JPH0453516U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0453516U JPH0453516U JP9546790U JP9546790U JPH0453516U JP H0453516 U JPH0453516 U JP H0453516U JP 9546790 U JP9546790 U JP 9546790U JP 9546790 U JP9546790 U JP 9546790U JP H0453516 U JPH0453516 U JP H0453516U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical encoder
- slits
- disk
- light emitting
- emitting element
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 241000899717 Itaya Species 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す断面図。第２図
は本考案のスリツト板を示す拡大断面図。第３図
は従来の技術を示す断面図。 １……移動スリツト円板、２……固定スリツト
板、３……軸、４……フランジ、５……ケース、
６……受光素子、７……発光素子、８……軸受、
９……移動スリツト円板、１０……固定スリツト
板谷、１１……発光素子、１２……受光素子、１
３……スリツト、１４……スリツト。
は本考案のスリツト板を示す拡大断面図。第３図
は従来の技術を示す断面図。 １……移動スリツト円板、２……固定スリツト
板、３……軸、４……フランジ、５……ケース、
６……受光素子、７……発光素子、８……軸受、
９……移動スリツト円板、１０……固定スリツト
板谷、１１……発光素子、１２……受光素子、１
３……スリツト、１４……スリツト。
Claims (1)
- 多数のスリツトを有する円板を、発光素子と受
光素子の間に介する光学式エンコーダにおいて、
単結晶シリコンを材料とし、異方性エツチングに
よりスリツトを形成したスリツト板を用いること
を特徴とする光学式エンコーダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9546790U JPH0453516U (ja) | 1990-09-11 | 1990-09-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9546790U JPH0453516U (ja) | 1990-09-11 | 1990-09-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0453516U true JPH0453516U (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=31834199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9546790U Pending JPH0453516U (ja) | 1990-09-11 | 1990-09-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0453516U (ja) |
-
1990
- 1990-09-11 JP JP9546790U patent/JPH0453516U/ja active Pending