JPH04357302A - Control device for hydraulic actuator - Google Patents

Control device for hydraulic actuator

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JPH04357302A
JPH04357302A JP15745791A JP15745791A JPH04357302A JP H04357302 A JPH04357302 A JP H04357302A JP 15745791 A JP15745791 A JP 15745791A JP 15745791 A JP15745791 A JP 15745791A JP H04357302 A JPH04357302 A JP H04357302A
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JP
Japan
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solenoid valve
speed solenoid
logic
piston
valve
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Application number
JP15745791A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuhiko Ichiki
伸彦 市来
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Hitachi Construction Machinery Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Construction Machinery Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH04357302A publication Critical patent/JPH04357302A/en
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Abstract

PURPOSE:To provide a control device for a hydraulic actuator by taking advantages of the excellences of a high-speed solenoid valve, which improves a positioning accuracy of the hydraulic actuator. CONSTITUTION:There are provided first and second logic valves 35, 40 arranged between input ports of logic valve part 14A, 14B of first and second high-speed solenoid valves 1A, 1B and control chambers 12A, 12B, and a high-speed solenoid valve 47 for opening/closing the logic valves 35, 40. Normally, the first or the second high-speed solenoid valves 1A, 1B is operated to move a piston 27 with a high speed. When a sensor 26 detects that the piston 27 approaches a stopping target position, the solenoid valve 47 is operated to decelerate the piston 27. Since the piston stops with a low speed, a stopping position accuracy is improved.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、例えば油圧シリンダの
駆動を制御する油圧アクチュエータの制御装置に関する
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a hydraulic actuator control device for controlling the drive of, for example, a hydraulic cylinder.

【0002】0002

【従来の技術】既に特開昭62−292982号公報に
示す高速電磁弁装置を提案し、さらにその高速電磁弁装
置を小型化した特開平1−229202号公報に示す高
速電磁弁装置を提案した。この高速電磁弁装置の概略を
図により説明する。図7は従来の高速電磁弁装置の断面
図である。図で、1は入力ポート2と出力ポート3とを
有する高速電磁弁装置の本体である。4は第1のスリー
ブ5内にスプール6を収納するとともに、この第1のス
リーブ5にスプール6の移動時に連通する入力ポート7
、出力ポート8を有する電磁弁部である。9は第2のス
リーブ10内にばね11を収納する制御室12を形成し
、この制御室12に通じる小径貫通孔13を有するポペ
ット14を収納するとともに、第2のスリーブ10にポ
ペット14の移動時に連通する入力ポート15、出力ポ
ート16を有するロジック弁部である。17は第1、第
2のスリーブ5、10間に介装され中央に開口を有する
プレート、18は出力ポート3に対し出力ポート8、1
6を連通する溝である。
[Prior Art] We have already proposed a high-speed solenoid valve device as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-292982, and further proposed a high-speed solenoid valve device as shown in Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-229202, which is a miniaturized version of the high-speed solenoid valve device. . The outline of this high-speed solenoid valve device will be explained with reference to the drawings. FIG. 7 is a sectional view of a conventional high-speed solenoid valve device. In the figure, 1 is the main body of a high-speed solenoid valve device having an input port 2 and an output port 3. 4 stores the spool 6 in the first sleeve 5, and has an input port 7 that communicates with the first sleeve 5 when the spool 6 moves.
, a solenoid valve section having an output port 8. 9 forms a control chamber 12 in which a spring 11 is housed in a second sleeve 10, houses a poppet 14 having a small-diameter through hole 13 communicating with this control chamber 12, and controls the movement of the poppet 14 in the second sleeve 10. This is a logic valve portion having an input port 15 and an output port 16 that communicate with each other. 17 is a plate interposed between the first and second sleeves 5 and 10 and has an opening in the center; 18 is a plate that is interposed between the first and second sleeves 5 and 10;
This is a groove that connects 6.

【0003】電磁弁部4が非励磁のとき、スプール6お
よびポペット14は遮断位置にある結果、高速電磁弁装
置本体1の入力ポート2と出力ポート3との間は遮断さ
れている。電磁弁部4が励磁されると、スプール6がば
ね11のばね力に抗して駆動され、第1のスリーブ5の
入力ポート7と出力ポート8とが導通状態となる。これ
により、制御室12内の油がプレート17の中央開口、
入力ポート7、出力ポート8を介して急速に排出される
。このため、制御室12内の圧力が低下し、ポペット1
4は入力ポート2、7に供給されている圧油によりばね
11のばね力に抗して駆動され、第2のスリーブ10の
入力ポート15と出力ポート16とが導通状態となる。 これにより、高速電磁弁装置1の入力ポート2と出力ポ
ート3とが導通状態となる。
When the solenoid valve section 4 is de-energized, the spool 6 and the poppet 14 are in the cutoff position, and as a result, the input port 2 and the output port 3 of the high speed solenoid valve device body 1 are cut off. When the electromagnetic valve section 4 is excited, the spool 6 is driven against the spring force of the spring 11, and the input port 7 and the output port 8 of the first sleeve 5 are brought into conduction. As a result, the oil in the control chamber 12 flows through the central opening of the plate 17.
It is rapidly discharged via input port 7 and output port 8. Therefore, the pressure inside the control chamber 12 decreases, and the poppet 1
4 is driven by the pressure oil supplied to the input ports 2 and 7 against the spring force of the spring 11, and the input port 15 and output port 16 of the second sleeve 10 are brought into conduction. As a result, the input port 2 and the output port 3 of the high-speed solenoid valve device 1 are brought into conduction.

【0004】図8は上記高速電磁弁装置を2つ用いた従
来の油圧サーボシリンダ駆動制御装置の油圧回路図であ
る。図で、1A、1Bは図7に示す高速電磁弁1と同じ
構成の第1の高速電磁弁および第2の高速電磁弁を示し
、第2の高速電磁弁1Bは第1の高速電磁弁1Aの出力
ポート3Aに入力ポート2Bが接続されている。21は
第1の高速電磁弁1Aの入力ポート2Aに接続された油
圧ポンプ、22は小径室23側が油圧ポンプ21に接続
されるとともに大径室24側が第2の高速電磁弁1Bの
入力ポート2Bに接続された油圧サーボシリンダであり
、例えば図示しない可変容量油圧ポンプの押しのけ容積
可変機構(斜板)を駆動する。25は第2の高速電磁弁
1Bの出力ポート3Bに接続されたタンク、26は油圧
サーボシリンダ22内のピストン27の移動量を検出す
るセンサ、28はセンサ26の出力を取込んで第1、第
2の高速電磁弁1A、1Bの作動を制御するコントロー
ラである。
FIG. 8 is a hydraulic circuit diagram of a conventional hydraulic servo cylinder drive control device using two of the above-mentioned high-speed solenoid valve devices. In the figure, 1A and 1B indicate a first high-speed solenoid valve and a second high-speed solenoid valve having the same configuration as the high-speed solenoid valve 1 shown in FIG. 7, and the second high-speed solenoid valve 1B is the first high-speed solenoid valve 1A. The input port 2B is connected to the output port 3A. 21 is a hydraulic pump connected to the input port 2A of the first high-speed solenoid valve 1A, and 22 is the small-diameter chamber 23 side connected to the hydraulic pump 21, and the large-diameter chamber 24 side is the input port 2B of the second high-speed solenoid valve 1B. This is a hydraulic servo cylinder connected to, for example, a variable displacement mechanism (swash plate) of a variable displacement hydraulic pump (not shown). 25 is a tank connected to the output port 3B of the second high-speed electromagnetic valve 1B; 26 is a sensor that detects the amount of movement of the piston 27 within the hydraulic servo cylinder 22; This is a controller that controls the operation of the second high-speed solenoid valves 1A and 1B.

【0005】今、斜板の傾転量を増大するためコントロ
ーラ28に油圧サーボシリンダ22のピストン27の作
動量の目標値(つまりピストンの目標位置)を入力した
とすると、コントローラ28はピストン27の現在位置
を常時検出しているセンサ26の出力値を読込むととも
に、ピストン27の目標位置と現在位置との差分を演算
しながら例えば第1の高速電磁弁1Aを励磁する。この
第1の高速電磁弁1Aが励磁されると、ポペット14A
が上方へと移動するので油圧ポンプ21からの圧油は入
力ポート2Aから出力ポート3Aへと流出し、さらに油
圧サーボシリンダ22の大径室24内へと流出する。こ
れにより大径室24内の圧力が上昇するので小径室23
と大径室24とに受圧面積差が生じることになる結果、
ピストン27は小径室23側へと移動し始める。かくし
てピストン27の目標位置と移動後の現在位置との差分
が無くなると、コントローラ28は第1の高速電磁弁1
Aを励磁するのを止めて入力ポート2Aと出力ポート3
Aとの間を遮断せしめることにより、ピストン27を停
止させる。この結果斜板は所定量開いた状態で停止する
。一方、斜板の傾転量を減少するためコントローラ28
にピストン27の作動量の目標値を入力すると、コント
ローラ28はセンサ26の出力値を読込むとともに、ピ
ストン27の目標位置と現在位置との差分を演算しなが
ら第2の高速電磁弁1Bを励磁する。この第2の高速電
磁弁1Bが励磁されると、ポペット14Bが上方へと移
動するので大径室24内の圧油が入力ポート2Bから出
力ポート3Bへと排出され、さらにタンク25内へと排
出される。これにより大径室24内の圧力が低下するの
で大径室24内よりも小径室23内の圧力が高くなる結
果、ピストン27は大径室24側へと移動し始める。 かくしてピストン27の目標位置と移動後の現在位置と
の差分が無くなると、コントローラ28は第2の高速電
磁弁1Bを励磁するのを止めて入力ポート2Bと出力ポ
ート3Bとの間を遮断せしめ、ピストン27を停止させ
る。この結果斜板は所定量閉じた状態で停止する。
[0005] Now, suppose that a target value for the actuation amount of the piston 27 of the hydraulic servo cylinder 22 (that is, a target position of the piston) is input to the controller 28 in order to increase the amount of tilting of the swash plate. While reading the output value of the sensor 26 that constantly detects the current position, for example, the first high-speed solenoid valve 1A is excited while calculating the difference between the target position of the piston 27 and the current position. When this first high-speed solenoid valve 1A is excited, the poppet 14A
moves upward, so the pressure oil from the hydraulic pump 21 flows out from the input port 2A to the output port 3A, and further flows into the large diameter chamber 24 of the hydraulic servo cylinder 22. As a result, the pressure inside the large diameter chamber 24 increases, so the pressure inside the small diameter chamber 24 increases.
As a result, a difference in pressure receiving area occurs between the large diameter chamber 24 and the large diameter chamber 24,
The piston 27 begins to move toward the small diameter chamber 23 side. In this way, when the difference between the target position of the piston 27 and the current position after movement disappears, the controller 28 closes the first high-speed solenoid valve 1.
Stop energizing A and connect input port 2A and output port 3.
The piston 27 is stopped by blocking the connection with A. As a result, the swash plate remains open by a predetermined amount. On the other hand, in order to reduce the amount of tilting of the swash plate, the controller 28
When the target value of the actuation amount of the piston 27 is input to , the controller 28 reads the output value of the sensor 26 and excites the second high-speed solenoid valve 1B while calculating the difference between the target position and the current position of the piston 27. . When this second high-speed solenoid valve 1B is energized, the poppet 14B moves upward, so that the pressure oil in the large diameter chamber 24 is discharged from the input port 2B to the output port 3B, and further into the tank 25. It is discharged. As a result, the pressure in the large diameter chamber 24 decreases, so that the pressure in the small diameter chamber 23 becomes higher than that in the large diameter chamber 24, and as a result, the piston 27 begins to move toward the large diameter chamber 24 side. Thus, when the difference between the target position of the piston 27 and the current position after movement disappears, the controller 28 stops energizing the second high-speed solenoid valve 1B to cut off the connection between the input port 2B and the output port 3B, Stop the piston 27. As a result, the swash plate stops closed by a predetermined amount.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上述した油圧サーボシ
リンダ駆動制御装置にあっては、上記特願平1−229
202の高速電磁弁装置1A、1Bを用いたことにより
通常の高速電磁弁を用いた場合に比べて油圧サーボシリ
ンダ22に対し大流量を与えることができるから優れた
応答性を持つが、油圧サーボシリンダ22の駆動が高速
となるため、ロジック弁部のオンオフ切換の応答性が問
題となる。この問題を図9に示すピストンの制御特性図
により説明する。図で、横軸には時間、縦軸にはピスト
ン位置がとってある。ピストンが作動中において当該ピ
ストンが停止目標位置Thに達したことをセンサが検出
したことにより高速電磁弁を非励磁とした場合、当該ピ
ストンは不感帯Pf内において高速電磁弁を非励磁とし
た時点Toから行き過ぎ量Pi分越えた位置まで移動し
て止まる。ここに応答遅れTiが生じ、ピストンの位置
決め精度が損なわれるという問題がある。
[Problems to be Solved by the Invention] The above-mentioned hydraulic servo cylinder drive control device is disclosed in the above-mentioned patent application No. 1-229.
By using the high-speed solenoid valve devices 1A and 1B of 202, it is possible to give a larger flow rate to the hydraulic servo cylinder 22 than when using a normal high-speed solenoid valve, so it has excellent responsiveness. Since the cylinder 22 is driven at high speed, the responsiveness of the on/off switching of the logic valve section becomes a problem. This problem will be explained with reference to a piston control characteristic diagram shown in FIG. In the figure, time is plotted on the horizontal axis and piston position is plotted on the vertical axis. When the high-speed solenoid valve is de-energized due to the sensor detecting that the piston has reached the stop target position Th while the piston is in operation, the piston is activated at the time To when the high-speed solenoid valve is de-energized within the dead zone Pf. It moves to a position beyond the overshoot amount Pi and stops. Here, there is a problem that a response delay Ti occurs and the positioning accuracy of the piston is impaired.

【0007】本発明の目的は、上記従来技術の課題を解
決し、高速電磁弁の優れた点は生かしながら、油圧アク
チュエータの位置決め精度を向上せしめることができる
油圧アクチュエータの制御装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a control device for a hydraulic actuator that can solve the above problems of the prior art and improve the positioning accuracy of the hydraulic actuator while taking advantage of the advantages of high-speed solenoid valves. be.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明は、ロジック弁部とこのロジック弁部の開閉を
制御する電磁弁部とからなる高速電磁弁を2つ設け、一
方の高速電磁弁のロジック弁部の入力ポートをポンプに
連絡し、かつ出力ポートを他方の高速電磁弁のロジック
弁部の入力ポートに連絡し、該他方の高速電磁弁のロジ
ック弁部の出力ポートをタンクに連絡した油圧アクチュ
エータの制御装置において、前記各高速電磁弁のロジッ
ク弁部の制御室と入力ポートとをロジック弁を介して連
絡するとともに、これら各ロジック弁を前記油圧アクチ
ュエータの目標位置付近で開く方向に制御する電磁弁を
設けたことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides two high-speed solenoid valves each consisting of a logic valve section and a solenoid valve section that controls the opening and closing of the logic valve section, and provides one high-speed solenoid valve. The input port of the logic valve section of the solenoid valve is connected to the pump, the output port is connected to the input port of the logic valve section of the other high-speed solenoid valve, and the output port of the logic valve section of the other high-speed solenoid valve is connected to the tank. In the control device for the hydraulic actuator, the control chamber of the logic valve section of each of the high-speed solenoid valves is connected to the input port via the logic valve, and each of these logic valves is opened near the target position of the hydraulic actuator. It is characterized by being equipped with a solenoid valve that controls the direction.

【0009】[0009]

【作用】電磁弁が非励磁のとき、各ロジック弁ともに閉
じているから、各ロジック弁が各高速電磁弁に対して作
用を及ぼすことはなく、したがって電磁弁が非励磁の状
態で所要の高速電磁弁を励磁したときの油圧アクチュエ
ータは従来と同様に作動する。一方、所要の高速電磁弁
を励磁して油圧アクチュエータを目標位置付近まで作動
させたことにより、電磁弁が励磁されたときには、各ロ
ジック弁ともに開くから、当該所要の高速電磁弁のロジ
ック弁部が閉じられ、この分油圧アクチュエータに供給
される流量が減少される。この結果油圧アクチュエータ
は電磁弁が励磁されたときから目標位置に達するまで作
動速度を減速する。ここに油圧アクチュエータ停止時の
行き過ぎ量を減少することができ、位置決め精度を向上
させることができる。
[Operation] When the solenoid valve is de-energized, each logic valve is closed, so each logic valve has no effect on each high-speed solenoid valve. Therefore, when the solenoid valve is de-energized, the required high-speed When the solenoid valve is energized, the hydraulic actuator operates in the same manner as before. On the other hand, when the solenoid valve is energized by energizing the required high-speed solenoid valve and operating the hydraulic actuator near the target position, each logic valve opens, so the logic valve section of the required high-speed solenoid valve opens. is closed, and the flow rate supplied to the hydraulic actuator is reduced by this amount. As a result, the hydraulic actuator reduces its operating speed from when the solenoid valve is energized until it reaches the target position. Here, the amount of overshoot when the hydraulic actuator is stopped can be reduced, and positioning accuracy can be improved.

【0010】0010

【実施例】以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明
する。図1は本発明の実施例に係る油圧サーボ弁の制御
装置の油圧回路図である。図で、図8に示す部分と同一
部分には同一符号が付してある。34は本実施例の油圧
回路を示す。35は第1のロジック弁であり、制御室3
6を有し、ばねで付勢されるポペット37が内蔵され、
入力ポート38が第1の高速電磁弁1Aの入力ポート2
Aに接続され、出力ポート39が第1の高速電磁弁1A
の制御室12Aと電磁弁部4Aとに接続されている。4
0は第2のロジック弁であり、制御室41を有し、ばね
で付勢されるポペット42が内蔵され、入力ポート43
が第1の高速電磁弁1Aの出力ポート3Aに接続され、
出力ポート44が第2の高速電磁弁1Bの制御室12B
と電磁弁部4Bとに接続されている。45は管路であり
、絞り46を有し、第1のロジック弁35の制御室36
と第2のロジック弁40の制御室41と第2の高速電磁
弁1Bの出力ポート3Bとを連通している。47は作動
時に閉じる第3の高速電磁弁であり、第1のロジック弁
35の入力ポート38と管路45との間に設けられてい
る。48はコントローラであり、油圧サーボシリンダ2
2のピストン27の作動時における停止目標位置が指示
されたときに第1、第2の高速電磁弁1A、1Bを適宜
作動せしめるとともに、ピストン27の現在位置が停止
目標位置の付近に達したことをセンサ26で検知したと
きに第3の高速電磁弁47を作動せしめる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be explained below based on the illustrated embodiments. FIG. 1 is a hydraulic circuit diagram of a control device for a hydraulic servo valve according to an embodiment of the present invention. In the figure, the same parts as those shown in FIG. 8 are given the same reference numerals. 34 shows the hydraulic circuit of this embodiment. 35 is a first logic valve, which is connected to the control room 3
6 and has a built-in poppet 37 that is biased by a spring,
The input port 38 is the input port 2 of the first high-speed solenoid valve 1A.
A, and the output port 39 is connected to the first high-speed solenoid valve 1A.
It is connected to the control chamber 12A and the solenoid valve section 4A. 4
0 is a second logic valve, which has a control chamber 41, has a built-in poppet 42 biased by a spring, and has an input port 43.
is connected to the output port 3A of the first high-speed solenoid valve 1A,
The output port 44 is connected to the control chamber 12B of the second high-speed solenoid valve 1B.
and the solenoid valve section 4B. 45 is a conduit, which has a throttle 46 and is connected to the control chamber 36 of the first logic valve 35.
The control chamber 41 of the second logic valve 40 and the output port 3B of the second high-speed solenoid valve 1B are communicated with each other. 47 is a third high-speed solenoid valve that closes when activated, and is provided between the input port 38 of the first logic valve 35 and the conduit 45. 48 is a controller, which is a hydraulic servo cylinder 2
The first and second high-speed solenoid valves 1A and 1B are appropriately operated when the target stop position during operation of the second piston 27 is instructed, and the current position of the piston 27 has reached the vicinity of the target stop position. When detected by the sensor 26, the third high-speed solenoid valve 47 is activated.

【0011】ここで、本実施例の油圧回路の動作につい
て説明する。第1、第2、第3の高速電磁弁1A、1B
、47を非励磁の状態に制御したとき、第3の高速電磁
弁47は開き状態にあるため、第1、第2のロジック弁
35、40の制御室36、41は油圧ポンプ21と連通
するとともに絞り46を介してタンク25と連通した状
態にある。このとき絞り46の通路面積は第3の高速電
磁弁47の開口面積よりも十分小さく設定してあるから
、第1、第2のロジック弁35、40の制御室36、4
1の圧力は略油圧ポンプ21の吐出圧力と同一になる。 このため第1、第2のロジック弁35、40のポペット
37、42は入出力ポートの圧力差およびばね力によっ
て閉弁している。また、第1、第2の高速電磁弁1A、
1Bともに閉弁したままであるから、油圧サーボシリン
ダ22の大径室24への通路は遮断された状態にあり、
ピストン27は作動しない。
[0011] Here, the operation of the hydraulic circuit of this embodiment will be explained. First, second, and third high-speed solenoid valves 1A, 1B
, 47 are in a de-energized state, the third high-speed solenoid valve 47 is in an open state, so the control chambers 36 and 41 of the first and second logic valves 35 and 40 communicate with the hydraulic pump 21. At the same time, it is in communication with the tank 25 via the throttle 46. At this time, since the passage area of the throttle 46 is set to be sufficiently smaller than the opening area of the third high-speed solenoid valve 47, the control chambers 36, 4 of the first and second logic valves 35, 40
1 is approximately the same as the discharge pressure of the hydraulic pump 21. Therefore, the poppets 37 and 42 of the first and second logic valves 35 and 40 are closed due to the pressure difference between the input and output ports and the spring force. In addition, first and second high-speed solenoid valves 1A,
Since both valves 1B remain closed, the passage to the large diameter chamber 24 of the hydraulic servo cylinder 22 is blocked.
Piston 27 does not operate.

【0012】ここで、第3の高速電磁弁47を非励磁の
状態に保持しながら第1の高速電磁弁1Aを励磁すると
、スプール6Aの開弁によりロジック弁部9Aの制御室
12Aの圧力が低下することによりポペット14Aが開
弁する。この結果油圧ポンプ21の圧油が出力ポート3
Aを経て大径室24内に供給されので、ピストン27は
小径室23側(図において左側)へと移動する。また、
第3の高速電磁弁47が非励磁の状態において第2の高
速電磁弁1Bを励磁すると、ポペット14Bが開弁し、
したがって大径室24内の圧油がタンク25へと排出さ
れる結果、ピストン27は小径室23に供給される圧力
に押されて大径室24側(図において右側)へと移動す
る。すなわち第3の高速電磁弁47を励磁しない状態で
第1あるいは第2の高速電磁弁1A、1Bを励磁したと
きの油圧サーボシリンダ22の動作は従来の制御弁を用
いた高速電磁弁装置における油圧サーボシリンダの動作
と全く同様である。
Here, when the first high-speed solenoid valve 1A is energized while the third high-speed solenoid valve 47 is kept in a de-energized state, the pressure in the control chamber 12A of the logic valve section 9A increases due to the opening of the spool 6A. The poppet 14A opens by lowering the valve. As a result, the pressure oil of the hydraulic pump 21 is transferred to the output port 3.
Since the piston 27 is supplied into the large diameter chamber 24 through A, the piston 27 moves toward the small diameter chamber 23 (to the left in the figure). Also,
When the second high-speed solenoid valve 1B is energized while the third high-speed solenoid valve 47 is de-energized, the poppet 14B opens,
Therefore, as a result of the pressure oil in the large diameter chamber 24 being discharged to the tank 25, the piston 27 is pushed by the pressure supplied to the small diameter chamber 23 and moves toward the large diameter chamber 24 (to the right in the figure). In other words, when the first or second high-speed solenoid valves 1A, 1B are energized while the third high-speed solenoid valve 47 is not energized, the operation of the hydraulic servo cylinder 22 is similar to the hydraulic pressure in a high-speed solenoid valve device using a conventional control valve. The operation is exactly the same as that of a servo cylinder.

【0013】一方、第3の高速電磁弁47のみ励磁した
ときには、この第3の高速電磁弁47は閉じ状態となる
ので第1、第2のロジック弁35、40の制御室36、
41は絞り46を介してタンク25に連通しタンク圧と
等しくなる。この結果入出力ポートの圧力差により第1
、第2のロジック弁35、40のポペット37、42が
開弁するので第1の高速電磁弁1Aの制御室12Aは第
1のロジック弁35を介して油圧ポンプ21と連通し、
第2の高速電磁弁1Bの制御室12Bは第2のロジック
弁40を介して大径室22と連通する。ここで、第1の
高速電磁弁1Aを励磁すると、スプール6Aの開弁に伴
って制御室12Aの圧力が減少するのでポペット14A
が開こうとするが、この制御室12Aには同時に第1の
ロジック弁35を介して油圧ポンプ21の圧油が供給さ
れるのでこの制御室12Aの圧力は略油圧ポンプ21の
圧力と等しくなる結果、当該ポペット14Aは閉じた状
態を維持する。このため大径室24には第1のロジック
弁35から電磁弁部4Aを通過して減少された圧油が供
給されることになり、ポペット弁14Aが開いていると
きよりも減少された流量の圧油が大径室24へと流出さ
れることになる。したがって流量が減少された分遅い速
度でピストン27は小径室23側へと作動する。また、
第3の高速電磁弁47を励磁した状態で第2の高速電磁
弁1Bを励磁すると、やはりスプール6Bの開弁に伴っ
て制御室12Bの圧力が減少するのでポペット14Bが
開こうとするが、第2のロジック弁40のポペット42
が開弁しているので大径室24内の圧油は第2のロジッ
ク弁40を介して第2の高速電磁弁1Bの制御室12B
に流入する結果、ポペット14Bは閉じた状態を維持す
る。このためタンク25には第2のロジック弁40から
電磁弁部4Bを通過してポペット弁14Bが開いている
ときよりも減少された圧油が排出されることになる。し
たがって流出流量が減少された分遅い速度でピストン2
7は大径室24側へと作動する。すなわち第3の高速電
磁弁47を励磁したときの第1、第2の高速電磁弁1A
、1Bは両者ともに流出流量の少ない従来の高速電磁弁
単体と同じ機能を発揮することになる。
On the other hand, when only the third high-speed solenoid valve 47 is energized, the third high-speed solenoid valve 47 is closed, so that the control chamber 36 of the first and second logic valves 35, 40,
41 communicates with the tank 25 through a throttle 46 and becomes equal to the tank pressure. As a result, due to the pressure difference between the input and output ports, the first
, since the poppets 37 and 42 of the second logic valves 35 and 40 open, the control chamber 12A of the first high-speed solenoid valve 1A communicates with the hydraulic pump 21 via the first logic valve 35,
The control chamber 12B of the second high-speed solenoid valve 1B communicates with the large diameter chamber 22 via the second logic valve 40. Here, when the first high-speed solenoid valve 1A is energized, the pressure in the control chamber 12A decreases as the spool 6A opens, so the poppet 14A
attempts to open, but since the pressure oil of the hydraulic pump 21 is simultaneously supplied to this control chamber 12A via the first logic valve 35, the pressure of this control chamber 12A becomes approximately equal to the pressure of the hydraulic pump 21. As a result, the poppet 14A remains closed. Therefore, reduced pressure oil is supplied to the large diameter chamber 24 from the first logic valve 35 through the electromagnetic valve section 4A, and the flow rate is reduced compared to when the poppet valve 14A is open. of pressure oil will flow out into the large diameter chamber 24. Therefore, the piston 27 moves toward the small diameter chamber 23 at a slower speed due to the reduced flow rate. Also,
When the second high-speed solenoid valve 1B is energized while the third high-speed solenoid valve 47 is energized, the pressure in the control chamber 12B decreases as the spool 6B opens, so the poppet 14B tries to open. Poppet 42 of second logic valve 40
is open, the pressure oil in the large diameter chamber 24 flows through the second logic valve 40 to the control chamber 12B of the second high-speed solenoid valve 1B.
As a result, poppet 14B remains closed. Therefore, less pressure oil is discharged into the tank 25 from the second logic valve 40 through the electromagnetic valve section 4B than when the poppet valve 14B is open. Therefore, the piston 2 moves at a slower speed due to the reduced outflow flow rate.
7 operates toward the large diameter chamber 24 side. That is, when the third high-speed solenoid valve 47 is excited, the first and second high-speed solenoid valves 1A
, 1B both exhibit the same function as a single conventional high-speed solenoid valve with a small outflow flow rate.

【0014】次に上記本実施例の動作を図2、図3を参
照しながら説明する。図2は第1、第2、第3の高速電
磁弁1A、1B、47の作動状況とピストン27の作動
位置との関係を示すタイムチャートである。まず、ピス
トン27が大径室24側において終点位置に位置してい
る状態でコントローラ48に対しピストン27の停止位
置を促す指令値を入力したとき、当該コントローラ48
は、ピストン27の停止目標位置Thを決定するととも
に、センサ26の出力値を取込んで当該停止目標位置T
hと現在位置との差分を演算する。そして、さらにこの
演算結果に基づいて第1の高速電磁弁1Aをon状態(
励磁状態)にするとともに、第3の高速電磁弁47をo
ff状態(非励磁状態)にする。これにより第1、第2
のロジック弁35、41が閉弁状態となるので第1の高
速電磁弁1Aの電磁弁部4Aとロジック弁部9Aとを通
過する圧油が大径室24へと供給される結果、ピストン
27は小径室23側へと大きな速度で移動する。しかし
てコントローラ48がピストン27の現在位置が停止目
標位置Thの付近に達したことをセンサ26の出力値に
より検知したとき、当該コントローラ48は第3の高速
電磁弁47をon状態にして第1、第2のロジック弁3
5、40を開弁させることにより、ロジック弁部9Aを
閉じさせて大径室24へと供給される圧油を電磁弁部4
Aのみを通しその流量を減少せしめる。ここでピストン
27はパイロット圧の流量の減少に伴って作動速度を小
さくしながら停止目標位置Thへと向かう。かくしてコ
ントローラ48がピストン27の現在位置が停止目標位
置Thに達したことをセンサ26の出力値により検知し
たとき、当該コントローラ48はピストン27を停止さ
せるために第1の高速電磁弁1Aをoff状態にする。 このときのピストン位置の変化の様子を図3により説明
する。図3は図2におけるA部の拡大図である。第3の
高速電磁弁47をon状態にした時点Too以後はピス
トン位置の変化の割合(速度)は時点Too以前の速度
より低下し、第1の高速電磁弁1Aをoff状態にした
時点Toでのピストン27は若干移動する応答遅れTi
を生じてから停止する。しかし、当該応答遅れTiによ
り生じる行き過ぎ量Pioは、ピストン27の速度が低
下しているため従来装置における行き過ぎ量Pi(図9
)に比べて遥かに小さく、それ故ピストン停止位置の精
度は大きく向上する。
Next, the operation of this embodiment will be explained with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is a time chart showing the relationship between the operating conditions of the first, second, and third high-speed solenoid valves 1A, 1B, and 47 and the operating position of the piston 27. First, when the piston 27 is located at the end position on the large diameter chamber 24 side and a command value is input to the controller 48 to prompt the piston 27 to stop, the controller 48
determines the target stop position Th of the piston 27, and also takes in the output value of the sensor 26 and determines the target stop position T.
Calculate the difference between h and the current position. Further, based on this calculation result, the first high-speed solenoid valve 1A is turned on (
(excited state), and the third high-speed solenoid valve 47 is set to o.
ff state (de-energized state). This allows the first and second
Since the logic valves 35 and 41 of the first high-speed solenoid valve 1A are closed, the pressure oil passing through the solenoid valve section 4A and the logic valve section 9A of the first high-speed solenoid valve 1A is supplied to the large diameter chamber 24, and as a result, the piston 27 moves toward the small diameter chamber 23 at a high speed. When the controller 48 detects, based on the output value of the sensor 26, that the current position of the piston 27 has reached the vicinity of the target stop position Th, the controller 48 turns on the third high-speed solenoid valve 47 so that the first , second logic valve 3
By opening the valves 5 and 40, the logic valve section 9A is closed and the pressure oil supplied to the large diameter chamber 24 is transferred to the solenoid valve section 4.
Only A is passed through and its flow rate is reduced. Here, the piston 27 moves toward the target stop position Th while decreasing the operating speed as the flow rate of the pilot pressure decreases. Thus, when the controller 48 detects from the output value of the sensor 26 that the current position of the piston 27 has reached the stop target position Th, the controller 48 turns off the first high-speed solenoid valve 1A in order to stop the piston 27. Make it. The manner in which the piston position changes at this time will be explained with reference to FIG. FIG. 3 is an enlarged view of section A in FIG. After the time Too when the third high-speed solenoid valve 47 is turned on, the rate of change (speed) of the piston position is lower than the speed before the time Too, and at the time To when the first high-speed solenoid valve 1A is turned off. The piston 27 moves slightly due to the response delay Ti.
occurs and then stops. However, since the speed of the piston 27 has decreased, the overshoot amount Pio caused by the response delay Ti is different from the overshoot amount Pi in the conventional device (FIG. 9).
), which greatly improves the accuracy of the piston stop position.

【0015】一方、ピストン27が上述の状態で停止し
ている最中においてコントローラ48に対しピストン2
7の新たな停止位置(例えば元の停止位置)を促す指令
値を入力したとき、当該コントローラ48は新たな停止
目標位置Th’と現在位置との差分を演算し、第2の高
速電磁弁1Bをon状態にするとともに、第3の高速電
磁弁47をoff状態にする。これにより第1、第2の
ロジック弁35、41が閉弁状態となるので大径室24
内の圧油が第2の高速電磁弁1Bの電磁弁部4Bとロジ
ック弁部9Bとを通過してタンク25へ排出される。こ
のためピストン27は大径室24内の圧力の低下に伴っ
て大径室24側へと大きな速度で移動する。しかしてコ
ントローラ48がピストン27の現在位置が新たな停止
目標位置Th’の付近に達したことをセンサ26の出力
値により検知すると、当該コントローラ48は第3の高
速電磁弁47をoff状態にして第1、第2のロジック
弁35、40を開弁させることにより、ロジック弁部9
Bを閉じさせて大径室24から排出される圧油の流量を
減少せしめる。ここでピストン27は流量の減少に伴っ
て作動速度を小さくしながら停止目標位置Th’へと向
かう。かくしてコントローラ48がピストン27の現在
位置が新たな停止目標位置Th’に達したことをセンサ
26の出力値により検知すると、当該コントローラ48
はピストン27を停止させるために第2の高速電磁弁1
Bをoff状態にする。これにより先の場合と同様、ピ
ストン27は小さな行き過ぎ量を生じるのみで停止する
On the other hand, while the piston 27 is stopped in the above-mentioned state, the piston 2
When a command value prompting a new stop position (for example, the original stop position) of No. 7 is input, the controller 48 calculates the difference between the new target stop position Th' and the current position, and controls the second high-speed solenoid valve 1B. is turned on, and the third high-speed solenoid valve 47 is turned off. As a result, the first and second logic valves 35 and 41 are closed, so the large diameter chamber 24
Pressure oil inside passes through the solenoid valve section 4B and logic valve section 9B of the second high-speed solenoid valve 1B and is discharged to the tank 25. Therefore, the piston 27 moves toward the large-diameter chamber 24 at a high speed as the pressure within the large-diameter chamber 24 decreases. When the controller 48 detects from the output value of the sensor 26 that the current position of the piston 27 has reached the vicinity of the new target stop position Th', the controller 48 turns off the third high-speed solenoid valve 47. By opening the first and second logic valves 35 and 40, the logic valve section 9
B is closed to reduce the flow rate of pressure oil discharged from the large diameter chamber 24. Here, the piston 27 moves toward the target stop position Th' while decreasing its operating speed as the flow rate decreases. Thus, when the controller 48 detects from the output value of the sensor 26 that the current position of the piston 27 has reached the new target stop position Th', the controller 48
is the second high-speed solenoid valve 1 to stop the piston 27.
Turn B off. As in the previous case, this causes the piston 27 to stop with only a small amount of overtravel.

【0016】本実施例においては、第3の高速電磁弁を
励磁して第1、第2のロジック弁を開弁させることによ
り、第1、第2の高速電磁弁のロジック弁部を閉弁させ
、第1、第2の高速電磁弁から流出する圧油を電磁弁部
のみから流出させて流量を減少させるように構成したか
ら、油圧サーボシリンダのピストンを停止目標位置に停
止させるときの行き過ぎ量を小さくすることができ、ピ
ストンの位置決め精度を向上させることができる。
In this embodiment, the logic valve portions of the first and second high-speed solenoid valves are closed by energizing the third high-speed solenoid valve and opening the first and second logic valves. Since the structure is configured so that the pressure oil flowing out from the first and second high-speed solenoid valves flows out only from the solenoid valve part and reducing the flow rate, it is possible to prevent the piston of the hydraulic servo cylinder from overshooting when stopping at the target stop position. The amount can be reduced, and the positioning accuracy of the piston can be improved.

【0017】なお、上記実施例の説明では、制御装置と
して各弁が別体である例について説明した。しかし、こ
れらの弁のうち任意のものを一体構成とすることが可能
である。図4、図5、図6はこれらの弁全てを一体に構
成した場合の図、すなわち図1で一点鎖線34で囲まれ
る部分を1つの制御弁とした構成を示す図である。図1
で、49は当該制御弁34の入力ポート、50は出力ポ
ート、58はタンクポートを示す。
[0017] In the above description of the embodiment, an example in which each valve is a separate control device has been described. However, it is possible for any of these valves to be of integral construction. 4, FIG. 5, and FIG. 6 are diagrams showing a case where all of these valves are integrated, that is, a configuration in which the portion surrounded by a dashed line 34 in FIG. 1 is one control valve. Figure 1
49 is an input port of the control valve 34, 50 is an output port, and 58 is a tank port.

【0018】図4〜図6において、図1に示す部分に対
応する部分には同一符号が付してある。図4は上記制御
弁34の要部の機械的構成を示す縦断面図である。図で
、49は第1の高速電磁弁1Aの図示しない入力ポート
2Aに通じる入力ポートである。50は油圧サーボシリ
ンダ22の大径室24に接続される出力ポートであり、
連通路51により第1の高速電磁弁1Aの図示しない出
力ポート3Aと第2の高速電磁弁1Bの入力ポート2B
とに連通される。53は第3の高速電磁弁47の入力ポ
ートである。54は図示しない第1のロジック弁35の
入力ポート38と第3の高速電磁弁47の入力ポート5
3とを連通する連通路である。
In FIGS. 4 to 6, parts corresponding to those shown in FIG. 1 are given the same reference numerals. FIG. 4 is a longitudinal sectional view showing the mechanical structure of the main parts of the control valve 34. As shown in FIG. In the figure, 49 is an input port that communicates with an input port 2A (not shown) of the first high-speed solenoid valve 1A. 50 is an output port connected to the large diameter chamber 24 of the hydraulic servo cylinder 22;
The communication path 51 connects the output port 3A (not shown) of the first high-speed solenoid valve 1A and the input port 2B of the second high-speed solenoid valve 1B.
will be communicated with. 53 is an input port of the third high-speed solenoid valve 47. 54 is the input port 38 of the first logic valve 35 and the input port 5 of the third high-speed solenoid valve 47 (not shown)
This is a communication path that communicates with 3.

【0019】図5は図4の線e’−e’に沿う断面図で
ある。図で、55は入力ポート49と第3の高速電磁弁
47の図示しない入力ポート53とを連通する連通路で
ある。56は第2のロジック弁40の入力ポート43と
油圧サーボシリンダ22の大径室24に接続される出力
ポート50とを連通する連通路である。57は第2の高
速電磁弁1Bのロジック弁部9Bの制御室12Aに連通
する部屋である。58は第2の高速電磁弁1Bの図示し
ない出力ポート3Bからタンク25に連通する出力ポー
トである。
FIG. 5 is a sectional view taken along line e'-e' in FIG. In the figure, 55 is a communication path that communicates the input port 49 with the unillustrated input port 53 of the third high-speed solenoid valve 47. 56 is a communication path that communicates the input port 43 of the second logic valve 40 with the output port 50 connected to the large diameter chamber 24 of the hydraulic servo cylinder 22. A room 57 communicates with the control chamber 12A of the logic valve section 9B of the second high-speed solenoid valve 1B. 58 is an output port that communicates with the tank 25 from the output port 3B (not shown) of the second high-speed solenoid valve 1B.

【0020】図6は図4の線f’−f’に沿う断面図で
ある。59は第2のロジック弁40の入力ポート43と
第2の高速電磁弁1Bの入力ポート50とを連通する連
通路である。60は第2の高速電磁弁1Bのロジック弁
部9Bの制御室12Bと第2のロジック弁38の出力ポ
ート44とを連通する部屋である。
FIG. 6 is a sectional view taken along line f'-f' in FIG. Reference numeral 59 is a communication path that communicates the input port 43 of the second logic valve 40 with the input port 50 of the second high-speed solenoid valve 1B. 60 is a chamber that communicates the control chamber 12B of the logic valve section 9B of the second high-speed solenoid valve 1B with the output port 44 of the second logic valve 38.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上、本発明によれば、第1、第2の高
速電磁弁のロジック弁部の制御室と入力ポートとの間に
介在する第1、第2のロジック弁と、これら第1、第2
のロジック弁を開閉するための電磁弁とを備え、油圧ア
クチュエータの作動時に目標位置近くでこれを減速させ
るようにしたので、油圧アクチュエータの位置決め精度
を向上させることができる。
As described above, according to the present invention, the first and second logic valves interposed between the control chambers of the logic valve parts of the first and second high-speed solenoid valves and the input ports, 1. 2nd
The hydraulic actuator is equipped with an electromagnetic valve for opening and closing the logic valve, and is decelerated near the target position when the hydraulic actuator is activated, thereby improving the positioning accuracy of the hydraulic actuator.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明の実施例に係る油圧サーボ弁の制御装置
の油圧回路図である。
FIG. 1 is a hydraulic circuit diagram of a control device for a hydraulic servo valve according to an embodiment of the present invention.

【図2】第1、第2、第3の高速電磁弁の作動状況とピ
ストンの作動位置との関係を示すタイムチャートである
FIG. 2 is a time chart showing the relationship between the operating conditions of the first, second, and third high-speed solenoid valves and the operating position of the piston.

【図3】図2におけるA部の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of section A in FIG. 2;

【図4】本実施例の制御弁の要部の機械的構成を示す縦
断面図である。
FIG. 4 is a longitudinal cross-sectional view showing the mechanical configuration of main parts of the control valve of this embodiment.

【図5】図4の線e’−e’に沿う断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line e'-e' in FIG. 4;

【図6】図4の線f’−f’に沿う断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line f'-f' in FIG. 4;

【図7】従来の高速電磁弁装置の断面図である。FIG. 7 is a sectional view of a conventional high-speed solenoid valve device.

【図8】高速電磁弁装置を2つ用いた従来の油圧サーボ
シリンダ駆動制御装置の油圧回路図である。
FIG. 8 is a hydraulic circuit diagram of a conventional hydraulic servo cylinder drive control device using two high-speed solenoid valve devices.

【図9】従来のピストンの制御特性図である。FIG. 9 is a control characteristic diagram of a conventional piston.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1A  第1の高速電磁弁 1B  第2の高速電磁弁 4A、4B  電磁弁部 9A、9B  ロジック弁部 21  油圧ポンプ 22  油圧サーボシリンダ 26  センサ 35  第1のロジック弁 40  第2のロジック弁 45  管路 46  絞り 47  第3の高速電磁弁 48  コントローラ 1A First high-speed solenoid valve 1B Second high-speed solenoid valve 4A, 4B Solenoid valve part 9A, 9B Logic valve part 21 Hydraulic pump 22 Hydraulic servo cylinder 26 Sensor 35 First logic valve 40 Second logic valve 45 Pipeline 46 Aperture 47 Third high-speed solenoid valve 48 Controller

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  ロジック弁部とこのロジック弁部の開
閉を制御する電磁弁部とからなる高速電磁弁を2つ設け
、一方の高速電磁弁のロジック弁部の入力ポートをポン
プに連絡し、かつ出力ポートを他方の高速電磁弁のロジ
ック弁部の入力ポートに連絡し、該他方の高速電磁弁の
ロジック弁部の出力ポートをタンクに連絡した油圧アク
チュエータの制御装置において、前記各高速電磁弁のロ
ジック弁部の制御室と入力ポートとをロジック弁を介し
て連絡するとともに、これら各ロジック弁を前記油圧ア
クチュエータの目標位置付近で開く方向に制御する電磁
弁を設けたことを特徴とする油圧アクチュエータの制御
装置。
[Claim 1] Two high-speed solenoid valves each consisting of a logic valve part and a solenoid valve part that controls opening and closing of the logic valve part are provided, and an input port of the logic valve part of one of the high-speed solenoid valves is connected to a pump, In the hydraulic actuator control device, the output port is connected to the input port of the logic valve section of the other high-speed solenoid valve, and the output port of the logic valve section of the other high-speed solenoid valve is connected to the tank. A hydraulic system comprising a solenoid valve that communicates between the control chamber of the logic valve section and the input port via a logic valve, and controls each of the logic valves in the direction of opening near the target position of the hydraulic actuator. Actuator control device.
【請求項2】  請求項1において、前記各高速電磁弁
、前記各ロジック弁、および前記電磁弁は、一体に構成
されていることを特徴とする油圧アクチュエータの制御
装置。
2. The control device for a hydraulic actuator according to claim 1, wherein each of the high-speed solenoid valves, each of the logic valves, and the solenoid valve are integrally constructed.
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