JPH048030U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH048030U JPH048030U JP4783790U JP4783790U JPH048030U JP H048030 U JPH048030 U JP H048030U JP 4783790 U JP4783790 U JP 4783790U JP 4783790 U JP4783790 U JP 4783790U JP H048030 U JPH048030 U JP H048030U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- performance filter
- room
- clean
- thin tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
第１図は本考案に係るクリーンルームの実施例
を示す断面図、第２図は本考案に係るクリーンル
ームに適用された細管材の長さを決定する実験図
、第３図は従来のクリーンルームの概略構造図、
第４図は従来のクリーンルームのフイルタユニツ
トの実施例を示す断面図である。 １６……フアン、１８……ＨＥＡＰフイルタ、
４０……フイルタユニツト、５４……整流部材、
５８……細管材。
を示す断面図、第２図は本考案に係るクリーンル
ームに適用された細管材の長さを決定する実験図
、第３図は従来のクリーンルームの概略構造図、
第４図は従来のクリーンルームのフイルタユニツ
トの実施例を示す断面図である。 １６……フアン、１８……ＨＥＡＰフイルタ、
４０……フイルタユニツト、５４……整流部材、
５８……細管材。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 クリーンルームの天井面開口部に高性能フイル
タを取付けて、この高性能フイルタを通して清浄
エアを室内に吹き出すクリーンルームに於いて、 前記高性能フイルタの下流側に、レイノズル数
が２０００以下となる内径寸法の細管材を収束し
て形成される整流部材を敷設したことを特徴とす
るクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4783790U JPH048030U (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4783790U JPH048030U (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH048030U true JPH048030U (ja) | 1992-01-24 |
Family
ID=31564122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4783790U Pending JPH048030U (ja) | 1990-05-08 | 1990-05-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH048030U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007160249A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
| JP2010240586A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Panasonic Corp | フィルタ装置およびそれを搭載したファンフィルタユニット |
-
1990
- 1990-05-08 JP JP4783790U patent/JPH048030U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007160249A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ファンフィルターユニット |
| JP2010240586A (ja) * | 2009-04-07 | 2010-10-28 | Panasonic Corp | フィルタ装置およびそれを搭載したファンフィルタユニット |