JPH0493006A - Laminated beads inductor - Google Patents

Laminated beads inductor

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JPH0493006A
JPH0493006A JP21074090A JP21074090A JPH0493006A JP H0493006 A JPH0493006 A JP H0493006A JP 21074090 A JP21074090 A JP 21074090A JP 21074090 A JP21074090 A JP 21074090A JP H0493006 A JPH0493006 A JP H0493006A
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conductive
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Abstract

PURPOSE:To use mainly for noise suppression with small size and high impedance by winding conductor layers by a turn or more per layer and by making a magnetic material layer twice or more as thick as the conductor layer. CONSTITUTION:Conductor layers 3 are wound by a turn or more per layer. Too much winding turns per layer make it difficult to form patterns and do not allow miniaturization. Thus, it is preferable that the winding turns per layer are l-2.5 turns, particularly, 1-1.5 turns. The post-burning thickness of a magnetic material layer 2 is preferably twice or below that of the conductor layer 3. Ranging the thickness of the magnetic material layer 2 within this range can provide much higher impedance. It is preferable that the thickness of the magnetic material layer 2 is 0.5-2 times that of the conductor layer 3, particularly, 0.5-1.5 times.

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、磁性体層と、導電体層とを厚膜技術により積
層した積層型ビーズインダクタに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION <Industrial Application Field> The present invention relates to a laminated bead inductor in which a magnetic layer and a conductive layer are laminated by thick film technology.

〈従来の技術〉 各種電子回路のノイズを抑制するため、フェライトや非
晶質磁性合金等の磁性体を用いたビーズコアが用いられ
ている。
<Prior Art> In order to suppress noise in various electronic circuits, bead cores made of a magnetic material such as ferrite or an amorphous magnetic alloy are used.

従来のビーズコアには、磁性体の薄板を巻回して製造し
たもの、すなわち小さいトロイダ状のビーズ形状を有す
るコア単品からなるもの、ワイヤ付フォーミングタイプ
、アキシャルやラジアルのテーピングタイプ等種々のタ
イプが存在する。
There are various types of conventional bead cores, including those manufactured by winding a thin plate of magnetic material, that is, single cores with a small toroidal bead shape, forming types with wires, and axial and radial taping types. do.

これらは、電子部品のリードに直接取り付けたり、回路
に電気的に接続して使用されるものがあるが、電子機器
の小型化や適用機器の汎用化に伴ない、小型化や一般部
品と同様な自動実装対応用のテーピング化および面実装
対応用のリードレス化へのニーズが急速に高まっている
Some of these are used by being attached directly to the leads of electronic components or electrically connected to circuits. The need for taping for automatic mounting and leadless for surface mounting is rapidly increasing.

方、通常のコイルやLC複合部品等として用いられる表
面実装可能な積層型インダクタが実用化されている。
On the other hand, surface-mountable multilayer inductors used as ordinary coils, LC composite parts, etc. have been put into practical use.

積層型インダクタは、厚膜技術により磁性体層と、1タ
ーン未満の導電体層とを交互に積層した後、焼成して製
造される。
A multilayer inductor is manufactured by alternately stacking magnetic layers and conductive layers of less than one turn using thick film technology, and then firing the layers.

〈発明が解決しようとする課題〉 このような事情から、本発明者らは、積層型インダクタ
をノイズ抑制用のビーズコアとして用いることの研究を
行なっている。
<Problems to be Solved by the Invention> Under these circumstances, the present inventors are conducting research on using a multilayer inductor as a bead core for noise suppression.

しかし積層型インダクタをノイズ抑制用のビーズコアと
して用いるには、素子の小型化に伴なってインピーダン
スが低下するため、使用周波数、例えば50〜300 
MHz程度でのインピーダンスが不十分である。
However, in order to use a multilayer inductor as a bead core for noise suppression, the impedance decreases as the element becomes smaller.
Impedance at about MHz is insufficient.

また、インピーダンスを上げるため、積層数を増加する
と、製造工程が増え、コストが増加し、しかも量産上非
常に不利である。
Furthermore, increasing the number of laminated layers in order to increase impedance increases the number of manufacturing steps, increases cost, and is extremely disadvantageous in terms of mass production.

本発明の目的は、主にノイズ抑制用に用いられ、小型か
つ高インピーダンスの積層型ビーズインダクタを提供す
ることにある。
An object of the present invention is to provide a small, high-impedance multilayer bead inductor that is mainly used for noise suppression.

〈課題を解決するための手段〉 上記目的は、下記(1)〜(5)の本発明により達成さ
れる。
<Means for Solving the Problems> The above objects are achieved by the following inventions (1) to (5).

(1)磁性体層と、導電体層とを厚膜技術により積層し
た積層型ビーズインダクタであって、 前記導電体層は、一層当たりの巻回数が1ターン以上で
あり、隣接する一対の導電体層間の磁性体層に貫通孔を
形成し、この貫通孔を介して、前記隣接する一対の導電
体層の端部同志を導通したことを特徴とする積層型ビー
ズインダクタ。
(1) A multilayer bead inductor in which a magnetic layer and a conductive layer are laminated by thick film technology, wherein the conductive layer has a number of turns of one turn or more per layer, and a pair of adjacent conductive layers A multilayer bead inductor characterized in that a through hole is formed in the magnetic layer between the body layers, and the ends of the pair of adjacent conductive layers are electrically connected through the through hole.

(2)前記磁性体層の厚さが、導電体層の厚さの2倍以
下である上記(1)に記載の積層型ビーズインダクタ。
(2) The multilayer bead inductor according to (1) above, wherein the thickness of the magnetic layer is twice or less the thickness of the conductive layer.

(3)前記導電体層の積層数が2層である上記(1)ま
たは(2)に記載の積層型ビーズインダクタ。
(3) The laminated bead inductor according to (1) or (2) above, wherein the number of laminated conductor layers is two.

(4)前記貫通孔が、前記隣接する一対の導電体層の端
部の巾よりも広l]である上記(1)ないしく3)のい
ずれかに記載の積層型ビーズインダクタ。
(4) The multilayer bead inductor according to any one of (1) to 3), wherein the through hole is wider than the width of the end portions of the pair of adjacent conductor layers.

(5)前記隣接する一対の導電体層のうち、方の導電体
層は、他方の導電体層の少なくとも一部の上方に位置し
、厚さ方向に投影したとき、この少なくとも一部とは重
ならない部分を有する上記(])ないしく4)のいずれ
かに記載の積層型ビーズインダクタ。
(5) Among the pair of adjacent conductor layers, one conductor layer is located above at least a portion of the other conductor layer, and when projected in the thickness direction, the one conductor layer is located above at least a portion of the other conductor layer. The multilayer bead inductor according to any one of ( ]) to (4) above, which has non-overlapping portions.

〈作用〉 本発明の積層型ビーズインダクタには、導電体層を1層
当たり1ターン以上形成する。
<Function> In the multilayer bead inductor of the present invention, one or more conductive layers are formed per layer.

このため、導電体層1層当たりの巻回数が1ターン未満
の同一積層数の積層型ビーズインダクタに比べ、使用周
波数、例えば50〜300MHzで高いインピーダンス
が得られる。
Therefore, compared to a multilayer bead inductor with the same number of laminated layers in which the number of turns per conductor layer is less than one turn, a higher impedance can be obtained at the operating frequency, for example, 50 to 300 MHz.

加えて、積層数を増加することなく高インピーダンスが
得られるため、量産上非常に有利である。
In addition, high impedance can be obtained without increasing the number of laminated layers, which is very advantageous for mass production.

〈具体的構成〉 以下、本発明の具体的構成を詳細に説明する。<Specific configuration> Hereinafter, the specific configuration of the present invention will be explained in detail.

第1図、第2図および第3図には、本発明の積層型ビー
ズインダクタの好適例が示される。
1, 2, and 3 show preferred examples of the multilayer bead inductor of the present invention.

第1図は積層型ビーズインダクタの断面図であり、第2
図は第1図のII −II ’における断面図、第3図
は第1図のIII −Ill ’における断面図である
FIG. 1 is a cross-sectional view of a multilayer bead inductor, and the second
The figure is a sectional view taken along II-II' in FIG. 1, and FIG. 3 is a sectional view taken along III-Ill' in FIG.

積層型ビーズインダクタ1は、磁性体層2と、導電体層
3とが交互に積層一体化されて構成されるチップ体10
を有する。
A multilayer bead inductor 1 includes a chip body 10 configured by alternately laminating magnetic layers 2 and conductive layers 3.
has.

そして、導電体層3はパターン状に形成されるとともに
、隣接する導電体層3は、第1図に示されるように、互
いに導通しており、これによりコイルが形成されている
The conductive layer 3 is formed in a pattern, and adjacent conductive layers 3 are electrically connected to each other as shown in FIG. 1, thereby forming a coil.

さらに、このチップ体10の表面には、導電体層3と導
通する外部電極5が設けられている。
Further, on the surface of this chip body 10, an external electrode 5 that is electrically connected to the conductor layer 3 is provided.

本発明では、導電体層3の巻回数を一腹当たり1ターン
以上とする。
In the present invention, the number of turns of the conductor layer 3 is set to one or more turns per half.

1ターン未満では、インピーダンスが不十分である。If it is less than one turn, the impedance is insufficient.

ただし、−層当たりの巻回数があまり多すぎるとパター
ン形成が困難であり、しかも小型化に向かな(なる。
However, if the number of turns per layer is too large, it will be difficult to form a pattern, and furthermore, it will not be suitable for miniaturization.

このため、−層当たりの巻回数は、1〜2.5ターン、
特に1〜1.5ターンであることが好ましい。
Therefore, the number of turns per layer is 1 to 2.5 turns,
In particular, it is preferably 1 to 1.5 turns.

なお、−層当たりの巻回数が1ターン以」二とするには
、同一平面内にて導電体層3を互いに接しないように、
渦巻状に巻回配置することになり、例えば、1.25タ
ーンであるとは、内周輪と外周輪のうちの一方が、他方
の1層4周存在することをいう。
In addition, in order to make the number of windings per layer 1 turn or more, the conductor layers 3 should not be in contact with each other in the same plane.
The spiral arrangement is such that, for example, 1.25 turns means that one of the inner circumferential ring and the outer circumferential ring is present four times in one layer of the other.

また、巻回パターンには特に制限がないが、チップの形
状、高インピーダンス化の点から第2図および第3図に
示されるように矩形状にすることが好ましい。
Although there is no particular restriction on the winding pattern, it is preferable to use a rectangular shape as shown in FIGS. 2 and 3 from the viewpoint of chip shape and high impedance.

導電体層3の寸法には特に制限がなく、通常、厚さ5〜
30p程度、パターンのライン幅は100〜350戸程
度とすればよい。
There are no particular restrictions on the dimensions of the conductor layer 3, and it usually has a thickness of 5 to 5.
The line width of the pattern may be about 100 to 350 houses.

導電体層3の積層数は、製造工程を増加させない点で、
2層であることが好ましい。
The number of laminated conductor layers 3 is determined in such a way that it does not increase the manufacturing process.
Preferably, there are two layers.

ただし、必要に応じて3層以上としてもよい。However, three or more layers may be used as necessary.

なお、導電体層3のパターン形状や寸法等は同一でも層
ごとに異なっていてもよい。
Note that the pattern shape, dimensions, etc. of the conductor layer 3 may be the same or may differ from layer to layer.

このような隣接する一対の導電体層3.3の端部31と
33とは、第1図に示されるように、導電体層3.3間
の磁性体層2に形成した貫通孔を介して、互いに導通し
ている。
As shown in FIG. 1, the ends 31 and 33 of a pair of adjacent conductor layers 3.3 are connected to each other through a through hole formed in the magnetic layer 2 between the conductor layers 3.3. They are conductive to each other.

なお、第1図は完成図であるため、磁性体層の貫通孔は
、導電体層や最上層の磁性体層によって埋められている
Note that since FIG. 1 is a completed diagram, the through holes in the magnetic layer are filled with the conductive layer and the uppermost magnetic layer.

また、本発明では、隣接する一対の導電体層3.3のパ
ターンが、互いにずれていることが好ましい。
Further, in the present invention, it is preferable that the patterns of a pair of adjacent conductor layers 3.3 are shifted from each other.

すなわち、隣接する一対の導電体層3.3は、第2図中
の点a、b、c、dにて囲まれる領域および第3図中の
点e、f、g、hにて囲まれる領域を、それぞれ、導電
体層3の厚さ方向に投影したとき、互いに重ならない部
分が存在するようにパターン形成されていることが好ま
しい。
That is, a pair of adjacent conductor layers 3.3 are surrounded by the areas a, b, c, and d in FIG. 2 and the points e, f, g, and h in FIG. 3. It is preferable that the pattern is formed such that when the regions are projected in the thickness direction of the conductor layer 3, there are portions that do not overlap with each other.

この場合、図示例では、導電体層3のパターンは、外部
電極5.5の間隙方向にずれており、投影の重ならない
部分が外部電極5.5の間隙方向に存在するが、これに
かえ、あるいはこれに加え、間隙と直交する方向にずれ
、投影の重ならない部分が間隙と直交する方向に存在し
ていてもよい。
In this case, in the illustrated example, the pattern of the conductive layer 3 is shifted in the direction of the gap between the external electrodes 5.5, and a portion where the projections do not overlap exists in the direction of the gap between the external electrodes 5.5. , or in addition to this, there may be a shift in a direction perpendicular to the gap, and a portion where the projections do not overlap may exist in a direction perpendicular to the gap.

パターンが互いにずれていることによって、浮遊容量が
減少し、高周波特性がより一層良好となる。
Since the patterns are shifted from each other, stray capacitance is reduced and high frequency characteristics are further improved.

この互いにずれている部分の導電体層3の長平方向の長
さは、一方の導電体層3が他方の導電体層3の上方に位
置している長さの20〜100%であればよい。
The length of the mutually shifted portions of the conductor layers 3 in the longitudinal direction may be 20 to 100% of the length of one conductor layer 3 located above the other conductor layer 3. .

また、互いにずれている部分のずれ量、すなわち導電体
層3間の間隙は、導電体層1】の20〜40%程度とす
ることが好ましい。
Further, it is preferable that the amount of deviation between the mutually deviated portions, that is, the gap between the conductive layers 3, be about 20 to 40% of the distance between the conductive layers 1.

導電体層3の材質としては、従来公知の導電体層材質は
何れも使用できる。
As the material for the conductor layer 3, any conventionally known conductor layer material can be used.

例えば、Ag、Cu、Pdやこれらの合金等を用いれば
よいが、このうち、AgまたはAg合金、特にAgが好
適である。
For example, Ag, Cu, Pd, or an alloy thereof may be used, and among these, Ag or an Ag alloy, particularly Ag, is preferable.

Ag合金としては、Agを70重量%以上含むAg−P
d合金等が好適である。
Ag alloys include Ag-P containing 70% by weight or more of Ag;
d alloy etc. are suitable.

このような導電体層3は、後述するように導電体層用ペ
ーストを塗布した後、焼成して形成されるものである。
Such a conductive layer 3 is formed by applying a conductive layer paste and then firing it as described later.

積層型ビーズインダクタ1の磁性体層2の材質としては
、従来公知の磁性体層材質は何れも使用できる。 例え
ば、スピネル構造を有する各種スピネルソフトフェライ
トを用いることができるが、焼成温度の関係でNi系の
フェライト、特にNi−Cu−Znフェライトを用いる
ことが好ましい。
As the material for the magnetic layer 2 of the multilayer bead inductor 1, any conventionally known magnetic layer material can be used. For example, various spinel soft ferrites having a spinel structure can be used, but it is preferable to use Ni-based ferrite, particularly Ni-Cu-Zn ferrite, due to the firing temperature.

Ni−Cu−Znフェライトは、低温焼成材料であり、
また、良好な絶縁体であるため、このような磁性層を用
いたとき、本発明の積層型ビーズインダクタは、900
℃程度以下の焼成に適し、優れた特性が得られる。
Ni-Cu-Zn ferrite is a low temperature firing material,
In addition, since it is a good insulator, when such a magnetic layer is used, the multilayer bead inductor of the present invention has a 900
Suitable for firing at temperatures below about ℃ and provides excellent properties.

Ni系のフェライトとしてはNiフェライト、N 1−
Cuフェライト、Ni−Znフェライト、Ni−Cu−
Znフェライト等がある。
Examples of Ni-based ferrite include Ni ferrite, N 1-
Cu ferrite, Ni-Zn ferrite, Ni-Cu-
Examples include Zn ferrite.

この場合、Niの含有量は、NiOに換算して45〜5
5mo1%が好ましく、このNiの一部をCuおよび/
またはZnが40mo1%程度以下置換してもよい。
In this case, the Ni content is 45 to 5 in terms of NiO.
5mo1% is preferable, and a part of this Ni is Cu and/or
Alternatively, Zn may be substituted in an amount of about 40 mo1% or less.

このような、フェライト系の磁性体層2は、後記の導電
体層用ペーストと800〜]、 OO0℃、特に850
〜950℃の焼成温度にて同時焼成して形成できる。
Such a ferrite-based magnetic layer 2 is made of a conductive layer paste described below at a temperature of 800~], OO0°C, especially 850°C.
It can be formed by simultaneous firing at a firing temperature of ~950°C.

隣接する一対の導電体層3.3間の磁性体層2には、第
5図および第6図に示されるように、貫通孔4が形成さ
れ、前記のとおり、この貫通孔4を介して、導電体層3
と導電体層3とが導通する。
As shown in FIGS. 5 and 6, a through hole 4 is formed in the magnetic layer 2 between a pair of adjacent conductive layers 3. , conductor layer 3
and conductor layer 3 are electrically connected.

貫通孔4の位置は、導体層3の端部31および33と対
向する位置であり、両導体層3.3は、通常、外周から
内周に巻回され、端部31.33は内部に存在するので
図示例では、磁性体層2のほぼ中央部に形成されている
The position of the through hole 4 is opposite the ends 31 and 33 of the conductor layer 3, and both conductor layers 3.3 are normally wound from the outer circumference to the inner circumference, and the ends 31.33 are wound inside. In the illustrated example, it is formed almost at the center of the magnetic layer 2.

貫通孔4の形状や寸法には特に制限がなく、目的や用途
等に応じて適宜選択すればよい。
The shape and dimensions of the through hole 4 are not particularly limited, and may be appropriately selected depending on the purpose, use, etc.

例えば、貫通孔4が、導電体層3のパターンのライン幅
とほぼ同程度の寸法あるいはライン幅より小さい寸法の
場合には、通常、グリーンシート法が用いられ、導電体
層3の端部31および33を貫通孔4より犬とし、積層
する際に位置が多少ずれても両導電体層3.3が、貫通
孔4を介して導通するように構成する。
For example, when the through-hole 4 has a size that is approximately the same as or smaller than the line width of the pattern of the conductor layer 3, the green sheet method is usually used, and the end portion 31 of the conductor layer 3 is and 33 are closer to the through hole 4, so that both conductor layers 3.3 are electrically connected through the through hole 4 even if their positions are slightly shifted during lamination.

そして、より好ましくは、導電体層3のパターンを端部
までほぼ同じ幅で形成し、端部31および33を包含す
る領域に、各端部31.33の巾より広巾な貫通孔4を
形成する。
More preferably, the pattern of the conductive layer 3 is formed to have approximately the same width up to the end, and the through hole 4 is formed wider than the width of each end 31 and 33 in a region that includes the ends 31 and 33. do.

このように構成することにより、積層する際の導電体層
3と貫通孔4のずれを防止でき、加えて、導電体層3の
端部l]を小さくできるため、インダクタを小型化する
場合に、導電体層を微細パターン化しても、その短絡を
防止できる。
With this configuration, it is possible to prevent misalignment between the conductor layer 3 and the through hole 4 during lamination, and in addition, the end portion l of the conductor layer 3 can be made small, which is useful when downsizing the inductor. Even if the conductive layer is finely patterned, short circuits can be prevented.

なお、貫通孔4の導電体層3の11方向の最大中は、導
電体層3の巾の1.5〜2.5倍程度とすることが好ま
しい。
Note that the maximum width of the through hole 4 in the 11 directions of the conductor layer 3 is preferably about 1.5 to 2.5 times the width of the conductor layer 3.

また、貫通孔4の断面の外形形状を円形とする場合、そ
の直径は、通常100〜500戸程度とすればよい。
Moreover, when the external shape of the cross section of the through hole 4 is made circular, its diameter should normally be about 100 to 500 units.

磁性体層2の焼成後の厚さには特に制限がないが、導電
体層3の厚さの2倍以下であることが好ましい。
Although there is no particular restriction on the thickness of the magnetic layer 2 after firing, it is preferably at most twice the thickness of the conductive layer 3.

磁性体層2の厚さが前記範囲内であることより一層高い
インピーダンスが得られる。
When the thickness of the magnetic layer 2 is within the above range, even higher impedance can be obtained.

ただし、あまり薄すぎると導電体層3が導通してしまう
ため、磁性体層2の厚さは、導電体層3の厚さの0.5
〜2倍、特に0.5〜〕、5倍であることが好ましい。
However, if it is too thin, the conductor layer 3 will be electrically conductive, so the thickness of the magnetic layer 2 should be 0.5 of the thickness of the conductor layer 3.
~2 times, especially 0.5~], preferably 5 times.

なお、磁性体層2の厚さは、通常8〜40μm程度とす
ればよい。
Note that the thickness of the magnetic layer 2 may normally be about 8 to 40 μm.

このような構成のチップ体10の外形や寸法には特に制
限がなく、用途等に応じて適宜選択すればよいが、通常
、外形はほぼ直方体状の形状とし、寸法は長さ1.6〜
3.2mm程度、1]08〜1.6mm程度、厚さ0.
8〜1.2mm程度とすればよい。
There are no particular restrictions on the external shape or dimensions of the chip body 10 having such a configuration, and they may be selected as appropriate depending on the application, etc., but usually the external shape is approximately rectangular parallelepiped, and the dimensions are 1.6 to 1.6 mm in length.
Approximately 3.2mm, 1]08~1.6mm, thickness 0.
It may be about 8 to 1.2 mm.

また、外部電極5.5の材質については、特に制限がな
(、各種導電体材料、例えばAg、Ni、Cu等あるい
はAg−Pd等のこれらの合金などの印刷膜、メツキ膜
、蒸着膜、イオンブレーティング膜、スパッタ膜あるい
はこれらの積層膜などいずれも使用可能である。
There are no particular restrictions on the material of the external electrodes 5.5 (various conductive materials, such as printed films, plating films, vapor deposited films, etc. of Ag, Ni, Cu, etc. or alloys thereof such as Ag-Pd, etc.). Any of an ion blating film, a sputtered film, or a laminated film thereof can be used.

外部電極5.5の厚さは任意であり、目的や用途に応じ
適宜決定すればよいが、通常50〜200p程度である
The thickness of the external electrode 5.5 is arbitrary and may be appropriately determined depending on the purpose and use, but is usually about 50 to 200p.

本発明の積層型ビーズインダクタは、各種電子回路のノ
イズ抑制等に用いられる。
The multilayer bead inductor of the present invention is used for suppressing noise in various electronic circuits.

使用周波数は、50〜300 M)Iz程度、特に10
0 MHz程度が好ましい。
The frequency used is about 50 to 300 M)Iz, especially 10
Approximately 0 MHz is preferable.

本発明では、前記のとおりインダクタを小型化しても周
波数100MI(zにて、インピーダンス150〜35
0Ω程度のものが実現できる。
In the present invention, even if the inductor is miniaturized as described above, the frequency is 100 MI (at z, the impedance is 150 to 35
A resistance of about 0Ω can be achieved.

次に、本発明の積層型ビーズインダククの製造方法につ
いて説明する。
Next, a method for manufacturing the laminated bead inductor of the present invention will be described.

まず、磁性体層用ペースト、導電体層用ペーストおよび
外部電極用ペーストをそれぞれ製造する。
First, a magnetic layer paste, a conductive layer paste, and an external electrode paste are manufactured.

磁性体層用ペースト、導電体層用ペーストおよび外部電
極用ペーストは、それぞれ、通常の方法で製造すればよ
い。
The paste for the magnetic layer, the paste for the conductor layer, and the paste for the external electrode may be each manufactured by a conventional method.

例えば、磁性体層用ペーストとしてフェライトペースト
を製造するには、所定量のNi01ZnO,Cub、F
e20a等のフェライト原料粉末をボールミル等により
湿式混合する。
For example, in order to manufacture a ferrite paste as a paste for a magnetic layer, a predetermined amount of Ni01ZnO, Cub, F
Ferrite raw material powder such as e20a is wet mixed using a ball mill or the like.

用いる各原料粉末の平均粒径は通常0.1〜10戸程度
とする。
The average particle size of each raw material powder used is usually about 0.1 to 10 particles.

] 5 こうして湿式混合したものを、通常スプレードライヤー
等により乾燥させ、その後仮焼する。 これを通常は、
平均粒径が0.01〜0.1戸程度になるまでボールミ
ル等にて湿式粉砕し、スプレードライヤー等により乾燥
する。
] 5 The wet-mixed mixture is usually dried using a spray dryer or the like, and then calcined. This is usually
Wet pulverization is performed using a ball mill or the like until the average particle size becomes approximately 0.01 to 0.1 units, and then dried using a spray dryer or the like.

得られた混合フェライト粉末と、エチルセルロース、ア
クリル樹脂等のバインダーと、テルピネオール、ブチル
カルピトール等の溶媒とを混合し、例えば3本ロール等
で混練してペースト(スラリー)とする。
The obtained mixed ferrite powder, a binder such as ethylcellulose or acrylic resin, and a solvent such as terpineol or butylcarpitol are mixed and kneaded using, for example, three rolls to form a paste (slurry).

この場合、ペースト中には各種ガラスや酸化物を含有さ
せることができる。
In this case, various glasses and oxides can be contained in the paste.

なお、フェライト粉末のほか、各種磁性粒子を用いるこ
とも可能である。
In addition to ferrite powder, various magnetic particles can also be used.

導電体層用ペーストは、通常、導電性粒子と、バインダ
ーと、溶剤とを含有する。
A paste for a conductive layer usually contains conductive particles, a binder, and a solvent.

導電性粒子の材質は、従来導電体層用ペーストに用いら
れるものであれば特に制限がなく、金属や金属酸化物等
の焼成後に金属になるものを用いればよい。
The material of the conductive particles is not particularly limited as long as it is conventionally used in pastes for conductive layers, and metals, metal oxides, and other materials that become metal after firing may be used.

この場合、金属成分としては、Ag、Cu、Pd等の1
種以上を含む金属単体、あるいはこれらの合金が好まし
い。
In this case, the metal component is Ag, Cu, Pd, etc.
Single metals containing more than one species or alloys thereof are preferred.

そして、特にAg、Ag合金、これらの酸化物が好適で
ある。
In particular, Ag, Ag alloys, and oxides thereof are suitable.

なお、導電性粒子の形状には特に制限がないが、はぼ球
状の形状が好ましい。
Note that the shape of the conductive particles is not particularly limited, but a spherical shape is preferred.

また、導電性粒子の平均粒径は、通常、0.1〜0.5
−程度とする。
In addition, the average particle size of the conductive particles is usually 0.1 to 0.5
− degree.

バインダーとしては、例えばエチルセルロース、アクリ
ル樹脂、ブヂラール樹脂等公知のものはいずれも使用可
能である。
As the binder, any known binder can be used, such as ethyl cellulose, acrylic resin, butyral resin, and the like.

また、バインダー含有量は、通常O〜5重量%程度とす
る。
Further, the binder content is usually about 0 to 5% by weight.

溶剤としては、例えばテルピネオール、ブチルカルピト
ール、ケロシン等公知のものはいずれも使用可能である
As the solvent, any known solvent can be used, such as terpineol, butylcarpitol, kerosene, and the like.

溶剤含有量は、通常20〜55重量%程度とする。 こ
の他、総計10重量%程度以下の範囲で、必要に応じ、
ソルビタン脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル
等の分散剤や、ジブチルフタレート、ジブチルフタレー
ト、ブヂルフタリルグリコール酸ブチル等の可塑剤や、
デラミ防止、焼結抑制等の目的で、誘電体、磁性体、絶
縁体等の各種セラミック粉体等を添加することもできる
The solvent content is usually about 20 to 55% by weight. In addition, if necessary, within a total amount of about 10% by weight or less,
Dispersants such as sorbitan fatty acid ester and glycerin fatty acid ester, plasticizers such as dibutyl phthalate, dibutyl phthalate, butyl phthalyl glycolate,
For the purpose of preventing delamination, suppressing sintering, etc., various ceramic powders such as dielectric materials, magnetic materials, and insulators can be added.

このような各組成物を混合し、例えば3本ロール等で混
練してペースト(スラリー)とする。
These compositions are mixed and kneaded using, for example, three rolls to form a paste (slurry).

外部電極用ペーストには特に制限はなく、前記の導電体
材料と同様にAg、Ag合金等を用い、2〜10重量%
程度のガラスを含有するペーストを用いればよい。
There are no particular restrictions on the paste for external electrodes, and Ag, Ag alloy, etc., are used in the same manner as the conductor material described above, and the paste is 2 to 10% by weight.
A paste containing a certain amount of glass may be used.

このような磁性体層用ペーストと導電体層用ペーストは
、印刷法、転写法、グリーンシート法等により積層され
る。
Such a paste for a magnetic layer and a paste for a conductive layer are laminated by a printing method, a transfer method, a green sheet method, or the like.

例えば、印刷法の場合は、第4図に示されるように、ま
ず、磁性体層用ペーストの塗膜20を形成し、この上に
所定パターンの導電体層用ペーストの塗膜30を形成す
る。
For example, in the case of the printing method, as shown in FIG. 4, first a coating film 20 of paste for a magnetic layer is formed, and a coating film 30 of a paste for a conductive layer in a predetermined pattern is formed thereon. .

次いで、この上に磁性体層用ペーストの塗膜20を形成
する際、第5図に示されるように導電体層用ペーストの
塗膜30の端部と対向し、端部31より大きな領域に貫
通孔4を形成する。
Next, when forming the coating film 20 of the paste for the magnetic layer on this, as shown in FIG. A through hole 4 is formed.

次いで、第6図に示されるように所定パターンの導電体
層用ペーストの塗膜30を形成し、前記隣接する一対の
導電体層用ペーストの塗膜30と30を導通させる。
Next, as shown in FIG. 6, a coating film 30 of the conductive layer paste is formed in a predetermined pattern, and the pair of adjacent coating films 30 of the conductive layer paste are electrically connected.

そして、第7図に示されるように磁性体層用ペーストの
塗膜20を形成し、所定の積層体寸法に切断した後、焼
成を行なう。
Then, as shown in FIG. 7, a coating film 20 of a magnetic layer paste is formed, the laminate is cut into a predetermined size, and then fired.

なお、必要に応じ、磁性体層はグリーンシート法によっ
て形成してもよい。
Note that, if necessary, the magnetic layer may be formed by a green sheet method.

焼成条件や焼成雰囲気は、材質等に応じて適宜決定すれ
ばよいが、通常下記のとおりである。
The firing conditions and firing atmosphere may be appropriately determined depending on the material and the like, but are usually as follows.

焼成温度二850〜950℃程度 焼成時間二0.5〜5時間程度 焼成雰囲気は、導電体層にCu、Ni等を用いる場合は
、非酸化性雰囲気とし、このほか、Ag、Pd等を用い
る場合は大気中でよい。
Firing temperature: 2850 to 950°C Firing time: 20.5 to 5 hours The firing atmosphere should be a non-oxidizing atmosphere when Cu, Ni, etc. are used for the conductor layer, and in addition, Ag, Pd, etc. In some cases, it may be used in the atmosphere.

このようにして得られたチップ体10には、例えばバレ
ル研磨、サンドブラスト等にて端面研磨を施し、外部電
極用ペーストを焼きつけて外部電極5.5を形成する。
The end face of the thus obtained chip body 10 is polished by, for example, barrel polishing or sandblasting, and an external electrode paste is baked to form external electrodes 5.5.

そして、必要に応じ、外部電極5.5上のめっき等によ
りパッド層を形成する。
Then, if necessary, a pad layer is formed by plating or the like on the external electrodes 5.5.

〈実施例〉 以下、本発明の具体的実施例を挙げ、本発明をさらに詳
細に説明する。
<Example> Hereinafter, the present invention will be explained in further detail by giving specific examples of the present invention.

実施例1 平均粒径0.2μmの球状Ag粒子と、所定量のブヂル
カルビトール、テルピネオール、エチルセルロースとを
3本ロールにより混練し、スラリー化して導電体層用ペ
ーストを作製した。
Example 1 Spherical Ag particles having an average particle diameter of 0.2 μm and predetermined amounts of butyl carbitol, terpineol, and ethyl cellulose were kneaded using three rolls to form a slurry to prepare a paste for a conductive layer.

次に、フェライト原料として、粒径0.1〜]、、Q戸
程度のNjOlCub、ZnOおよびFew Oaの粉
体を用い、これをボールミルを用いて湿式混合し、次い
で、この湿式混合物をスプレードライヤーにより乾燥し
、750℃にて仮焼し、顆粒として、これをボールミル
にて粉砕したのちスプレードライヤーで乾燥し、平均粒
径0.1−の粉体とした。
Next, NjOlCub, ZnO, and Few Oa powders with a particle size of about 0.1 to 1,000 were used as ferrite raw materials and wet mixed using a ball mill. The powder was dried and calcined at 750°C to form granules, which were ground in a ball mill and dried in a spray dryer to obtain powder with an average particle size of 0.1-.

次いで、この粉体を所定量のエチルセルロースとともに
テルピネオール中に溶解し、ヘンシェルミキサーで混合
し、Nj−Cu−Znフェライトの磁性体層用ペースト
を作製した。
Next, this powder was dissolved in terpineol along with a predetermined amount of ethyl cellulose and mixed in a Henschel mixer to prepare a paste for a magnetic layer of Nj-Cu-Zn ferrite.

得られた各導電体層用ペーストと、磁性体層用ペースト
とを用い、印刷積層法によって第1図〜第3図に示され
る積層型ビーズインダクタサンプルNo、  1 (本
発明)およびNo、  2 (本発明)を製造した。
Laminated bead inductor samples No. 1 (present invention) and No. 2 shown in FIGS. 1 to 3 were prepared using the obtained conductive layer pastes and magnetic layer pastes by a printing lamination method. (the present invention) was manufactured.

この場合、焼成温度は900℃、焼成時間は2時間とし
、焼成雰囲気は大気中とした。
In this case, the firing temperature was 900°C, the firing time was 2 hours, and the firing atmosphere was air.

導電体層の積層数は2層とし、それぞれの導電体層は、
第2図および第3図に示されるとおり、巻回数1ターン
以上(約1.25ターン)の矩形状パターンとし、互い
に少しずらして積層した。
The number of laminated conductor layers is two, and each conductor layer is
As shown in FIGS. 2 and 3, a rectangular pattern with one or more winding turns (approximately 1.25 turns) was formed, and the layers were laminated with a slight offset from each other.

また、導電体層の厚さは20μm、パターンのライン幅
は200−とし、磁性体層の厚さはNo、  1を12
11m、 No、  2を25μmとした。
In addition, the thickness of the conductive layer is 20 μm, the line width of the pattern is 200-, and the thickness of the magnetic layer is No. 1 to 12.
11m, No. 2 was set to 25 μm.

なお、磁性体層の貫通孔の断面は、直径400声の円形
状とした。
Note that the cross section of the through hole in the magnetic layer was circular with a diameter of 400 tones.

外部電極はAg−Pdペーストで構成した。The external electrodes were made of Ag-Pd paste.

得られた積層型ビーズインダクタの寸法は、2、Omm
X 1.2m Xo、8mmであった。
The dimensions of the obtained multilayer bead inductor were 2.0 mm.
X 1.2m Xo, 8mm.

また、導電体N1層当たりの巻回数を1ターン未?@(
約0.75ターン)とし、磁性体層の厚さを12pmと
したほかは同様の比較用サンプルNo、  3を製造し
た。
Also, is the number of turns per N1 layer of conductor less than 1 turn? @(
Comparative samples No. 3 were produced in the same manner, except that the magnetic material layer had a thickness of about 0.75 turns) and the thickness of the magnetic layer was 12 pm.

各サンプルについて、周波数50 MHz、100MH
zおよび300 MHzにおけるインピーダンスを測定
した。
For each sample, frequency 50 MHz, 100 MHz
The impedance was measured at z and 300 MHz.

結果は表1に示されるとおりである。The results are shown in Table 1.

表       1 No。Table 1 No.

0MHz 100MHz 100MHz 1(本発明) 2(本発明) 3(比 較) 表1に示される結果から本発明の効果が明らかである。0MHz 100MHz 100MHz 1 (present invention) 2 (present invention) 3 (comparison) The effects of the present invention are clear from the results shown in Table 1.

なお、この他、材質や寸法等をかえてサンプルを製造し
たところ同等の効果が得られた。
In addition, when samples were manufactured with different materials, dimensions, etc., similar effects were obtained.

〈発明の効果〉 本発明の積層型ビーズインダクタは、少ない積層数で高
いインピーダンスが得られる。
<Effects of the Invention> The multilayer bead inductor of the present invention can obtain high impedance with a small number of laminated layers.

このため、生産コストが低下し、生産効率が向上し、量
産上非常に有利である。
Therefore, production costs are reduced and production efficiency is improved, which is extremely advantageous for mass production.

そして、使用周波数50〜300 MHz程度、特に1
00 MHz程度にてノイズを効果的に除去できる。
The operating frequency is about 50 to 300 MHz, especially 1
Noise can be effectively removed at approximately 0.00 MHz.

また、本発明では、印刷法を用いる場合、磁性体層の導
電体層導通用貫通孔を導電体層のパターンのライン幅よ
り広幅に形成することにより、インダクタを小型化して
も導電体層の短絡を防止できる。
In addition, in the present invention, when using a printing method, by forming the conductive layer conduction through holes in the magnetic layer to be wider than the line width of the pattern of the conductive layer, even if the inductor is miniaturized, the conductive layer can be Can prevent short circuits.

この結果、インダクタを小型化する際の生産歩留りが格
段と向上する。
As a result, the production yield when downsizing the inductor is significantly improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明の積層型ビーズインダクタの1例が示
される断面図である。 第2図は、第1図のTI −II”における断面図であ
る。 第3図は、第1図のTIT −II+ ’における断面
図である。 第4図〜第7図は、それぞれ、本発明の積層型ビーズイ
ンダクタの製造方法を説明するための平面図である。 符号の説明 1・・・積層型ビーズインダクタ 10・・・チップ体 2・・・磁性体層 20・・・磁性体層用ペーストの塗膜 3・・・導電体層 30・・・導電体層用ペーストの塗膜 31.33・・・端部 4・・・貫通孔 5・・・外部電極 特許出願人 ティーデイ−ケイ株式会社代  理  人
  弁理士   石  井  隔間     弁理士 
  増  1) 達  哉Fl G、4 FIG、5 FIG、6 G、ア 明 細 書 平成 3年11月 8日
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of the multilayer bead inductor of the present invention. 2 is a cross-sectional view at TI-II'' in FIG. 1. FIG. 3 is a cross-sectional view at TIT-II+' in FIG. 1. It is a top view for explaining the manufacturing method of the laminated bead inductor of the invention. Explanation of symbols 1...Laminated bead inductor 10...Chip body 2...Magnetic layer 20...Magnetic layer Coating film of paste for conductor layer 3... Conductor layer 30... Coating film of paste for conductor layer 31, 33... End portion 4... Through hole 5... External electrode patent applicant T.D.K. Co., Ltd. Agent Patent Attorney Hikaru Ishii Patent Attorney
Increase 1) Tatsuya Fl G, 4 FIG, 5 FIG, 6 G, A Specification November 8, 1991

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)磁性体層と、導電体層とを厚膜技術により積層し
た積層型ビーズインダクタであって、 前記導電体層は、一層当たりの巻回数が1ターン以上で
あり、隣接する一対の導電体層間の磁性体層に貫通孔を
形成し、この貫通孔を介して、前記隣接する一対の導電
体層の端部同志を導通したことを特徴とする積層型ビー
ズインダクタ。
(1) A multilayer bead inductor in which a magnetic layer and a conductive layer are laminated by thick film technology, wherein the conductive layer has a number of turns of one turn or more per layer, and a pair of adjacent conductive layers A multilayer bead inductor characterized in that a through hole is formed in the magnetic layer between the body layers, and the ends of the pair of adjacent conductive layers are electrically connected through the through hole.
(2)前記磁性体層の厚さが、導電体層の厚さの2倍以
下である請求項1に記載の積層型ビーズインダクタ。
(2) The multilayer bead inductor according to claim 1, wherein the thickness of the magnetic layer is twice or less the thickness of the conductive layer.
(3)前記導電体層の積層数が2層である請求項1また
は2に記載の積層型ビーズインダクタ。
(3) The multilayer bead inductor according to claim 1 or 2, wherein the number of laminated conductor layers is two.
(4)前記貫通孔が、前記隣接する一対の導電体層の端
部の巾よりも広巾である請求項1ないし3のいずれかに
記載の積層型ビーズインダクタ。
(4) The multilayer bead inductor according to any one of claims 1 to 3, wherein the through hole is wider than the width of the end portions of the pair of adjacent conductor layers.
(5)前記隣接する一対の導電体層のうち、一方の導電
体層は、他方の導電体層の少なくとも一部の上方に位置
し、厚さ方向に投影したとき、この少なくとも一部とは
重ならない部分を有する請求項1ないし4のいずれかに
記載の積層型ビーズインダクタ。
(5) Among the pair of adjacent conductor layers, one conductor layer is located above at least a portion of the other conductor layer, and when projected in the thickness direction, the at least one conductor layer is located above the other conductor layer. The multilayer bead inductor according to any one of claims 1 to 4, having non-overlapping portions.
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