JPH0447937U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0447937U JPH0447937U JP8926190U JP8926190U JPH0447937U JP H0447937 U JPH0447937 U JP H0447937U JP 8926190 U JP8926190 U JP 8926190U JP 8926190 U JP8926190 U JP 8926190U JP H0447937 U JPH0447937 U JP H0447937U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary table
- movable part
- fixed part
- table according
- fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
第１図ないし第３図は本考案の一実施例を示す
もので、第１図は全体構成の外観を示す斜視図、
第２図は全体構成の拡大縦断面図、第３図は第２
図の要部の拡大断面図、第４図ないし第６図は従
来例を示すもので、第４図は全体構成を示す平面
図、第５図は第４図の正面図、第６図は要部の拡
大断面図である。 １０……ロータリーテーブル、２０……固定部
、２１……箱体、２３……主室、２４……副室、
２５，３２……通気孔、３６……排気用フアン、
４０……可動部、５０……ターンテーブル、６０
……駆動手段としてのダイレクトドライブモータ
、６１……ステータ、６４……ロータ、７０……
流体軸受手段としてのエアーベアリング、７１，
７２，７３……隙間、７４……連通孔、７６……
噴射孔、７７……流路。
もので、第１図は全体構成の外観を示す斜視図、
第２図は全体構成の拡大縦断面図、第３図は第２
図の要部の拡大断面図、第４図ないし第６図は従
来例を示すもので、第４図は全体構成を示す平面
図、第５図は第４図の正面図、第６図は要部の拡
大断面図である。 １０……ロータリーテーブル、２０……固定部
、２１……箱体、２３……主室、２４……副室、
２５，３２……通気孔、３６……排気用フアン、
４０……可動部、５０……ターンテーブル、６０
……駆動手段としてのダイレクトドライブモータ
、６１……ステータ、６４……ロータ、７０……
流体軸受手段としてのエアーベアリング、７１，
７２，７３……隙間、７４……連通孔、７６……
噴射孔、７７……流路。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 固定部と可動部とを有し、前記可動部に設
けられるターンテーブルに一体的に装着される駆
動軸を有するロータリーテーブルにおいて、前記
駆動軸を直接回動させる駆動手段と、前記固定部
と可動部との摩擦を低減する流体軸受手段と、こ
の流体軸受手段に所定の流体を供給するとともに
固定部に穿設される連通孔とを備えることを特徴
とするロータリーテーブル。 (2) 請求項１記載のロータリーテーブルにおい
て、前記駆動手段はダイレクトドライブモータで
あることを特徴とするロータリーテーブル。 (3) 請求項１若しくは２記載のロータリーテー
ブルにおいて、前記流体軸受手段はエアーベアリ
ングであることを特徴とするロータリーテーブル
。 (4) 請求項３記載のロータリーテーブルにおい
て、前記可動部には、エアーベアリングと駆動手
段近傍とを連通させる流路が形成され、この流路
を通つて前記エアーベアリングのエアーが駆動手
段の冷却風として供給可能とされることを特徴と
するロータリーテーブル。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8926190U JPH0447937U (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 | |
| US07/750,568 US5239892A (en) | 1990-08-27 | 1991-08-26 | Rotating device |
| GB9118328A GB2248893B (en) | 1990-08-27 | 1991-08-27 | Rotating device |
| DE4128276A DE4128276A1 (de) | 1990-08-27 | 1991-08-27 | Rotationsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8926190U JPH0447937U (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447937U true JPH0447937U (ja) | 1992-04-23 |
Family
ID=31823125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8926190U Pending JPH0447937U (ja) | 1990-08-27 | 1990-08-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0447937U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107493A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | Thk株式会社 | 冷却構造を備える回転テーブル装置、冷却構造を備える回転ベアリング |
| JP2015180832A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-10-15 | 日本精工株式会社 | 回転機構、工作機械及び半導体製造装置 |
| US10788076B2 (en) | 2014-01-14 | 2020-09-29 | Nsk Ltd. | Rotation mechanism, machine tool, and semiconductor manufacturing device |
-
1990
- 1990-08-27 JP JP8926190U patent/JPH0447937U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009107493A1 (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-03 | Thk株式会社 | 冷却構造を備える回転テーブル装置、冷却構造を備える回転ベアリング |
| JP5484315B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2014-05-07 | Ｔｈｋ株式会社 | 冷却構造を備える回転テーブル装置 |
| JP2015180832A (ja) * | 2013-11-20 | 2015-10-15 | 日本精工株式会社 | 回転機構、工作機械及び半導体製造装置 |
| US10788076B2 (en) | 2014-01-14 | 2020-09-29 | Nsk Ltd. | Rotation mechanism, machine tool, and semiconductor manufacturing device |