JPH048441U - - Google Patents

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JPH048441U
JPH048441U JP4896490U JP4896490U JPH048441U JP H048441 U JPH048441 U JP H048441U JP 4896490 U JP4896490 U JP 4896490U JP 4896490 U JP4896490 U JP 4896490U JP H048441 U JPH048441 U JP H048441U
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gripping
wafer cassette
plate
front plate
gripping plate
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Description

【図面の簡単な説明】
第1図a〜cは本考案にかかる把持具を示す図
、第2図はウエハーカセツトの概要斜視図、第3
図は従来の問題点を示す図である。 図において、1はウエハーカセツトの前面プレ
ート、11は前面プレートの側部フランジ、12
,22は脚部、2はウエハーカセツトの側壁、2
0は溝、21は上部フランジ、3はウエハーカセ
ツトの後部ロツド、5は本考案にかかる把持具の
把持板、6は把り手、7はベンド部、71は止め
ブロツク、8は窓部、を示している。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ウエハーカセツトの前面プレートに当接する把
    持板と、 該把持板の主面に設けた把り手と、 該把持板の裏面に設けた前記前面プレートの側
    部フランジを挟持する2つのベント部と、 該把持板に設けられ、前記ウエハーカセツトの
    把握状態が目視できる窓部とを具備してなること
    を特徴とするウエハーカセツトの把持具。
JP4896490U 1990-05-09 1990-05-09 Pending JPH048441U (ja)

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