JPH04367388A - Exchanger of laser mask for marking - Google Patents

Exchanger of laser mask for marking

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JPH04367388A
JPH04367388A JP3136734A JP13673491A JPH04367388A JP H04367388 A JPH04367388 A JP H04367388A JP 3136734 A JP3136734 A JP 3136734A JP 13673491 A JP13673491 A JP 13673491A JP H04367388 A JPH04367388 A JP H04367388A
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JP
Japan
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mask
marking
magazine
masks
holder
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Masaaki Hiromitsu
弘光 正明
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Rohm Co Ltd
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70733Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
    • G03F7/70741Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries

Abstract

PURPOSE:To obtain the exchanger of laser masks for making which allows the automatic exchange of the masks for marking, can continuously execute marking operations on products varying in markings and have no errors in the masks for marking to be set. CONSTITUTION:A mask holder 1 having a sensor 11 which is disposed in correspondence to a laser beam source 8 and confirms the kinds of the masks to be set, a mask magazine 2 which houses the plural masks of different kinds, and a position detecting means 3 which detects the position of the mask to be set among the plural masks to be housed in this mask magazine 2 are provided. A moving means 4 which moves the mask magazine 2 up to the position where the mask to be set corresponds to the mask holder 1 by the detection signal of the position detecting means 3 and the mask to be set is mounted in the mask holder 1 and a mask clip 5 which returns and houses the set mask to the mask magazine 2 after the end of the marking are provided.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】この発明は、例えばトランジスタ
、ダイオード、IC等の電子部品に対しロット表示等を
標印するのに使用される標印用レーザマスクの交換装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a marking laser mask changing device used for marking lot indications on electronic components such as transistors, diodes, and ICs.

【0002】0002

【従来の技術】トランジスタ等の電子部品に対しロット
表示等の標印をする装置は、レーザ光源と、レーザ光源
に対応して配置されるマスクホルダと、このマスクホル
ダの下方に対応して配置されるレンズホルダとから成る
(図示ぜす)。マスクホルダには、標印用のマスク(ス
テンシル)がセットされ、レンズホルダには集光用のメ
ニスカスレンズがセットされる。
[Prior Art] A device for marking electronic components such as transistors with lot indications, etc. includes a laser light source, a mask holder arranged corresponding to the laser light source, and a mask holder arranged below the mask holder. (not shown). A mark mask (stencil) is set in the mask holder, and a meniscus lens for condensing light is set in the lens holder.

【0003】標印に際しては、レーザ光源からマスクに
対しレーザ光を照射し、マスクを通過する通過光をメニ
スカスレンズで集光し、電子部品に照射する。これによ
り、電子部品表面がレーザ光により焼け、変色し、マス
ク面内の字形が文字として標印される。
[0003] For marking, a laser light source emits laser light onto a mask, and the light passing through the mask is focused by a meniscus lens and irradiated onto electronic components. As a result, the surface of the electronic component is burnt and discolored by the laser beam, and the character shape within the mask surface is marked as a character.

【0004】0004

【発明が解決しようとする課題】従来、例えば1ロット
の製品について、標印作業が終了し、次のロット製品に
標印を実行する際は、作業者がマスクホルダから終了し
たマスクを取り出し、且つ新規に使用するマスクをマス
クホルダに装着している。従って、マスク交換が人手に
よるため、交換作業に時間がかかる許かりでなく、交換
の都度、装置を一旦停止させなければならず、標印効率
が頗る悪い。また、作業者は交換時にマスクの種類を慎
重に確認しなければならず、仮に誤った種類のマスクを
装着した場合には、すべて廃棄処分となり製品損失が大
きい等の不利があった。
[Problems to be Solved by the Invention] Conventionally, for example, when the marking work for one lot of products is completed and the next lot of products are to be marked, the worker takes out the finished mask from the mask holder, In addition, the newly used mask is attached to the mask holder. Therefore, since the mask replacement is done manually, it is not only time-consuming, but also requires the device to be temporarily stopped each time the mask is replaced, resulting in extremely poor marking efficiency. In addition, the worker must carefully check the type of mask when replacing it, and if the wrong type of mask is worn, the entire mask will be discarded, resulting in a large loss of product.

【0005】この発明では、標印用マスクを自動交換で
き、標印の異なる製品に対し連続的に標印作業を実行し
得、しかもセットする標印用マスクに誤りのない標印用
レーザマスクの交換装置を提供することを目的とする。
[0005] The present invention provides a laser mask for marking, in which the marking mask can be automatically replaced, marking work can be performed continuously on products with different markings, and there is no error in setting the marking mask. The purpose is to provide a replacement device for

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段及び作用】この目的を達成
させるために、この発明の標印用レーザマスクの交換装
置では、次のような構成としている。
Means and Effects for Solving the Problems In order to achieve this object, the marking laser mask changing device of the present invention has the following construction.

【0007】標印用レーザマスクの交換装置は、レーザ
光源に対応して配置され、セットされるマスクの種類を
確認するセンサを備えたマスクホルダと、種類の異なる
複数のマスクを収納するマスクマガジンと、このマスク
マガジンに収納される複数のマスクのうち、セットすべ
きマスク位置を検出する位置検出手段と、この位置検出
手段の検知信号によりセットすべきマスクがマスクホル
ダに対応する位置までマスクマガジンを移動させる移動
手段と、セットすべきマスクをマスクホルダに装着する
と共に、標印終了後にセットマスクをマスクマガジンに
戻し収納するマスククリップとから成ることを特徴とし
ている。
The laser mask exchange device for marking includes a mask holder arranged in correspondence with a laser light source and equipped with a sensor for confirming the type of mask to be set, and a mask magazine for storing a plurality of masks of different types. and a position detection means for detecting the position of the mask to be set among the plurality of masks stored in this mask magazine, and a detection signal from this position detection means to move the mask magazine until the mask to be set corresponds to the mask holder. and a mask clip that attaches the mask to be set to the mask holder and returns and stores the set mask in the mask magazine after marking is completed.

【0008】このような構成を有する標印用レーザマス
クの交換装置では、マスクマガジンは、前面及び後面が
開放の枠体で、前面側にマスククリップ、後面側にマス
クホルダが配置してある。マガジンには、多数のマスク
受け溝が上下方向に配置してある。使用に際しては、必
要な複数のマスクを使用する順序(標印作業順序)で、
適当位置のマスク受け溝へ上下方向へ収納配置する。ま
た、このマガジンはラック部を備え、このラック部がモ
ータのピニオンと連繋し、モータは制御部によりコント
ロールされ、マガジンがマスクホルダ(及びマスククリ
ップ)に対し垂直方向へ移動可能となっている。。作業
者がスタートスイッチを押すと、モータの駆動によりリ
ミットスイッチ(マガジンの下方に設置したスタート用
リミットセンサ)がONする位置までマスクマガジンが
移動する。この間、位置検出手段(セットすべきマスク
位置確認センサ)により、セットすべきマスクの収納位
置が検知される。この検知信号により、セットすべきマ
スクがマスクホルダに対応する位置までマスクマガジン
が移動させられる。ここで、マスククリップがセットす
べきマスクを把持してマスクホルダに運びセットする。 マスクには、判別用孔が設けてあり、マスクの種類確認
センサ(発光素子と受光素子)によりマスクの種類が確
認される。この光電センサの確認信号に基づき、レーザ
光源が点灯しレーザ光がマスクを通過し、通過光がメニ
スカスレンズで集光され、電子部品に標印を実行する。
In the marking laser mask changing device having such a structure, the mask magazine is a frame with open front and rear surfaces, and a mask clip is arranged on the front side and a mask holder on the rear side. The magazine has a large number of mask receiving grooves arranged in the vertical direction. When using, please follow the order in which multiple masks are used (marking order).
Place it vertically in the mask receiving groove at the appropriate position. Further, this magazine includes a rack section, and this rack section is linked to a pinion of a motor, and the motor is controlled by a control section, so that the magazine can be moved in the vertical direction with respect to the mask holder (and mask clip). . When the operator presses the start switch, the mask magazine is driven by a motor to a position where a limit switch (starting limit sensor installed below the magazine) is turned on. During this time, the storage position of the mask to be set is detected by the position detection means (sensor for confirming the position of the mask to be set). This detection signal causes the mask magazine to be moved to a position where the mask to be set corresponds to the mask holder. Here, the mask clip grasps the mask to be set, carries it to the mask holder, and sets it. The mask is provided with a hole for identification, and the type of mask is confirmed by a mask type confirmation sensor (a light emitting element and a light receiving element). Based on the confirmation signal from the photoelectric sensor, the laser light source is turned on, the laser light passes through the mask, and the passing light is focused by a meniscus lens to mark the electronic component.

【0009】例えば、1ロット分の標印作業が終了する
と、終了スイッチを作業者が押す。これにより、マスク
クリップが終了したマスクをマスクマガジンへ戻す。そ
の後、再び作業者がスタートスイッチを押すと、マスク
マガジンは次に使用するマスクがマスクホルダに対応す
る位置まで移動させられる。このマスクマガジンの移動
は、ラック部とピニオンとの噛み合い数、つまりモータ
の回転数の制御(モータ駆動時間の制御)でワンステッ
プ移動し、次の新しいマスクがマスクホルダに対応位置
するようになっている。そして、マスククリップが使用
順序「2」のマスクをマスクホルダにセットして、新た
な標印作業を実行する。以後、この作業が繰り返し続行
される。
For example, when the marking work for one lot is completed, the operator presses an end switch. As a result, the mask whose mask clip has been completed is returned to the mask magazine. Thereafter, when the operator presses the start switch again, the mask magazine is moved to a position where the next mask to be used corresponds to the mask holder. The mask magazine is moved one step by controlling the number of engagements between the rack part and the pinion, that is, the number of rotations of the motor (controlling the motor drive time), and the next new mask is positioned corresponding to the mask holder. ing. Then, a mask whose mask clip has a use order of "2" is set in the mask holder, and a new marking operation is performed. Thereafter, this work is continued repeatedly.

【0010】かくして、異なる種類の製品に対し、対応
する種類のマスクを選定して、自動的にマスク交換を実
行し、連続的に異なる製品に対し標印作業を行い得る。 また、マスクセット時に、光電センサによりマスクの種
類を確認した後に、標印作業を実行するから、種類の誤
ったマスクで標印する虞れが全くない。
[0010] In this way, it is possible to select the corresponding type of mask for different types of products, automatically execute mask exchange, and continuously perform marking operations on different types of products. Furthermore, since the marking operation is performed after confirming the type of mask using a photoelectric sensor when setting the mask, there is no risk of marking with the wrong type of mask.

【0011】[0011]

【実施例】図1は、この発明に係る標印用レーザマスク
の交換装置の具体的な一実施例を示す側面図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a side view showing a specific embodiment of a marking laser mask exchanging device according to the present invention.

【0012】標印用レーザマスクの交換装置は、レーザ
光源6に対応して配置され、セットされるマスクAの種
類を確認するセンサ11を備えたマスクホルダ1と、種
類の異なる複数のマスクA、B、Cを収納するマスクマ
ガジン2と、このマスクマガジン2に収納される複数の
マスクA、B、Cのうち、セットすべきマスク位置を検
出する位置検出手段3と、この位置検出手段3の検知信
号によりセットすべきマスクAがマスクホルダ1に対応
する位置までマスクマガジン2を移動させる移動手段4
と、セットすべきマスクAをマスクホルダ1に装着する
と共に、標印終了後にセットマスクAをマスクマガジン
2に戻し収納するマスククリップ5とから成る。
The marking laser mask exchanging device includes a mask holder 1 which is disposed corresponding to a laser light source 6 and is equipped with a sensor 11 for confirming the type of mask A to be set, and a plurality of masks A of different types. , B, and C; a position detection means 3 for detecting the mask position to be set among the plurality of masks A, B, and C stored in this mask magazine 2; and this position detection means 3. A moving means 4 for moving the mask magazine 2 to a position where the mask A to be set corresponds to the mask holder 1 based on the detection signal of
and a mask clip 5 for attaching the mask A to be set to the mask holder 1 and for returning and storing the set mask A to the mask magazine 2 after marking is completed.

【0013】前記マスクホルダ1は、レーザ光源8とメ
ニスカスレンズ9との間に対応配置されている。このマ
スクホルダ1は、面内にマスクAを固定する固定部12
を備え、この固定部12の上方にマスクの種類を確認す
るセンサ11を配備してある。センサ11は、実施例で
は光電センサ(受・発光素子)で12個設けてある。一
方、マスクA、B、Cには、種類判別用の孔が設けてあ
り、光電センサ12の受光状態で種類が判別できるよう
になっている。
The mask holder 1 is disposed correspondingly between the laser light source 8 and the meniscus lens 9. This mask holder 1 has a fixing part 12 that fixes the mask A within the plane.
A sensor 11 is provided above the fixing part 12 to confirm the type of mask. In the embodiment, 12 sensors 11 are provided as photoelectric sensors (receiving/emitting elements). On the other hand, the masks A, B, and C are provided with holes for type discrimination, so that the type can be discriminated based on the light receiving state of the photoelectric sensor 12.

【0014】上記、マスクマガジン2は、左右側面板2
a、2bからなり、前面及び後面が開放の枠体で、前面
側に後述するマスククリップ5、後面側に上記マスクホ
ルダ1が配置してある。つまり、マスククリップ5及び
マスクホルダ1は、共にマガジン2の長さ中央部の両側
に固定配置してある。また、マスクマガジン2には、両
側面板2a、2bの内面側に多数のマスク受け溝21が
上下方向に配置してある。このマスク受け溝21は、マ
スククリップ5及びマスクホルダ1と連通状となってい
る。更に、この上下方向に平行状に並ぶマスク受け溝2
1には、使用する複数のマスクA、B、Cを配置するよ
うになっている。また、一方の側面板2bにラック部4
1を設け、このラック部41を支柱6に対しスライド可
能に設定している。上記、移動手段4は、このラック部
41と、正逆回転モータ42と、モータ42の回転軸に
取付けたピニン43とからなり、ラック部41とピニオ
ン43とが噛み合っている。このモータ42は、図示し
ない制御部(コントローラ)に電気的に接続してあり、
マガジンラック2がマスクホルダ(マスククリップ)1
に対し上下動するようになっている。
The above mask magazine 2 has left and right side plates 2
A and 2b, the frame body is open at the front and rear sides, and the mask clip 5, which will be described later, is placed on the front side, and the mask holder 1 is placed on the rear side. That is, both the mask clip 5 and the mask holder 1 are fixedly arranged on both sides of the magazine 2 at the center of its length. Further, in the mask magazine 2, a large number of mask receiving grooves 21 are arranged in the vertical direction on the inner surfaces of both side plates 2a and 2b. This mask receiving groove 21 is in communication with the mask clip 5 and the mask holder 1. Furthermore, mask receiving grooves 2 are arranged in parallel in the vertical direction.
1, a plurality of masks A, B, and C to be used are arranged. In addition, a rack portion 4 is provided on one side plate 2b.
1 is provided, and this rack portion 41 is set to be slidable with respect to the support column 6. The above-mentioned moving means 4 consists of this rack part 41, a forward/reverse rotation motor 42, and a pinion 43 attached to the rotating shaft of the motor 42, and the rack part 41 and the pinion 43 are meshed with each other. This motor 42 is electrically connected to a control unit (controller) not shown.
Magazine rack 2 is mask holder (mask clip) 1
It is designed to move up and down.

【0015】上記マスク位置検出手段3は、マスクマガ
ジン2の下方であって、マスクマガジン2の前面側近傍
に配置してある位置確認センサである。このマスク位置
検出手段3は、後述するマスククリップ5の下方に配置
してある。また、このマスク位置検出手段3の上方及び
下方、つまりマスクマガジン2の前面側であって、支柱
6の上端側位置と下端側位置にそれぞれリミットセンサ
7、7aが配置してある。下側のリミットセンサ7がス
タート用であり、上側のリミットセンサ7aがエンド用
である。
The mask position detecting means 3 is a position confirmation sensor disposed below the mask magazine 2 and near the front side of the mask magazine 2. This mask position detection means 3 is arranged below a mask clip 5, which will be described later. Furthermore, limit sensors 7 and 7a are arranged above and below the mask position detection means 3, that is, on the front side of the mask magazine 2, at the upper and lower end positions of the support column 6, respectively. The lower limit sensor 7 is for starting, and the upper limit sensor 7a is for ending.

【0016】前記マスククリップ5は、先端部に挟み状
のマスク把持部51を備え、基端部に筒状スライダ52
を備えている。このスライダ52が、下方に平行状に配
置されたシリンダ53に移動可能に嵌挿配備されている
。つまり、マスククリップ5は、スライダ52がシリン
ダ53上を往復動することで移動し、マスクをマスクマ
ガジン2とマスクホルダ1との間で移送する。また、先
端部のマスク把持部51は、プランジャ機構となってお
り、電磁石によりマスクを把持し或いは開放するように
なっている。つまり、制御部からの電気信号(オン、オ
フ)で把持部51がマスクを把持・開放する。このマス
ク把持部51の駆動及びスライダ52の往復移動は、図
示しない制御部と電気的に接続されコントロールされる
ようになっている。
The mask clip 5 has a sandwich-shaped mask gripping portion 51 at its distal end, and a cylindrical slider 52 at its base end.
It is equipped with This slider 52 is movably fitted into a cylinder 53 arranged in parallel below. That is, the mask clip 5 is moved by the slider 52 reciprocating on the cylinder 53, and the mask is transferred between the mask magazine 2 and the mask holder 1. Further, the mask gripping section 51 at the tip is a plunger mechanism, and is configured to grip or release the mask using an electromagnet. That is, the grip section 51 grips and releases the mask in response to an electric signal (on, off) from the control section. The driving of the mask gripping section 51 and the reciprocating movement of the slider 52 are electrically connected to and controlled by a control section (not shown).

【0017】このような構成を有する標印用レーザマス
クの交換装置では、使用に際しては、必要な複数のマス
クA、B、Cを使用する順序(標印作業順序)で、マス
ク受け溝21に収納配置する。作業者がスタートスイッ
チ(図示せず)を押すと、モータ42の駆動によりリミ
ットスイッチ(スタート用リミットセンサ)7がONす
る位置までマスクマガジン2が移動する。この間、位置
検出手段(セットすべきマスク位置確認センサ)3によ
り、セットすべきマスクAの収納位置が検知される。こ
の検知信号により、セットすべきマスクAがマスクホル
ダ1に対応する位置までマスクマガジン2が移動させら
れる。ここで、マスククリップ5がセットすべきマスク
Aを把持してマスクホルダ1に運びセットする。マスク
Aには、判別用孔が設けてあり、光電センサ(発光素子
と受光素子)11によりマスクAの種類が確認される。 この光電センサ11の確認信号に基づき、レーザ光源8
が点灯しレーザ光がマスクAを通過し、通過光がメニス
カスレンズ9で集光され、電子部品Xに標印を実行する
。例えば、1ロット分の標印作業が終了すると、終了ス
イッチ(図示せず)を作業者が押す。これにより、マス
ククリップ5が終了したマスクAをマスクマガジン2へ
戻す。その後、再び作業者がスタートスイッチ(図示せ
ず)を押すと、マスクマガジン2は次に使用するマスク
B(図2参照)が、マスクホルダ1に対応する位置まで
移動させられる。ここで、マスクマガジン2の移動は、
ピニオン43とラック部41との噛み合い数により、モ
ータ42の回転数の制御(モータ駆動時間の制御)で、
マスクA位置からマスクBの収納位置まで、ワンステッ
プするように設定してある。従って、作業者がスタート
スイッチを再び押すことで、マスクマガジンはモータ4
2の回転により自動的に、次のマスクBがマスクホルダ
1に対応する位置へ移動する。そして、マスククリップ
5が使用順序「2」のマスクBをマスクホルダ1にセッ
トして、新たな標印作業を実行する。以後、この作業が
繰り返し続行される。
When using the marking laser mask changing device having such a configuration, the required plurality of masks A, B, and C are inserted into the mask receiving groove 21 in the order of use (marking work order). Arrange storage. When the operator presses a start switch (not shown), the motor 42 drives the mask magazine 2 to a position where the limit switch (starting limit sensor) 7 is turned on. During this time, the position detecting means (sensor for confirming the position of the mask to be set) 3 detects the storage position of the mask A to be set. This detection signal causes the mask magazine 2 to move to the position where the mask A to be set corresponds to the mask holder 1. Here, the mask clip 5 grips the mask A to be set, carries it to the mask holder 1, and sets it. The mask A is provided with a hole for identification, and the type of the mask A is confirmed by a photoelectric sensor (a light emitting element and a light receiving element) 11. Based on the confirmation signal from the photoelectric sensor 11, the laser light source 8
lights up, the laser light passes through the mask A, the passing light is focused by the meniscus lens 9, and the electronic component X is marked. For example, when the marking work for one lot is completed, the operator presses an end switch (not shown). Thereby, the mask A whose mask clip 5 has been finished is returned to the mask magazine 2. Thereafter, when the operator presses the start switch (not shown) again, the mask magazine 2 is moved to the position where the next mask B (see FIG. 2) to be used corresponds to the mask holder 1. Here, the movement of the mask magazine 2 is as follows.
By controlling the number of rotations of the motor 42 (controlling the motor driving time) by the number of engagements between the pinion 43 and the rack part 41,
It is set to take one step from the mask A position to the mask B storage position. Therefore, when the operator presses the start switch again, the mask magazine is moved by motor 4.
2, the next mask B automatically moves to the position corresponding to the mask holder 1. Then, the mask B with the mask clip 5 in the order of use "2" is set in the mask holder 1, and a new marking operation is performed. Thereafter, this work is continued repeatedly.

【0018】かくして、異なる種類の製品に対し、対応
する種類のマスクを選定して、自動的にマスク交換を実
行し、連続的に異なる製品に対し標印作業を行い得る。 また、マスクセット時に、光電センサによりマスクの種
類を確認した後に、標印作業を実行するから、種類の誤
ったマスクで標印する虞れが全くない。
[0018] In this way, it is possible to select the corresponding type of mask for different types of products, automatically execute mask exchange, and perform marking work on different types of products continuously. Furthermore, since the marking operation is performed after confirming the type of mask using a photoelectric sensor when setting the mask, there is no risk of marking with the wrong type of mask.

【0019】尚、実施例では、複数のマスクを標印作業
の順序(使用順序)で、マスクマガジン2のマスク受け
溝21に収納し、ステップ方式で標印作業を連続させる
例を示したが、実施に際しては、予め制御部のプログラ
ムに標印作業順序を記憶させておくことで、マスク受け
溝21にはアトランダムに複数のマスクを収納しておく
ことができる。この場合、マスク位置確認センサ3が複
数のマスクのナンバを読み取り、プロラグムに従い、該
当マスク位置がマスクホルダ1に対応する位置まで、マ
スクマガジン2を移動させることとなる。従って、製品
ロットが変わる毎に、自動的にマスクを交換し、マスク
の切替え作業がフルオートとなり、一切、人手が不要と
なる。
In the embodiment, an example is shown in which a plurality of masks are stored in the mask receiving groove 21 of the mask magazine 2 in the order of marking work (order of use) and the marking work is continued in a stepwise manner. In implementation, a plurality of masks can be stored in the mask receiving groove 21 at random by storing the marking work order in the program of the control unit in advance. In this case, the mask position confirmation sensor 3 reads the numbers of a plurality of masks, and moves the mask magazine 2 according to the program to a position where the corresponding mask position corresponds to the mask holder 1. Therefore, each time the product lot changes, the mask is automatically replaced, and the mask switching operation is fully automatic, eliminating the need for any human labor.

【0020】[0020]

【発明の効果】この発明では、以上のように、マスクマ
ガジンに収納される複数のマスクのうち、セットすべき
マスク位置を位置検出手段で検出し、移動手段によりセ
ットすべきマスクがマスクホルダに対応する位置までマ
スクマガジンを移動させ、マスククリップによりセット
すべきマスクをマスクホルダに装着した後、マスクの種
類を確認センサで確認し、標印作業を開始すると共に、
標印終了後にマスククリップによりセットマスクをマス
クマガジンに戻し収納することとしたから、自動的にマ
スクが交換でき、マスク交換作業に人手が不要となり、
標印作業の効率が向上する。また、マスクはマスクホル
ダにセットした時点で、マスクの種類が確認された後、
標印作業の実行に移るため、誤ったマスクをセットする
虞れがなく、マスクセットミスによる製品廃棄がなくな
る等、発明目的を達成した優れた効果を有する。
[Effects of the Invention] As described above, in the present invention, the position of the mask to be set among a plurality of masks stored in the mask magazine is detected by the position detecting means, and the mask to be set is moved to the mask holder by the moving means. After moving the mask magazine to the corresponding position and attaching the mask to be set to the mask holder using the mask clip, the type of mask is confirmed with the confirmation sensor, and marking work is started.
After marking is completed, the set mask is returned to the mask magazine using a mask clip, so the mask can be replaced automatically, eliminating the need for manpower to replace the mask.
The efficiency of marking work is improved. In addition, when the mask is set in the mask holder, the type of mask is confirmed, and then
Since the marking work is started, there is no risk of setting the wrong mask, and there is no need to discard products due to mask setting mistakes, which has the excellent effect of achieving the purpose of the invention.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】実施例標印用レーザマスクの交換装置を示す要
部側面図である。
FIG. 1 is a side view of a main part showing an exchanging device for a laser mask for marking according to an embodiment.

【図2】実施例標印用レーザマスクの交換装置を示す要
部平面図である。
FIG. 2 is a plan view of the main parts of the exchanging device for the laser mask for marking according to the embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    マスクホルダ 2    マスクマガジン 3    マスク位置確認センサ 4    マガジン移動手段 5    マスククリップ 11  マスク種類確認センサ 1 Mask holder 2 Mask Magazine 3 Mask position confirmation sensor 4 Magazine movement means 5 Mask clip 11 Mask type confirmation sensor

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】レーザ光源に対応して配置され、セットさ
れるマスクの種類を確認するセンサを備えたマスクホル
ダと、種類の異なる複数のマスクを収納するマスクマガ
ジンと、このマスクマガジンに収納される複数のマスク
のうち、セットすべきマスク位置を検出する位置検出手
段と、この位置検出手段の検知信号によりセットすべき
マスクがマスクホルダに対応する位置までマスクマガジ
ンを移動させる移動手段と、セットすべきマスクをマス
クホルダに装着すると共に、標印終了後にセットマスク
をマスクマガジンに戻し収納するマスククリップとから
成る標印用レーザマスクの交換装置。
Claims 1: A mask holder arranged in correspondence with a laser light source and equipped with a sensor for checking the type of mask to be set; a mask magazine for storing a plurality of different types of masks; and a mask magazine for storing a plurality of masks of different types. a position detecting means for detecting the position of a mask to be set among a plurality of masks; a moving means for moving a mask magazine to a position where the mask to be set corresponds to the mask holder based on a detection signal from the position detecting means; A marking laser mask changing device comprising a mask clip for mounting a mask to be used on a mask holder and returning and storing the set mask in a mask magazine after marking is completed.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US6084204A (en) * 1997-04-21 2000-07-04 Samsung Aerospace Industries, Ltd. Leadframe manufacturing apparatus using laser beams
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