JPH0482851U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図から第３図迄は、本考案による真空内ウ
エーハクリツプ機構を示すもので、第１図は全体
構成を示す平面図、第２図は正面図、第３図はソ
レノイドとクリツプ片の構成を示す要部の構成図
、第４図は従来の機構を示す平面図である。 １は本体、２はウエーハ保持凹部、Ｄは一方向
、３はウエーハ、３ａは周縁、５はプランジヤ、
６はソレノイド体、１０，１１はクリツプ片、１
４はばね部材である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 ウエーハ３を保持するためのウエーハ保持凹部
   ２を有する本体１と、前記本体１に設けられプラ
   ンジヤ５を有するソレノイド体６と、前記ソレノ
   イド体６に設けられ前記プランジヤ５を常時一方
   向Ｄに付勢するためのばね部材１４と、前記本体
   １に回動自在に設けられ前記プランジヤ５に接続
   された一対のクリツプ片１０，１１とを備え、 前記ソレノイド体１の作動により前記クリツプ
   片１０，１１を介して前記ウエーハ３の周縁３ａ
   を把持するように構成したことを特徴とする真空
   内ウエーハクリツプ機構。