JPH04341859A - Manufacture of ink jet head - Google Patents

Manufacture of ink jet head

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JPH04341859A
JPH04341859A JP11449691A JP11449691A JPH04341859A JP H04341859 A JPH04341859 A JP H04341859A JP 11449691 A JP11449691 A JP 11449691A JP 11449691 A JP11449691 A JP 11449691A JP H04341859 A JPH04341859 A JP H04341859A
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JP
Japan
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substrate
ink
matrix
ink supply
shape
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP11449691A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michitoku Kuami
朽網 道徳
Michio Shimura
志村 美千男
Shigeo Nonoyama
野々山 茂夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain a manufacturing method for ink jet heads capable of forming the shape of ink paths with a high accuracy and improving a cost relating to a production of ink jet heads in which a metallic material is deposited on a matrix by electrocasting for forming at least the shape of ink supply paths. CONSTITUTION:An ink jet head 1 is produced by a construction wherein a plurality of ink supply paths 10 are branched from a common ink chamber 7 and provided with pressure chambers 8 at the intermediate positions thereof and nozzle parts 9 at the tip ends thereof, and ink particles are jetted out of the nozzle part 9 by selectively applying a pressure to the pressure chamber 8. At this time, a metallic material is deposited by electrocasting on a matrix 12 in which at least the shape of the ink supply paths 10 is projectedly formed, whereby a first substrate 14 is molded. The first substrate is released from the matrix 12. A second substrate 15 made of a flat metal plate is securely bonded to the recessed surface of the first substrate 14.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タのインクジェットヘッドの製造方法に係り、特に母型
に電鋳によって金属材料を堆積して少なくともインク供
給通路の形状を形成して作成されるインクジェットヘッ
ドの製造方法に関するものである。
FIELD OF INDUSTRIAL APPLICATION The present invention relates to a method of manufacturing an inkjet head for an inkjet printer, and more particularly to an inkjet head manufactured by depositing a metal material on a matrix by electroforming to form at least the shape of an ink supply passage. The present invention relates to a manufacturing method.

【0002】近来、印字媒体にインクの微小粒子を直接
吹きつけて記録するインクジェットプリンタが、印字媒
体に対する制限がなく、且つ高速印字, 低騒音であり
、カラー化が容易であることから急速に普及しつつある
[0002] In recent years, inkjet printers, which record by directly spraying minute ink particles onto a printing medium, have rapidly become popular because they have no restrictions on printing media, are capable of high-speed printing, low noise, and are easy to print in color. It is being done.

【0003】このインクジェットプリンタのインクジェ
ットヘッド (以下印字ヘッドという) は、ステンレ
ス鋼板やガラス板等の基板にエッチングによって両面か
ら溝を彫ってインクの通路を形成する方法がとられてい
るが、コストが掛かるので低コストで作成する方法が望
まれている。
[0003] The inkjet head (hereinafter referred to as print head) of this inkjet printer uses a method in which ink passages are formed by etching grooves on both sides of a substrate such as a stainless steel plate or a glass plate, but this method is expensive. Therefore, a method of producing at low cost is desired.

【0004】0004

【従来の技術】図3にインクジェットプリンタの概要を
示す。図に示すように、インクジェットヘッド(以下印
字ヘッドという)1を搭載したキャリア2にガイドシャ
フト3が嵌合し、又キャリア2に送りねじ4が螺合し、
送りねじ4は図示省略したモータに連結されている。キ
ャリア2はプラテン5の前面に配置され、モータの正逆
回転によりプラテン5に平行に矢印A,B方向に移動す
る。
2. Description of the Related Art FIG. 3 shows an overview of an inkjet printer. As shown in the figure, a guide shaft 3 is fitted into a carrier 2 on which an inkjet head (hereinafter referred to as a print head) 1 is mounted, and a feed screw 4 is screwed into the carrier 2.
The feed screw 4 is connected to a motor (not shown). The carrier 2 is disposed in front of the platen 5, and is moved parallel to the platen 5 in the directions of arrows A and B by forward and reverse rotation of a motor.

【0005】印字ヘッド1はプラテン5に所定の間隙を
介して対向し、先端に配列した複数のノズル孔(図示し
ていないが、例えば2列で24個等) を有している。 従ってキャリア2が移動しながら、印字ヘッド1のノズ
ル孔からインクを選択的に射出して印字用紙6にマトリ
ックスドットによって印字が形成される。
The print head 1 faces the platen 5 with a predetermined gap therebetween, and has a plurality of nozzle holes (not shown, but for example, 24 in two rows) arranged at its tip. Therefore, while the carrier 2 is moving, ink is selectively ejected from the nozzle holes of the print head 1 to form a print in the form of matrix dots on the print paper 6.

【0006】図4に印字ヘッド1の内部を示す。図に示
すように、共通インク室7aから分岐し、中間位置に圧
力室81〜812 が設けられ、先端にノズル孔91〜
912 を有するノズル部9aを形成した1列で12個
のインク供給通路101 〜1012がプレート11に
形成されている。
FIG. 4 shows the inside of the print head 1. As shown in the figure, it branches from the common ink chamber 7a, pressure chambers 81 to 812 are provided at intermediate positions, and nozzle holes 91 to 812 are provided at the tip.
Twelve ink supply passages 101 to 1012 are formed in the plate 11 in one row in which nozzle portions 9a having 912 are formed.

【0007】このインク供給通路101 〜1012が
2列になるように、プレート11と同材料のブランクの
プレート(図示していない)を交互に積層して例えば拡
散溶接によって固着して印字ヘッド1が作成される。
The print head 1 is constructed by alternately stacking the plates 11 and blank plates (not shown) made of the same material so that the ink supply passages 101 to 1012 are arranged in two rows and fixing them by, for example, diffusion welding. Created.

【0008】圧力室81〜812 は片側のプレートの
外側に配置された図示していない例えば圧電素子に選択
的に電圧を印加させて振動させることによって上記のよ
うにノズル孔91〜912 からインク14aの粒子が
射出する。
The pressure chambers 81 to 812 are configured to ink 14a from the nozzle holes 91 to 912 as described above by selectively applying a voltage to a piezoelectric element (not shown) disposed outside one of the plates and vibrating it. particles are ejected.

【0009】プレート11に共通インク室7a及びイン
ク供給通路101 〜1012を形成する方法は、例え
ば厚さ80μm のステンレス鋼板をエッチング法によ
って、図5(a) に示すようにプレート11上にレジ
スト110を塗布してパターンマスク111 を載せ、
上方向から露光して洗浄すると、(b) に示すように
、プレート11上にパターン周辺形状のレジスト110
が残り、これをエッチングすると、(c) に示すよう
に、プレート11の片面に溝が形成される。これを裏面
からも同様に処理して貫通した形状に形成される。
The common ink chamber 7a and the ink supply passages 101 to 1012 are formed on the plate 11 by etching a stainless steel plate with a thickness of 80 μm, for example, and forming a resist 110 on the plate 11 as shown in FIG. 5(a). , and place the pattern mask 111 on it.
When exposed from above and cleaned, a resist 110 in the peripheral shape of the pattern is formed on the plate 11, as shown in (b).
remains, and when this is etched, a groove is formed on one side of the plate 11, as shown in (c). This is processed in the same way from the back side to form a penetrating shape.

【0010】上記例では、共通インク室7a及びインク
供給通路10aを共にエッチングによって形成する場合
を説明したが、共通インク室7aが円形等の単純な形状
の時は、他の円形孔と共にプレス加工等によって孔明け
し、インク供給通路10aだけをエッチングする場合も
ある。
In the above example, the common ink chamber 7a and the ink supply passage 10a are both formed by etching. However, when the common ink chamber 7a has a simple shape such as a circle, it can be formed by press working together with other circular holes. In some cases, only the ink supply passage 10a is etched.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上記従来方法によれば
、例えばステンレス鋼板をエッチングして共通インク室
及びインク供給通路を形成しているが、エッチングして
インク供給通路の幅によって形成できる溝の深さが限定
され、細く浅い部分と広く深い部分が共存するインク供
給通路の構成では、一度のエッチングで完全に作成する
ことができないため、両面からエッチングが必要となっ
ており、エッチングした面に細かい凹凸やばり状のエッ
チング残りがあって、形成された縁の形状の精度が悪く
、インク通路の不要な流体抵抗を増大させたり、気泡を
トラップする核になり、信頼性を低下させている。また
両面エッチングによりコストが高くなっているという問
題点がある。
According to the above-mentioned conventional method, the common ink chamber and the ink supply passage are formed by etching a stainless steel plate. If the ink supply passage has a limited depth and has a thin, shallow part and a wide, deep part, it cannot be completely created with one etching, so etching is required from both sides, and the etched surface There are fine irregularities and burr-like etching residues, and the precision of the formed edge shape is poor, increasing unnecessary fluid resistance in the ink passage and becoming a nucleus for trapping air bubbles, reducing reliability. . Another problem is that the cost is increased due to double-sided etching.

【0012】本発明は、高い精度のインク通路形状を持
ち、コストの改善を図ることができるインクジェットヘ
ッドを提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an inkjet head that has a highly accurate ink passage shape and can reduce costs.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】図1は本発明の原理図で
、(a) はインクジェットヘッドの内部構成図、(b
)(イ) 及び(ロ) はインクジェットヘッドの製造
方法の説明図である。
[Means for Solving the Problems] Fig. 1 is a diagram showing the principle of the present invention, in which (a) is an internal configuration diagram of an inkjet head, and (b)
)(a) and (b) are explanatory diagrams of a method for manufacturing an inkjet head.

【0014】図において、7は共通インク室、8は圧力
室、9はノズル部、12は母型、14は第1の基板、1
5は第2の基板、10は共通インク室7から分岐し、中
間位置に圧力室8が設けられ、先端にノズル部9を形成
した複数のインク供給通路、1は圧力室8に外部から選
択的に圧力を与えることによりノズル部9からインクの
粒子を射出させるインクジェットヘッド、従って少なく
ともインク供給通路10の形状を凸形に形成した母型1
2に、電鋳によって金属材料を堆積して第1の基板14
を成型し、成型された第1の基板14を母型12から剥
離して、第1の基板14の凹部形成面に平坦な金属板で
形成された第2の基板15を固着する方法である。
In the figure, 7 is a common ink chamber, 8 is a pressure chamber, 9 is a nozzle section, 12 is a matrix, 14 is a first substrate, 1
5 is a second substrate; 10 is a plurality of ink supply passages branched from the common ink chamber 7; a pressure chamber 8 is provided at an intermediate position; and a nozzle portion 9 is formed at the tip; An inkjet head that ejects ink particles from a nozzle portion 9 by applying pressure, and thus a matrix 1 in which at least an ink supply passage 10 is formed in a convex shape.
2, a metal material is deposited by electroforming to form the first substrate 14.
This is a method in which the molded first substrate 14 is peeled off from the mother mold 12, and a second substrate 15 made of a flat metal plate is fixed to the concave portion forming surface of the first substrate 14. .

【0015】[0015]

【作用】母型12に電鋳によって金属材料を堆積させる
と第1の基板14が形成され、母型12から剥離した第
1の基板14の凹部形成面に平坦な第2の基板15を固
着することにより、第1の基板14の凹部が少なくとも
インク供給通路10となって、インクジェットヘッド1
を作成することができ、形状の精度を向上させることが
でき、またコストを改善することができる。
[Operation] A first substrate 14 is formed by depositing a metal material on the mother mold 12 by electroforming, and a flat second substrate 15 is fixed to the concave portion forming surface of the first substrate 14 that has been peeled off from the mother mold 12. By doing so, the recessed portion of the first substrate 14 becomes at least the ink supply passage 10, and the inkjet head 1
can be created, the precision of the shape can be improved, and the cost can also be improved.

【0016】[0016]

【実施例】図2により本発明の一実施例を説明する。図
2の基板14a,15a は、図1の第1の基板14及
び第2の基板15に対応している。
[Embodiment] An embodiment of the present invention will be explained with reference to FIG. The substrates 14a and 15a in FIG. 2 correspond to the first substrate 14 and the second substrate 15 in FIG.

【0017】図2は本発明の実施例の工程図を示す。従
来例で説明した共通インク室7a及びインク供給通路1
01 〜1012の形状を図2(a) に示すように凸
形にして、誘電体(請求項2に対応),例えばポリエス
テル (或いはポリカーボネート, ポリアミド等の樹
脂) で形成された母型12aを銅板の電極13の上に
載置する。
FIG. 2 shows a process diagram of an embodiment of the present invention. Common ink chamber 7a and ink supply passage 1 described in the conventional example
The shapes of 01 to 1012 are made convex as shown in FIG. 2(a), and a matrix 12a made of a dielectric material (corresponding to claim 2), for example, polyester (or resin such as polycarbonate or polyamide) is attached to a copper plate. is placed on the electrode 13 of.

【0018】母型12aの共通インク室7a及びインク
供給通路101 〜1012に対応する形状は、ノズル
孔91〜912 の幅50μm,深さ1mm, 圧力室
81〜812の幅1mm, 深さ100μm,インク供
給通路101 〜1012の幅 200μm,長さ1m
mに対応した形状になっている。
The shapes of the common ink chamber 7a and the ink supply passages 101 to 1012 of the matrix 12a are as follows: the nozzle holes 91 to 912 have a width of 50 μm and a depth of 1 mm; the pressure chambers 81 to 812 have a width of 1 mm and a depth of 100 μm; Ink supply passages 101 to 1012 have a width of 200 μm and a length of 1 m.
It has a shape corresponding to m.

【0019】次に図2(b) に示すように、電鋳(E
lectroforming)によってニッケルを母型
12aに堆積 (ハッチング部分) させて、図2(c
) に示すように、基板14aを成型する。この時、母
型12aが誘電体で形成されているので、図2(b) 
に示すように、インク供給通路101 〜1012の浅
い部分が電極13に近いために堆積が速く進行し所望の
形状が容易に得られる。
Next, as shown in FIG. 2(b), electroforming (E
Nickel is deposited on the matrix 12a (hatched area) by electroforming (Fig.
), the substrate 14a is molded. At this time, since the matrix 12a is made of dielectric material, as shown in FIG.
As shown in FIG. 2, since the shallow portions of the ink supply passages 101 to 1012 are close to the electrodes 13, deposition proceeds quickly and a desired shape can be easily obtained.

【0020】電鋳の方法は、電極13上に載置した母型
12aを電解液中に置いて、電極13と電解液との間に
直流電圧を印加することにより、電気分解によりニッケ
ルを母型12a上に堆積する。電解液はスルファミン酸
ニッケル浴 (例えばスルファミン酸ニケル500g/
リットル, ホウ酸30g/リットル, 浴温40〜6
0°C)が用いられる。
[0020] In the electroforming method, the mother mold 12a placed on the electrode 13 is placed in an electrolytic solution, and a DC voltage is applied between the electrode 13 and the electrolytic solution to form nickel into the mother mold by electrolysis. It is deposited on the mold 12a. The electrolyte is a nickel sulfamate bath (for example, nickel sulfamate 500g/
liter, boric acid 30g/liter, bath temperature 40-6
0°C) is used.

【0021】電鋳によって所望の形状が得られたら母型
12aから基板14aを剥離して、図2(d) に示す
ように、基板14aの凹部形成面 (図において下側)
 に平坦な金属板 (例えば厚さ 100μm のニッ
ケル板) で形成された基板15aを固着する。
When the desired shape is obtained by electroforming, the substrate 14a is peeled off from the matrix 12a, and as shown in FIG.
A substrate 15a formed of a flat metal plate (for example, a 100 μm thick nickel plate) is fixed to the substrate.

【0022】かくて印字ヘッド1の共通インク室7a及
びインク供給通路101 〜1012の1列分ができ上
り、これを複数個(例えば2個)作成して積層し、圧力
室81〜812 に対応する基板15a上の位置に図示
していない圧力素子を接着することにより印字ヘッド1
が完成する。
In this way, one row of the common ink chamber 7a and the ink supply passages 101 to 1012 of the print head 1 is completed, and a plurality of them (for example, two) are created and stacked to correspond to the pressure chambers 81 to 812. By bonding a pressure element (not shown) to a position on the substrate 15a, the print head 1
is completed.

【0023】このようにして、作業が簡単で形状が綺麗
で、且つ形状の精度が高く (例えば±2μm 程度)
 仕上がり、また低コストの印字ヘッド1を得ることが
できる。上記例では、母型12aを誘電体としてポリエ
ステル等の樹脂を使用した場合を説明したが、誘電体で
なくニッケル,銅等の金属を用いても良い。しかし電鋳
の堆積をインク供給通路101 〜1012の浅い部分
ほど速く進めるには誘電体の方が適している。
[0023] In this way, the work is easy, the shape is beautiful, and the shape accuracy is high (for example, about ±2 μm).
It is possible to obtain a print head 1 with good finish and low cost. In the above example, a case was explained in which a resin such as polyester was used as the dielectric material of the matrix 12a, but instead of a dielectric material, a metal such as nickel or copper may be used. However, a dielectric material is more suitable for depositing electroforming at a faster rate in shallower portions of the ink supply passages 101 to 1012.

【0024】また上記例では、共通インク室7a及びイ
ンク供給通路101 〜1012を共に母型12aで形
成した場合を説明したが、共通インク室7aが円形等の
単純な形状の時は、インク供給通路101 〜1012
だけを形成し、共通インク室7aは他の方法, 例えば
座ぐり加工等によって形成する方法としても良い。
In the above example, the common ink chamber 7a and the ink supply passages 101 to 1012 are both formed of the matrix 12a. However, when the common ink chamber 7a has a simple shape such as a circle, the ink supply passages 101 to 1012 are Aisle 101-1012
It is also possible to form the common ink chamber 7a by another method, for example, by counterboring or the like.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、請
求項1では、共通インク室及びインク供給通路の形状を
凸形に形成した母型に、電鋳によって金属材料を堆積し
て第1の基板を成型して、母型から剥離した第1の基板
の凹部形成面に平坦な金属板の第2の基板を固着するこ
とにより、形状が整って精度が高められ、またコストの
改善を図ることができる。
As explained above, according to the present invention, in claim 1, a metal material is deposited by electroforming on a mother mold in which the common ink chamber and the ink supply passage are formed in a convex shape. By molding the first substrate and fixing the second substrate, which is a flat metal plate, to the concave forming surface of the first substrate that has been peeled off from the mother mold, the shape is uniform, accuracy is improved, and cost is improved. can be achieved.

【0026】請求項2では、母型を誘電体で形成するこ
とにより、電鋳の堆積をインク供給通路の浅い部分ほど
速く進めることができる。という効果がある。
[0026] In the second aspect, by forming the master die from a dielectric material, electroforming can be deposited more quickly in shallower portions of the ink supply passage. There is an effect.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】  本発明の原理図[Figure 1] Principle diagram of the present invention

【図2】  本発明の実施例を示す工程図[Figure 2] Process diagram showing an example of the present invention

【図3】  
インクジェットプリンタの概要を示す斜視図
[Figure 3]
A perspective view showing an overview of an inkjet printer

【図4】 
 印字ヘッドの内部構成図
[Figure 4]
Internal configuration diagram of print head

【図5】  従来例の印字ヘッドの作成方法の説明図[Figure 5] Explanatory diagram of the method of creating a conventional print head

【符号の説明】[Explanation of symbols]

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  共通インク室(7) から分岐し、中
間位置に圧力室(8) が設けられ、先端にノズル部(
9) を形成した複数のインク供給通路(10)の該圧
力室(8)に選択的に圧力を加えることにより該ノズル
部(9) からインクの粒子を射出させるインクジェッ
トヘッドの製造方法であって、少なくとも前記インク供
給通路(10)の形状を凸形に形成した母型(12)に
、電鋳によって金属材料を堆積して第1の基板(14)
を成型し、該成型された第1の基板(14)を該母型(
12)から剥離して、該第1の基板(14)の凹部形成
面に平坦な金属板で形成された第2の基板(15)を固
着することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。
Claim 1: Branching from the common ink chamber (7), a pressure chamber (8) is provided at an intermediate position, and a nozzle portion (8) is provided at the tip.
9) A method for manufacturing an inkjet head in which ink particles are ejected from the nozzle portion (9) by selectively applying pressure to the pressure chambers (8) of the plurality of ink supply passages (10) formed with A first substrate (14) is formed by depositing a metal material by electroforming on a matrix (12) in which at least the ink supply passage (10) is formed into a convex shape.
is molded, and the molded first substrate (14) is placed in the mother mold (
12) A method for manufacturing an inkjet head, which comprises peeling off the first substrate (14) and fixing a second substrate (15) made of a flat metal plate to the recess-forming surface of the first substrate (14).
【請求項2】  前記母型(12)は誘電体で形成され
ることを特徴とする請求項1のインクジェットヘッドの
製造方法。
2. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein the matrix (12) is formed of a dielectric material.
JP11449691A 1991-05-20 1991-05-20 Manufacture of ink jet head Withdrawn JPH04341859A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5617631A (en) * 1995-07-21 1997-04-08 Xerox Corporation Method of making a liquid ink printhead orifice plate

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US5617631A (en) * 1995-07-21 1997-04-08 Xerox Corporation Method of making a liquid ink printhead orifice plate

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