JPH0435043A - 静電チャック装置 - Google Patents
静電チャック装置Info
- Publication number
- JPH0435043A JPH0435043A JP2142364A JP14236490A JPH0435043A JP H0435043 A JPH0435043 A JP H0435043A JP 2142364 A JP2142364 A JP 2142364A JP 14236490 A JP14236490 A JP 14236490A JP H0435043 A JPH0435043 A JP H0435043A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anode
- anode electrodes
- electrostatic chuck
- electrodes
- wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
- H01B3/00—Insulators or insulating bodies characterised by the insulating materials; Selection of materials for their insulating or dielectric properties
- H01B3/002—Inhomogeneous material in general
- H01B3/006—Other inhomogeneous material
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
静電チャック装置に関し、
長時間使用しても、複数のアノード電極が片寄って劣化
しない静電チャ・７り装置を提供することを目的とし、 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェハ等を保持する静電チャック装置に関す
る。
しない静電チャ・７り装置を提供することを目的とし、 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェハ等を保持する静電チャック装置に関す
る。
一般に、エツチング装置などの半導体製造装置では、ウ
ェハをクリーン化したり、ウェハに発生した熱を外部に
速やかに逃がしたりするために、静電チャック装置によ
りウェハを垂直又は逆さに保持することがある。
ェハをクリーン化したり、ウェハに発生した熱を外部に
速やかに逃がしたりするために、静電チャック装置によ
りウェハを垂直又は逆さに保持することがある。
この静電チャック装置は、クーロン力によりウェハを吸
引する複数のアノード電極とカソード電極を有し、１〜
２ＫＶ程度の高圧直流電圧をアノード電極に印加するこ
とにより両電極間にクーロン力を発生し、このクーロン
力によりウェハを保持するように構成されている。
引する複数のアノード電極とカソード電極を有し、１〜
２ＫＶ程度の高圧直流電圧をアノード電極に印加するこ
とにより両電極間にクーロン力を発生し、このクーロン
力によりウェハを保持するように構成されている。
しかしながら、円形のウェハを保持する都合上、各アノ
ード電極の面積等が同一でないので、アノード電極の誘
電分極の方向を固定すると、複数のアノード電極が片寄
って劣化してウェハを充分保持することができなくなり
、この劣化を防止するために、例えばウェハ毎にアノー
ド電極の極性を反転することが行われる。
ード電極の面積等が同一でないので、アノード電極の誘
電分極の方向を固定すると、複数のアノード電極が片寄
って劣化してウェハを充分保持することができなくなり
、この劣化を防止するために、例えばウェハ毎にアノー
ド電極の極性を反転することが行われる。
第７図は、従来の静電チャック装置を示し、１はウェハ
、２はウェハ１を吸引して保持するための基板であり、
基板２には、例えばアノード電極ＡＩ、Ｂｌ、Ａ２、Ｂ
２、Ａ３、Ｂ３が円周方向に伸びるように、かつ半径方
向にこの順番で配設されている。尚、アノード電極Ａ１
、Ａ２、Ａ３が短絡され、アノード電極Ｂ１、Ｂ２、Ｂ
３が短絡されている。また、アノード電極Ａ１、Ｂ１、
Ａ２、Ｂ２、Ａ３、Ｂ３の上方にはカソード電極３が配
置されている。
、２はウェハ１を吸引して保持するための基板であり、
基板２には、例えばアノード電極ＡＩ、Ｂｌ、Ａ２、Ｂ
２、Ａ３、Ｂ３が円周方向に伸びるように、かつ半径方
向にこの順番で配設されている。尚、アノード電極Ａ１
、Ａ２、Ａ３が短絡され、アノード電極Ｂ１、Ｂ２、Ｂ
３が短絡されている。また、アノード電極Ａ１、Ｂ１、
Ａ２、Ｂ２、Ａ３、Ｂ３の上方にはカソード電極３が配
置されている。
アノード電極Ａ１〜Ａ３、Ｂ１−Ｂ５には、直流高圧電
源４の直流電圧が極性切替スイツチ５を介して印加され
、極性切替スイッチ５は、例えばウェハ１を１枚処理す
る毎に直流高圧電源４の直流電圧の極性を切り替える。
源４の直流電圧が極性切替スイツチ５を介して印加され
、極性切替スイッチ５は、例えばウェハ１を１枚処理す
る毎に直流高圧電源４の直流電圧の極性を切り替える。
しかしながら、上記従来の静電チャック装置は、例えば
ウェハ１を１枚処理する毎に直流高圧電源４の直流電圧
の極性を切り替えても、各ウェハｌの処理時間が異なり
、長時間使用すると、やはりアノード電極Ａｔ〜Ａ３、
Ｂ１〜Ｂ３が片寄って劣化するという問題点がある。
ウェハ１を１枚処理する毎に直流高圧電源４の直流電圧
の極性を切り替えても、各ウェハｌの処理時間が異なり
、長時間使用すると、やはりアノード電極Ａｔ〜Ａ３、
Ｂ１〜Ｂ３が片寄って劣化するという問題点がある。
本発明は上記従来の問題点に鑑み、複数のアノード電極
が片寄って劣化しない静電チャック装置を提供すること
を目的とする。
が片寄って劣化しない静電チャック装置を提供すること
を目的とする。
本発明は上記目的を達成するために、複数のアノード電
極と、前記アノード電極に３相以上の交流電圧を印加す
る多相交流電源とを有し、前記複数のアノード電極のそ
れぞれに前記多相交流の各相を独立に印加することを特
徴とする。
極と、前記アノード電極に３相以上の交流電圧を印加す
る多相交流電源とを有し、前記複数のアノード電極のそ
れぞれに前記多相交流の各相を独立に印加することを特
徴とする。
Ｃ作用〕
本発明は上記構成により、各アノード電極に印加される
電流量が同一になり、複数のアノード電極が片寄って劣
化しない。
電流量が同一になり、複数のアノード電極が片寄って劣
化しない。
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。第１〜
６図は本発明に係る静電チャック装置の一実施例を示す
概略構成図である。
６図は本発明に係る静電チャック装置の一実施例を示す
概略構成図である。
第１図において、１１はウェハ、１２はウェハ１１を吸
引して保持するための基板であり、基板１２には、例え
ばアノード電極Ｕｌ、Ｖｌ、Ｗｌ、Ｂ２、Ｂ３、Ｗ３が
円周方向に伸びるように、かつ半径方向にこの順番で配
設されている。
引して保持するための基板であり、基板１２には、例え
ばアノード電極Ｕｌ、Ｖｌ、Ｗｌ、Ｂ２、Ｂ３、Ｗ３が
円周方向に伸びるように、かつ半径方向にこの順番で配
設されている。
尚、アノード電極Ｕ１、Ｂ２が短絡され、アノード電極
Ｖｌ、Ｂ２が短絡され、アノード電極Ｗ１、Ｗ２が短絡
され、また、アノード電極Ｕ１、Ｖｌ、Ｗｌ、Ｂ２、Ｂ
３、Ｗ３の上方にはカソード電極１３が配置されている
。
Ｖｌ、Ｂ２が短絡され、アノード電極Ｗ１、Ｗ２が短絡
され、また、アノード電極Ｕ１、Ｖｌ、Ｗｌ、Ｂ２、Ｂ
３、Ｗ３の上方にはカソード電極１３が配置されている
。
アノード電極Ｕｌ、Ｕ２、アノード電極ｖ１、Ｂ２、ア
ノード電極Ｗ１、Ｗ２にはそれぞれ、多相交流電源とし
て例えば３相交流電源１４の各相Ｕ、Ｖ、Ｗが印加され
ている。
ノード電極Ｗ１、Ｗ２にはそれぞれ、多相交流電源とし
て例えば３相交流電源１４の各相Ｕ、Ｖ、Ｗが印加され
ている。
上記構成において、３相交流電源１４が第２図（ａ）に
示すような３相交流Ｕ、Ｖ、Ｗを出力すると、アノード
電極Ｕｌ、Ｕ２、アノード電極Ｖ１、Ｂ２、アノード電
極Ｗ１、Ｗ２にはそれぞれ、第２図（ｂ）に示すような
略一定のクーロン力がカソード電極１３との間で発生す
る。
示すような３相交流Ｕ、Ｖ、Ｗを出力すると、アノード
電極Ｕｌ、Ｕ２、アノード電極Ｖ１、Ｂ２、アノード電
極Ｗ１、Ｗ２にはそれぞれ、第２図（ｂ）に示すような
略一定のクーロン力がカソード電極１３との間で発生す
る。
この場合、アノード電極Ｕｌ、Ｕ２、アノード電極■１
、Ｂ２、アノード電極Ｗｌ、Ｗ２にはそれぞれ同一の電
流量が印加されるので、アノード電極Ｕ１、ｖｌ、Ｗｌ
、Ｂ２、Ｂ３、Ｗ３が片寄って劣化しない。
、Ｂ２、アノード電極Ｗｌ、Ｗ２にはそれぞれ同一の電
流量が印加されるので、アノード電極Ｕ１、ｖｌ、Ｗｌ
、Ｂ２、Ｂ３、Ｗ３が片寄って劣化しない。
尚、上記実施例では、多相交流電源として３相交流電源
１４を用いたが、例えば６相等の多相交流電源を用いて
もよい。ここで、２相交流電源を用いると、アノード電
極Ｕｌ、Ｖｌ、Ｗｌ、Ｂ２、Ｕ３、Ｗ３とカソード電極
１３との間の電位差が「０」になるごとがあるので、望
ましくない。
１４を用いたが、例えば６相等の多相交流電源を用いて
もよい。ここで、２相交流電源を用いると、アノード電
極Ｕｌ、Ｖｌ、Ｗｌ、Ｂ２、Ｕ３、Ｗ３とカソード電極
１３との間の電位差が「０」になるごとがあるので、望
ましくない。
また、上記実施例では、アノード電極Ｕ１、Ｕ１、Ｗｌ
、Ｕ２、Ｕ３、Ｗ３が円周方向に伸びるよ）に、かつ半
径方向にこの順番で基板１２に配設したが、これに限ら
ず、例えば、第３図に示すよ・うに、アノード電極Ｕ１
、ｖｌ、Ｗｌ、Ｕ２、Ｕ２、Ｗ２が半径方向に伸びるよ
うに、かつ円周方向にこの順番となるように配設しても
よく、または、第４図に示すように、アノード電極Ｕ１
、Ｕ１、Ｗｌ、Ｕ２、Ｕ２、Ｗ２をこの順序で外周側か
ら内周側へと順次に配設してもよく、または、第５図に
示すように、アノード′電極Ｕ１、Ｕ１、Ｗｌ、Ｕ２、
Ｕ２、Ｗ２、Ｕ３、Ｕ３、Ｗ３、・・・・・・を平行に
配設してもよ（、または、第６図に示すように、アノー
ド′電ｉＵ、Ｖ、Ｗ、・・・・・・をブロック状に配設
してもよい。
、Ｕ２、Ｕ３、Ｗ３が円周方向に伸びるよ）に、かつ半
径方向にこの順番で基板１２に配設したが、これに限ら
ず、例えば、第３図に示すよ・うに、アノード電極Ｕ１
、ｖｌ、Ｗｌ、Ｕ２、Ｕ２、Ｗ２が半径方向に伸びるよ
うに、かつ円周方向にこの順番となるように配設しても
よく、または、第４図に示すように、アノード電極Ｕ１
、Ｕ１、Ｗｌ、Ｕ２、Ｕ２、Ｗ２をこの順序で外周側か
ら内周側へと順次に配設してもよく、または、第５図に
示すように、アノード′電極Ｕ１、Ｕ１、Ｗｌ、Ｕ２、
Ｕ２、Ｗ２、Ｕ３、Ｕ３、Ｗ３、・・・・・・を平行に
配設してもよ（、または、第６図に示すように、アノー
ド′電ｉＵ、Ｖ、Ｗ、・・・・・・をブロック状に配設
してもよい。
以上説明したように本発明は、各アノード電極に同一の
電流量が印加され、したがって、長時間使用してもアノ
ード電極が劣化しない。
電流量が印加され、したがって、長時間使用してもアノ
ード電極が劣化しない。
第１〜６図は本発明に係る静電チャック装置の一実施例
を示す図であり、 第１図はその概略構成図、 第２図（ａ）は第１図の３相交流電源の出力電流を示す
波形図、 第２図（ｂ）は第１図のアノード電極とカッ］電極の間
で発生ずるクーロンノｊを示す説明図、第３図は第１Ｈ
のアノード電極の第１変形例を示す平面図、 第４図は第１図のアノード電極の第２変形例を示す平面
図、 第５図は第１図のアノード電極の第３変形例を示す平面
図、 第６図は第１図のアノード電極の第４変形例を示す平面
図、 第７図は従来の静電チャック装置を示す概略構成図であ
る。 Ｕｌ、 ｖｌ、Ｗｌ、 Ｕ２、Ｕ２、Ｗ２・・・・・・アノード電極、１１・・
・・・・ウェハ、 １３・・・・・・カソード電極、 １４・・・・・・３相交流電源（多相交流電源）。
を示す図であり、 第１図はその概略構成図、 第２図（ａ）は第１図の３相交流電源の出力電流を示す
波形図、 第２図（ｂ）は第１図のアノード電極とカッ］電極の間
で発生ずるクーロンノｊを示す説明図、第３図は第１Ｈ
のアノード電極の第１変形例を示す平面図、 第４図は第１図のアノード電極の第２変形例を示す平面
図、 第５図は第１図のアノード電極の第３変形例を示す平面
図、 第６図は第１図のアノード電極の第４変形例を示す平面
図、 第７図は従来の静電チャック装置を示す概略構成図であ
る。 Ｕｌ、 ｖｌ、Ｗｌ、 Ｕ２、Ｕ２、Ｗ２・・・・・・アノード電極、１１・・
・・・・ウェハ、 １３・・・・・・カソード電極、 １４・・・・・・３相交流電源（多相交流電源）。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数のアノード電極と、 前記アノード電極に３相以上の交流電圧を印加する多相
交流電源とを有し、 前記複数のアノード電極のそれぞれに前記多相交流の各
相を独立に印加することを特徴とする静電チャック装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2142364A JPH0435043A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 静電チャック装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2142364A JPH0435043A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 静電チャック装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0435043A true JPH0435043A (ja) | 1992-02-05 |
Family
ID=15313667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2142364A Pending JPH0435043A (ja) | 1990-05-31 | 1990-05-31 | 静電チャック装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0435043A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11150176A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板保持方法，基板保持装置及び基板処理方法 |
| US6388861B1 (en) | 1990-06-08 | 2002-05-14 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Electrostatic wafer clamp |
| JP2003520416A (ja) * | 1998-11-10 | 2003-07-02 | セムコ エンジニアリング エス．アー． | 静電保持装置 |
| JP2016508292A (ja) * | 2012-12-28 | 2016-03-17 | アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッド | 静電クランプ状態の監視に基づく電荷集積 |
-
1990
- 1990-05-31 JP JP2142364A patent/JPH0435043A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6388861B1 (en) | 1990-06-08 | 2002-05-14 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Electrostatic wafer clamp |
| JPH11150176A (ja) * | 1997-11-18 | 1999-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板保持方法，基板保持装置及び基板処理方法 |
| JP2003520416A (ja) * | 1998-11-10 | 2003-07-02 | セムコ エンジニアリング エス．アー． | 静電保持装置 |
| JP4763890B2 (ja) * | 1998-11-10 | 2011-08-31 | セムコ エンジニアリング エス．アー． | 静電保持装置 |
| JP2016508292A (ja) * | 2012-12-28 | 2016-03-17 | アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッド | 静電クランプ状態の監視に基づく電荷集積 |
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