JPH0440499U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0440499U JPH0440499U JP8215590U JP8215590U JPH0440499U JP H0440499 U JPH0440499 U JP H0440499U JP 8215590 U JP8215590 U JP 8215590U JP 8215590 U JP8215590 U JP 8215590U JP H0440499 U JPH0440499 U JP H0440499U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam position
- vacuum chamber
- position monitor
- rib plate
- positioning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Particle Accelerators (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す部分破断正面
図、第２図は第１図の−線矢視図、第３図は
第１図のベーキング時の拡大断面図、第４図はＳ
ＯＲ装置の真空チエンバーのサポート構造を示す
図、第５図は第４図のサポート構造の拡大正面図
、第６図は第５図の側面図である。 図中、４は真空チエンバー、１０はビーム位置
モニタ、１１は固定系、１３はリブプレート、１
５はテーパーピン、２５はフイツテイングコーン
である。
図、第２図は第１図の−線矢視図、第３図は
第１図のベーキング時の拡大断面図、第４図はＳ
ＯＲ装置の真空チエンバーのサポート構造を示す
図、第５図は第４図のサポート構造の拡大正面図
、第６図は第５図の側面図である。 図中、４は真空チエンバー、１０はビーム位置
モニタ、１１は固定系、１３はリブプレート、１
５はテーパーピン、２５はフイツテイングコーン
である。
Claims (1)
- 真空チエンバーにビーム位置モニタを取り付け
、その真空チエンバーのベーキング終了後に上記
ビーム位置モニタを据付位置に戻すための真空チ
エンバーのビーム位置モニタ用位置決め装置にお
いて、上記ビーム位置モニタ近傍の真空チエンバ
ーに、その軸方向と直交するようリブプレートを
取り付け、そのリブプレートにテーパーピンを設
け、他方固定系に上記テーパーピンと嵌合するフ
イツテイングコーンを設けたことを特徴とする真
空チエンバーのビーム位置モニタ位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215590U JPH0440499U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8215590U JPH0440499U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0440499U true JPH0440499U (ja) | 1992-04-06 |
Family
ID=31628711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8215590U Pending JPH0440499U (ja) | 1990-08-03 | 1990-08-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0440499U (ja) |
-
1990
- 1990-08-03 JP JP8215590U patent/JPH0440499U/ja active Pending