JPH0446859Y2 - - Google Patents
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- JPH0446859Y2 JPH0446859Y2 JP1985201323U JP20132385U JPH0446859Y2 JP H0446859 Y2 JPH0446859 Y2 JP H0446859Y2 JP 1985201323 U JP1985201323 U JP 1985201323U JP 20132385 U JP20132385 U JP 20132385U JP H0446859 Y2 JPH0446859 Y2 JP H0446859Y2
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- turntable
- groove
- substrate
- shaped
- shaped space
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Landscapes
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、平滑な円板状乃至はドーナツ状の基
板の上面に溶液乃至は分散液を供給し、回転運動
によつて、所定の膜状構造を該基板上に形成させ
ることを目的として用いられるスピンコーターの
回転部分、即ちターンテーブルの構造に関するも
のである。[Detailed description of the invention] [Industrial application field] The present invention supplies a solution or dispersion liquid onto the upper surface of a smooth disk-shaped or donut-shaped substrate, and forms a predetermined film by rotational movement. The present invention relates to the structure of a rotating part of a spin coater, that is, a turntable, which is used for the purpose of forming a shaped structure on the substrate.
スピンコーターを用いて円板状乃至はドーナツ
状の基板に溶液乃至は分散液を回転塗布する場
合、ターンテーブル上に適当な方法で固定保持さ
れた基板の外周辺縁から、ターンテーブルの回転
数に応じて、溶液乃至は分散液が基板から離脱
し、液滴状或いは飛沫状となつてターンテーブル
を収容するケース内を飛行し、ケースの内壁に衝
突し、更に細分され、ケース内の空間に浮遊する
程度の微細なミストとなる。このように基板から
離脱した溶液乃至分散液の一部は、基板上に形成
されつつある膜の上に落下定着して、膜構造に好
ましくない斑点状の不均一部分を付与する結果と
なる。斯かる弊害に対する従来行われている対策
としては、ターンテーブルを収容するケース内を
排気し、生成したミストを気流と共にケース外に
除去する方法があるが、ターンテーブル上部の強
制対流によつて溶剤の蒸発を促進し、均一な膜形
成を妨げる場合が多かつた。
When a solution or dispersion is spin-coated onto a disc-shaped or donut-shaped substrate using a spin coater, the rotation speed of the turntable is Depending on the situation, the solution or dispersion liquid separates from the substrate, becomes droplets or droplets, flies inside the case that houses the turntable, collides with the inner wall of the case, and is further subdivided to fill the space inside the case. It becomes a fine mist that floats in the air. A portion of the solution or dispersion liquid separated from the substrate in this manner falls and settles on the film that is being formed on the substrate, resulting in undesirable spot-like non-uniform portions being imparted to the film structure. Conventional countermeasures against such problems include evacuating the inside of the case that houses the turntable and removing the generated mist from the case together with the airflow. evaporation and often impeded uniform film formation.
本考案のターンテーブルは前記の様な問題点を
解決する目的で使用される。
The turntable of the present invention is used to solve the above-mentioned problems.
即ち、ターンテーブルの外周部に位置し、中心
に向かつて開口した溝状の空間部分を設け、該溝
状空間部分を、ターンテーブルが静止している時
及び回転している時に、溶液乃至分散液の３立方
センチメートル以上を保持し得るようにし、回転
塗布の操作中における、基板上に斑点状の不均一
部分を生成するミストの発生を防止することを可
能にしたものである。この溝状空間部分に保持し
得る溶液乃至は分散液の量は、塗布に使用する該
溶液乃至分散液の体積量に応じて決定され、機械
的な加工操作により容易に製作可能である。 That is, a groove-shaped space part located on the outer periphery of the turntable and opening toward the center is provided, and the groove-shaped space part is used for dispersing the solution or dispersion when the turntable is stationary and rotating. This makes it possible to hold 3 cubic centimeters or more of the liquid, and prevents the generation of mist that causes uneven spots on the substrate during the spin coating operation. The amount of solution or dispersion that can be held in this groove-like space is determined depending on the volume of the solution or dispersion used for coating, and can be easily manufactured by mechanical processing operations.
本考案のターンテーブルは、基本的に円板状構
造を有し、その外周部に、底面部６と立ち上がり
部７及び立ち上がり部先端から円板の中心に向か
つて折り込まれた折込み部８から形成される、即
ち断面略コ字状の、円板の中心に向かつて開口し
た溝状の空間部分３を設け、折込み部８の下面は
基板１の位置よりも高く形成され、該溝状空間部
分を、静止時及び回転時に流動性を持つた液体の
３立方センチメートル以上を保持し得るようにし
た形状のものである。 The turntable of the present invention basically has a disc-shaped structure, and its outer periphery is formed with a bottom part 6, a rising part 7, and a folded part 8 that is folded in from the tip of the rising part toward the center of the disc. In other words, a groove-shaped space portion 3 having a substantially U-shaped cross section and opening toward the center of the disk is provided, and the lower surface of the folded portion 8 is formed higher than the position of the substrate 1, and the groove-shaped space portion It has a shape that allows it to hold more than 3 cubic centimeters of fluid liquid when it is at rest and when rotating.
本考案の具体例を第１図及び第２図で説明す
る。 A specific example of the present invention will be explained with reference to FIGS. 1 and 2.
第１図は外周部に溝状空間部分を設けた本考案
のターンテーブルの略示縦断面図であり、特に回
転塗布に供される基板の設定位置と溝状空間部分
の相対関係を示したものであり、第２図は従来使
用されているターンテーブルの構造を例示したも
のである。 FIG. 1 is a schematic vertical cross-sectional view of a turntable of the present invention having a groove-shaped space on the outer periphery, and particularly shows the relative relationship between the set position of the substrate used for spin coating and the groove-shaped space. FIG. 2 shows an example of the structure of a conventionally used turntable.
第１図においてr1，r2，r3，d1及びd2は、各々
の部分の寸法を示したもので、溝状空間部分３を
3000≦π×（r1 2−r2 2）×d1
3000≦π×（r1 2−r3 2）×d2
（式中、r1，r2，r3，d1，d2の単位はmmである）
の式を満足するように製作することによつて、液
体の３立方センチメートル以上を保持することが
できる。 In Fig. 1, r 1 , r 2 , r 3 , d 1 and d 2 indicate the dimensions of each part, and the groove-shaped space part 3 is 3000≦π×(r 1 2 − r 2 2 ). ×d 1 3000≦π×(r 1 2 − r 3 2 ) × d 2 (in the formula, the units of r 1 , r 2 , r 3 , d 1 , and d 2 are mm)
By manufacturing a device that satisfies the formula, it is possible to hold more than 3 cubic centimeters of liquid.
第１図及び第２図においては、ターンテーブル
上に固定保持された基板１を示してあるが、その
保持のための吸着溝等は省略してある。 In FIGS. 1 and 2, the substrate 1 is shown fixedly held on a turntable, but suction grooves and the like for holding the substrate 1 are omitted.
以下に本考案のターンテーブルの具体的使用例
を述べる。光記録用デイスクを製造するために、
直径120mm、厚さ1.2mmのポリカーボネート製デイ
スク基板に真空蒸着法によつてアルミニウム層を
設け、この上に色素及び硝化綿をブチルセロソル
ブ等の適当な溶媒に溶解した溶液をスピンコート
する。 A specific usage example of the turntable of the present invention will be described below. In order to manufacture optical recording disks,
An aluminum layer is provided on a polycarbonate disk substrate with a diameter of 120 mm and a thickness of 1.2 mm by vacuum evaporation, and a solution of a dye and nitrified cotton dissolved in a suitable solvent such as butyl cellosolve is spin-coated onto this layer.
本考案のターンテーブルの使用時、基板の外周
辺縁から離脱する溶液乃至は分散液は、ターンテ
ーブルの外周部の溝状空間部分３にたまり、ター
ンテーブルの回転数に応じて溝状空間部分の底面
４から側面５へと上昇し、側面５に液膜を形成す
る。このため、液滴状或いは飛沫状となつた溶液
等は、側面５に形成された液膜に衝突し、その表
面張力によつて側面５に形成された液膜に合一
し、二次的な飛沫の発生を抑制し、基板上の塗布
膜に回帰する微細なミストによる問題を解決する
ことができた。また塗布に使用した溶液等はター
ンテーブルの溝状部分にたまるので、これを吸引
によつて回収することも簡便に行なえるようにな
つた。
When the turntable of the present invention is used, the solution or dispersion that separates from the outer peripheral edge of the substrate accumulates in the groove-shaped space 3 on the outer periphery of the turntable, and the groove-shaped space changes depending on the rotational speed of the turntable. The liquid rises from the bottom surface 4 to the side surface 5 and forms a liquid film on the side surface 5. Therefore, the solution in the form of droplets or splashes collides with the liquid film formed on the side surface 5, and due to its surface tension, it coalesces into the liquid film formed on the side surface 5, causing secondary We were able to suppress the generation of droplets and solve the problem caused by fine mist that returns to the coating film on the substrate. Furthermore, since the solution used for coating accumulates in the groove-shaped portion of the turntable, it has become easy to collect this by suction.
第１図及び第２図は各々本考案及び従来のター
ンテーブルの略示縦断面図を表し、併せて基板の
設定位置をも示している。
１……固定保持された基板、２……回転モータ
ーのスピンドルとの結合部、３……溝状空間部、
４……溝状空間部の底面、５……溝状空間部の側
面、６……底面部、７……立ち上がり部、８……
折込み部。
FIGS. 1 and 2 are schematic vertical cross-sectional views of the turntable of the present invention and the conventional turntable, respectively, and also show the setting position of the board. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Substrate fixedly held, 2...Connection part with spindle of rotating motor, 3...Groove-shaped space part,
4... Bottom surface of the groove-shaped space, 5... Side surfaces of the groove-shaped space, 6... Bottom surface part, 7... Rising part, 8...
Folded part.
Claims (1)
その外周部に、底面部６と立ち上がり部７及び立
ち上がり部先端から円板の中心に向かつて折り込
まれた折込み部８から形成される、円板の中心に
向かつて開口した溝状の空間部分３を設け、折込
み部８の下面は基板１の位置よりも高く形成さ
れ、該溝状空間部分３を、静止している時及び円
板状構造の中心点に立てた垂線を軸に回転してい
る時に、流動性を持つた液体の３立方センチメー
トル以上を保持し得るようにしてなるターンテー
ブル。 In a turntable having a disc-shaped structure,
A groove-shaped space portion 3 that opens toward the center of the disk is formed on the outer periphery by a bottom surface portion 6, a rising portion 7, and a folded portion 8 that is folded in from the tip of the rising portion toward the center of the disk. The lower surface of the folding part 8 is formed higher than the position of the substrate 1, and the groove-shaped space part 3 can be rotated about a perpendicular line set at the center point of the disc-shaped structure when it is stationary and when it is rotating. A turntable capable of holding 3 cubic centimeters or more of fluid liquid when it is in use.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985201323U JPH0446859Y2 (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985201323U JPH0446859Y2 (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62109778U JPS62109778U (en) | 1987-07-13 |
| JPH0446859Y2 true JPH0446859Y2 (en) | 1992-11-05 |
Family
ID=31164665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985201323U Expired JPH0446859Y2 (en) | 1985-12-27 | 1985-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPH0446859Y2 (en) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57169474U (en) * | 1981-04-17 | 1982-10-25 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP1985201323U patent/JPH0446859Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62109778U (en) | 1987-07-13 |
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