JPH0447193A - Pump using bimorph displacement element - Google Patents

Pump using bimorph displacement element

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JPH0447193A
JPH0447193A JP15407090A JP15407090A JPH0447193A JP H0447193 A JPH0447193 A JP H0447193A JP 15407090 A JP15407090 A JP 15407090A JP 15407090 A JP15407090 A JP 15407090A JP H0447193 A JPH0447193 A JP H0447193A
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JP
Japan
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piston
displacement element
cylinder
fluid
lever member
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JP15407090A
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Japanese (ja)
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Mitsutoshi Kashiwazaki
柏崎 光俊
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Abstract

PURPOSE:To prevent the generation of pulsation to discharge flow discharged from the discharge opening of a casing by converting the vibration of a bimorph displacement element using a lever member so as to enlarge the discharge quantity a fluid, and disposing cylinders and pistons in pairs. CONSTITUTION:When a current is applied to plural piezoelectric ceramic plates 10a, 10b, these are expanded alternately, so that alternate bending displacement is generated to a bimorph displacement element 10 as a whole. As a result, a vibrating part 10e at one end of an elastic shim 10c is vibrated laterally with a fixed end part 10d as a fulcrum, and a connecting member 14 is also vibrated laterally. At the same time, one end part 9b of a lever member 9 is lifted with a center part 9a as a fulcrum and the other end part 9c is lowered, and thereby one piston 7 is lifted and the other piston 8 is lowered. Accordingly, a fluid taken in from an inlet 3 flows into a cylinder 5 and a fluid in a cylinder 6 flows out from a discharge opening 4.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はパイ、モルフ変位素子を用いたポンプに関する
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a pump using a pi-morph displacement element.

[従来の技術] 従来、装置の小型・軽量化あるいは省エネルギーを目的
として、バイモルフ変位素子を用いたポンプが開発され
ている。
[Prior Art] Conventionally, pumps using bimorph displacement elements have been developed for the purpose of making devices smaller and lighter or saving energy.

かかるポンプとしては、例えば、第3図に示した装置が
知られている。このポンプ20は、一端に流体吸入口2
1aと吐出口21bとが形成された筒状のシリンダ21
と、該シリンダ21内に摺動可能に配設されたピストン
22と、該シリンダ21の壁部に一端23aが固定され
他端部が振動部23bとなっているバイモルフ変位素子
23と、該バイモルフ変位素子23の振動部23bに、
裏面部に突設した支持用突片24aが固定されて支持さ
れている略円板状の共振板24と、該共振板24と前記
ピストン22との間に介在配設され、該ピストン22を
弾発的に支持するばね25と、を有して構成される。
As such a pump, for example, the device shown in FIG. 3 is known. This pump 20 has a fluid inlet 2 at one end.
A cylindrical cylinder 21 in which a discharge port 1a and a discharge port 21b are formed.
, a piston 22 slidably disposed within the cylinder 21, a bimorph displacement element 23 having one end 23a fixed to the wall of the cylinder 21 and the other end serving as a vibrating part 23b, and the bimorph In the vibrating part 23b of the displacement element 23,
A substantially disc-shaped resonance plate 24 is fixedly supported with a supporting protrusion 24a protruding from the back surface thereof, and is interposed between the resonance plate 24 and the piston 22 to support the piston 22. and a spring 25 for resilient support.

したがって、このポンプ20によれば、まず、バイモル
フ変位素子23の振動部23bを振動させることにより
、共振板24が振動する。これにより、ばね25に弾発
されたピストン22がシリンダ21内を摺動することに
なり、ピストン22が先端方向に摺動したときには吐出
口21bに配設した逆止弁27を開弁させて流体を吐出
すると共に、ピストン22が後端側に摺動するときには
、吸入口21aに配設した逆止弁26を開弁させてシリ
ンダ21内に流体を吸入する。
Therefore, according to this pump 20, first, by vibrating the vibrating portion 23b of the bimorph displacement element 23, the resonance plate 24 is vibrated. As a result, the piston 22 urged by the spring 25 slides inside the cylinder 21, and when the piston 22 slides in the distal direction, the check valve 27 disposed at the discharge port 21b is opened. When fluid is discharged and the piston 22 slides toward the rear end, a check valve 26 disposed at the suction port 21 a is opened to suck fluid into the cylinder 21 .

[発明が解決しようとする課題] しかしながら、かかるポンプ20は次のような問題点が
ある。
[Problems to be Solved by the Invention] However, the pump 20 has the following problems.

すなわち、バイモルフ変位素子23の振動を増幅させて
ピストン22の摺動範囲を大きくするにあたって、共振
板24とばね25を用いた構成である。したがって、流
体吐出量はばね25の強さに比例するため、吐出量を大
にするためにばばね25の弾発力を強くしなければなら
ない。しかし、該ばね25の弾発力があまりに強い場合
には、バイモルフ変位素子23を振動させても共振板2
4が振動せず、逆に流体を吐出することができなくなる
という問題がある。
That is, the structure uses the resonance plate 24 and the spring 25 to amplify the vibration of the bimorph displacement element 23 and enlarge the sliding range of the piston 22. Therefore, since the amount of fluid discharged is proportional to the strength of the spring 25, the elastic force of the spring 25 must be increased in order to increase the amount of fluid discharged. However, if the elastic force of the spring 25 is too strong, even if the bimorph displacement element 23 is vibrated, the resonant plate 2
4 does not vibrate, and conversely there is a problem that fluid cannot be discharged.

また、ピストン22が吸引方向に摺動している場合には
、流体は吐出されず、吐出流に脈動を生じるという問題
もある。
Further, when the piston 22 is sliding in the suction direction, the fluid is not discharged and there is a problem that pulsation occurs in the discharge flow.

本発明はかかる問題点を解消し、簡単な構造でピストン
の摺動範囲を従来のものよりも大きくし、流体吐出量を
より大きくすることができ、さらには、脈動することな
(一定した吐出流を得ることができる新規構造のバイモ
ルフ変位素子を用いたポンプの提供を目的とする。
The present invention solves these problems, makes the sliding range of the piston larger than conventional ones, and makes it possible to increase the amount of fluid discharged with a simple structure. The object of the present invention is to provide a pump using a bimorph displacement element with a new structure that can obtain a flow.

[課題を解決するための手段] 本発明のバイモルフ変位素子は上記目的を達成するため
、吐出口及び吸入口を有するケーシングと、該吐出口に
連通させて設けた支管部と、先端吐出部が該支管部に連
通接続され、該ケーシング内に配設されたシリンダと、
流体通過孔を有すると共に、該流体通過孔を開閉する逆
止弁が取り付けられ、該シリンダ内に配設されたピスト
ンと、端部が該ピストンのピストンロッドに連結される
と共に、略中心部が該ケーシング内の任意位置に軸着さ
れて配設されたてこ部材と、一端を該ケーシング内の任
意位置に固定し、他端振動部を該てこ部材に連結して配
設したバイモルフ変位素子と、を有してなり、前記バイ
モルフ変位素子に通電して振動させることにより、前記
てこ部材をその略中心部を支点として回動させ、前記ピ
ストンを前記シリンダ内において摺動可能に設けたこと
を特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the bimorph displacement element of the present invention includes a casing having a discharge port and a suction port, a branch pipe portion provided in communication with the discharge port, and a distal end discharge portion. a cylinder connected to the branch pipe and disposed within the casing;
It has a fluid passage hole, and a check valve for opening and closing the fluid passage hole is attached to the piston disposed in the cylinder, and the end part is connected to the piston rod of the piston, and the approximately center part is connected to the piston rod of the piston. a lever member disposed by being pivoted at an arbitrary position within the casing; and a bimorph displacement element having one end fixed at an arbitrary position within the casing and a vibrating section at the other end connected to the lever member. , the bimorph displacement element is energized and vibrated to rotate the lever member about its substantially central portion as a fulcrum, and the piston is slidably provided within the cylinder. Features.

また、本発明の好ましい実施態様においては、前記シリ
ンダとピストンをそれぞれ2個一対配設すると共に、前
記てこ部材の両端部に、各ピストンのピストンロッドを
連結し、該各ピストンを交互に摺動可能に設けてなる。
In a preferred embodiment of the present invention, the cylinders and pistons are arranged in pairs, and the piston rods of each piston are connected to both ends of the lever member, and the pistons are slid alternately. It will be possible.

[作 用] かかる構成では、バイモルフ変位素子に通電すると、該
バイモルフ変位素子の振動部が振動する。これにより、
てこ部材がその略中心部を支点として回動運動を行ない
、該てこ部材の端部にピストンロッドを介して連結され
たピストンがシリンダ内を摺動する。
[Function] In this configuration, when the bimorph displacement element is energized, the vibrating part of the bimorph displacement element vibrates. This results in
The lever member rotates about its substantially central portion as a fulcrum, and a piston connected to an end of the lever member via a piston rod slides within the cylinder.

該ピストンがシリンダ内を後端方向に摺動するときには
、逆止弁が開弁ルでケーシングに形成した吸入口より流
体を吸入する。一方、該ピストンがシリンダ内を先端方
向に摺動するときには、逆上弁が閉弁して吐出口より流
体が外部へ吐出される。
When the piston slides in the cylinder toward the rear end, the check valve opens to suck in fluid from an inlet formed in the casing. On the other hand, when the piston slides in the cylinder toward the distal end, the reverse valve closes and fluid is discharged to the outside from the discharge port.

このとき、てこ部材によりピストンを摺動させているた
め、てこの原理により、バイモルフ変位素子の振動量に
対するピストンの摺動量は極めて大きい。
At this time, since the piston is slid by the lever member, the amount of sliding of the piston relative to the amount of vibration of the bimorph displacement element is extremely large due to the lever principle.

しかも、本発明の好ましい実施態様においては、2つの
シリンダの先端吐出部より交互に流体が吐出されている
ため、ケーシングの吐出口から流出する吐出流に脈動が
生じない。
Moreover, in a preferred embodiment of the present invention, since the fluid is alternately discharged from the distal end discharge portions of the two cylinders, no pulsation occurs in the discharge flow flowing out from the discharge port of the casing.

[実施例] 以下、図面に示した実施例に基づき本発明をさらに詳細
に説明する。
[Example] Hereinafter, the present invention will be explained in more detail based on the example shown in the drawings.

図において、lは本実施例のバイモルフ変位素子を用い
たポンプを示し、主としてケーシング2、シリンダ5,
6、ピストン7.8、てこ部材9、バイモルフ変位素子
IOから構成される。
In the figure, l indicates a pump using the bimorph displacement element of this embodiment, which mainly includes a casing 2, a cylinder 5,
6, a piston 7.8, a lever member 9, and a bimorph displacement element IO.

ケーシング2は、その適宜部位に吸入口3及び吐出口4
が形成されている。また、吐出口4からは支管部4a、
4bが、例えば、ケーシング2の壁部を穿設することに
より、分岐形成されていると共に、該支管部4a、4b
の中途には、逆止弁4c、4dが配設されている。
The casing 2 has an inlet 3 and an outlet 4 at appropriate locations.
is formed. Further, from the discharge port 4, a branch pipe portion 4a,
4b is formed into a branch by, for example, drilling a wall portion of the casing 2, and the branch pipe portions 4a, 4b
Check valves 4c and 4d are disposed in the middle.

シリンダ5,6は、ケーシング2の内部において、先端
吐出部5a、6aをそれぞれ上記吐出口4から分岐させ
た支管部4a、4bに連通接続させて配設されている。
The cylinders 5 and 6 are disposed inside the casing 2 so that their distal end discharge portions 5a and 6a are connected to branch pipe portions 4a and 4b branched from the discharge port 4, respectively.

なお、このシリンダ5.6は該ケーシング2と一体に成
形してもよいし、別部材で構成してもよい。
Note that the cylinder 5.6 may be molded integrally with the casing 2, or may be constructed as a separate member.

このシリンダ5.6の後端開口部5b、6bからは、ピ
ストン7.8が摺動可能に挿入配設されている。また、
このピストン7.8にはそれぞれ流体通過孔7a、8a
が穿設されており、かつ、該流体通過孔7a、8aを開
閉する逆止弁7b。
A piston 7.8 is slidably inserted into the rear end openings 5b, 6b of the cylinder 5.6. Also,
This piston 7.8 has fluid passage holes 7a, 8a, respectively.
A check valve 7b is provided with a check valve 7b which opens and closes the fluid passage holes 7a and 8a.

8bが、例えば、第1図に示すように、該ピストン7.
8の先端面に取り付けられている。さらに、このピスト
ン7.8の後端側には、ピストンロッド7c、8cが突
設されており、後述のてこ部材9と連結されている。
8b is the piston 7.8b, for example, as shown in FIG.
It is attached to the tip surface of 8. Furthermore, piston rods 7c and 8c are provided protruding from the rear end side of the piston 7.8 and are connected to a lever member 9, which will be described later.

てこ部材9は、支点となる略中心部9aが、上記シリン
ダ5,6の後端開口部5b、6bと対向するケーシング
2の内面に設けた突片2aに、軸ビン11により回転自
由に軸支されて配設されている。そして、このてこ部材
9の両端部9b。
The lever member 9 has a substantially central portion 9a serving as a fulcrum that is freely rotatably pivoted by a shaft pin 11 onto a protrusion 2a provided on the inner surface of the casing 2 facing the rear end openings 5b and 6b of the cylinders 5 and 6. It is supported and arranged. And both ends 9b of this lever member 9.

9cには、上記したようにピストンロッド7c。9c is the piston rod 7c as described above.

8cの端部がそれぞれビン12.13により枢支されて
いる。
The ends of 8c are each pivoted by a pin 12.13.

バイモルフ変位素子10は、長さ方向に伸縮する2枚の
圧電セラミック板10a、lObと、該圧電セラミック
板10a、lOb間に挟持されると共に、一方の端部あ
るいは図面に示すように両端部が該圧電セラミック板1
0a、lOb間から突出する程度の長さを有する弾性シ
ム10cとから構成されている。また、圧電セラミック
板1’Oa、10bからは図示しないリード線がそれぞ
れ引出されており、外部電源あるいはケーシング2内の
適宜位置に配設した電池と接続されている。
The bimorph displacement element 10 is sandwiched between two piezoelectric ceramic plates 10a and 1Ob that expand and contract in the length direction, and one end or both ends are formed as shown in the drawing. The piezoelectric ceramic plate 1
The elastic shim 10c has a length that protrudes from between 0a and 1Ob. Further, lead wires (not shown) are drawn out from the piezoelectric ceramic plates 1'Oa and 10b, respectively, and are connected to an external power source or a battery disposed at an appropriate position within the casing 2.

このバイモルフ変位素子10は、上記てこ部材9の配設
方向と略直交するように配設され、弾性シムlocの一
端部10dがケーシング2のシリンダ5.6が固定され
ている側の壁部に設けられた凹部2bに嵌合固定される
と共に、他端振動部10eがてこ部材9と連結されてい
る。具体的には、第2図に示したように、該てこ部材9
において、支点9aと弾性シム10cとの間に穿設した
縦長の長孔9dに、該弾性シム10cの他端振動部10
eを挟持している二股状の連結部材14を、可動ビン9
fを挿通して連結した構造である。
This bimorph displacement element 10 is arranged so as to be substantially perpendicular to the arrangement direction of the lever member 9, and one end 10d of the elastic shim loc is attached to the wall of the casing 2 on the side where the cylinder 5.6 is fixed. It is fitted and fixed into the provided recess 2b, and the other end vibrating section 10e is connected to the lever member 9. Specifically, as shown in FIG.
, the other end vibrating portion 10 of the elastic shim 10c is inserted into the vertically long hole 9d bored between the fulcrum 9a and the elastic shim 10c.
The bifurcated connecting member 14 holding the e is connected to the movable bottle 9
This is a structure in which f is inserted and connected.

本実施例のバイモルフ変位素子を用いたポンプ1は次の
ように作用する。
The pump 1 using the bimorph displacement element of this embodiment operates as follows.

まず、圧電セラミック板10a、10bに電流を流すと
、その一方10aが伸びたときには他方10bが縮み、
他方10bが伸びたときには一方10aが縮むため、バ
イモルフ変位素子10は全体として交互に屈曲変位を起
こす。
First, when a current is passed through the piezoelectric ceramic plates 10a and 10b, when one of them 10a expands, the other 10b contracts.
Since one side 10a contracts when the other side 10b extends, the bimorph displacement element 10 as a whole alternately undergoes bending displacement.

その結果、弾性シム10cは固定端部10dを支点とし
て他端振動部10eが図面上左右に振動する。これによ
り、該他端振動部10eを挟持している連結部材14も
同じく左右に振動することになる。
As a result, the elastic shim 10c uses the fixed end portion 10d as a fulcrum, and the other end vibrating portion 10e vibrates from side to side in the drawing. As a result, the connecting member 14 holding the other end vibrating portion 10e also vibrates left and right.

そして、他端振動部10e及び連結部材14が図面上右
側に振動したときには、可動ビン9fが長孔9eの右側
孔壁を押圧するので、てこ部材9は、その略中央部9a
を支点としてその一端部9bを図面上上方に移動させる
と共に、他端部9cを下方に移動させて、一方のピスト
ン7をシノンダ後端5b側に摺動させると共に、他方の
ピストン8をシリンダ6の先端吐出部6a側に摺動させ
る。したがって、一方のピストン7の逆止弁7bは開弁
されて、吸入口3から取り入れられた流体が流体通過孔
7aを通過してシリンダ5内に流入すると共に、他方の
ピストン8は逆止弁8bが閉弁作動するためシリンダ6
内の流体を支管部4bへ送り出し、さらに該支管部4b
に配設されている逆止弁4dを開弁させて吐出口4から
流体を外部へ送り出す。このとき、他方の支管部4aに
配設されている逆上弁4cは閉弁作動するので、他方の
支管部4aに流体は流入せず吐出口4のみから吐出され
る。
When the other end vibrating portion 10e and the connecting member 14 vibrate to the right in the drawing, the movable bottle 9f presses the right side hole wall of the elongated hole 9e, so the lever member 9
is used as a fulcrum to move one end 9b upward in the drawing and the other end 9c downward to slide one piston 7 toward the rear end 5b of the cylinder, and move the other piston 8 toward the cylinder 6. slide it toward the distal end discharge part 6a side. Therefore, the check valve 7b of one piston 7 is opened, and the fluid taken in from the suction port 3 passes through the fluid passage hole 7a and flows into the cylinder 5, and the other piston 8 is opened. Since cylinder 8b closes, cylinder 6
The fluid inside is sent out to the branch pipe part 4b, and further the fluid is sent to the branch pipe part 4b.
The check valve 4d disposed in is opened to send fluid out from the discharge port 4. At this time, the reverse valve 4c disposed in the other branch pipe section 4a is closed, so that the fluid is discharged only from the discharge port 4 without flowing into the other branch pipe section 4a.

一方、バイモルフ変位素子10が逆に図面上左側に振動
した場合には、上記と異なり、可動ビン9fが長孔9e
の左側孔壁を押圧して、他方のピストン8を上方に移動
せしめてシリンダ6内に流体を吸入する一方、一方のピ
ストン7をシリンダ5の先端吐出部5a側に摺動せしめ
、吐出口4から流体が吐出される。
On the other hand, when the bimorph displacement element 10 vibrates to the left in the drawing, unlike the above case, the movable bin 9f moves to the elongated hole 9e.
The other piston 8 is moved upward to suck fluid into the cylinder 6 by pressing the left side hole wall of the cylinder 5, while the other piston 7 is slid toward the distal end discharge portion 5a of the cylinder 5, and the Fluid is discharged from.

このとき、流体の吐出量は、バイモルフ変位素子10の
振幅量をてこ部材9によりピストン7゜8の摺動量とし
て変換しているので、該バイモルフ変位素子10の振幅
量に対するピストン7.8の摺動量は非常に大きく、流
体吐出量は従来のものと比較して大きなものである。
At this time, the amount of fluid discharged is determined by converting the amplitude of the bimorph displacement element 10 into the sliding amount of the piston 7.8 by the lever member 9. The amount of movement is very large, and the amount of fluid discharged is large compared to conventional ones.

また、2つのシリンダ及びピストンを交互に作動させて
いるため、吐出口4からは常時流体が吐出される。
Furthermore, since the two cylinders and pistons are operated alternately, fluid is constantly discharged from the discharge port 4.

なお、本発明のバイモルフ変位素子を用いたボンブは上
記した実施例に何ら限定されるものではない。例えば、
上記実施例では、シリンダ5.6及びピストン7.8を
各々2個一対配設し、吐出口4から排出される流体に脈
動が生じない構成としたが、シリンダ及びピストンを一
組とし、てこ部材9のいずれか一方の端部にはおもり部
材等を取付けて流体を吐出する構造とすることもできる
。この場合にも、流体の吐出量は従来のものより大きな
ものである。
Note that the bomb using the bimorph displacement element of the present invention is not limited to the above-described embodiments. for example,
In the above embodiment, two cylinders 5.6 and two pistons 7.8 were arranged in pairs to prevent pulsation from occurring in the fluid discharged from the discharge port 4. It is also possible to have a structure in which a weight member or the like is attached to one end of the member 9 to discharge fluid. Also in this case, the amount of fluid discharged is larger than that of the conventional method.

[発明の効果] 本発明のバイモルフ変位素子を用いたポンプによれば、
てこ部材を用いてバイモルフ変位素子の振動を変換して
いるため、流体の吐出量が従来のものと比較して大きい
。また、シリンダ及びピストンを2個一対配設すること
によりケーシグの吐出口から吐出される吐出流に脈動が
生じることを防止できる。
[Effects of the Invention] According to the pump using the bimorph displacement element of the present invention,
Since the vibration of the bimorph displacement element is converted using a lever member, the amount of fluid discharged is larger than that of the conventional type. Further, by arranging the cylinder and the piston in pairs, it is possible to prevent pulsation from occurring in the discharge flow discharged from the discharge port of the casing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明のバイモルフ変位素子を用いたポンプの
一実施例を示す断面図、第2図は−に部材の作動を説明
するための部分的拡大図、第3図は従来のポンプを示す
断面図、である。 1・・・・・・ポンプ 2−・・・・ケーシング 3・・・・・・吸入口 4・・−・・・吐出口 5.6・・・・・・シリンダ 7.8・・・・・・ピストン 9・・・−・・てこ部材 10・・・・・・バイモルフ変位素子
Fig. 1 is a sectional view showing an embodiment of a pump using the bimorph displacement element of the present invention, Fig. 2 is a partially enlarged view for explaining the operation of the members, and Fig. 3 is a cross-sectional view of a conventional pump. FIG. 1... Pump 2... Casing 3... Suction port 4... Discharge port 5.6... Cylinder 7.8... ... Piston 9 ... Lever member 10 ... Bimorph displacement element

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)吐出口及び吸入口を有するケーシングと、 該吐出口に連通させて設けた支管部と、 先端吐出部が該支管部に連通接続され、該ケーシング内
に配設されたシリンダと、 流体通過孔を有すると共に、該流体通過孔を開閉する逆
止弁が取り付けられ、該シリンダ内に配設されたピスト
ンと、 端部が該ピストンのピストンロッドに連結されると共に
、略中心部が該ケーシング内の任意位置に軸着されて配
設されたてこ部材と、 一端を該ケーシング内の任意位置に固定し、他端振動部
を該てこ部材に連結して配設したバイモルフ変位素子と
、 を有してなり、前記バイモルフ変位素子に通電して振動
させることにより、前記てこ部材をその略中心部を支点
として回動させ、前記ピストンを前記シリンダ内におい
て摺動可能に設けたことを特徴とするバイモルフ変位素
子を用いたポンプ。
(1) A casing having a discharge port and a suction port, a branch pipe section provided in communication with the discharge port, a cylinder whose distal end discharge section is communicatively connected to the branch pipe section and disposed within the casing, and a fluid. A piston having a passage hole and a check valve for opening and closing the fluid passage hole is attached, and the piston is disposed within the cylinder. a lever member disposed by being pivoted at an arbitrary position within the casing; a bimorph displacement element having one end fixed at an arbitrary position within the casing and a vibrating section at the other end connected to the lever member; The bimorph displacement element is energized and vibrated to rotate the lever member about its substantially center portion as a fulcrum, and the piston is slidably provided within the cylinder. A pump using a bimorph displacement element.
(2)前記シリンダとピストンをそれぞれ2個一対配設
すると共に、前記てこ部材の両端部に、各ピストンのピ
ストンロッドを連結し、該各ピストンを交互に摺動可能
に設けてなる請求項1記載のバイモルフ変位素子を用い
たポンプ。
(2) A pair of each of the cylinders and two pistons is provided, and a piston rod of each piston is connected to both ends of the lever member, so that the pistons are slidably provided alternately. A pump using the bimorph displacement element described above.
JP15407090A 1990-06-14 1990-06-14 Pump using bimorph displacement element Pending JPH0447193A (en)

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JP15407090A JPH0447193A (en) 1990-06-14 1990-06-14 Pump using bimorph displacement element

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