JPH04359839A - Microwave tube - Google Patents

Microwave tube

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JPH04359839A
JPH04359839A JP13455691A JP13455691A JPH04359839A JP H04359839 A JPH04359839 A JP H04359839A JP 13455691 A JP13455691 A JP 13455691A JP 13455691 A JP13455691 A JP 13455691A JP H04359839 A JPH04359839 A JP H04359839A
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JP
Japan
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collector
collector electrode
electrode
tube
microwave tube
Prior art date
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Pending
Application number
JP13455691A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
▲高▼橋 雅明
Masaaki Takahashi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPH04359839A publication Critical patent/JPH04359839A/en
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Abstract

PURPOSE:To eliminate use of any ion pump by adsorbing the gas released into a collector, while the bulb is in operation, automatically to a getter film which is produced through sputters of Ti or Ta. CONSTITUTION:The collector part has at least two collector electrodes 3, 6, wherein the same potential as the cathode is impressed on one of them, and part of the electrode is configured with a component 5 consisting of Ti or Ta.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波管に関し、
特にそのコレクタ部の構造に関する。
[Industrial Application Field] The present invention relates to a microwave tube.
In particular, it relates to the structure of its collector section.

【0002】0002

【従来の技術】従来のマイクロ波管は、例えばシングル
コレクタ形の進行波管を例に取ると、図3に示すような
コレクタ部の構造を有している。真空外囲器を兼ねるコ
レクタ電極18は銅からなり、アルミナセラミックスか
らなる絶縁石2によって遅波回路部1と電気的に絶縁さ
れている。そして、遅波回路部1と同電位であり、かつ
コバーからなる封入皿20の上にバルクゲッタポンプま
たはイオンポンプ19を取り付けている。
2. Description of the Related Art A conventional microwave tube, for example a single collector type traveling wave tube, has a collector section structure as shown in FIG. 3. The collector electrode 18, which also serves as a vacuum envelope, is made of copper and is electrically insulated from the slow wave circuit section 1 by an insulating stone 2 made of alumina ceramics. A bulk getter pump or ion pump 19 is mounted on an enclosure plate 20 which has the same potential as the slow wave circuit section 1 and is made of cover.

【0003】次に、動作について説明する。増幅に寄与
した電子ビーム7はコレクタ電極18の内壁に衝突し、
コレクタ電極18の温度を上昇させる。その結果、コレ
クタ電極18の内壁表面に吸着していたガス分子あるい
はコレクタ電極18を構成する銅の内部に吸収されてい
たガス分子が時間とともに放出される。コレクタ内部に
放出されたガス分子は初めは電気的に中性なガス分子9
であるが、電子ビーム7と衝突して正イオン10に変化
する。
Next, the operation will be explained. The electron beam 7 that has contributed to the amplification collides with the inner wall of the collector electrode 18,
The temperature of the collector electrode 18 is increased. As a result, gas molecules adsorbed on the inner wall surface of the collector electrode 18 or gas molecules absorbed inside the copper constituting the collector electrode 18 are released over time. The gas molecules released into the collector are initially electrically neutral gas molecules 9
However, it collides with the electron beam 7 and changes into positive ions 10.

【0004】通常、コレクタ電位は遅波回路側に比べて
40〜60%程度の範囲で電位を低く設定しているため
、コレクタ電極18と遅波回路部1との間に生じている
電位障壁により正イオン10はコレクタ電極18の内部
に閉じ込められているが、ガス放出が進むにつれて正イ
オンの量が増加し圧力が高くなると電位障壁を越えて遅
波回路部1に正イオン10が流出しイオンノイズ、ビー
ム透過不良等の不安定動作の原因となる。従って、従来
のマイクロ波管では、遅波回路部1に流出してきた正イ
オン10を取り除き管球の不安定動作を防ぐためにバル
クゲッタポンプまたはイオンポンプ19により排気を行
うようになっている。
[0004] Normally, the collector potential is set to be 40 to 60% lower than that of the slow-wave circuit side, so the potential barrier generated between the collector electrode 18 and the slow-wave circuit section 1 Therefore, the positive ions 10 are confined inside the collector electrode 18, but as the gas release progresses, the amount of positive ions increases and the pressure increases, the positive ions 10 flow out into the slow wave circuit section 1 over the potential barrier. This may cause unstable operation such as ion noise and poor beam transmission. Therefore, in the conventional microwave tube, a bulk getter pump or an ion pump 19 is used for evacuation in order to remove the positive ions 10 that have flowed into the slow wave circuit section 1 and prevent unstable operation of the tube.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】この従来のマイクロ波
管のコレクタ部構造では、バルクゲッタポンプまたはイ
オンポンプが管球から突き出しているために、管球全体
の外径が大形化すること、また使用中の管球について定
期的に例えば一年に一回ポンプを動作させコレクタから
放出されたガスの正イオンを排気してやる必要があり、
しかも誰れでも簡単にできる作業ではないためユーザに
とって管理,取り扱いの点で非常に面倒であるという問
題点があった。
[Problems to be Solved by the Invention] In this conventional collector structure of a microwave tube, since the bulk getter pump or ion pump protrudes from the tube, the outer diameter of the entire tube becomes large. In addition, it is necessary to periodically operate the pump for the tube in use, for example once a year, to exhaust the positive ions of the gas released from the collector.
Moreover, since it is not an easy task for anyone to perform, there is a problem in that it is very troublesome for users to manage and handle.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明のマイクロ波管は
、そのコレクタ部が少くとも2個以上のコレクタ電極を
有し、そのうちの1個はカソードと同電位が印加され、
しかもその電極の全体または一部がチタンまたはタンタ
ルからなる部品によって構成されていることを特徴とす
る。
[Means for Solving the Problems] The microwave tube of the present invention has a collector portion having at least two or more collector electrodes, one of which is applied with the same potential as the cathode,
Moreover, the electrode is characterized in that the entire or part of the electrode is made of titanium or tantalum.

【0007】[0007]

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図1は本発明の第1の実施例の進行波管の断面図であ
る。第2コレクタ電極6は銅からなり、真空外囲器を兼
ねている。チタン又はタンタルからなる電極部品5がろ
う付けまたは溶接により第2コレクタ電極6に接合され
ている。第2コレクタ電極6は、アルミナセラミックス
からなる絶縁石4によって銅からなる第1コレクタ電極
3と電気的に絶縁されている。第2コレクタ電極6には
カソード電位を印加する。カソード電位を基準に取ると
、例えば遅波回路部1は10KV、第1コレクタ電極3
は5KV、第2コレクタ電極6と電極部品5はOVとい
う電圧配分となる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be explained with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a traveling wave tube according to a first embodiment of the present invention. The second collector electrode 6 is made of copper and also serves as a vacuum envelope. An electrode component 5 made of titanium or tantalum is joined to the second collector electrode 6 by brazing or welding. The second collector electrode 6 is electrically insulated from the first collector electrode 3 made of copper by an insulating stone 4 made of alumina ceramics. A cathode potential is applied to the second collector electrode 6. Taking the cathode potential as a reference, for example, the slow wave circuit section 1 has a voltage of 10 KV, and the first collector electrode 3
The voltage distribution is 5 KV, and the voltage distribution between the second collector electrode 6 and the electrode component 5 is OV.

【0008】増幅に寄与した電子ビーム7はOVの電極
部品5には衝突せずに電位の高い第1コレクタ電極3に
衝突する。第1コレクタ電極3の温度上昇の結果として
発生する放出ガスの正イオン10はOVの電極部品5に
衝突することによって捕捉される。このとき、チタンま
たはタンタルが衝突の衝撃によりスパッタし、第1コレ
クタ電極3の内壁にゲッタ膜8を生成し、ゲッタ作用に
より電気的に中性なガス分子9を吸着する。このように
して、管球が動作している間中放出ガスの排気が行なわ
れるため、放出ガスによって発生する管球の不安定動作
を防止することができる。
The electron beam 7 that has contributed to the amplification does not collide with the electrode component 5 of the OV, but collides with the first collector electrode 3 having a high potential. The positive ions 10 of the emitted gas generated as a result of the temperature rise of the first collector electrode 3 are captured by impinging on the electrode part 5 of the OV. At this time, titanium or tantalum is sputtered by the impact of the collision, forming a getter film 8 on the inner wall of the first collector electrode 3, and adsorbing electrically neutral gas molecules 9 by the getter action. In this way, the emitted gas is exhausted while the tube is in operation, so that unstable operation of the tube caused by the emitted gas can be prevented.

【0009】図2は、本発明の第2の実施例を示す断面
図である。第1コレクタ電極12と第2コレクタ電極1
4はグラファイトからなり、アルミナセラミックスから
なる絶縁石11と絶縁石13に夫々ろう付けされ、更に
各絶縁石はコバーからなる真空外囲器15にろう付けさ
れている。第3コレクタ電極17はチタンまたはタンタ
ルからなり、アルミナセラミックスからなる真空外囲器
を兼ねる絶縁石16にろう付けされている。
FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention. First collector electrode 12 and second collector electrode 1
4 is made of graphite and is brazed to insulating stones 11 and 13 made of alumina ceramics, respectively, and each insulating stone is further brazed to a vacuum envelope 15 made of Kovar. The third collector electrode 17 is made of titanium or tantalum, and is brazed to an insulating stone 16 made of alumina ceramics that also serves as a vacuum envelope.

【0010】カソード電位を基準にして、例えば遅波回
路部1は10KV、第1コレクタ電極12は5KV、第
2コレクタ電極14は2KV、第3コレクタ電極は0V
という電圧配分となっている。第1コレクタ電極12、
第2コレクタ電極14から放出するガス分子は電子ビー
ム7と衝突し正イオン10となり0Vの第3コレクタ電
極17に衝突捕捉される。このときスパッタしたチタン
またはタンタルのゲッタ膜8がゲッタ作用により電気的
に中性なガス分子9を吸着する。こうして、図1に示し
た第1の実施例と同様に放出ガスの排気が行なわれる。
Based on the cathode potential, for example, the slow wave circuit section 1 has a voltage of 10KV, the first collector electrode 12 has a voltage of 5KV, the second collector electrode 14 has a voltage of 2KV, and the third collector electrode has a voltage of 0V.
This is the voltage distribution. first collector electrode 12,
Gas molecules emitted from the second collector electrode 14 collide with the electron beam 7 and become positive ions 10, which are collided and captured by the third collector electrode 17 at 0V. At this time, the sputtered titanium or tantalum getter film 8 adsorbs electrically neutral gas molecules 9 by getter action. In this way, the released gas is exhausted in the same manner as in the first embodiment shown in FIG.

【0011】なお、上記説明は進行波管を例にして行っ
たが、クライストロン等にも有効である。
[0011] The above explanation has been made using a traveling wave tube as an example, but it is also effective for klystrons and the like.

【0012】0012

【発明の効果】以上説明したように本発明は、複数のコ
レクタ電極のうちの1個にカソード電位を印加し、しか
もその1個の電極の全体または一部をチタンまたはタン
タルによって構成することにより、管球の動作中にコレ
クタ内の放出ガスを自動的に排気することができる。そ
の結果、イオン化した放出ガスの遅波回路側への流出に
よるイオンノイズ、ビーム透過不良などの不安定動作を
防止することができるほか、従来のようにイオンポンプ
やバルクゲッタポンプを取り付ける必要がないため、管
球の小型化、取り扱いの容易さの点でもすぐれていると
いう効果を有している。
Effects of the Invention As explained above, the present invention applies a cathode potential to one of a plurality of collector electrodes, and furthermore, by forming the whole or a part of the one electrode from titanium or tantalum. , the released gas in the collector can be automatically evacuated during operation of the tube. As a result, it is possible to prevent unstable operation such as ion noise and poor beam transmission due to the outflow of ionized emitted gas to the slow wave circuit side, and there is no need to install an ion pump or bulk getter pump as required in the past. Therefore, the tube has advantages in terms of miniaturization and ease of handling.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の第1の実施例である進行波管のコレク
タ部断面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a collector portion of a traveling wave tube according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例のコレクタ部断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view of a collector portion of a second embodiment of the present invention.

【図3】従来例を示す進行波管のコレクタ部断面図であ
る。
FIG. 3 is a sectional view of a collector portion of a traveling wave tube showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    遅波回路部 2,4,11,13,16    絶縁石3,12  
  第1コレクタ電極 5    電極部品 6,14    第2コレクタ電極 7    電子ビーム 8    ゲッタ膜 9    電気的に中性なガス分子 10    正イオン 15    真空外囲器 17    第3コレクタ電極 18    コレクタ電極 19    バルクゲッタポンプまたはイオンポンプ2
0    封入皿
1 Slow wave circuit section 2, 4, 11, 13, 16 Insulating stone 3, 12
First collector electrode 5 Electrode parts 6, 14 Second collector electrode 7 Electron beam 8 Getter film 9 Electrically neutral gas molecules 10 Positive ions 15 Vacuum envelope 17 Third collector electrode 18 Collector electrode 19 Bulk getter pump or ion pump 2
0 Enclosure dish

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  電子ビームを取り出す電子銃部と、マ
イクロ波の増幅・発振を行う相互作用部と、増幅・発振
に寄与した電子ビームを捕獲するコレクタ部と、電子ビ
ームを集束する磁気集束装置を有するマイクロ波管にお
いて、前記コレクタ部は、少くとも2個以上のコレクタ
電極を有し、そのうちの1個はカソードと同電位が印加
され、しかもその電極の全体または一部がチタンまたは
タンタルからなる部品によって構成されていることを特
徴とするマイクロ波管。
Claim 1: An electron gun section that takes out an electron beam, an interaction section that amplifies and oscillates microwaves, a collector section that captures the electron beam that has contributed to the amplification and oscillation, and a magnetic focusing device that focuses the electron beam. In the microwave tube, the collector section has at least two or more collector electrodes, one of which has the same potential as the cathode, and the whole or part of the electrode is made of titanium or tantalum. A microwave tube characterized in that it is composed of parts.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6607417B2 (en) * 2001-11-05 2003-08-19 Air Asia Technology Inc. Suction device used in aging process of a microwave tube
US6727651B2 (en) * 2001-12-14 2004-04-27 Nec Microwave Tube, Ltd Traveling wave tube
GB2411517A (en) * 2004-02-27 2005-08-31 E2V Tech Uk Ltd Collector arrangement

Cited By (4)

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Effective date: 19991214