JPH0440181Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、同軸落射照明が可能な顕微鏡観察装
置に関する。

従来の顕微鏡に於ける通常の同軸落射照明装置
は、対物レンズと観察系との中間にハーフミラー
を挿入し、照明系の光軸を通常は直角に分岐させ
ている。従つて、この構成ではハーフミラーを新
たに設けなければならずまた、観察系とは別に分
岐された照明光学系のために、新たな方向に鏡筒
を設けねばならず、構造は複雑にならざるを得な
かつた。

また、同軸落射照明においては本質的にフレア
ーを生じ易く、照明光と観察光とを分岐するため
に光分割器をプリズムで構成する場合にはプリズ
ムの透過面等における反射光がフレアーとなり易
く、鮮明な物体像を得ることが難しいという問題
もあつた。

本考案の目的は、俯視角を有しかつ正立像を観
察し得る顕微鏡観察装置に於いて、簡単な構成に
よつて同軸落射照明を行なうことができ、しかも
フレアーが少なく鮮明な物体像を観察することの
できる装置を提供することにある。

本考案による顕微鏡観察装置は、対物レンズと
該対物レンズによる像を正立させると同時に俯視
角を形成するためのポロミラー系とを有する顕微
鏡において、ポロミラー系を構成する４枚のミラ
ーのうちの１枚をハーフミラーとし、このハーフ
ミラーを通して同軸落射照明光を供給するもので
ある。

以下、図示した実施例に基づいて本考案を説明
する。

第１図は本考案の実施例の概略側面図であつ
て、１は対物レンズ、２はハーフミラー、３ａ，
３ｂ，３ｃはミラー、４は対物レンズ像面、５は
接眼レンズ、６は落射照明用光源、７は落射照明
用コンデンサーレンズ、８は試料面である。

本実施例ではハーフミラー２と３枚のミラー３
ａ，３ｂ，３ｃとによつて、俯視角30°の正立ポ
ロミラー系が構成されている。そして、図示のと
おり、ハーフミラー２と３枚のミラー３ａ，３
ｂ，３ｃは、共に平行平面板で構成されている。

第２図は第１図を矢印Ａ方向から見たポロミラ
ー系の配置図であり、図中の矢印は対物レンズか
ら接眼レンズへ向う光路を示している。

すなわち、試料面８より出た光は対物レンズ１
を通り、ハーフミラー２により側方へ反射され、
互いに直交する第１と第２のミラー３ａ，３ｂで
反射された後、第３のミラー３ｃによつて対物レ
ンズ１の光軸１０を含む平面内でこの光軸に対し
て約60°の傾きで射出し、像面４上に試料像を形
成する。

そして、像面４の後方に配置された接眼レンズ
５の光軸２０は対物レンズ１の光軸１０に対して
約60°傾いており、接眼レンズ５を通して俯視角
約30°で試料像が観察される。また、ハーフミラ
ー２の上方に配置されたコンデンサーレンズ７を
通して光源６からの光束がハーフミラー２を透過
して対物レンズ１へ供給され、試料面８を同軸落
射照明する。ここで、光源６の像が対物レンズ１
の射出瞳の近傍に形成されるよう構成することが
望ましい。尚、第１図中ではポロミラー系の構成
を分り易くするために俯視角を強調して示した。

ところでハーフミラー２が対物レンズ１側の表
面に半透膜が蒸着されて構成されている場合、試
料面からくる光のうちハーフミラー２の裏面で反
射した光も量的には少ないが像面４に達し、これ
が２重像の原因となる。そこでハーフミラー２の
半透膜をその透過率に対する反射の比が３以上と
なるように選べば裏面反射による光は半透膜面で
反射する光に比べ相対的に十分少なくなり２重像
は感知できない程度になる。また、観察像面４が
ポロミラー系で４回の反射をうけるため、ミラー
表面の状態が像に大きく影響する。そこで各ミラ
ーの厚さをミラー有効径の15％以上とすれば、ミ
ラー表面の状態が機械的応力などに対し安定とな
り良好な像を得ることができる。

また、ハーフミラー２と３枚のミラー３ａ，３
ｂ，３ｃより成るポロミラー系をプリズムで置き
換えることも考えられるが、製造コストが高くな
る上、落射照明時に表面反射によるフレアが多く
なり得策ではない。

以上のように本考案によれば、落射照明用のハ
ーフミラーを、所定角度の俯視角を与え且つ物体
像を正立させるために必要な４つの反射面のうち
の１つの反射面に兼用でき、プリズムを用いてい
ないためにプリズム透過面での反射光がフレアー
等の有害光を生ずるような問題もなく、また観察
光路がハーフミラーの透過光路ではなく反射光路
であるために光学性能に優れている。しかも落射
照明部を対物レンズ光軸の延長上に設置できるた
め鏡筒の構造も単純にでき、安価な同軸落射顕微
鏡を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による実施例の概略側面図、第
２図は第１図のＡ方向よりの矢視図である。 主要部分の符号の説明、１……対物レンズ、
｛２……ハーフミラー、３ａ，３ｂ，３ｃ……ミ
ラー｝ポロミラー系、５……接眼レンズ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 対物レンズを通して物体面へ照明光を供給す
   るために光分割器を有する同軸落射照明型の顕
   微鏡装置において、前記光分割器を前記対物レ
   ンズの光軸に対して斜設され前記対物レンズ側
   の表面に半透膜を有する平行平面板からなるハ
   ーフミラーで構成し、該ハーフミラーの透過光
   路に沿つて前記照明光を物体面に供給すると共
   に、前記ハーフミラーの前記対物レンズ側半透
   膜で表面反射される反射光路上に互いに直交す
   る第１と第２の反射面を設け、さらに該第１と
   第２の反射面からの反射光を前記対物レンズの
   光軸に対して傾斜した所定の俯視角にて反射す
   るための第３の反射面を設け、前記物体面から
   の観察光を前記ハーフミラーでの反射を介して
   前記第１、第２及び第３反射面に導き、該ハー
   フミラー、第１、第２及び第３反射面での４回
   の反射により前記対物レンズによる物体像を前
   記所定の俯視角にて正立させる構成としたこと
   を特徴とする顕微鏡観察装置。 ２ 前記ハーフミラー、前記第１、第２及び第３
   反射面をそれぞれ各有効径の15％以上の厚さを
   有する平行平面板で構成したことを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項記載の顕微鏡観
   察装置。 ３ 前記平行平面板からなるハーフミラーの半透
   膜の透過率に対する反射率の比が３以上である
   ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
   項記載の顕微鏡観察装置。