JPH04356720A - Magnetic recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】0001
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に関する。
更に詳細には、本発明は媒体ノイズの低減と、オーバー
ライト特性の向上および耐食性の改善に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to magnetic recording media. More particularly, the present invention relates to reducing media noise, improving overwrite characteristics, and improving corrosion resistance.
【0002】0002
【従来の技術】アルミニウムまたはアルミニウム合金表
面を陽極酸化することにより形成した多孔質酸化アルミ
ニウム(アルマイト)層の微細孔(ポア)中に強磁性金
属をメッキ充填した磁気記録媒体は、耐食性、耐久性に
富み、最近特に注目されつつある新材料である。[Prior Art] A magnetic recording medium in which ferromagnetic metal is plated into the micropores of a porous aluminum oxide (alumite) layer formed by anodizing the surface of aluminum or an aluminum alloy has excellent corrosion resistance and durability. It is a new material that has been attracting particular attention recently.
【0003】また、アルマイト層の微細孔中に強磁性金
属をメッキ充填して得られる磁性膜では、微細孔中に充
填された強磁性粒子がそれを取り囲むアルマイトにより
完全に磁気的に絶縁されているため、粒子間に交換相互
作用が働かず、磁壁が発生しない。そのため、磁気記録
を行っても、媒体雑音の最大原因となるジグザグ磁壁の
発生が制限され、低雑音の磁気記録媒体を形成できる可
能性がある。Furthermore, in a magnetic film obtained by plating and filling ferromagnetic metal into the fine pores of an alumite layer, the ferromagnetic particles filled in the fine pores are completely magnetically insulated by the alumite surrounding them. Therefore, there is no exchange interaction between particles, and no domain wall is generated. Therefore, even when magnetic recording is performed, the generation of zigzag domain walls, which is the biggest cause of medium noise, is restricted, and it is possible to form a low-noise magnetic recording medium.
【0004】0004
【発明が解決しようとする課題】しかし、微細孔中に充
填される強磁性金属は、孔の先端まで均一に充填せず、
各孔によりバラツキのあることが知られている。このた
め、磁気特性が一定せず、このままの状態では磁気記録
媒体として使用することはできなかった。[Problems to be Solved by the Invention] However, the ferromagnetic metal filled into the micropores does not fill evenly to the tips of the holes;
It is known that there are variations depending on each hole. For this reason, the magnetic properties were not constant and it could not be used as a magnetic recording medium in this state.
【0005】また、このような媒体に十分な磁気記録を
行い、良好なオーバーライト特性を得るには、磁性層厚
、すなわち、アルマイト層厚を0.2μm以下、好まし
くは、0.1μm以下にする必要がある。[0005] Furthermore, in order to perform sufficient magnetic recording on such a medium and obtain good overwrite characteristics, the thickness of the magnetic layer, that is, the thickness of the alumite layer, must be 0.2 μm or less, preferably 0.1 μm or less. There is a need to.
【0006】従って、従来は、比較的厚くアルマイト層
および磁性層を形成し、その後、研摩工程により、アル
マイト層および磁性層を所望の厚さにまで研磨すること
により、磁性層の高さを一定に揃えることが行われてき
た。Therefore, conventionally, the height of the magnetic layer is kept constant by forming a relatively thick alumite layer and a magnetic layer, and then polishing the alumite layer and the magnetic layer to a desired thickness using a polishing process. Efforts have been made to align the
【0007】しかし、研磨工程によりアルマイト層、す
なわち、磁性層を例えば、0.05μmまで正確に研磨
することは技術的に非常に困難であった。磁性層の厚さ
が薄くなるほど精度の維持が困難になる。However, it is technically very difficult to accurately polish the alumite layer, ie, the magnetic layer, down to, for example, 0.05 μm using a polishing process. The thinner the magnetic layer is, the more difficult it becomes to maintain accuracy.
【0008】また、高度に研磨された磁性膜表面は平滑
性が高すぎ、潤滑剤の乗りが悪い。このため、磁気ヘッ
ドの摺動により短時間のうちに潤滑剤が失われ、ヘッド
クラッシュを起こし易かった。[0008] Furthermore, the highly polished surface of the magnetic film has too high a smoothness, making it difficult for lubricant to adhere to it. For this reason, the lubricant is lost in a short time due to the sliding of the magnetic head, making it easy to cause a head crash.
【0009】更に、アルマイトと強磁性金属とは、硬度
および機械的強度がそれぞれ異なる。アルマイト層は機
械的強度が高いが、強磁性金属層は機械的強度が低い。
このため、研磨を行うと、強磁性金属層の表面が凹む構
造になる。従って、磁気ヘッドと強磁性金属層との間に
ギャップが生じ、スぺーシングロスの原因になっていた
。Furthermore, alumite and ferromagnetic metal have different hardness and mechanical strength. The alumite layer has high mechanical strength, but the ferromagnetic metal layer has low mechanical strength. Therefore, when polished, the surface of the ferromagnetic metal layer becomes recessed. Therefore, a gap is created between the magnetic head and the ferromagnetic metal layer, causing spacing loss.
【0010】従って、本発明の目的は、アルマイトを用
いた磁気記録媒体に期待される良好なノイズ特性を維持
し、かつ、薄膜化を可能にし、十分なオーバーライト特
性を有する磁気記録媒体を提供することである。Therefore, an object of the present invention is to provide a magnetic recording medium that maintains the good noise characteristics expected of a magnetic recording medium using alumite, allows thinning of the film, and has sufficient overwrite characteristics. It is to be.
【0011】[0011]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、アルミニウムまたはアルミニウム合金
を陽極酸化して得られる多孔質酸化アルミニウムの多孔
質層を湿式法によるエッチングで除去した後にアルミニ
ウムまたはアルミニウム合金地金上に残る、セル形状を
保持したバリヤ層上に磁性体をメッキしたことを特徴と
する磁気記録媒体を提供する。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, in the present invention, a porous layer of porous aluminum oxide obtained by anodizing aluminum or an aluminum alloy is removed by wet etching, and then the aluminum Alternatively, the present invention provides a magnetic recording medium characterized in that a magnetic material is plated on a barrier layer that maintains a cell shape and remains on an aluminum alloy base metal.
【0012】セル形状を保持したバリヤ層上にメッキさ
れた各々の磁性体柱は相互に接触していないことが好ま
しい。[0012] It is preferable that the respective magnetic columns plated on the barrier layer that maintains the cell shape do not contact each other.
【0013】[0013]
【作用】本発明者らが長年にわたり広範な実験と研究を
続けた結果、アルミニウムまたはアルミニウム合金を陽
極酸化して多孔質酸化アルミニウムを形成し、その後、
試料を多孔質酸化アルミニウムを溶解する作用を有する
溶液に一定時間以上浸漬すると、アルマイトの多孔質層
が除去され、アルミニウムまたはアルミニウム合金の地
金上にはセル形状を維持したバリヤ層が残存し、この後
、交流電源によりメッキを行うと、磁性体はセル形状を
保ったバリヤ層の中心付近より析出し、メッキ条件を制
御することにより各磁性体粒子が相互に接触せず、かつ
、磁性粒子の高さを0.1μm以下で均一にすることが
できることが発見された。[Operation] As a result of extensive experiments and research carried out by the present inventors over many years, aluminum or aluminum alloy was anodized to form porous aluminum oxide, and then,
When the sample is immersed in a solution that has the effect of dissolving porous aluminum oxide for a certain period of time, the porous layer of alumite is removed, and a barrier layer that maintains the cell shape remains on the aluminum or aluminum alloy base metal. After this, when plating is performed using an AC power source, the magnetic material is precipitated from near the center of the barrier layer that maintains the cell shape, and by controlling the plating conditions, each magnetic material particle does not come into contact with each other, and the magnetic particles It has been discovered that the height can be made uniform to 0.1 μm or less.
【0014】磁性粒子長を均一化することは通常のアル
マイトでは困難であるが、本発明では、多孔質層が除去
されるまでエッチング溶液中にアルマイトを浸漬してい
るので、通常のアルマイトに比べ、微細孔底部に存在す
るバリヤ層が均質化しているため、メッキ磁性粒子長が
均一化するものと思われる。メッキ条件にもよるが、本
発明によれば、±50オングストロームの精度で磁性粒
子の高さを均一化することができる。[0014] It is difficult to make the magnetic particle length uniform with ordinary alumite, but in the present invention, the alumite is immersed in an etching solution until the porous layer is removed. It is thought that the length of the plated magnetic particles becomes uniform because the barrier layer existing at the bottom of the micropores is homogenized. Although it depends on the plating conditions, according to the present invention, the height of the magnetic particles can be made uniform with an accuracy of ±50 angstroms.
【0015】また、交流電解メッキにより磁性粒子は、
各セルのバリヤ層の中心付近から成長するため、例えば
、メッキ時間を制御することにより、磁性粒子が更に成
長しても、各磁性粒子同士が接触することを防ぐことが
できる。[0015] Furthermore, magnetic particles can be formed by AC electrolytic plating.
Since the magnetic particles grow from near the center of the barrier layer of each cell, for example, by controlling the plating time, even if the magnetic particles grow further, it is possible to prevent the magnetic particles from coming into contact with each other.
【0016】この方法により、アルマイトを用い、磁性
粒子が分離され、かつ、0.1μm以下の磁性層を均一
にメッキすることが可能となり、ノイズ特性、更にオー
バーライト特性に優れる磁気記録媒体を作製することが
できる。[0016] By this method, magnetic particles are separated using alumite, and it is possible to uniformly plate a magnetic layer of 0.1 μm or less, producing a magnetic recording medium with excellent noise characteristics and overwrite characteristics. can do.
【0017】酸化アルミニウム(アルマイト)層はアル
ミニウム基板を陽極酸化することにより基板上に直接形
成させることもできるが、非磁性基板上にアルミニウム
またはアルミニウム合金を物理蒸着法により蒸着し、こ
の蒸着層を陽極酸化することによっても形成させること
ができる。物理蒸着法としては、真空蒸着法,イオンプ
レーティング法,スパッタリング法,イオンビームデポ
ジション法および化学的気相成長法(CVD法)などが
ある。The aluminum oxide (alumite) layer can be formed directly on the aluminum substrate by anodizing the aluminum substrate, but aluminum or aluminum alloy is deposited on the non-magnetic substrate by physical vapor deposition, and this vapor deposition layer is formed on the substrate. It can also be formed by anodic oxidation. Examples of the physical vapor deposition method include a vacuum evaporation method, an ion plating method, a sputtering method, an ion beam deposition method, and a chemical vapor deposition method (CVD method).
【0018】アルミニウムの陽極酸化法は公知である。
一般的に、アルミニウムの陽極酸化は直流(DC)で行
っている。DCでは、電流密度を増大させると、耐電場
強度が増大し、腐食性が強くなり、その結果、開始点(
ピット)が多くなる。この電解初期に生じたピットが続
けてエッチングされ微細なホール(孔)が形成される。The method of anodizing aluminum is known. Generally, anodic oxidation of aluminum is performed using direct current (DC). In DC, increasing the current density increases the electric field strength and becomes more corrosive, resulting in the starting point (
pits). The pits generated at the initial stage of electrolysis are subsequently etched to form fine holes.
【0019】陽極酸化処理により形成されたセルの大き
さ(セル径,Dc)自体は本発明の必須要件ではない。
同様に、セル内のポアのサイズ(ポア径,Dp)も本発
明の必須要件ではない。一般的な指標として、セル径は
200〜2400オングストロームの範囲内とすること
ができる。セル径が大きいと、磁性層を厚く形成するこ
とができる。しかし、磁性層厚をあまり大きくしすぎる
と、分解能が低下する。従って、好ましいセル径の範囲
は約200オングストローム〜2000オングストロー
ム程度である。The size of the cell (cell diameter, Dc) itself formed by anodizing is not an essential requirement of the present invention. Similarly, the size of the pores within the cell (pore diameter, Dp) is not an essential requirement of the present invention. As a general guide, the cell diameter can be in the range of 200-2400 Angstroms. If the cell diameter is large, the magnetic layer can be formed thick. However, if the magnetic layer thickness is made too large, the resolution will decrease. Therefore, the preferred cell diameter range is approximately 200 angstroms to 2000 angstroms.
【0020】アルマイト層の溶解処理は、例えば、基板
を1wt%〜10wt%程度の範囲内の濃度の無機酸(
例えば、リン酸)水溶液中に浸漬することにより実施で
きる。この酸水溶液は常温で使用することが好ましいが
、必要に応じて50℃程度にまで加温することもできる
。
処理時間は酸水溶液の濃度および温度、アルマイト層の
厚さなどのファクタにより変動するが、一般的に、数分
間〜数十分間の範囲内である。[0020] The dissolution treatment of the alumite layer can be carried out, for example, by treating the substrate with an inorganic acid (
For example, it can be carried out by immersion in an aqueous solution of phosphoric acid. Although this acid aqueous solution is preferably used at room temperature, it can be heated to about 50° C. if necessary. The treatment time varies depending on factors such as the concentration and temperature of the acid aqueous solution and the thickness of the alumite layer, but is generally within a range of several minutes to several tens of minutes.
【0021】溶解処理を行う際、基板を酸水溶液中で約
30rpm〜500rpmの速度で回転させると、アル
マイト層が均一に溶解されることが発見された。It has been discovered that when performing the dissolution treatment, the alumite layer is uniformly dissolved when the substrate is rotated in an acid aqueous solution at a speed of about 30 rpm to 500 rpm.
【0022】図1に示すように、アルマイト層の溶解処
理が進むにつれてポア(微細孔)1は、最初の(1)
の状態から、(2) の位置を経過して(3) へと拡
大する。この時に、アルマイト層の被膜の一部は三角柱
3として残る。セル径をDcとすると、三角柱の間隔D
sは一般的に、Ds=1/√3Dcの関係を有する。溶
解処理を更に進めると、三角柱の先端も欠け始め、最後
には、バリヤ層しか残らない。本発明による磁気記録媒
体の製造における溶解処理は、前記三角柱が残る段階か
らバリヤ層だけが残る段階まで、広い範囲にわたって実
施できる。As shown in FIG. 1, as the dissolution process of the alumite layer progresses, the pores (micropores) 1 change from the initial (1)
From the state, it passes through the position of (2) and expands to (3). At this time, a part of the coating of the alumite layer remains as a triangular prism 3. If the cell diameter is Dc, the interval D between the triangular prisms is
s generally has the relationship Ds=1/√3Dc. As the melting process progresses further, the tips of the triangular prisms begin to chip away, and in the end, only the barrier layer remains. The melting process in manufacturing the magnetic recording medium according to the present invention can be carried out over a wide range from the stage where the triangular prisms remain to the stage where only the barrier layer remains.
【0023】アルマイト層溶解後に、バリヤ層上にメッ
キする磁性体はCo系金属が好ましい。例えば、Co単
体あるいはCo−Ni、Co−Fe−Ni、Co−Fe
などのCoを50at%より多く含有するCo合金類な
どである。The magnetic material plated on the barrier layer after the alumite layer is melted is preferably a Co-based metal. For example, Co alone, Co-Ni, Co-Fe-Ni, Co-Fe
These include Co alloys containing more than 50 at% of Co, such as.
【0024】これらのCo単体およびCo合金類に対し
て、リン(P)元素を0.05〜33at%含有させる
こともできる。特に、2〜10at%の範囲内であるこ
とが好ましい。リンの含有により面内磁化特性を向上さ
せることができる。リンの含有量は少量でも面内磁化特
性の向上に効果があるが、下限値は0.05at%であ
る。リンの含有量が33at%超になると、磁性粒子の
飽和磁化が大きく減少し、再生出力の低下を招くため好
ましくない。[0024] The element phosphorus (P) can also be contained in the amount of 0.05 to 33 at% in these Co simple substances and Co alloys. In particular, it is preferably within the range of 2 to 10 at%. Inclusion of phosphorus can improve in-plane magnetization characteristics. Even a small amount of phosphorus is effective in improving the in-plane magnetization characteristics, but the lower limit is 0.05 at%. If the phosphorus content exceeds 33 at %, the saturation magnetization of the magnetic particles will decrease significantly, resulting in a decrease in reproduction output, which is not preferable.
【0025】CoまたはCo合金中に添加するP元素の
供給源としては、Coメッキ浴に可溶性のリン化合物が
用いられる。リン化合物としてはリンの原子価が3価以
下の、亜リン酸塩および次亜リン酸塩、例えば、亜リン
酸ナトリウム(Na2 HPO3 )および次亜リン酸
ナトリウム(NaPH2 O2 )などが好適に使用で
きる。亜リン酸塩および次亜リン酸塩は単独でも、ある
いは、二種類以上を組み合わせて併用することもできる
。原子価が3価よりも高いPはFe中に混入されない。
従って、リン酸(H3 PO4 )はCoメッキ浴中に
添加してもアルマイト微細孔中のCoには取り込まれな
い。この場合、Pの原子価は+5価であり、Pの電子配
列はNeと同じである。従って、+5価のPは安定化し
、メッキの際、電子の授受を行わないことが関係してい
ると考えられる。A phosphorus compound soluble in the Co plating bath is used as a source of the P element added to the Co or Co alloy. As the phosphorus compound, phosphites and hypophosphites in which the valence of phosphorus is 3 or less, such as sodium phosphite (Na2 HPO3) and sodium hypophosphite (NaPH2 O2), are preferably used. can. Phosphites and hypophosphites can be used alone or in combination of two or more. P whose valence is higher than trivalence is not mixed into Fe. Therefore, even if phosphoric acid (H3 PO4) is added to the Co plating bath, it is not incorporated into the Co in the alumite micropores. In this case, the valence of P is +5, and the electron arrangement of P is the same as that of Ne. Therefore, it is thought that this is related to the fact that +5-valent P is stabilized and does not exchange electrons during plating.
【0026】CoまたはCo合金磁性体中のP元素の含
有量は、メッキ浴中に添加されるリン化合物の濃度の他
、メッキ時間、印加電圧、pH、浴温などのメッキ条件
を変化させることによりコントロールすることができる
。The content of P element in the Co or Co alloy magnetic material can be determined by changing the plating conditions such as the plating time, applied voltage, pH, and bath temperature, as well as the concentration of the phosphorus compound added to the plating bath. can be controlled by
【0027】バリヤ層上にメッキする磁性層の厚さ(高
さ)は、特に限定されないが、一般的には、0.02〜
0.2μmの範囲内であり、0.02〜0.1μmの範
囲内が好ましい。磁性層の厚さが0.02μm未満では
磁性層の磁化量の絶対値が小さ過ぎて磁気記録媒体とし
て使用できない。一方、厚さが0.2μmを超えると、
十分なオーバーライト特性が得られない。The thickness (height) of the magnetic layer plated on the barrier layer is not particularly limited, but is generally from 0.02 to
It is within the range of 0.2 μm, preferably within the range of 0.02 to 0.1 μm. When the thickness of the magnetic layer is less than 0.02 μm, the absolute value of the amount of magnetization of the magnetic layer is too small to be used as a magnetic recording medium. On the other hand, if the thickness exceeds 0.2 μm,
Sufficient overwrite characteristics cannot be obtained.
【0028】本発明の磁気記録媒体の一例の模式的断面
構造を図2に示す。非磁性基板5の上面にバリヤ層7が
存在する。バリヤ層上面のセル9は若干凹陥する擂鉢状
をしており、この擂鉢の外周縁上に図1に示した三角柱
3の根本部分が残っている。磁性粒子柱11はセル9の
中心付近から成長する。この図示された態様では、各磁
性粒子柱11はバリヤ層上に残った三角柱3により隔離
され、隣接する磁性粒子柱同士の接触が防止される。こ
こで特に重要なことは、磁性粒子柱11の高さは残存三
角柱3の高さよりも高くなければならないことである。
磁性粒子柱11が三角柱3よりも低いと、従来のアルマ
イト微細孔充填磁気記録媒体と構造的に同一になってし
まい、研磨工程が必要になる。FIG. 2 shows a schematic cross-sectional structure of an example of the magnetic recording medium of the present invention. A barrier layer 7 is present on the top surface of the non-magnetic substrate 5. The cell 9 on the upper surface of the barrier layer has a slightly concave mortar shape, and the root portion of the triangular prism 3 shown in FIG. 1 remains on the outer peripheral edge of this mortar. The magnetic particle column 11 grows from near the center of the cell 9. In this illustrated embodiment, each magnetic particle column 11 is isolated by the triangular column 3 remaining on the barrier layer, and contact between adjacent magnetic particle columns is prevented. What is particularly important here is that the height of the magnetic particle column 11 must be higher than the height of the remaining triangular column 3. If the magnetic particle column 11 is lower than the triangular column 3, the structure will be the same as that of a conventional alumite fine hole-filled magnetic recording medium, and a polishing step will be required.
【0029】別法として、図3に示されるような磁気記
録媒体も実施可能である。これは、三角柱3が完全にな
くなるまでアルマイト層を溶解除去し、バリヤ層7だけ
を残し、セル9の中心付近から磁性粒子11を成長させ
たものである。この図示された態様では、メッキ条件を
制御することにより成長した磁性粒子同士が接触するこ
とを防止する。前記図2および図3に示した何れの態様
でも、磁性粒子の高さはセル9の最も低い部分から磁性
粒子の最も高い部分までの距離として示される。Alternatively, a magnetic recording medium as shown in FIG. 3 can be implemented. In this case, the alumite layer is dissolved and removed until the triangular prism 3 is completely removed, leaving only the barrier layer 7, and the magnetic particles 11 are grown from near the center of the cell 9. In this illustrated embodiment, the grown magnetic particles are prevented from coming into contact with each other by controlling the plating conditions. In both embodiments shown in FIGS. 2 and 3 above, the height of the magnetic particles is indicated as the distance from the lowest part of the cell 9 to the highest part of the magnetic particles.
【0030】更に、本発明では磁性粒子が露出され、空
気中の湿気および酸素などにより腐食されやすい傾向が
ある。このため、図2および図3に示した構造を有する
磁気記録媒体中の強磁性粒子を高温で酸化処理し、人工
的にそれぞれの磁性粒子表層に磁性体の酸化物層を形成
し、図4および図5に示されるような構造を有する磁気
記録媒体とすることもできる。各磁性粒子表層の酸化物
層が保護膜となり、媒体の耐食性が大幅に向上される。
各磁性粒子表層の酸化物層の厚さは5〜300Åの範囲
内であることが好ましい。5Å未満では保護膜としての
機能が不十分であり、満足のいく耐食性および耐久性改
善効果は得られない。一方、300Å超になると、スペ
ーシングロスが大きくなり、十分な記録再生特性が発揮
されない恐れがある。高温酸化は磁性粒子表層に所定の
厚さの酸化物層が形成されればよく、処理方法の具体的
内容自体は特に限定されないが、一般的に、大気あるい
は酸素雰囲気中で100〜400℃で行うことが好まし
い。Furthermore, in the present invention, the magnetic particles are exposed and tend to be easily corroded by moisture, oxygen, etc. in the air. For this purpose, the ferromagnetic particles in the magnetic recording medium having the structures shown in FIGS. 2 and 3 are oxidized at high temperature to artificially form a magnetic oxide layer on the surface layer of each magnetic particle. A magnetic recording medium having a structure as shown in FIG. 5 can also be used. The oxide layer on the surface of each magnetic particle serves as a protective film, greatly improving the corrosion resistance of the medium. The thickness of the oxide layer on the surface of each magnetic particle is preferably within the range of 5 to 300 Å. If the thickness is less than 5 Å, the function as a protective film is insufficient, and satisfactory effects of improving corrosion resistance and durability cannot be obtained. On the other hand, if it exceeds 300 Å, spacing loss will increase and there is a risk that sufficient recording and reproducing characteristics will not be exhibited. High-temperature oxidation only requires that an oxide layer of a predetermined thickness be formed on the surface layer of the magnetic particles, and the specific content of the treatment method itself is not particularly limited, but it is generally oxidized at 100 to 400°C in air or oxygen atmosphere. It is preferable to do so.
【0031】本発明の磁気記録媒体に使用される非磁性
基板としては、アルミニウム基板の他に、ポリイミド,
ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム,ガラ
ス類,セラミック,陽極酸化アルミ,黄銅などの金属板
,Si単結晶板,表面を熱酸化処理したSi単結晶板な
どがある。[0031] In addition to aluminum substrates, polyimide,
Examples include polymer films such as polyethylene terephthalate, glass, ceramics, metal plates such as anodized aluminum and brass, Si single crystal plates, and Si single crystal plates whose surfaces have been thermally oxidized.
【0032】また、本発明の磁気記録媒体としては、ポ
リエステルフィルム、ポリイミドフィルムなどの合成樹
脂フィルムを基体とする磁気テープや磁気ディスク、合
成樹脂フィルム、アルミニウム板およびガラス板等から
なる円盤やドラムを基体とする磁気ディスクや磁気ドラ
ムなど、磁気ヘッドと摺接する構造の種々の形態を包含
する。The magnetic recording medium of the present invention includes magnetic tapes and magnetic disks based on synthetic resin films such as polyester films and polyimide films, disks and drums made of synthetic resin films, aluminum plates, glass plates, etc. It includes various forms of structures that come into sliding contact with a magnetic head, such as a magnetic disk or a magnetic drum as a base.
【0033】[0033]
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。[Examples] The present invention will be explained in more detail with reference to Examples below.
【0034】実施例1
3.5インチサイズのアルミニウム基板をトリクロロエ
タン中で洗浄脱脂し、表面酸化層を50℃、5wt%N
aOH中で除去し、その後、20℃、6vol %HN
O3 中で中和した。この前処理が終了した後、18℃
、1モル/リットルのH2 SO4 浴中で、17.5
Vで定電圧電解し、厚さ0.5μmの多孔質アルマイト
層を化成した。その後、この基板を30℃、1wt%の
リン酸浴中に浸漬し、60rpmの回転速度で回転させ
ながら、0.04A/dm2 の定電流電解を1分間行
った。その後、基板を前記浴中で60rpmの回転速度
で回転させながら、18分間浸漬し、更に、同速度で回
転させながら、2分間、8Vで定電圧電解を行った。こ
の試料を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察した結果、
多孔質アルマイト層は除去され、微細孔底部のバリヤ層
だけが、セル形状を保ちながら残存していた。この試料
を、CoSO4 :0.2モル/リットル、H3 BO
4 :0.2モル/リットル、グリセリン:2ミリリッ
トル/リットル、NaPH2 O2 :0.03モル/
リットルを含むメッキ浴に移し、交流500Hz 、1
6Vp−p の電源を用い、5分間メッキを行った。こ
の試料の一部を切り出し、折り曲げ、その断面をSEM
で観察した。その結果、断面は図1に示されるような構
造になっており、各磁性粒子は接触しておらず、かつ、
その高さは0.065μmで均一であった。Example 1 A 3.5-inch size aluminum substrate was cleaned and degreased in trichloroethane, and the surface oxidized layer was coated with 5 wt% N at 50°C.
removed in aOH, then 6 vol% HN at 20 °C.
Neutralized in O3. After this pretreatment is completed, 18℃
, in a 1 mol/liter H2SO4 bath, 17.5
Constant voltage electrolysis was carried out at V to form a porous alumite layer with a thickness of 0.5 μm. Thereafter, this substrate was immersed in a 1 wt % phosphoric acid bath at 30° C., and constant current electrolysis at 0.04 A/dm 2 was performed for 1 minute while rotating at a rotation speed of 60 rpm. Thereafter, the substrate was immersed in the bath for 18 minutes while rotating at a rotation speed of 60 rpm, and further, constant voltage electrolysis was performed at 8 V for 2 minutes while rotating at the same speed. As a result of observing this sample with a scanning electron microscope (SEM),
The porous alumite layer was removed, and only the barrier layer at the bottom of the micropores remained while maintaining the cell shape. This sample was mixed with CoSO4: 0.2 mol/liter, H3 BO
4: 0.2 mol/liter, glycerin: 2 ml/liter, NaPH2 O2: 0.03 mol/liter
Transfer to a plating bath containing liters, AC 500Hz, 1
Plating was performed for 5 minutes using a 6Vp-p power source. A part of this sample was cut out, bent, and the cross section was SEM
I observed it. As a result, the cross section has a structure as shown in Figure 1, in which the magnetic particles are not in contact with each other, and
Its height was uniform at 0.065 μm.
【0035】実施例2
実施例1で得られた試料を大気中、200℃で5分間高
温酸化処理を行った。この試料の強磁性粒子表層に生成
した酸化物層をオージェ分析法により調べた結果、膜厚
は100Åであった。Example 2 The sample obtained in Example 1 was subjected to high-temperature oxidation treatment at 200° C. for 5 minutes in the air. The oxide layer formed on the surface layer of the ferromagnetic particles of this sample was examined by Auger analysis, and as a result, the film thickness was 100 Å.
【0036】実施例1および実施例2で得られた試料を
1cm×1cmに切り出し、60℃,90%RHの環境
下において、飽和磁化の劣化率を調べた。結果を図6に
示す。この図から明らかなように、高温酸化処理により
、磁性粒子表層に人工的に酸化物層を形成した試料は酸
化物層を持たない試料に比べ、試験時間の経過に対して
飽和磁化の劣化率が小さく、耐食性が向上していること
が理解できる。The samples obtained in Examples 1 and 2 were cut into 1 cm x 1 cm pieces, and the deterioration rate of saturation magnetization was examined in an environment of 60° C. and 90% RH. The results are shown in FIG. As is clear from this figure, the sample with an artificial oxide layer formed on the surface layer of the magnetic particles through high-temperature oxidation treatment has a higher rate of deterioration of saturation magnetization over the test time than the sample without an oxide layer. It can be seen that the corrosion resistance is improved.
【0037】[0037]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体は、多孔質アルマイト層を除去した後に残る、セル
形状を保持したバリヤ層上に磁性体をメッキするため、
形成される磁性体層の高さがほぼ一定になる。このため
、従来行われていたような研磨工程が不要になる。また
、磁性層の高さが一定で、磁性粒子同士が接触していな
いので、磁気特性および電磁変換特性が大幅に改善され
る。特に、本発明によれば、ノイズ特性およびオーバー
ライト特性に優れた磁気記録媒体を作製することができ
る。As explained above, in the magnetic recording medium of the present invention, the magnetic material is plated on the barrier layer that maintains the cell shape and remains after the porous alumite layer is removed.
The height of the magnetic layer formed becomes approximately constant. This eliminates the need for a conventional polishing process. Furthermore, since the height of the magnetic layer is constant and the magnetic particles are not in contact with each other, the magnetic properties and electromagnetic conversion properties are significantly improved. In particular, according to the present invention, a magnetic recording medium with excellent noise characteristics and overwrite characteristics can be manufactured.
【0038】更に、本発明の磁気記録媒体は磁性粒子間
に空隙が存在するので、この空隙内に液状潤滑剤を多量
に貯留することができる。その結果、長期間使用しても
潤滑性能は低下せず、耐久性に優れた磁気記録媒体を得
ることができる。Furthermore, since the magnetic recording medium of the present invention has gaps between the magnetic particles, a large amount of liquid lubricant can be stored in the gaps. As a result, the lubrication performance does not deteriorate even after long-term use, and a magnetic recording medium with excellent durability can be obtained.
【0039】また、高温酸化により磁性粒子表層に人工
的に酸化物層を形成すると、表層酸化膜が保護層として
作用し、耐食性を向上することができる。Furthermore, when an oxide layer is artificially formed on the surface layer of the magnetic particles by high-temperature oxidation, the surface oxide film acts as a protective layer, and corrosion resistance can be improved.
【図1】アルマイト層の溶解処理の進行を説明する平面
図である。FIG. 1 is a plan view illustrating the progress of dissolving an alumite layer.
【図2】本発明の磁気記録媒体の一例の模式的断面図で
ある。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of an example of the magnetic recording medium of the present invention.
【図3】本発明の磁気記録媒体の別の例の模式的断面図
である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of another example of the magnetic recording medium of the present invention.
【図4】図2の磁気記録媒体の磁性体粒子の表層に酸化
物層を形成した模式的断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the magnetic recording medium of FIG. 2 in which an oxide layer is formed on the surface layer of the magnetic particles.
【図5】図3の磁気記録媒体の磁性体粒子の表層に酸化
物層を形成した模式的断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the magnetic recording medium of FIG. 3 in which an oxide layer is formed on the surface layer of the magnetic particles.
【図6】実施例1および実施例2で得られた試料の耐食
性を示す特性図である。FIG. 6 is a characteristic diagram showing the corrosion resistance of samples obtained in Example 1 and Example 2.
【符号の説明】 1 ポア 3 三角柱 5 非磁性基体 7 バリヤ層 9 セル 11 磁性粒子 12 酸化物層[Explanation of symbols] 1 Pore 3 Triangular prism 5 Non-magnetic substrate 7 Barrier layer 9 Cell 11 Magnetic particles 12 Oxide layer
Claims (11)
を陽極酸化して得られる多孔質酸化アルミニウムの多孔
質層を湿式法によるエッチングで除去した後にアルミニ
ウムまたはアルミニウム合金地金上に残る、セル形状を
保持したバリヤ層上に磁性体をメッキしたことを特徴と
する磁気記録媒体。Claim 1: A barrier layer that retains the cell shape and remains on the aluminum or aluminum alloy base metal after a porous layer of porous aluminum oxide obtained by anodizing aluminum or an aluminum alloy is removed by wet etching. A magnetic recording medium characterized by having a magnetic material plated on top.
キされた各々の磁性体が相互に接触していないことを特
徴とする請求項1の磁気記録媒体。2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic materials plated on the barrier layer that maintains the cell shape do not contact each other.
超含有することを特徴とする請求項1または2の磁気記
録媒体。[Claim 3] The magnetic material to be plated contains 50 at% Co.
The magnetic recording medium according to claim 1 or 2, characterized in that the magnetic recording medium contains a large amount.
更に含有することを特徴とする請求項3の磁気記録媒体
。4. The magnetic material contains 0.05 to 33 at% phosphorus.
4. The magnetic recording medium according to claim 3, further comprising a magnetic recording medium.
さが0.02〜0.2μmの範囲内である請求項1〜4
の何れかの磁気記録媒体。5. Claims 1 to 4, wherein the thickness of the magnetic layer plated on the barrier layer is within the range of 0.02 to 0.2 μm.
Any magnetic recording medium.
を陽極酸化して得られる多孔質酸化アルミニウムの多孔
質層を湿式法によるエッチングで除去した後にアルミニ
ウムまたはアルミニウム合金地金上に残る、セル形状を
保持したバリヤ層上に磁性体をメッキし、前記磁性体表
層が該磁性体の酸化物層で覆われていることを特徴とす
る磁気記録媒体。6. A barrier layer that retains the cell shape and remains on the aluminum or aluminum alloy base metal after a porous layer of porous aluminum oxide obtained by anodizing aluminum or an aluminum alloy is removed by wet etching. 1. A magnetic recording medium, characterized in that a magnetic material is plated thereon, and the surface layer of the magnetic material is covered with an oxide layer of the magnetic material.
内であることを特徴とする請求項6の磁気記録媒体。7. The magnetic recording medium according to claim 6, wherein the thickness of the oxide layer is within the range of 5 to 300 Å.
キされた各々の磁性体が相互に接触していないことを特
徴とする請求項6の磁気記録媒体。8. The magnetic recording medium according to claim 6, wherein the magnetic materials plated on the barrier layer that maintains the cell shape do not contact each other.
超含有することを特徴とする請求項6の磁気記録媒体。[Claim 9] The magnetic material to be plated contains 50 at% Co.
7. The magnetic recording medium according to claim 6, wherein the magnetic recording medium contains a large amount of
%更に含有することを特徴とする請求項9の磁気記録媒
体。10. The magnetic material contains phosphorus at 0.05 to 33 at.
10. The magnetic recording medium according to claim 9, further comprising %.
厚さが0.02〜0.2μmの範囲内である請求項6の
磁気記録媒体。11. The magnetic recording medium of claim 6, wherein the thickness of the magnetic layer plated on the barrier layer is within the range of 0.02 to 0.2 μm.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP21420091A JPH04356720A (en) | 1990-12-28 | 1991-08-01 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP41683890 | 1990-12-28 | ||
JP2-416838 | 1990-12-28 | ||
JP21420091A JPH04356720A (en) | 1990-12-28 | 1991-08-01 | Magnetic recording medium |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04356720A true JPH04356720A (en) | 1992-12-10 |
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ID=26520186
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP21420091A Withdrawn JPH04356720A (en) | 1990-12-28 | 1991-08-01 | Magnetic recording medium |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04356720A (en) |
-
1991
- 1991-08-01 JP JP21420091A patent/JPH04356720A/en not_active Withdrawn
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