JPH0441809B2 - - Google Patents

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JPH0441809B2
JPH0441809B2 JP1389985A JP1389985A JPH0441809B2 JP H0441809 B2 JPH0441809 B2 JP H0441809B2 JP 1389985 A JP1389985 A JP 1389985A JP 1389985 A JP1389985 A JP 1389985A JP H0441809 B2 JPH0441809 B2 JP H0441809B2
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JP
Japan
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forming
liquid crystal
substrate
spacer
laminate
Prior art date
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JP1389985A
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Japanese (ja)
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Inventor
Shunpei Yamazaki
Takashi Inushima
Akira Mase
Toshimitsu Konuma
Mitsunori Sakama
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Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Original Assignee
Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
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  • Liquid Crystal (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〓発明の利用分野〓 本発明は液晶表示パネルまたはアクテイブ・マ
トリツクス方式による液晶表示パネルに関するも
のであつて、マイクロコンピユータ、ワードプロ
セツサまたはテレビ等の表示部の薄型化を図る液
晶表示装置の作成方法に関する。
[Detailed Description of the Invention] Field of Application of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel or an active matrix type liquid crystal display panel, and is used to reduce the thickness of display sections of microcomputers, word processors, televisions, etc. The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device.

〓従来の技術〓 従来の液晶表示装置に関しては、2つの透明基
板の内側にそれぞれ透明導電膜、配向膜が設けら
れ、この間に液晶を充填して、2つの電極間に印
加される電圧の有無により「オン」「オフ」を制
御していた。そしてこの表示により、文字、グラ
フまたは絵を表示したものである。
〓Conventional technology〓 Regarding a conventional liquid crystal display device, a transparent conductive film and an alignment film are provided on the inside of two transparent substrates, and liquid crystal is filled between the two transparent substrates to determine whether or not a voltage is applied between the two electrodes. ``On'' and ``Off'' were controlled. This display displays characters, graphs, or pictures.

しかしこの2つの透明電極間は、約10μもの厚
い間隔を有し、最近はこの間隔も5μにまでなつ
た。しかしかかる広い間隔はTN(ツウイフテツ
ク・ネマチツク)型液晶においては必要である
が、カイラル・スメクチツクスC相を用いる強誘
電性液晶(以下FLCという)を用いるならば、
2μ以下一般には1±0.5μが求められている。
However, there is a thick gap of about 10 microns between these two transparent electrodes, and recently this gap has increased to 5 microns. However, such wide spacing is necessary for TN (Zwiftek Nematic) type liquid crystals, but if a ferroelectric liquid crystal (hereinafter referred to as FLC) using a chiral smectic C phase is used,
2μ or less, generally 1±0.5μ is required.

また、従来より公知のTN液晶もこの10μの間
隔に表面張力を用いて充填する場合、この間〓を
制御するスペーサが考えだされた。即ちスペーサ
は一般に有機樹脂の球形を有する粒子であつて、
例えばミクロパールSP−210(平均粒径10.0±
0.5μ)を用いている。このミクロパールはジビニ
ルベンゼン系架橋重合体であり、透明な真球微粒
子である。
In addition, when conventionally known TN liquid crystals are filled using surface tension at intervals of 10μ, a spacer was devised to control the distance between them. That is, the spacer is generally a spherical particle of organic resin,
For example, Micropearl SP-210 (average particle size 10.0±
0.5μ) is used. This micropearl is a divinylbenzene-based crosslinked polymer and is a transparent true spherical fine particle.

即ち、第1図に従来の液晶表示装置の縦断面図
を示している。図面において、液晶表示用の2つ
の透明基板1,1′の周辺部には、液晶が外部に
もれないよう樹脂とスペーサ7とを混合したシー
ル材6が溜めてあり、2つの基板間の距離を周辺
部において一定に保つている。しかし表示部10
即ち液晶5が充填された領域において、外部より
透明基板の機械的なストレスまたは基板の平坦性
の厚さにより2つの透明電極がシヨートまたは近
接しやすい。その結果、液晶が透光性でなくなつ
たり、一部が黒化して不良が発生してしまいやす
かつた。このため、液晶部に対しても他のスペー
サ4を散在させてそれぞれの電極がシヨートしな
いよう一定の距離に保たせていた。
That is, FIG. 1 shows a vertical cross-sectional view of a conventional liquid crystal display device. In the drawing, a sealing material 6 made of a mixture of resin and a spacer 7 is collected around two transparent substrates 1 and 1' for liquid crystal display to prevent the liquid crystal from leaking to the outside. The distance is kept constant at the periphery. However, the display section 10
That is, in the region filled with the liquid crystal 5, the two transparent electrodes tend to shoot or come close to each other due to mechanical stress of the transparent substrate from the outside or the flatness of the substrate. As a result, the liquid crystal loses its translucency or becomes partially black, which tends to cause defects. For this reason, other spacers 4 are scattered around the liquid crystal section to keep the respective electrodes at a constant distance from each other so as not to shoot.

このスペーサは単に配向膜間に散在させたのみ
であり、それぞれと点接触となり、この接触部は
局部荷重が大きく加わつてしまつた。そしてこの
接触部にもアクテイブ素子があると、この素子を
破壊してしまうこともあり得る。
These spacers were simply scattered between the alignment films and were in point contact with each of them, and a large local load was applied to these contact areas. If there is an active element in this contact portion, this element may be destroyed.

〓発明が解決しようとする問題点〓 さらにこのTN液晶を用いて実際に液晶表示装
置を作らんとすると、2つの基板をシール材で周
辺の一部を除きシールしてしまつた後、この中を
真空に保ち、毛細管現象を利用して液晶を充填し
ている。しかしその間隔が2μまたはそれ以下を
必要とするFLCの如き液晶では、それ自体の粘
度が大きいため、毛細管現象を利用して充填する
場合スペーサが動いてしまつたり、またスペーサ
それ自体が小さいため、ますます互いに凝集しや
すくなり、均一に散在させることが不可能であつ
た。
〓Problems to be solved by the invention〓 Furthermore, when trying to actually make a liquid crystal display device using this TN liquid crystal, after sealing the two substrates with a sealing material except for a part of the periphery, is kept in a vacuum and filled with liquid crystal using capillary action. However, liquid crystals such as FLC, which require a spacing of 2μ or less, have a high viscosity, so the spacer may move when filled using capillary action, and the spacer itself is small. , they tended to aggregate with each other more and more, and it was impossible to disperse them uniformly.

またスペーサと配向膜とは何等接着させていな
いため、封止後、表示装置の温度が上がると、液
晶それ自体の熱膨張により基板がふくらみやすく
なり、2つの電極間距離を一定に保てなくなる。
このため表示のコントラストは中央部と周辺部で
異なつてしまう現象が見られてしまつた。特に表
示装置が20cm×30cmと大きなパネル状になつた時
に不良が発生しやすかつた。さらにスペーサが散
在する位置がばらばらであるため、アクテイブ素
子が連結したデイスプレイにおいて、この素子に
局部的に点応力を加えてしまうことも起き、素子
の不良を誘発してしまいやすい。
In addition, since the spacer and alignment film are not bonded in any way, when the temperature of the display device rises after sealing, the substrate tends to swell due to thermal expansion of the liquid crystal itself, making it impossible to maintain a constant distance between the two electrodes. .
For this reason, a phenomenon has been observed in which the contrast of the display differs between the center and the periphery. Defects were particularly likely to occur when the display device became a large panel measuring 20 cm x 30 cm. Furthermore, since the spacers are scattered at different positions, in a display in which active elements are connected, point stress may be locally applied to the elements, which is likely to cause element failure.

〓問題を解決するための手段〓 このため本発明は、従来より公知の単体ででき
ているスペーサを用いるのではなく、マスク作用
を有する積層体が設けられた一方の基板側を所定
の高さに塗布法等により有機樹脂膜例えばポリイ
ミド系樹脂で覆い、これに基板の裏面側より光照
射をし、マスクを用いることなしに選択的に所定
の位置に“貝柱”状にスペーサを形成したもので
ある。さらに同時に周辺部のシール材をも同じ材
料で形成させてしまうものである。このため、特
にこの塗布されるポリイミド樹脂上にポジレジス
トを用いこのレジストのうち積層体上方以外のレ
ジストをエツチングして除去し、その後ポリイミ
ド樹脂を除去する工程をとることにより、積層体
上方に概略同一状にスペーサを形成することがで
きた。かくして新たなマスクをまつたく用いるこ
となくスペーサ、シール材の作製が可能となつ
た。
〓Means for Solving the Problem〓 For this reason, the present invention does not use a conventionally known spacer made of a single unit, but instead sets one substrate side provided with a laminate having a masking function to a predetermined height. The substrate is covered with an organic resin film such as polyimide resin using a coating method, and then light is irradiated from the back side of the substrate to selectively form "scallop"-shaped spacers at predetermined positions without using a mask. It is. Furthermore, at the same time, the sealing material in the peripheral area is also made of the same material. For this reason, in particular, by using a positive resist on the polyimide resin to be applied, etching and removing the resist other than the upper part of the laminate, and then removing the polyimide resin, it is possible to apply a positive resist to the upper part of the laminate. Spacers could be formed in the same shape. In this way, it became possible to produce spacers and sealants without having to use new masks.

もちろんスペーサ用有機樹脂膜例えばポリイミ
ド樹脂がポジ感光性を有するならば、ポジレジス
トを用いることなく塗布法によりポジ感光性ポリ
イミド樹脂をコートし、さらにこの後積層体をマ
スクとして紫外光を照射し、マスク作用を有する
積層体上方以外のポリイミド樹脂を何等のマスク
を用いることなく除去しスペーサを作ることがで
きる。
Of course, if the organic resin film for the spacer, such as polyimide resin, has positive photosensitivity, the positive photosensitive polyimide resin is coated by a coating method without using a positive resist, and then ultraviolet light is irradiated using the laminate as a mask. A spacer can be created by removing the polyimide resin which has a masking effect and is not located above the laminate without using any mask.

〓作用〓 かくすることにより、新たなマスクをまつたく
用いることなく、予め設けられたマスク作用を有
する積層体上にスペーサを作ることが可能となつ
た。またこのマスク作用を有する積層体は例えば
NIN構造を有する非単結晶半導体およびその上
下の一対の電極の積層体またはMIM(金属−絶縁
物−金属)構造を有する積層体よりなる非線型素
子が一般的である。
Effect: By doing so, it became possible to create a spacer on a previously provided laminate having a mask effect without using a new mask. In addition, the laminate having this masking effect is, for example,
Nonlinear elements are generally made of a laminate of a non-single crystal semiconductor having an NIN structure and a pair of electrodes above and below the semiconductor, or a laminate having an MIM (metal-insulator-metal) structure.

かくすることにより、スペーサとして作用する
有機樹脂はその高さを周辺部のシール材と表示部
のスペーサと同一材料で成就し、またその高さの
ばらつきも同じ塗布膜を選択的に残存せしめたも
ののため、±0.2μ以下の精度を得ることができた。
加えてこのシール材、スペーサをして対抗する他
の透光性基板の内側面と互いに密着させている。
このため、2つの基板は初期において、基板自体
のうねり的な凹凸による多少の非平坦性を有して
も、シール材とスペーサの大きさ(高さ)により
一定にさせることができる。即ち、ポリイミド樹
脂により“貝柱”状にシール部とスペーサ部を構
成させた後、セミハードの透光性を有する他の基
板をその上側に真空中で配設し、加熱して密着さ
せる。すると互いに密着したシール部とスペーサ
部により、この後真空をといてもそれぞれの基板
が実質的に互いに密着しているため、もとの非平
坦の状態に戻らず、電極間の間隙が一定になつ
て、最終状態において、パネルの一部が広すぎる
等の支障が発生しない。またスペーサにより互い
の基板を密着させたため、表示パネルそれ自体の
機械的強度も1枚のみの強度ではなく、合わせガ
ラスに近い強い実質的に2枚の強度に等しい強固
さを有せしめることが可能となつた。
In this way, the height of the organic resin that acts as a spacer can be achieved by using the same material as the sealing material in the peripheral area and the spacer in the display area, and the same coating film can be selectively left even with variations in height. Because of this, we were able to obtain an accuracy of less than ±0.2μ.
In addition, this sealing material and a spacer are used to bring the substrate into close contact with the inner surface of another opposing light-transmitting substrate.
Therefore, even if the two substrates initially have some degree of non-flatness due to the undulation-like unevenness of the substrates themselves, it can be made constant by the size (height) of the sealing material and the spacer. That is, after forming the seal portion and the spacer portion in the shape of a “scallop” using polyimide resin, another substrate having semi-hard translucent properties is placed above it in a vacuum, and heated to bring them into close contact. Then, due to the sealing part and the spacer part being in close contact with each other, even if the vacuum is removed afterwards, the respective substrates are substantially in close contact with each other, so they do not return to their original non-flat state and the gap between the electrodes remains constant. Therefore, in the final state, problems such as part of the panel being too wide do not occur. In addition, because the substrates are brought into close contact with each other using spacers, the mechanical strength of the display panel itself is not as strong as that of only one panel, but is similar to that of laminated glass, making it possible to have a mechanical strength that is essentially equivalent to the strength of two panels. It became.

以下に実施例に従つて本発明を記す。 The present invention will be described below with reference to Examples.

実施施例 1 第2図に本発明の液晶表示装置及びその製造工
程を示す縦断面図を示す。
Embodiment 1 FIG. 2 shows a vertical cross-sectional view showing the liquid crystal display device of the present invention and its manufacturing process.

第2図Aにおいて、2つの透光性基板、例えば
ガラス基板1,1′、一方は固いガラス基板1,
他方は間隙を真空引きをした際、曲がり得る程度
のセミハードなガラス板または透光性有機樹脂基
板1′を用いた。
In FIG. 2A, two transparent substrates, for example glass substrates 1 and 1', one is a solid glass substrate 1,
On the other hand, a semi-hard glass plate or a translucent organic resin substrate 1' was used that could be bent when the gap was evacuated.

この固い基板1の一方の面は、下側のリード1
1,NIN接合を有する非単結晶半導体の非線型
素子12,上側のクロム電極13よりなる積層体
50を有する。そしてこの積層体50の周辺は透
光性層間絶縁物8が設けられている。かかる下側
基板1の積層体上に透明導電膜2,配向処理また
は配向膜3が設けられ、この透明導電膜2と積層
体50の上側電極13とは電気的に直列接続をさ
せている。
One side of this hard substrate 1 is connected to the lower lead 1.
1. It has a stacked body 50 consisting of a non-linear element 12 made of a non-single crystal semiconductor having an NIN junction and an upper chromium electrode 13. A transparent interlayer insulator 8 is provided around the laminate 50. A transparent conductive film 2 and an alignment film 3 are provided on the laminate of the lower substrate 1, and the transparent conductive film 2 and the upper electrode 13 of the laminate 50 are electrically connected in series.

第2図Cにしか図示されていないが、セミハー
ドな基板1′に対しても、同様の透光性導電膜
2′,配向処理3′を行つた。
Although only shown in FIG. 2C, a similar transparent conductive film 2' and alignment treatment 3' were also performed on a semi-hard substrate 1'.

次に第3図Aに示す如く、一方の側の上面にス
ピナー、ロールコータ、スプレー法またはスクリ
ーン印刷法により、ポリイミド溶液15例えば
PIQを塗布する。
Next, as shown in FIG. 3A, a polyimide solution 15, e.g.
Apply PIQ.

さらにその上にポジ用のフオトレジスト(図面
では省略)を塗布する。
Further, a positive photoresist (not shown in the drawing) is applied thereon.

次にこれらに対し基板の下側から紫外光20を
この基板を通して露光(10mW/cm2の光を約60
秒)した。するとこの積層体50が遮光性を有す
るため、その上方のレジストのみ残し他部を除去
できる。このレジストをマスクとしてその下の
PIQを除去した。しかる後、ポジレジストを除去
し、第2図Bを得た。
Next, these are exposed to ultraviolet light from the bottom side of the substrate through the substrate (approximately 60 mW/cm 2 of light is applied).
seconds) did. Then, since this laminate 50 has a light-shielding property, only the resist above it can be left and the other parts can be removed. Use this resist as a mask to
Removed PIQ. Thereafter, the positive resist was removed to obtain the image shown in FIG. 2B.

同時に基板の周辺部には巾3mmで液晶充填部を
除き、他部の内部を取り囲むようにシール材6と
しての“貝柱”を設けた。即ち、スペーサ間を実
質的に所定の間隔としてスペーサを散在して配設
させることが可能となる。さらにこのマスク方式
で“貝柱”を作ることにより、アクテイブ方式の
液晶パネルであつた場合、非線型素子またスイツ
チング素子に局部的に機械的応力が加わりリード
が断線したり、また素子が不動作になる可能性を
避けることができる。
At the same time, a "scallop" as a sealing material 6 was provided at the periphery of the substrate with a width of 3 mm to surround the inside of the other parts except for the liquid crystal filling part. That is, it becomes possible to arrange the spacers in a scattered manner with substantially a predetermined interval between the spacers. Furthermore, by creating a "scallop" using this mask method, in the case of an active type liquid crystal panel, localized mechanical stress is applied to nonlinear elements or switching elements, causing leads to break or the elements to become inoperable. You can avoid the possibility of

さらに本発明方法をより完成させるため、第2
図Cに示す如く、透光性電極2′、配向膜3′が内
側に設けられたセミハードな対向透光性基板1′
を合わせプレスと同時に間隙の真空引きも行つ
た。この状態でポストベークを200〜300℃にて行
つた。すると貝柱の6,14が対向するガラスの
ポリイミド配向膜に密着し2枚のガラスをはりあ
わせることができた。
Furthermore, in order to further complete the method of the present invention, a second
As shown in Figure C, a semi-hard facing transparent substrate 1' with a transparent electrode 2' and an alignment film 3' provided inside
The gap was vacuumed at the same time as the press. In this state, post-baking was performed at 200 to 300°C. Then, the scallops 6 and 14 came into close contact with the polyimide alignment film of the opposing glass, making it possible to glue the two glasses together.

このポストベーク後でその高さを2μまたはそ
れ以下この場合には1.2μ±0.2μにするようにし
FLCに対し好ましい間隔とした。
After this post-bake its height should be 2μ or less in this case 1.2μ±0.2μ.
This was the preferred spacing for FLC.

この場合、対抗するガラスまたは透光性有機樹
脂をセミハードな固さとすると、ガラス1自体が
持つている歪みにそつて他方の透光性基板1′を
合わせ、かつ、そのスペーサでお互いを固着して
しまうため、ガラス基板自体が歪み(滑らかな凹
凸)を有していても、それと無関係に電極間隙を
一定としてその対向するガラス同志を実質的に互
いに張り合わせ得る。
In this case, if the opposing glass or translucent organic resin is made semi-hard, the other translucent substrate 1' is aligned with the distortion of the glass 1 itself, and the spacers are used to secure them together. Therefore, even if the glass substrate itself has distortion (smooth unevenness), the electrode gap can be kept constant and the opposing glasses can be substantially bonded to each other regardless of the distortion.

本発明の実施例においては、この後このスペー
サで保持された間隙内に強誘電性液晶5を公知の
方法で充填した。
In the embodiment of the present invention, the gap held by the spacer was then filled with ferroelectric liquid crystal 5 by a known method.

〓効果〓 本発明は以上に示す如く、2つの相対向する電
極の間隙を一定にするため、1つのポリイミド樹
脂膜を選択的に残存させてスペーサ及びシール材
として同じ上下のポリイミド系の配向膜と互いに
密着せしめたものである。そしてその製造に新た
なるマスクをまつたく用いることなく実施したも
のである。その結果、2つの配向膜間の間隔は
2μ以下の所定の厚さ±0.5μの範囲で一定にでき
た。特にアクテイブ・マトリツクス構造を有し、
そのドツト数を400×1920も有する20cm×30cmも
の大面積の液晶パネルにおいて、中央部が必要以
上に膨れたり、また互いに2つの電極間が近接し
たりすることを防ぐことができた。
<Effects> As described above, the present invention selectively leaves one polyimide resin film and uses the same upper and lower polyimide alignment films as a spacer and sealing material in order to maintain a constant gap between two opposing electrodes. and are placed in close contact with each other. The manufacturing process was carried out without using any new masks. As a result, the distance between the two alignment films is
The thickness could be kept constant within the range of ±0.5μ within a predetermined thickness of 2μ or less. In particular, it has an active matrix structure,
In a liquid crystal panel with a large area of 20 cm x 30 cm, which has 400 x 1920 dots, it was possible to prevent the central part from swelling more than necessary or the two electrodes from coming close to each other.

このため、従来では大面積の基板を用いて液晶
表示装置を作らんとすると、それぞれの基板をき
わめて精密に研磨しなければならず、シール材と
スペーサとはまつたく異なつた材料により作られ
ていた。加えてスペーサは上下の基板内面と密着
していなかつた。またスペーサの位置の推定がで
きなかつた。しかし本発明においては、かかるガ
ラス基板の価格の2〜5倍もの高価な研磨処理工
程がない、シール材によりシールする工程と、ス
ペーサを散在させる工程を1つに簡略化できると
いう他の特長を有する。
For this reason, in the past, when attempting to manufacture a liquid crystal display device using large-area substrates, each substrate had to be polished extremely precisely, and the sealant and spacer were made of completely different materials. Ta. In addition, the spacers were not in close contact with the inner surfaces of the upper and lower substrates. Furthermore, the position of the spacer could not be estimated. However, the present invention has other features such as not requiring an expensive polishing process that is 2 to 5 times the price of the glass substrate, and simplifying the process of sealing with a sealing material and the process of dispersing spacers into one. have

加えてスペーサが約400μ間に1〜数個(実施
例では1ケ)設けられているため、いわゆる合わ
せガラスと同様にきわめて強固な基板として液晶
パネルを取り扱うことができるようになつた。
In addition, since one to several spacers (one spacer in the example) are provided at a distance of approximately 400 μm, the liquid crystal panel can now be handled as an extremely strong substrate similar to so-called laminated glass.

スペーサの形状を基板表面と点接触ではなく面
接触とし得、またその面積も自由に制御できる。
The shape of the spacer can be made into surface contact rather than point contact with the substrate surface, and its area can also be freely controlled.

本発明において、ガラス基板の周辺部のシール
材部において、ガラス基板上に配向膜を残存させ
ても、また除去させてもよい。
In the present invention, the alignment film may be left on the glass substrate in the sealing material portion at the periphery of the glass substrate, or may be removed.

本発明において、ポリイミド溶液を用いた。し
かしこのポリイミドは、紫外線硬化型ポリイミド
(ポジ)樹脂を用い、選択エツチ法によりスペー
サ、シール材を形成してもよい。しかしかかるポ
ジ型ポリイミド樹脂が市販されておらず試験段階
のため、現状ではレジストコートの工程を省略で
きるが高価になつている。
In the present invention, a polyimide solution was used. However, the spacer and sealing material may be formed using a selective etching method using an ultraviolet curable polyimide (positive) resin. However, such positive-type polyimide resins are not commercially available and are still in the experimental stage, so at present the resist coating step can be omitted, but it is expensive.

本発明において、“貝柱”とその上下の配向膜
とは同一主成分材料を用いた。これはすべてをポ
リイミド系とすることにより、互いの密着性を向
上させるためである。しかしこの密着性が保証さ
れるなら他の材料を用いてもよい。
In the present invention, the same main component material is used for the "scallop" and the alignment films above and below it. This is because all the materials are made of polyimide to improve their adhesion to each other. However, other materials may be used if this adhesiveness is guaranteed.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は従来より公知の液晶表示装置の縦断面
図を示す。第2図は本発明の液晶表示装置の作成
工程を示す縦断面図を示す。
FIG. 1 shows a longitudinal sectional view of a conventionally known liquid crystal display device. FIG. 2 shows a longitudinal sectional view showing the manufacturing process of the liquid crystal display device of the present invention.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 透明基板上にマスク作用を有する積層体と透
明電極とを形成する工程と、これらの上に透光性
の有機樹脂膜を形成する工程と、該樹脂膜上にポ
ジ用フオトレジスト膜を形成する工程と、前記基
板の裏面側より光照射をし、前記マスク作用を有
する積層体をマスクとして前記レジストを選択的
に所定の形状に形成する工程と、該工程により形
成された前記レジストをマスクとして前記有機樹
脂膜を所定の形状に形成する工程とにより、残存
する前記有機樹脂膜をスペーサとして形成するこ
とを特徴とする液晶表示装置作成方法。 2 透明基板上にマスク作用を有する積層体と透
明電極とを形成する工程と、これらの上にポジ型
光感光性有機樹脂膜を形成する工程と、前記基板
の裏面側より光照射をし、前記マスク作用を有す
る積層体をマスクとして前記有機樹脂膜を選択的
に所定の形状に形成する工程とにより、残存する
前記有機樹脂膜をスペーサとして形成することを
特徴とする液晶表示装置作成方法。 3 特許請求の範囲第1項または第2項におい
て、マスク作用を有する被膜はアクテイブ・マト
リツクス方式による液晶表示パネルの各画素に連
結したアクテイブ素子とすることを特徴とした液
晶表示装置作成方法。
[Claims] 1. A step of forming a laminate having a masking effect and a transparent electrode on a transparent substrate, a step of forming a transparent organic resin film on these, and a step of forming a transparent electrode on the resin film. a step of forming a photoresist film for use, a step of irradiating light from the back side of the substrate and selectively forming the resist into a predetermined shape using the laminate having a masking effect as a mask; forming the organic resin film into a predetermined shape using the resist as a mask, and forming the remaining organic resin film as a spacer. 2. A step of forming a laminate having a masking effect and a transparent electrode on a transparent substrate, a step of forming a positive photosensitive organic resin film on these, and irradiating light from the back side of the substrate, A method for manufacturing a liquid crystal display device, characterized in that the remaining organic resin film is formed as a spacer by selectively forming the organic resin film into a predetermined shape using the laminate having a masking effect as a mask. 3. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1 or 2, wherein the film having a masking effect is an active element connected to each pixel of a liquid crystal display panel using an active matrix method.
JP1389985A 1985-01-28 1985-01-28 Formation of liquid crystal display device Granted JPS61173223A (en)

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