ものより小さく形成して、ウェブをガイドローラとトレ
イキャリアの一方の大ローラの三点で支持するように構
成することも可能である。
In the above embodiment, the height from the bottom of the transport path to the top of the two large rollers of the tray carrier is
The case of forming the same as the height from the bottom surface of the transport path to the upper portion of the guide roller has been described, but the present invention is not limited to this, and the diameters of the two large rollers of the tray carrier are increased. Thus, the height to the upper part of the large roller may be larger than the height to the upper part of the guide roller. Further, of the two large rollers of the tray carrier, for example, one large roller has a smaller diameter than the other, and the web is supported by three points of the guide roller and one large roller of the tray carrier. It is also possible to do so.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、シ
ート状の被処理物に電子線を照射する際に、支持手段が
設けられたトレイキャリアを電子線照射領域の近傍に位
置させたことにより、シート状の被処理物を、搬送路内
でもトレイキャリアにより支持することができ、したが
って、従来の装置に比べて搬送路内におけるシート状の
被処理物を支持する間隔が短くなるので、シート状の被
処理物が電子線照射領域において大幅に垂れるのを防止
し、シート状の被処理物に対して確実に予め設定した所
望の電子線照射処理を施すことができる電子線照射装置
を提供することができる。
As described above, according to the present invention, when the sheet-shaped object to be processed is irradiated with the electron beam, the tray carrier provided with the supporting means is positioned near the electron beam irradiation region. As a result, the sheet-shaped object to be processed can be supported by the tray carrier even in the transport path, and therefore the interval for supporting the sheet-shaped object to be processed in the transport path becomes shorter than that in the conventional apparatus. An electron beam irradiation apparatus capable of preventing the sheet-shaped object from drooping significantly in the electron beam irradiation region and reliably performing a preset desired electron beam irradiation processing on the sheet-shaped object. Can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例である電子線照射装置の概略
構成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an electron beam irradiation apparatus that is an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例である電子線照射装置の概略
構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of an electron beam irradiation apparatus that is an embodiment of the present invention.

【図3】本実施例で使用するトレイキャリアの概略平面
図である。
FIG. 3 is a schematic plan view of a tray carrier used in this embodiment.

【図4】本実施例装置を制御するスイッチ類を示す平面
図である。
FIG. 4 is a plan view showing switches that control the apparatus of this embodiment.

【図5】従来の電子線照射装置の概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a conventional electron beam irradiation apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 電子線発生部 4 電子線照射領域 6 搬送路 8a,8b ガイドローラ 10 トレイキャリア 12 加速管 14 照射窓 16a,16b ウェブアダプタ 18a ウェブ入口部 18b ウェブ出口部 22 小ローラ 24 大ローラ 26 チェーンコンベア 30 コンベアシステム操作パネル 32 コンベア制御スイッチ 34 扉スイッチ 36 トレイ位置表示用発光ダイオード 38 “WEB STAN”スイッチ 38a 発光ダイオード 40 セレクトスイッチ 50 ウェブ 2 Electron Beam Generation Section 4 Electron Beam Irradiation Area 6 Conveyance Path 8a, 8b Guide Roller 10 Tray Carrier 12 Accelerator Tube 14 Irradiation Window 16a, 16b Web Adapter 18a Web Inlet 18b Web Outlet 22 Small Roller 24 Large Roller 26 Chain Conveyor 30 Conveyor system operation panel 32 Conveyor control switch 34 Door switch 36 Tray position display light emitting diode 38 "WEB STAN" switch 38a Light emitting diode 40 Select switch 50 Web

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 電子線を被処理物に照射する電子線照射
領域を備え、シート状の被処理物を連続的に搬送する連
続方式及び被処理物をトレイに入れ該トレイをトレイキ
ャリアで保持して搬送するバッチ方式のいずれの方式で
も被処理物に電子線を照射することができる電子線照射
装置において、前記トレイキャリアに前記シート状の被
処理物を支持する支持手段を設け、前記シート状の被処
理物に電子線を照射するときには、前記トレイキャリア
を移動して前記電子線照射領域の近傍に位置するように
構成したことを特徴とする電子線照射装置。
1. A continuous method comprising an electron beam irradiation region for irradiating an object to be processed with an electron beam, and a continuous method for continuously transporting a sheet-like object to be processed, and the object to be processed is placed in a tray and the tray is held by a tray carrier. In an electron beam irradiation apparatus capable of irradiating an object to be processed with an electron beam by any of the batch methods of carrying the sheet, supporting means for supporting the sheet-shaped object to be processed is provided on the tray carrier, and the sheet is An electron beam irradiating device configured to move the tray carrier so as to be positioned in the vicinity of the electron beam irradiating region when irradiating an object to be processed with an electron beam.
JP29486091A 1991-10-16 1991-10-16 Electron beam application device Pending JPH05107399A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010104820A3 (en) * 2009-03-10 2011-01-13 Pct Engineered Systems, Llc Electron beam web irradiation apparatus and process

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