JPH047320U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るマスフローコントローラ
の実施例を示す縦断面図、第２図は同じくバイパ
ス部材の断面図、第３図は従来のマスフローコン
トローラの一例を示す縦断面図である。 １……マスフローコントローラ本体、２……流
入口、３……流出口、６……バイパス部材、１０
……センサ部、１３……フランジ部、６３……環
状突起。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 本体に形成された流入口と流出口との間に、前
   記流入口からの流体が流れるセンサ部と、前記セ
   ンサ部と並列に別れて流体が流れるバイパス部と
   、前記センサ部とバイパス部との流体が合流して
   流れる流出路と、この流出路から上記流出口に流
   れる流量を制御するバルブ部とを有するマスフロ
   ーコントローラにおいて、上記バイパス部は複数
   のキヤピラリーチユーブを装着した後部と、上記
   流入口とバイパス部及びセンサ部に連通する流路
   を形成した前部とから成るバイパス部材であつて
   、かつ前記バイパス部材前部の流入口側の端面に
   環状突起を形成した外周に張出すフランジ部を設
   け、該フランジ部を前記本体に装着し、フランジ
   部の前記環状突起に固定部材を押し付けて前記バ
   イパス部材を密封接続したことを特徴とするマス
   フロートコントローラ。