JPH0442920Y2

JPH0442920Y2 -

Info

Publication number: JPH0442920Y2
Application number: JP8787785U
Authority: JP
Priority date: 1985-06-11
Filing date: 1985-06-11
Publication date: 1992-10-12
Also published as: JPS61203547U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本考案はダイボンダ、又はワイヤーボンダ等の
半導体製造装置において特に短冊状のリードフレ
ームを一定量づつピツチ送りをする機構に関す
る。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention particularly relates to a mechanism for pitch-feeding a strip-shaped lead frame by a fixed amount in semiconductor manufacturing equipment such as a die bonder or a wire bonder.

[Conventional technology]

従来、この種の送り機構は送りに要するカムを
一回転させ、レバーを介して送りツメの移動を行
なつていた。 Conventionally, this type of feeding mechanism rotates a cam required for feeding once, and moves the feeding claw via a lever.

[Problem that the invention attempts to solve]

上述した従来の送り機構はリードフレームの機
種変更に際し送り量が変わる場合は、フレーム送
りカムの変換、又はレバーの比を変化させて送り
量の変更に対応しているので、カムの製作、交
換、調整等を必要とする欠点がある。 In the conventional feed mechanism described above, if the feed amount changes when changing the lead frame model, the feed amount can be changed by converting the frame feed cam or changing the lever ratio, so it is necessary to manufacture and replace the cam. , there is a drawback that it requires adjustment, etc.

本考案はフレーム送りツメの移動量を任意に調
整可能としてリードフレームの機種変更に対処し
うる半導体製造装置を提供するものである。 The present invention provides a semiconductor manufacturing apparatus in which the amount of movement of the frame feed claw can be arbitrarily adjusted to cope with changes in lead frame models.

[Means for solving problems]

本考案はカム面に変形等速度曲線を有し、正
転・逆転させて、フレーム送りツメの移動を行な
うフレーム送りカムと、パルス数を変えることに
よりフレーム送りツメの移動量を任意に設定する
ことが可能な送りカム駆動用ステツピングモータ
又はDCサーボモータとを備えたことを特徴とす
る送り量可変機構を有する半導体製造装置であ
る。 The present invention has a frame feed cam that has a deformed constant velocity curve on the cam surface, rotates forward and reverse to move the frame feed claw, and sets the amount of movement of the frame feed claw arbitrarily by changing the number of pulses. This is a semiconductor manufacturing apparatus having a variable feed amount mechanism, which is characterized by being equipped with a stepping motor or a DC servo motor for driving a feed cam.

〔Example〕

次に本考案の一実施例について図面を参照して
説明する。 Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

第１図ａ，ｂ，ｃにおいて、フレーム送りカム
４をプーリ３、ベルト２を介してステツピングモ
ータ（又はDCサーボモータ）１にて駆動する。
フレーム送りツメ１５は送りブロツク１２に固定
されており、送りブロツク１２はレバー５を介し
て左右動作を行なう。送りブロツク１２とカムフ
オロア６はスプリング７により常に密着状態にあ
り、送りブロツク１２にはスプリング１３により
送り方向に荷重をかける。またフレーム送りカム
４のカム面には変形等速度曲線を施す。８はヒー
タ釜、１４はフレーム送りレールである。 In FIGS. 1a, b, and c, a frame feed cam 4 is driven by a stepping motor (or DC servo motor) 1 via a pulley 3 and a belt 2.
The frame feed claw 15 is fixed to the feed block 12, and the feed block 12 is moved left and right via the lever 5. The feed block 12 and the cam follower 6 are always kept in close contact with each other by a spring 7, and a spring 13 applies a load to the feed block 12 in the feeding direction. Further, the cam surface of the frame feed cam 4 is provided with a deformed constant velocity curve. 8 is a heater pot, and 14 is a frame feed rail.

また、パイロツトピン上下動作ステツピングモ
ータ１１を正・逆回転させることにより、パイロ
ツトピン上下カム１０を介してパイロツトピン９
の上下を行ない、リードフレームの穴部に挿入し
リードフレームの位置決めをする。 In addition, by rotating the pilot pin vertical movement stepping motor 11 in the forward and reverse directions, the pilot pin 9 is rotated via the pilot pin vertical cam 10.
position the lead frame by inserting it into the hole of the lead frame.

本考案の送り機構は送り駆動モータをステツピ
ングモータ（又はDCサーボモータ）１にするこ
とにより、送りカム４の回転を行ないモータ正転
時は送りレバー５を介してフレーム送りに要する
ツメ１５を送り方向に移動させる。さらにモータ
１を逆転させることにより、送りツメ１５が反対
方向に移動し原点位置に戻る運動をする。 The feed mechanism of the present invention uses a stepping motor (or DC servo motor) 1 as the feed drive motor to rotate the feed cam 4, and when the motor rotates forward, the claw 15 required for frame feed is controlled via the feed lever 5. Move in the feed direction. Further, by reversing the motor 1, the feed claw 15 moves in the opposite direction and returns to its original position.

[Effect of idea]

以上説明したように本考案はフレーム送り駆動
モータ１ステツピングモータ（又はDCサーボモ
ータ）を用いることによりフレーム送りツメの移
動量を任意に短時間に、且つデイジタル的に設定
することが可能となり、リードフレームの機種切
換に際しフレキシブル化が計られ簡単なキーボー
ド操作により対応できる。また、フレーム送りカ
ムの曲線には変形等速度曲線を採用することによ
り、設定パルスと送りツメの移動は１：１でリニ
アな設定が可能となり、送り量設定の簡略化がで
きる効果がある。 As explained above, the present invention uses one stepping motor (or DC servo motor) as the frame feed drive motor, making it possible to set the amount of movement of the frame feed claw arbitrarily in a short time and digitally. Flexibility is achieved when changing lead frame models, and it can be handled with simple keyboard operations. Furthermore, by adopting a modified constant velocity curve as the curve of the frame feed cam, it is possible to set the setting pulse and the movement of the feed claw linearly at a ratio of 1:1, which has the effect of simplifying the feed amount setting.

[Brief explanation of drawings]

第１図ａは本考案の一実施例を示す正面図、ｂ
は平面図、ｃは側面図である。１……フレーム送り用ステツピングモータ、２
……ベルト、３……プーリ、４……フレーム送り
カム、５……送りレバー、６……カムフオロア、
７……スプリング、８……ヒータ釜、９……パイ
ロツトピン、１０……パイロツトピン上、下動作
カム、１１……パイロツトピン上下動作ステツピ
ングモータ、１２……送りブロツク、１３……ス
プリング、１４……フレーム送りレール、１５…
…フレーム送りツメ。 Figure 1a is a front view showing an embodiment of the present invention, and b
is a plan view, and c is a side view. 1...Stepping motor for frame feeding, 2
...Belt, 3...Pulley, 4...Frame feed cam, 5...Feed lever, 6...Cam follower,
7...Spring, 8...Heater pot, 9...Pilot pin, 10...Pilot pin up and down movement cam, 11...Pilot pin up and down movement stepping motor, 12...Feed block, 13...Spring, 14...Frame feed rail, 15...
...Frame feed tab.

Claims

[Scope of utility model registration request]

The frame feed cam has a deformed constant velocity curve on the cam surface and moves the frame feed claw by rotating forward and reverse, and the amount of movement of the frame feed claw can be set arbitrarily by changing the number of pulses. 1. A semiconductor manufacturing device having a variable feed amount mechanism, characterized in that it is equipped with a stepping motor or a DC servo motor for driving a feed cam.