JPH0480629A - Measuring device for frequency noise of laser - Google Patents

Measuring device for frequency noise of laser

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JPH0480629A
JPH0480629A JP19433590A JP19433590A JPH0480629A JP H0480629 A JPH0480629 A JP H0480629A JP 19433590 A JP19433590 A JP 19433590A JP 19433590 A JP19433590 A JP 19433590A JP H0480629 A JPH0480629 A JP H0480629A
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JP
Japan
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frequency
light
laser
noise
optical
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JP19433590A
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Japanese (ja)
Inventor
Osamu Ishida
修 石田
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Abstract

PURPOSE:To enable accurate and simple measurement of frequency noise in a low-frequency range of a laser, such as flicker noise, by a method wherein the light frequency and propagation time of one branch light of a light to be measured are changed relatively in relation to the other branch light. CONSTITUTION:The light frequency and propagation time of one branch light of a light to be measured, which is made to branch by a light branch means A, are changed relatively in relation to the other branch light by a light frequency shifting means B and a delay means C. These branch lights are synthesized by a light synthesizing means D and a beat signal between the two synthesized branch lights is subjected to light heterodyne detection by a photoelectric conversion means E. Thereby frequency noise in a laser is down-converted into the frequency noise of the beat signal. A dispersion value, i.e., a frequency fluctuation dispersion value, obtained when the frequency of this electric signal is measured at a certain time interval, continuously and in a number of times is computed by a fluctuation dispersion measuring means F. Thereby the magnitude of a frequency noise spectrum of the original laser can be estimated.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、単一縦モートで発振するレーザの周波数雑音
を測定する装置に係り、特に、フリッカ雑音やランダム
・ウオーク雑音と11っに低周波数領域において支配的
な周波¥1雑音成分の大さぎを、簡便かつ正確に測定す
ることかできろレーザの周波数雑音測定装置に関するも
のである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a device for measuring frequency noise of a laser oscillating with a single longitudinal mote, and particularly to a device for measuring frequency noise of a laser that oscillates with a single longitudinal mote, and in particular, it is capable of reducing flicker noise and random walking noise by 11 times. This invention relates to a laser frequency noise measurement device that can easily and accurately measure the magnitude of the dominant frequency ¥1 noise component in the frequency domain.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

レーザ、特に単一縦モートで発振する半導体レザは、光
ファイバの持つ数T(テラ)llzに及ふ広い伝送帯域
を活用する光周波数多重(FDM)通信ンステムや、高
い受信感度を有する光ヘテロダイン/ホモダイン検波型
光通信ノステム、高し)検出感度を有する種々の先セノ
サノステム等の光源として、最近、その重要性を増して
きている。しかし、上記ノステムでは、先の周波数や位
相を制御したり、あるいは、それらに情報を載せて利用
するため、レーザの周波数雑音(位相雑音とし呼ばこる
)の影響を受は易し)。しにかって、この周波vl雑音
の大きざを評価することは、工学応用上極めて重要であ
る。
Lasers, especially semiconductor lasers that oscillate in a single longitudinal mote, are used in optical frequency division multiplexing (FDM) communication systems that utilize the wide transmission band of several T (tera) llz of optical fibers, and optical heterodyne systems that have high reception sensitivity. / Homodyne detection type optical communication nostem, high) Recently, its importance has been increasing as a light source for various precenosanostem etc. with detection sensitivity. However, since the above-mentioned Nostem controls the previous frequency and phase, or adds information to them, it is easily affected by laser frequency noise (also called phase noise). Therefore, evaluating the magnitude of this frequency vl noise is extremely important for engineering applications.

発振器の周波数雑音は、周波数雑音電力スペク)・ルに
よへて、最もよく評価される。そして実在する種々の発
振器の周波数雑音電カスベクトルは、例えば、 −時と
周波数  (P カルタノヨフ著講該社すエノティフィ
ノク、1980年)に記述ざr、てL・るように、単純
ζへき級数モデルによって良く近似されることか、経験
的に知られてLする。
The frequency noise of an oscillator is best evaluated by the frequency noise power spectrum. The frequency noise electric cassette vector of various existing oscillators can be calculated using a simple ζ series model, as described in Time and Frequency (by P. Kartanoyov, published by Enotifinok, 1980). It is known empirically that L is well approximated by .

例えば、半導体レーザては、緩和振動による雑音のピー
クか観測されるIGHz以上の周波数領域を除けば、1
GHz以下での(片側)周波数雑音大カスベクトル密度
S (f)は、 5(f)−に−、/f’ =  k−3,# −k−、
(1)と近仰して表わされる。第4図は、 (1)式で
与えられる周波数雑音電カスベクトルを、模式化して示
してLする。このように、レーザの周波数雑音には、少
な・くとも白色雑音、フリッカ雑音、ランダムウオ−り
雑音の3つの成分かあり、それぞれの大きさは、係数k
a(−4≦a≦−2)によって評価される。
For example, in a semiconductor laser, except for the frequency range above IGHz where the noise peak due to relaxation oscillation is observed,
The (one-sided) frequency noise large cass vector density S (f) below GHz is 5(f)-, /f' = k-3, # -k-,
It is expressed as (1). FIG. 4 schematically shows the frequency noise electric cassette vector given by equation (1). In this way, laser frequency noise has at least three components: white noise, flicker noise, and random walking noise, and the magnitude of each component is determined by the coefficient k.
It is evaluated by a (-4≦a≦-2).

レーザ光のFSK  (周波数7フトキーインク)やp
SK  (位相ノットキーイノh)を利用しn数百〜4
b/s以上の高速コヒーレット光通信ノス1ムの性能は
、これらの3雑音成分のらちの白色雑音成分によって、
主に制限される。この1こめ、従来からレーザの白色周
波数雑音については精力的な研究か進められている。そ
して、その大きさ2評価は、レーザのスペクトル線幅Δ
νを用いて行なわれている。なぜならば、レーザの周波
数雑音が白色雑音成分のみであると仮定しん場合、レー
ザ出力光のフィールドスペクトルはローレノツ型となり
、その半値全幅Δνは、白色雑音成分の係数に−2と、 Δν ; πに−〜 (2) とし)う簡単な関係を示すからである (例えば、大粒
、菊池共著「コヒーレント光通信工学1オーム社、19
89年)。実際に、半導体レーザの場合には、観θりさ
れるフィールドスペクトルかほぼローレノツ型である場
合か多く、Δνの測定により簡単に係数に、を見積るこ
とか可能となっている。
FSK of laser light (frequency 7 soft key ink) and p
Using SK (phase knot key innoh), n several hundred to 4
The performance of high-speed coherent optical communication systems faster than b/s is determined by the white noise component of these three noise components.
Mainly limited. For this reason, energetic research has been carried out on the white frequency noise of lasers. And its magnitude 2 evaluation is the spectral linewidth Δ of the laser
This is done using ν. This is because, assuming that the frequency noise of the laser is only a white noise component, the field spectrum of the laser output light is of the Lorenots type, and its full width at half maximum Δν is -2 to the coefficient of the white noise component, and Δν ; π This is because it shows a simple relationship (for example, Coherent Optical Communication Engineering 1 Ohmsha, 19
1989). In fact, in the case of a semiconductor laser, the field spectrum observed θ is often of the Lorenot type, and it is possible to easily estimate it as a coefficient by measuring Δν.

しかしながら、数M b / s以下の遅いコヒーレッ
ト光通信ノステムやあるいはフィートバック帯域か数5
IHz以下の光周波数安定化ノステム等においては、レ
ーザ9周波数雑音のうち、フリッカ雑音成分やラノグム
ウォーク雑音成分か、そのノステムの性能を大きく制限
する要因となり得る。しにかって、レーザの低周波数領
域での周波数雑音大きさ、すなわち(1)式中の係数に
一部、に一部を評価することも、工学応用上きわめて重
要である。第9図は、半導体レーザのこのような低周波
数領域での周波数雑音の測定を行なう為の従来装置の構
成を示している (例えば、菊池等、電気通信学会研究
会技術報告0QE83−23参照)。
However, slow coherent optical communication system of several Mb/s or less or feedback band of several 5
In an optical frequency stabilization nostem of IHz or less, the flicker noise component or ranogum walk noise component of the laser frequency noise can be a factor that greatly limits the performance of the nostem. Therefore, it is also extremely important for engineering applications to evaluate the magnitude of the frequency noise in the low frequency region of the laser, that is, to evaluate the magnitude of the frequency noise in the low frequency region, that is, to evaluate the coefficient in equation (1). Figure 9 shows the configuration of a conventional device for measuring the frequency noise of a semiconductor laser in such a low frequency range (see, for example, Kikuchi et al., Technical Report 0QE83-23 of the Institute of Electrical Communication Research Group). .

ここで、第9図に示しf二従来装置による測定原理を、
簡単に説明する。半導体レーザ21の光を、測定装置類
からの戻り光によって発振状態か変動することを防ぐた
めのアイル−タ22を透過させにのちに、ファブリ・ペ
ロ・エタロン231こ入射する。ファブリ・ペロ・エタ
ロン23は、第10図に示すような周期的透過特性を示
し、透過率ピークの肩の部分を用いることにより、光周
波数弁別器として利用される。すtわち、周波数雑音に
よる光周波数の揺らぎを、光強度の揺らぎすなわち光強
度雑音に変換する働きをする。この様子を、第1I図に
示した。このファブリ・ペロ・エタロン23からの透過
光強度は、フォトグイオート25て電気信号に変換され
る。従って、レーザの周波数雑音電カスベクトルは、こ
の電気信号の強度雑音電カスベクトルをスペクトラム・
アナライザ26によって観測することにより、測定する
ことがてきる。一方、ファブリ・ペロ・エタロン23か
らの透過光の一部はビームスプリッタ−24て分岐され
、フォトダイオード27によってその強度がモニターさ
れている。そして、この強度が一定となるように、レー
ザ発振周波数制御装置28によって半導体レーザ21の
発振周波数か制御される。
Here, the measurement principle using the f2 conventional device shown in Fig. 9 is as follows:
Explain briefly. The light from the semiconductor laser 21 is transmitted through an air filter 22 for preventing the oscillation state from changing due to return light from measurement devices, and then enters the Fabry-Perot etalon 231. The Fabry-Perot etalon 23 exhibits periodic transmission characteristics as shown in FIG. 10, and is used as an optical frequency discriminator by using the shoulder portion of the transmittance peak. That is, it functions to convert optical frequency fluctuations due to frequency noise into optical intensity fluctuations, that is, optical intensity noise. This situation is shown in FIG. 1I. The intensity of the transmitted light from the Fabry-Perot etalon 23 is converted into an electrical signal by the photoguioto 25. Therefore, the laser frequency noise electrical cassette vector is the intensity noise electrical cassette vector of this electrical signal as a spectrum
It can be measured by observing with the analyzer 26. On the other hand, a portion of the transmitted light from the Fabry-Perot etalon 23 is split by a beam splitter 24, and its intensity is monitored by a photodiode 27. Then, the oscillation frequency of the semiconductor laser 21 is controlled by the laser oscillation frequency control device 28 so that this intensity is constant.

〔発明か解決しようとする課題〕[Invention or problem to be solved]

しかしなから、第9図に示しL従来装置を用いて、低周
波数領域でのレーザの周波数雑音型カスベクトルを測定
する場合には、以下の問題点か生しる。
However, when measuring the frequency noise type cass vector of a laser in a low frequency region using the L conventional apparatus shown in FIG. 9, the following problems occur.

スペクトラムアナライザ26で測定されるのは、フォト
ダイオード25へ入射される光の強度雑音型カスベクト
ルである。しf二かって、その測定値には、ファブリ・
ペロ・エタロン23によって変換され1ニレーザの周波
数雑音による電カスベクトルたけてはなく、半導体レー
ザ21の出力光自体に含まれるレーザの強度雑音や、そ
の他の測定装置構成要素の機械的変動なとによって付加
される光強度揺らぎの電カスベクトルか重量してしまう
What is measured by the spectrum analyzer 26 is the intensity noise type cass vector of the light incident on the photodiode 25. However, the measured values include Fabry
The electrical flux vector is not due to the frequency noise of the laser converted by the Perot etalon 23, but is due to the laser intensity noise contained in the output light itself of the semiconductor laser 21 and mechanical fluctuations of other measurement equipment components. The electric scum vector due to the added light intensity fluctuation increases the weight.

しf二かつて、ファブリ・ペロ・エタロン23の光周波
数弁別感度が十分大きくなければ、周波数雑音を正確に
測定することは困難である。まrコ、測定値からに−3
といった周波数雑音スペクトル密度係数を見積るf二め
には、周波数雑音から強度雑音への変換係数を、あらか
しぬ測定により決定しておく必要かあり、その際の測定
誤差か測定確度に直接反映されてしまう。さらに、この
変換係数は、ファブリ・ペロ・エタロン23の透過率特
性のみならず、レーザ光の強度自体に依存する。二の・
様子を、模式化して第12図(a)に示し几。
However, unless the optical frequency discrimination sensitivity of the Fabry-Perot etalon 23 is sufficiently high, it is difficult to accurately measure frequency noise. Mako, from the measured value -3
Second, to estimate the frequency noise spectral density coefficient, it is necessary to determine the conversion coefficient from frequency noise to intensity noise by random measurement, and the measurement error at that time is directly reflected in the measurement accuracy. It will be done. Furthermore, this conversion coefficient depends not only on the transmittance characteristics of the Fabry-Perot etalon 23 but also on the intensity of the laser beam itself. Second...
The situation is schematically shown in Figure 12(a).

また、被測定半導体レーザ212発振光周波数を、フォ
トダイオード27およびレー枦発振周波数制御装置28
を用いてフィードバック制御する必要かあるのも、大き
な欠へである。ニニ・制御ループは、半導体レーザ21
の発振周波数らしくはファブリ・ペロ・エタロン23の
透過率特性か変動して、第12図(b)に示すように所
望の光周波数弁別特性か得られなくすることを防く働き
をする。一般に、低周波数領域でのスペクトル測定には
長い測定時間か必要である。第9図に示した従来装置に
おいては、例えば1OGHz間隔のファブリ・ペロ・エ
タロン23かよく利用されるか、方で、半導体レーザ2
1の発振周波数はきわめて不安定で数GHz程度の変動
は容易に生じ得る。しにかって、上述しt=フィートバ
ック制御は、実際の測定においては必要不可欠である。
In addition, the oscillation optical frequency of the semiconductor laser 212 to be measured is controlled by the photodiode 27 and the laser oscillation frequency control device 28.
It is also a major drawback that there is a need for feedback control using . The control loop is a semiconductor laser 21
The transmittance characteristic of the Fabry-Perot etalon 23 fluctuates due to the oscillation frequency of , which serves to prevent the desired optical frequency discrimination characteristic from being obtained as shown in FIG. 12(b). Generally, spectrum measurements in the low frequency range require long measurement times. In the conventional device shown in FIG.
The oscillation frequency of No. 1 is extremely unstable and can easily fluctuate by several GHz. Therefore, the above-mentioned t=feedback control is indispensable in actual measurements.

本発明の目的は、上記問題点を解決し、フリッカ雑音等
、レーザの低周波数領域での周波数雑音を正確かつ簡便
に測定できるように、強度雑音や強度揺らぎの影響を受
けにくく、かつフィートハック制御か不要であるレーザ
の周波数雑音測定装置を提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to provide a foot hack that is less susceptible to the effects of intensity noise and intensity fluctuations, so that frequency noise in the low frequency range of a laser, such as flicker noise, can be accurately and easily measured. An object of the present invention is to provide a laser frequency noise measuring device that does not require any control.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明は、第1図に示すように、被測定レーザ光を二分
岐する光分岐手段Aと、前記光分岐手段Aによって分岐
された一方の分岐光の周波数を他方の分岐光の周波数に
比してシフトさせろ光周波数偏移手段Bと、前記一方の
分岐光に比して他方の分岐光を遅延させる遅延手段Cと
、前記光周波数偏移手段Bおよび前記遅延手段Cによっ
て、その周波数および伝搬時間か相対的に変化せしめら
れた両分岐光を合波する光合波手段りと、前記光合波手
段りによって合波された両分岐光間におけるビート信号
を光ヘテロゲイン検出する光電変換手段Eと、前記ヒー
ト信号の周波数揺らぎ分散値を測定する周波数揺らぎ分
散測定手段Fとを具備することを特徴としている。
As shown in FIG. 1, the present invention includes a light branching means A that branches a laser beam to be measured into two, and a frequency ratio of one branched light branched by the light branching means A to a frequency of the other branched light. an optical frequency shifting means B, a delaying means C for delaying the other branched light relative to the one branched light, and the optical frequency shifting means B and the delaying means C shift the frequency and an optical multiplexing means for combining both branched lights whose propagation times have been relatively changed; and a photoelectric conversion means E for detecting an optical hetero gain of a beat signal between the two branched lights combined by the optical multiplexing means. , and a frequency fluctuation dispersion measuring means F for measuring a frequency fluctuation dispersion value of the heat signal.

〔作用〕[Effect]

上記の構成によれば、被測定光の一方の分岐光の光周波
数および伝搬時間を他方の分岐光に比して相対的に変化
させ、前記他方の分岐光との間てヒート信号を光へ千ロ
ダイン検出することにより、レーザの周波数雑音を、ヒ
ート信号の周波数雑音にダウンコンバートする。ここで
ヒートIN号の中心周波数は、光周波数偏移手段Bでの
周波数偏移量となるので、この値は、例えば数百MHz
から数GHzに設定することができろ。つまり、レーザ
の周波数雑音は、数百MHzから散GHzを中心としr
ニ電気信号の周波数雑音に変換される。そして、この電
気信号の周波数をある時間間隔でて連続的に多数回測定
した場合の分散値、すなわち周波数揺らぎ分散値を計算
することにより、もとのレーザの周波数雑音スペクトル
の大きさを見積ることが可能となる。
According to the above configuration, the optical frequency and propagation time of one branched light of the light to be measured are changed relative to those of the other branched light, and the heat signal is converted into light between the other branched light and the other branched light. The frequency noise of the laser is down-converted to the frequency noise of the heat signal by 1,000-rodyne detection. Here, the center frequency of heat IN is the amount of frequency deviation in optical frequency deviation means B, so this value is, for example, several hundred MHz.
It can be set to several GHz. In other words, the frequency noise of a laser ranges from a few hundred MHz to around a scattered GHz.
(2) The electrical signal is converted into frequency noise. Then, by calculating the dispersion value when the frequency of this electrical signal is continuously measured many times at a certain time interval, that is, the frequency fluctuation dispersion value, the size of the original frequency noise spectrum of the laser can be estimated. becomes possible.

なお、被測定光の一方の分岐光の光周波数および伝搬時
間を他方の分岐光に比して相対的に変化させてヒート信
号を光l\テロゲイン検出し、レーザの周波数雑音をヒ
ート信号?・周波数雑音にダウンコンバートして測定す
る部分は、菊池等により既に遅延自己l\テロダイン法
の名で提案されている従来技術である (例えば既出の
 コピーしノド先通信工学 第3章90〜94ペーノ参
照)。この遅延自己へテログイ7法は、ヒート信号のフ
ィルトスペクトルをスペクトラ−アナライザで観測し、
その線幅ΔしIFからレーザの白色周波数雑音成分の大
きざに、を評価才ろf二めに利用されている。本発明は
、この遅延自己へテロゲイン法に、ヒート信号の周波数
揺らぎ分散値の測定を新1ニに組み合ねtl!1ニ装置
とも言える。
Note that the optical frequency and propagation time of one branched light of the light to be measured are changed relative to those of the other branched light, and the heat signal is detected by optical l\tero gain, and the frequency noise of the laser is detected by comparing the frequency noise of the laser with the heat signal.・The part that down-converts to frequency noise and measures it is a conventional technique that has already been proposed by Kikuchi et al. under the name of the delayed self-telodyne method (for example, the previously mentioned Copy Throat Communication Engineering, Chapter 3, 90-94). (see Peno). This delayed self-heterogy7 method observes the filter spectrum of the heat signal with a spectrum analyzer,
The line width Δ and the IF are used to evaluate the size of the white frequency noise component of the laser. The present invention combines the delayed self-hetero gain method with the measurement of the frequency fluctuation dispersion value of the heat signal. It can also be said to be a single device.

二実絶倒7 以下、図面を参照して、本発明の実施例について、詳細
に説明する。
Two Real Zells 7 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第2図は、本発明の第1の実施例によるレーザの周波¥
1雑音測定装置の構成を示すブロック図である。この図
において、被測定レーザ光は、光カプラ31に入射され
て、2分岐される。一方9分岐光は、光フアイバ遅延線
32に導かれ、光カブラ3・1におし)て他方の・分岐
光と合波されるまでに、他ブノの分岐光に比して時間τ
rコけ9遅延を与えユ5れろ。ま1こ、他方の・分岐光
は、周波数f l +’の発振器33aにより駆動され
た音響先学変調器(へ0\1)33bにより、その光周
波数かflFだ:+ ノットされる。ここて、flFは
Vj’iえば250 Mtiz程度に設定される。音響
光学変調器33bによ【)周波数ノットされrコ他方の
分岐光は、偏波状態制御器38を介しに後、先カプラ3
4て一方の分岐光と合波される。合波された両先は、フ
ォトダイオド35によって光電変換される。そして、い
2′″1s″る光ヘテロダイノ検出により、中心周波数
flF C″)ヒート信号か検出される。なお、光カブ
ラ34て合波される両光において、その偏波状塾か直交
しているとヒート信号か検出されないrコめ、偏波状態
制御器38により極カ一致するように調整する。
FIG. 2 shows the frequency of the laser according to the first embodiment of the present invention.
1 is a block diagram showing the configuration of a noise measuring device. In this figure, the laser beam to be measured is incident on an optical coupler 31 and is split into two. On the other hand, the 9-branched light is guided to the optical fiber delay line 32 and sent to the optical coupler 3.1), which takes a longer time τ than the other branched lights.
Give R Koke 9 delay and U5. The other branched light is knotted by an acoustic pre-modulator (0\1) 33b driven by an oscillator 33a with a frequency fl+', which is the optical frequency flF:+. Here, flF is set to about 250 Mtiz for Vj'i. The other branched light, which is frequency-knotted by the acousto-optic modulator 33b, is sent to the coupler 3 after passing through the polarization state controller 38.
4 and is combined with one of the branched lights. Both ends of the combined light are photoelectrically converted by the photodiode 35. Then, the center frequency flF C'') heat signal is detected by the optical heterodyno detection at 2'''1s''.In addition, in the two lights combined by the optical coupler 34, their polarized waves are orthogonal to each other. If the heat signal is not detected, the polarization state controller 38 adjusts the polarity so that they match.

フォトダイオード35によって検出され1こヒート信号
は、増幅器39て適当なしt\ルにまで増幅され、電気
信号の周波数揺らぎ分散測定器36に加えられる。周波
数揺らぎ分散測定器36としては、例えは、横河・ヒユ
ーレットバッカー1〜社製の周波数・タイム・インター
バル・アナライザHP5371Aを使用する。
The single heat signal detected by the photodiode 35 is amplified to an appropriate level by an amplifier 39 and applied to an electric signal frequency fluctuation dispersion measuring device 36. As the frequency fluctuation dispersion measuring device 36, for example, a frequency time interval analyzer HP5371A manufactured by Yokogawa Hulett Bakker 1~ is used.

次に、上記構成のし・−ザ周波数雑音測定装置の知j作
、二ついて説明ずろ。
Next, let me explain the knowledge of the frequency noise measuring device with the above configuration.

まず始めに、周波数揺らぎ分散値と周e、数稚音電カス
ベクトルとの一般的ζ関係について説明する。周波数揺
らぎ分岐値σ2(τ)は、時間間隔τての平均周波数の
測定を、空き時間なして連続して\回行なうことにより
、 σ’(r)−Σ(J++、 −rt)’/ 2い−D 
−(3)と計算される。ここで、flは1番目に測定さ
れた平均周波数である。Nを無限大とすれば、σ2(τ
)はよく知られf二周波数揺らぎの尺度、アラン分散σ
ン′(τ)と、し。を平均周波数として、σ 2(τ 
)−し 。′ σ y’(τ )          
               (4)とL・う簡単な
関係を示す5すなわち、周波数揺らぎ分散σ2(τ)は
、正規化していないアラン分散こ相当する。従って、N
無限大でのσ2(τ)は、周波数雑音量カスベクトル密
度S (f)から次式により計算される(例えば、既出
の7時と周波数−22ページ参照)。
First, the general ζ relationship between the frequency fluctuation dispersion value, the frequency e, and the electronic cassette vector will be explained. The frequency fluctuation branch value σ2(τ) is obtained by measuring the average frequency at a time interval τ consecutively \ times with no idle time, and is calculated as σ′(r)−Σ(J++, −rt)′/2 I-D
−(3) is calculated. Here, fl is the first measured average frequency. If N is infinite, σ2(τ
) is a well-known measure of frequency fluctuation, the Allan variance σ
′(τ) and . is the average frequency, σ 2(τ
)-shi. ′ σ y'(τ )
(4) and L.5, which shows a simple relationship, that is, the frequency fluctuation variance σ2(τ) corresponds to the non-normalized Allan variance. Therefore, N
σ2(τ) at infinity is calculated from the frequency noise amount cass vector density S (f) by the following formula (for example, see the previous page 7 and Frequency-22).

例えば、半導体レーザの場合には、上式に(1)式を代
入することにより、 となる。これを、模式化して第3図に示しfニ。周波数
雑音電カスベクトルを模式化して示した第4図と比較し
て判るように、低周波数頌域の周波数雑音成分は、τを
大きく設定して周波数揺らぎ分散値σ2(τ)を測定す
ることにより、評価することかできれる。特に、フリッ
カ周波数雑音成分の大きさに一部は、τに依存しない周
波数揺らぎ分散値σ2を測定することにより、 に−*= a ’/ 21n2           
−−   (7)と容易に評価することか可能である。
For example, in the case of a semiconductor laser, by substituting equation (1) into the above equation, the following is obtained. This is schematically shown in Figure 3. As can be seen by comparing with Fig. 4, which schematically shows the frequency noise electric cassette vector, the frequency noise component in the low frequency range can be measured by setting τ large and measuring the frequency fluctuation dispersion value σ2 (τ). It is possible to evaluate according to the following. In particular, part of the magnitude of the flicker frequency noise component can be determined by measuring the frequency fluctuation variance value σ2 that does not depend on τ, so that −*= a′/21n2
-- It is possible to easily evaluate it as (7).

なお、実際の周波数揺らぎ分散の測定において5は宵限
回となるか、\〉10てあれば、N無限大でのσに対す
る測定値の標準偏差はに\−1″(但しKは一桁の定数
9となることか知られている(例えば、既出の時と周波
数−24ページ参照)。しにか−で、例えば、\=10
00とすれば、有限の5によって生じるσの測定誤差は
、10%以下とすることかできる。
In addition, in the actual measurement of frequency fluctuation dispersion, if 5 is the evening limit, or \>10, the standard deviation of the measured value for σ at N infinity is \-1'' (however, K is a single digit). It is known that the constant 9 becomes (for example, see the time and frequency page 24 mentioned above).For example, \=10
00, the measurement error of σ caused by the finite number 5 can be kept to 10% or less.

次に、第2図に示す本発明の第1の実施例において測定
されるビート信号の周波数揺らぎと、被測定レーザの周
波数雑音との関係を導く。2分岐光の間ての伝搬時間差
をτdとし1こ場合、フォトダイオード35によって検
出されるヒート信号の周波数雑音電カスベクトルの密度
S IF(r)は、レーザの周波数雑音電カスベクトル
の密度S (f)を用いて、 5IF(f)=23(f)・ (1−cos2rfrd
  )て与えられる。したかつて、ヒート信号7周洩数
揺式ぎ分散値σIF’(τ)は、(8)式を、5ノ式中
JS(r’)1”代フつりに代入する二とにより、計v
Jご7−7、。白色、フトノカ、ランゲニ、ウオーク[
^、芸数雑音成分による周波数揺らき分散値Ωン゛p結
果を、第5図(a) 、 (b:+ 、 (c)にそり
−ぞれ¥線で示。
Next, the relationship between the frequency fluctuation of the beat signal measured in the first embodiment of the present invention shown in FIG. 2 and the frequency noise of the laser to be measured will be derived. Let the propagation time difference between the two branched lights be τd.1 In this case, the density S of the frequency noise electric dust vector of the heat signal detected by the photodiode 35 IF(r) is the density S of the frequency noise electric dust vector of the laser. Using (f), 5IF(f)=23(f)・(1-cos2rfrd
) is given. Once, the heat signal 7 round cycle variance value σIF'(τ) can be calculated by substituting equation (8) into JS(r') 1'' in equation 5.
J Go 7-7,. White, Futonoka, Langeni, Walk [
The results of the frequency fluctuation dispersion value Ωnp due to the noise component are shown in Fig. 5 (a), (b: +, and (c) by the curved lines, respectively.

方1.屯線は、し−呼先自身二・周波数揺らご8勺f(
、’、 fat“・92倍をプロットしに0ので還る。
Way 1. The tonne line is 8 f(
,',fat"・92 times is plotted and returns 0.

して乃・J日jl −771なように、τ(τdてあれ
ば、第2図に承−A″未発明の第1の実施例9装置によ
−・て測定5〕−ろ周波数揺らぎ分散値:よ、レーザの
周波数揺らさ゛分散イl′1の2倍に一致する。ここで
2倍とζるニ:」、U延自己ヘテロダイン法で2分岐さ
r′、fニ先の周波数和音か足し合わされることに対r
、−する。
If τ (τd) is 771, then the frequency fluctuation is measured by the uninvented first embodiment 9 device in Figure 2. Dispersion value: y, the frequency fluctuation of the laser corresponds to twice the dispersion l'1. R for chords added together
,-do.

しf二かって、光フアイバ遅延線32による遅延τdと
、周波数揺らぎθり定時の時間間隔丁とを適当な値に設
定することにより、本発明の装置を用いて時間間隔τて
支配的tレーザ9周波数雑音成分の大きさを測定するこ
とか出来る。例えば、延&20kmの先ファイバを遅延
線として用いれ:」、τd〜100μsとなるので、τ
≦50μsでの周波数揺らぎ分散値か、測定結果を05
倍するという簡単な補正たけて、十分正確に測定するこ
とかできる。そして、さらに(6)式で与えられる関係
により、周波数雑音の大きさkaか評価できる。
Therefore, by setting the delay τd caused by the optical fiber delay line 32 and the fixed time interval τ of the frequency fluctuation θ to appropriate values, the device of the present invention can be used to detect the dominant t laser with the time interval τ. It is possible to measure the magnitude of 9-frequency noise components. For example, if a fiber with a length of 20 km is used as a delay line, τd ~ 100 μs, so τ
Frequency fluctuation dispersion value at ≦50μs or the measurement result is 05
A simple correction of multiplying can be used to obtain sufficiently accurate measurements. Further, the magnitude ka of the frequency noise can be evaluated using the relationship given by equation (6).

τは、例えば既出の周波数・タイム・インターバル・ア
ナライザHP 5371 Aを周波数揺らぎ分散測定器
36として用いれば、τ−600ns〜8sの間で任意
に設定できる。このアナライザは周波数を多数回測定し
、アラノ分散等を求める処理機能を有しているため、周
波数揺らぎ分散測定器36として用いることかできる。
τ can be arbitrarily set between τ-600 ns and 8 s, for example, by using the previously described frequency/time interval analyzer HP 5371 A as the frequency fluctuation dispersion measuring device 36. Since this analyzer has a processing function to measure the frequency many times and obtain Allano dispersion, etc., it can be used as the frequency fluctuation dispersion measuring device 36.

一方、例えば半導体レーザの周波数雑音を測定する場合
、典型的な白色及びフリッカ周波数雑音成分の大きさは
、それぞれ線幅ムシ−30MHz、τに依存しない周波
数揺らぎ分散値σ’−(I M Hz)’程度である。
On the other hand, when measuring the frequency noise of a semiconductor laser, for example, the magnitudes of typical white and flicker frequency noise components are determined by the linewidth - 30 MHz and the frequency fluctuation dispersion value σ' - (IM Hz) which does not depend on τ, respectively. 'That's about it.

この場合、(2)式および(7)式を用いれば、第3図
に示すモデル図において、白色とフリッカ両成分の交点
は5μs程度と計算される。したがって、τd= l 
OOμs1τ−50μsに設定すれば、本実施例の装置
によって、半導体レーザのフリッカ周波数雑音成分の大
きさか、簡単に評価する二とかてきる。まに、τ〈τd
をaにす複数のτての周波数揺らぎの分散値を測定オろ
ことにより、そのτ依存性を利用して周波数雑音成分の
種類を特定し1ニリ、複数の周波数雑音成分の・太さ5
を評価する二とO可能である。
In this case, using equations (2) and (7), the intersection point of both the white and flicker components is calculated to be approximately 5 μs in the model diagram shown in FIG. Therefore, τd=l
By setting OOμs1τ−50μs, the apparatus of this embodiment can easily evaluate the magnitude of the flicker frequency noise component of the semiconductor laser. Mani, τ〈τd
By measuring the dispersion value of the frequency fluctuation of multiple τ where a is a, the type of frequency noise component is identified using the τ dependence.
It is possible to evaluate 2 and O.

以上、第2図を参叩して説明しノ二本発明・−・第1の
実施例によれば、周波v!J、揺らぎ分散測定器36に
おいて電気信号の周波数揺らぎを測定器るf二め、カウ
ンタ等のディノタル回路を+Il用し1−コ・て、本質
的に強度雑音に影響されない周波数雑音の測定かできる
。また、遅延自己l\テロダイノ法を用いて光の周波数
雑音を直接電気の周波数雑音−\変換しているため、従
来装置にみられるような光周波数弁別感度といったパラ
メータか介在せす、確度の高い測定を容易に実現するこ
とか可能である。
The above is explained with reference to FIG. 2. According to the first embodiment of the present invention, the frequency v! J. The fluctuation dispersion measuring device 36 measures the frequency fluctuation of the electrical signal.Secondly, by using dinotal circuits such as counters, it is possible to measure frequency noise essentially unaffected by intensity noise. . In addition, since optical frequency noise is directly converted into electrical frequency noise using the delayed self-telodyno method, there is no need to use parameters such as optical frequency discrimination sensitivity, which is seen in conventional equipment, and the accuracy is high. It is possible to easily realize the measurement.

さらに、長い測定時間を必要とする低周波数領域での周
波数雑音測定の際ても、被θ11定レーザへのフィード
バック制御か不要で、簡便に測定することか可能となる
Furthermore, even when measuring frequency noise in a low frequency range that requires a long measurement time, feedback control to the θ11 constant laser is not required, making it possible to easily measure the noise.

なお、第2図に示しf二装置においては、光フアイバ遅
延線32と、音響先学変調器33bおよび偏波状態制御
器38とか異なる分岐光経路に設置されているか、何等
これに限定されるしのではな(、上述し几説明により明
らかζように、ともらの経路に、まf二とのような順番
で設置してしよい。
Note that in the f2 device shown in FIG. 2, the optical fiber delay line 32, the acoustic forward modulator 33b, and the polarization state controller 38 are installed in different branch optical paths, or are not limited to this. Shinodana(, As is clear from the above explanation, they may be placed in the order of Tora's path, Maf2, etc.).

ま几、複数の音響光学変調器を用いて周波数rの設定の
自由度を増やしてもよい。また光カプラ31.34のか
わりに、ハーフミラ−等の光分岐・合波手段を用いても
勿論構わない。まに、偏波保持ファイバに基づく光学配
線系を用いて光カブラ34ての合波時に常に両光の偏波
状態か直交せぬようにすることにより、偏波状態制御器
38を省略してしよい。
Alternatively, the degree of freedom in setting the frequency r may be increased by using a plurality of acousto-optic modulators. Further, in place of the optical couplers 31 and 34, it is of course possible to use optical branching/combining means such as a half mirror. Additionally, the polarization state controller 38 can be omitted by using an optical wiring system based on polarization-maintaining fibers to ensure that the polarization states of both lights are not orthogonal at all times when combining at the optical coupler 34. Shiyoi.

また、周波数揺らぎ分散測定器36として、既出のHP
5371Aのようなカウンタに基づいた装置のかわりに
、電気の周波数弁別器と、強度揺らぎ分散測定装置を組
み合わせて構成してらよい。
In addition, as the frequency fluctuation dispersion measuring device 36, the HP
Instead of a counter-based device such as the 5371A, an electric frequency discriminator and an intensity fluctuation dispersion measuring device may be combined.

この場合、強度雑音に本質的に影響されないという利点
か失うか、電気領域においては9峻かつ安定な周波数弁
別特性を容易に実現できる1こめ、弁別感度を高めて強
度雑音の影響か十分無視てきるように設定することかで
きる。この場合、従来技術と異なり、例えば両分岐光間
での偏波状態の変動rJとによる付加的を強度揺らぎか
測定に更″、影響を及ぼすか、これはAGC(自動利得
調整型)増幅器を用いることで解決できる。このような
I?lI波数揺らぎ分散測定器36の構成を示すブロッ
ク図を、第6Vに示しに。AI、C制御は、第9図を用
いて説明した従来装置におけるフィードバック制御に相
当する制御ではめるか、従来技術ではフィートバッグル
ープに光か介在しているのに対して、第6図に示しf二
回路では電気領域で閉じており、容易に高い安定度を実
現することかてきる。
In this case, whether we lose the advantage of being essentially unaffected by intensity noise or lose it, we can easily achieve a steep and stable frequency discrimination characteristic in the electrical domain. It can be configured to In this case, unlike the prior art, for example, the intensity fluctuation caused by the fluctuation rJ of the polarization state between the two branched lights will change and affect the measurement. A block diagram showing the configuration of such an I?lI wavenumber fluctuation dispersion measuring device 36 is shown in Section 6V.AI and C control are based on feedback in the conventional device explained using FIG. In the conventional technology, light is interposed in the foot bag loop, but in the f2 circuit shown in Figure 6, it is closed in the electrical region, and high stability is easily achieved. I have something to do.

次に、第7図は、本発明の第2の実施例の構成を示すブ
ロック図である。この第2の実施例の特徴とするところ
は、前述した第1の実施例において、光合波手段である
光カプラ34の出力を光ヘテロダイン検波する際に、単
一のフォトダイオード35を用いたのに代えて、バラン
スド・フォトダイオード45を用いる構成としr二!″
5.lこある。この場合、光カプラ34の分岐比を、2
つの出力ホトからの出射光パワーか等しくなるように設
定する。上記以外の構成は第2図に示し1こ第1の実施
例と全く同様であるのて、対応部分に同一符号を付して
その説明を省略する。
Next, FIG. 7 is a block diagram showing the configuration of a second embodiment of the present invention. The feature of this second embodiment is that in the first embodiment described above, a single photodiode 35 is used when performing optical heterodyne detection of the output of the optical coupler 34, which is an optical multiplexing means. Instead, a balanced photodiode 45 is used. ″
5. There are l. In this case, the branching ratio of the optical coupler 34 is set to 2.
The output light power from the two output photons is set to be equal. The configuration other than the above is shown in FIG. 2 and is completely the same as that of the first embodiment, so corresponding parts are given the same reference numerals and explanations thereof will be omitted.

このようにバランスド・フォトダイオード45て光ヘテ
ロゲイン検波することにより、先カプラ34により合波
された両分岐光か全て光電変換に利用されるため、測定
に必要な被測定レーザ光のパワーを低減することが可能
になる。また、音響光学変調器33bや先ファイバ遅延
線32といっrこ、分岐された先経路内に設置された回
路により生しる付加的な光強度揺らぎの影響をキャンセ
ルすることができるにめ、第6図を用いて説明したよう
な周波数揺らぎ分散測定器36を利用する場合に、強度
雑音の影響を軽減することかできるという利屯し有する
。このような実施例□による測定装置においても、第1
の実施例て説明したこの発明の特徴は、全て当てはまる
By performing optical heterogain detection using the balanced photodiode 45 in this way, all of the two branched lights combined by the front coupler 34 are used for photoelectric conversion, reducing the power of the laser beam to be measured required for measurement. It becomes possible to do so. In addition, since it is possible to cancel the influence of additional light intensity fluctuation caused by the acousto-optic modulator 33b, the fiber delay line 32, and the circuit installed in the branched destination path, When using the frequency fluctuation dispersion measuring device 36 as explained using FIG. 6, it has the advantage that the influence of intensity noise can be reduced. In the measuring device according to such embodiment □, the first
All the features of the invention described in the embodiments apply.

次に、第8図は、この発明の第3の実施例の構成を示す
ブロック図である。この第3の実施例の特徴とするとこ
ろは、光フアイバ遅延線32ての光損失を補償するため
に、光増幅器49を用いる構成にある。上記以外の構成
は、第2図に示しfコ第1の実施例と全く同様であるの
で、対応部分?同一符号を付してその説明を省略する。
Next, FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of a third embodiment of the present invention. The feature of this third embodiment is that an optical amplifier 49 is used to compensate for optical loss in the optical fiber delay line 32. The configuration other than the above is exactly the same as that of the first embodiment shown in FIG. 2, so are there corresponding parts? The same reference numerals are used to omit the explanation.

般に光ファイバの損失は例えば0 、2 dB/ km
と極島で小さいか、遅延時間をτd−1msと大きく設
定するrこめには200kmの遅延ファイバが必要とな
り、先ファイバ遅延線32ての損失が40dBと大きく
なってしまう。τの大きい値での周波数揺らぎ分散値を
測定する際には、τdl、大きく設定しなければならな
いので、この場合には、大きなレーザ光パワーか必要と
なってしまう。しかし、第8図に示すように光増幅器4
9を用いることにより、この要求条件は緩和され、大き
なτての測定も可能となる。
Generally, the loss of optical fiber is, for example, 0.2 dB/km.
In order to set the delay time as large as τd-1 ms, a delay fiber of 200 km is required, and the loss in the fiber delay line 32 becomes as large as 40 dB. When measuring the frequency fluctuation dispersion value with a large value of τ, τdl must be set large, and in this case, a large laser light power is required. However, as shown in FIG.
By using 9, this requirement is relaxed and it becomes possible to measure large τ.

まfこ、この第3の実施例においても、第2の実絶倒に
おいて説明したのと類似の構成で、より高い検出感度を
実現することか可能である。
Also, in this third embodiment, it is possible to achieve higher detection sensitivity with a configuration similar to that described in the second example.

:発明の効果〕 以上詳述した様に、本発明によれば、レーザの低周波数
領域ての周波数雑音、すなわちフリッカ周波数雑音成分
やランダムウオーク周波数雑音成分の大きさの評価を、
被測定レーザへのフィードバック制御による安定化を行
なう事なく、極めて簡便に行なうことかでき、さらに、
電気信号の周波数を測定するたぬ、従来のように光周波
数弁別感度に依存する事なく、また、被測定レーザの強
度雑音や他の光部品に起因する強度揺らぎの影響か著し
く軽減され、正確な周波数雑音の測定か可能となるとい
う効果が得られる。
:Effects of the Invention] As detailed above, according to the present invention, it is possible to evaluate the magnitude of frequency noise in the low frequency region of a laser, that is, the flicker frequency noise component and the random walk frequency noise component.
This can be done extremely easily without stabilizing the laser under test through feedback control, and furthermore,
By measuring the frequency of electrical signals, it does not rely on optical frequency discrimination sensitivity like in the past, and the effects of intensity fluctuations caused by the intensity noise of the laser to be measured and other optical components are significantly reduced, making it more accurate. This has the effect of making it possible to measure frequency noise.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の原理構成を示すブロック図、第2図は
本発明の第1の実施例の構成を示すブロック図、 第3図はレーザの周波数揺らぎ分散のモデルを説明する
ためのグラフ、 第4図はレーザの周波数雑音電力スベクトルニモデルを
説明するためのグラフ、 第5図(a)〜(c)は本発明の第1の実施例をH!L
・て411定される周波数揺ろぎ分散値の計算例を示セ
゛グラフ、 第6図は本発明の第1′:″)実施例の周e、数揺らぎ
分散測定器36の一構成例を示セーブロ2・“しζ、第
7図は本発明の第2の実施例の構成を示セーブロック図
、 第8図は本発明の第3の実施例の構成を示すブロック図
、 第9図は従来のレーザ周波数雑音測定装置の構成例を示
すブロック図、 第1O図は従来のレーザ周波数雑音測定装置のファブリ
・ヘロ・エタロン23の光周波数弁別特性を示すグラフ
、 第1+図は弁別特性による周波数雑音の強度雑音への変
換を説明するためのグラフ、 第12図(a)および(b)は光強度変動による光周波
数弁別感度の変化および光周波数弁別特性の変化を説明
するためのグラフである。 32 ・ 3a 3b 35 ・・ 36 ・・ 38 ・ 39 ・ 光カプラ、 光フアイバ遅延線、 発振器、 音響光学変調器、 先カプラ、 ・フォトダイオード、 ・・・周波数揺らぎ分散測定器、 偏波状態制御器、 ・増幅器。 S (f) 第4図 d2(τ) 09τ 第3図 誘8尤強厖 透S光強思 第12図
Fig. 1 is a block diagram showing the principle configuration of the present invention, Fig. 2 is a block diagram showing the configuration of the first embodiment of the invention, and Fig. 3 is a graph for explaining a model of laser frequency fluctuation dispersion. , FIG. 4 is a graph for explaining the frequency noise power Svectorini model of the laser, and FIGS. 5(a) to (c) show the first embodiment of the present invention. L
Figure 6 shows an example of the configuration of the frequency fluctuation dispersion measuring device 36 of the first embodiment of the present invention. 7 is a block diagram showing the configuration of the second embodiment of the present invention, FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of the third embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a block diagram showing the configuration of the third embodiment of the present invention. A block diagram showing an example of the configuration of a conventional laser frequency noise measurement device. Figure 1O is a graph showing the optical frequency discrimination characteristic of the Fabry-Herot etalon 23 of the conventional laser frequency noise measurement device. Figure 1+ shows the frequency according to the discrimination characteristic. Graphs for explaining the conversion of noise into intensity noise. FIGS. 12(a) and 12(b) are graphs for explaining changes in optical frequency discrimination sensitivity and changes in optical frequency discrimination characteristics due to variations in optical intensity. . 32 ・ 3a 3b 35 ・・ 36 ・・ 38 ・ 39 ・ Optical coupler, optical fiber delay line, oscillator, acousto-optic modulator, tip coupler, ・Photodiode, ...frequency fluctuation dispersion measuring device, polarization state controller , ・Amplifier. S (f) Figure 4 d2 (τ) 09τ Figure 3 Temperature 8 Yuqiang Transmission S Light Qiang Figure 12

Claims (1)

【特許請求の範囲】 被測定レーザ光を二分岐する光分岐手段と、前記光分岐
手段によって分岐された一方の分岐光の周波数を他方の
分岐光の周波数に比してシフトさせる光周波数偏移手段
と、 前記一方の分岐光に比して他方の分岐光を遅延させる遅
延手段と、 前記光周波数偏移手段および前記遅延手段によって、そ
の周波数および伝搬時間が相対的に変化せしめられた両
分岐光を合波する光合波手段と、前記光合波手段によっ
て合波された両分岐光間におけるビート信号を光ヘテロ
ダイン検出する光電変換手段と、 前記ビート信号の周波数揺らぎ分散値を測定する周波数
揺らぎ分散測定手段と、 を具備することを特徴とするレーザの周波数雑音測定装
置。
[Scope of Claims] Optical branching means for splitting a laser beam to be measured into two, and an optical frequency shift for shifting the frequency of one branched light branched by the optical branching means compared to the frequency of the other branched light. means, delay means for delaying the other branch light relative to the one branch light, and both branches whose frequencies and propagation times are relatively changed by the optical frequency shifting means and the delay means. an optical multiplexing means for combining light; a photoelectric conversion means for optically heterodyne detecting a beat signal between both branched lights combined by the optical multiplexing means; and a frequency fluctuation dispersion for measuring a frequency fluctuation dispersion value of the beat signal. A laser frequency noise measuring device comprising: a measuring means;
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Cited By (4)

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