JPH04328342A - Light disk master disk recorder - Google Patents

Light disk master disk recorder

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JPH04328342A
JPH04328342A JP12528791A JP12528791A JPH04328342A JP H04328342 A JPH04328342 A JP H04328342A JP 12528791 A JP12528791 A JP 12528791A JP 12528791 A JP12528791 A JP 12528791A JP H04328342 A JPH04328342 A JP H04328342A
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lens
drive mechanism
master
turntable
lens drive
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Kenji Furuta
古田 賢治
Tsutomu Matsumoto
勉 松本
Katsuya Wada
和田 克哉
Katsuyuki Negishi
根岸 勝之
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Victor Company of Japan Ltd
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Victor Company of Japan Ltd
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Abstract

PURPOSE:To prevent the occurrence of a gear mark when information is optically recorded in the glass master disk of CD through the use of a laser beam. CONSTITUTION:A moving mechanism consisting of a ser laser beam source 2, at optical part 3 which shapes and controls the laser beam injected from the laser beam source 2, a turntable 4 which is rotated by a brushless-motor, a static pressure air guide 5 and a linear motor 6 disposed at the bottom of the static pressure air guide 5 is provided on a surface plate 1. The moving mechanism sends a moving optical part 7 including a condenser lens toward the radial direction of the turntable 4.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明はレジスト等を塗布したガ
ラス原盤等の記録媒体にレーザ光を用いて光学的に情報
を記録する光ディスク原盤記録装置(以下「カッティン
グマシン」とも称する。)に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disc master recording apparatus (hereinafter also referred to as a "cutting machine") that optically records information on a recording medium such as a glass master coated with a resist or the like using a laser beam.

【0002】0002

【従来の技術】音楽メディア等として普及したコンパク
トディスク(CD)を製造するには、予め情報信号とし
てのピットを刻んだ原盤を作成するが、この原盤にピッ
トを刻設する装置としてレーザ光を用いたカッティング
マシンが使用されている。
BACKGROUND OF THE INVENTION In order to manufacture compact discs (CDs), which have become popular as music media, a master disc with pits as information signals is created in advance. The cutting machine used is used.

【0003】一般的なカッティングマシンの光学系は、
図8に示すように光源101から射出されたレーザビー
ム103を反射ミラー104a、104b、104c及
び集光レンズ105を介してターンテーブル106上の
原盤107に集光することにより、この原盤107上に
所定の情報信号をカッティングする。この場合、原盤1
07上に螺旋状又は同心円状に信号を記録するために、
ターンテーブル106又は集光レンズ105のいずれか
を原盤107の半径方向に高精度に移動させるための送
り機構が必要になる。
[0003] The optical system of a general cutting machine is
As shown in FIG. 8, the laser beam 103 emitted from the light source 101 is focused onto the master disc 107 on the turntable 106 via the reflecting mirrors 104a, 104b, 104c and the condenser lens 105. Cutting a predetermined information signal. In this case, master 1
To record signals spirally or concentrically on 07,
A feeding mechanism is required to move either the turntable 106 or the condensing lens 105 in the radial direction of the master 107 with high precision.

【0004】そこで、従来はネジ送り機構が用いられて
いる。このネジ送り機構は図9に示すように、エンコー
ダ付きのサーボモータ108と、このモータ108のモ
ータ出力軸108aにカップリング109aを介して連
結した高精度減速機110を備え、この減速機110の
出力軸110aをクラッチ111aを介してネジナット
送り機構112のネジ部112aに連結して定常送り機
構を構成する。また、クラッチ111aのプーリと他方
のクラッチ111bのプーリ間にタイミングベルト11
3を張設し、クラッチ111bにモータ114を連結し
て早送り機構を構成している。
[0004] Conventionally, therefore, a screw feeding mechanism has been used. This screw feeding mechanism, as shown in FIG. The output shaft 110a is connected to the threaded portion 112a of the screw/nut feeding mechanism 112 via the clutch 111a to constitute a steady feeding mechanism. Also, a timing belt 11 is provided between the pulley of the clutch 111a and the pulley of the other clutch 111b.
3 is tensioned, and a motor 114 is connected to the clutch 111b to constitute a fast-forwarding mechanism.

【0005】更に、カッティングの際にターンテーブル
106によって回転される原盤107には面振れが発生
して集光レンズ105までの距離Hが変化するため、こ
の面振れに対応して集光レンズ105をビーム103の
光軸方向に変位させてビーム103を常に原盤107上
に集光させるフォーカシング機構が必要になり、また原
盤107の厚みのバラツキが多くこれを吸収する必要が
ある。
Furthermore, surface wobbling occurs in the master 107 rotated by the turntable 106 during cutting, and the distance H to the condenser lens 105 changes. A focusing mechanism is required to displace the beam 103 in the optical axis direction of the beam 103 to always focus the beam 103 on the master 107, and there are many variations in the thickness of the master 107, so it is necessary to absorb this.

【0006】そこで、従来は、原盤の厚み対応するため
のレンズ上下機構と面振れに対応するためのレンズフォ
ーカシング機構及びこれらを制御するためにフォーカス
光学系を備えている。前者は一般的に1軸直線ガイド機
構(例えば、ローラガイド機構或いはアリミゾ機構)を
モータとねじ送り機構と組合せたものと、ばねで支持さ
れたレンズ可動部にコイルを具備し、固定部に、マグネ
ットとヨークを構成したいわゆるムービングコイル型の
駆動機構が採用されている。また、後者は一般にヘリウ
ムネオン(HeNe)レーザ等の光源部と焦点検出光学
系(例えば、スキューメソッド方式や非点収差方式)と
から構成されている。
[0006] Conventionally, therefore, a lens up-and-down mechanism to cope with the thickness of the master, a lens focusing mechanism to cope with surface wobbling, and a focusing optical system to control these are provided. The former generally includes a combination of a 1-axis linear guide mechanism (for example, a roller guide mechanism or dovetail mechanism) with a motor and a screw feed mechanism, a coil in the movable part of the lens supported by a spring, and a coil in the fixed part. A so-called moving coil drive mechanism consisting of a magnet and a yoke is used. The latter generally includes a light source section such as a helium neon (HeNe) laser and a focus detection optical system (eg, skew method method or astigmatism method).

【0007】例えば図10に示すように従来のフォーカ
シング機構と光学系は、レーザ光源115から射出した
レーザ光を図示しないミラー等で透過して集光レンズ1
05を通り、ガラス原盤107で反射されて再び集光レ
ンズ105を透過して焦点検出光学系116に入り焦点
ずれを検出する。また、集光レンズ105の鏡筒117
はばね125により可動状態で支持し、この鏡筒117
の上部にはコイル118を具備し、このコイル118を
挟むマグネット119及びヨーク120とによっていわ
ゆるボイスコイルによるレンズ駆動機構121を構成し
、焦点検出光学系116の焦点誤差信号を補正する電流
を印加することによって原盤107の面振れを吸収する
。更に、レンズ駆動機構121は全体を集光レンズ10
5の光軸方向に数mm移動させるため、固定部122と
レンズ駆動機構121との間にネジナット機構123に
よる1軸移動機構124を備え、これにより原盤107
の厚みのバラツキを補正している。
For example, as shown in FIG. 10, in a conventional focusing mechanism and optical system, a laser beam emitted from a laser light source 115 is transmitted through a mirror (not shown), etc.
05, is reflected by the glass master disk 107, passes through the condenser lens 105 again, enters the focus detection optical system 116, and detects a focal shift. In addition, the lens barrel 117 of the condenser lens 105
This lens barrel 117 is movably supported by a spring 125.
A coil 118 is provided on the upper part of the lens, and a magnet 119 and a yoke 120 sandwiching the coil 118 constitute a so-called voice coil lens drive mechanism 121, and a current is applied to correct the focus error signal of the focus detection optical system 116. This absorbs the surface runout of the master 107. Furthermore, the lens drive mechanism 121 is entirely connected to the condenser lens 10.
In order to move the master 107 several mm in the direction of the optical axis of the master 107, a uniaxial movement mechanism 124 using a screw/nut mechanism 123 is provided between the fixed part 122 and the lens drive mechanism 121.
This corrects for variations in thickness.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような従来の光ディスク原盤記録装置においては、タ
ーンテーブルをネジナット送り機構で送るようにしてい
るため、その送り精度を高精度化する程送りねじの特性
である1ピッチ毎のねじ精度が模様となってカッティン
グに現れ、これが最終の成形ディスクにも現れるいわゆ
るギヤマークの原因となっている。また、この送り機構
にレンズ駆動機構を搭載する方式を採用した場合には、
移動負荷をなるべく軽量化且つ高剛性化しなければなら
なかった。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional optical disk master recording device as described above, the turntable is fed by a screw/nut feeding mechanism, so the higher the feeding accuracy is, the more the feed screw becomes The characteristic thread precision of each pitch appears in the cutting, and this is the cause of the so-called gear marks that appear on the final molded disc. In addition, if a method is adopted in which a lens drive mechanism is installed in this feeding mechanism,
The moving load had to be made as light as possible and as rigid as possible.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するため、静圧空気案内及びリニアモータを組込んだ
送り機構で集光レンズをターンテーブルの半径方向に送
るようにした。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems, the present invention uses a feeding mechanism incorporating a static air guide and a linear motor to feed the condenser lens in the radial direction of the turntable.

【0010】0010

【作用】静圧空気案内及びリニアモータにて集光レンズ
をターンテーブルの半径方向に送る送り機構を備えてい
るので、レンズ駆動機構を微小な距離だけ動かす場合及
び始動する際の摩擦抵抗を極めて小さくでき、ネジナッ
ト送り機構を用いた場合のようなギヤマークが発生する
ことがない。
[Operation] Equipped with a feeding mechanism that uses static air guide and a linear motor to send the condensing lens in the radial direction of the turntable, minimizing frictional resistance when moving the lens drive mechanism by a minute distance or when starting it. It can be made smaller and does not generate gear marks like when a screw/nut feeding mechanism is used.

【0011】[0011]

【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面を参照して
説明する。ここで図1は本発明を適用した光ディスク原
盤記録装置の平面図、図2は同装置の正面図、図3は同
装置の送り機構へのレンズ駆動機構の取付け状態の斜視
図、図4は同装置の送り機構へのレンズ駆動機構の他の
取付け状態の斜視図、図5は同装置のレンズ可動部の平
面図、同6は同レンズ可動部の半断面図、図7は同レン
ズ可動部の変位量を示す線図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Examples of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. Here, FIG. 1 is a plan view of an optical disk master recording device to which the present invention is applied, FIG. 2 is a front view of the device, FIG. 3 is a perspective view of the lens drive mechanism attached to the feeding mechanism of the device, and FIG. A perspective view of another attachment state of the lens drive mechanism to the feed mechanism of the same device, FIG. 5 is a plan view of the lens movable part of the same device, FIG. 6 is a half-sectional view of the lens movable part, and FIG. It is a diagram showing the amount of displacement of the part.

【0012】高性能小型防振台付き石定盤1上には、レ
ーザ光源をなすヘリウムカドミウムレーザ(HeCdレ
ーザ)光源2と、このレーザ光源2から射出されるレー
ザ光を整形、制御する光学部3と、図示しない静圧空気
軸受けで軸支されてブラシレスモータにて回転されるタ
ーンテーブル4と、静圧空気案内5及びこの静圧空気案
内5の底部に配置したリニアモータ6からなる移動機構
を設け、この移動機構を構成する静圧空気案内5とリニ
アモータ6により集光レンズを含む移動光学部7をター
ンテーブル4の半径方向に送るようにしている。
On the stone surface plate 1 with a high-performance compact anti-vibration table, there is a helium cadmium laser (HeCd laser) light source 2 that serves as a laser light source, and an optical section that shapes and controls the laser light emitted from the laser light source 2. 3, a turntable 4 supported by a static air bearing (not shown) and rotated by a brushless motor, a static air guide 5, and a linear motor 6 disposed at the bottom of the static air guide 5. A moving optical section 7 including a condensing lens is sent in the radial direction of the turntable 4 by means of a static air guide 5 and a linear motor 6 that constitute this moving mechanism.

【0013】このように、記録用レーザ光源にヘリウム
カドミニウムレーザを用いることにより、装置全体の小
型化を図れる。また、移動光学部7の送り機構を静圧空
気案内5及びリニアモータ6によって行うことにより、
ネジナット送り機構を用いた場合に発生するいわゆるギ
ヤマークが生じない。
[0013] As described above, by using a helium cadmium laser as a recording laser light source, the entire apparatus can be downsized. Furthermore, by using the static pressure air guide 5 and the linear motor 6 as the feeding mechanism for the moving optical section 7,
There is no so-called gear mark that occurs when a screw/nut feeding mechanism is used.

【0014】また、移動光学部7のうちフォーカシング
機構はターンテーブル4上の半径方向に沿って移動しな
ければならず、静圧空気案内5のガイド5aの移動方向
に直交する方向に突出するようにスライダ5bに取付け
られている。更に、移動光学部7にはレンズ駆動機構8
を設けている。このレンズ駆動機構8は、図3に示すよ
うにスライダ5bの移動方向側面に設けることによって
、図4に示すようにスライダ5bの移動方向の先端部に
設ける場合に比べて静圧空気案内5からの吹出し空気流
(矢印)の全方向により得られる力によって支持され、
レンズ駆動機構8の重量により移動方向前側に倒れるモ
ーメントMが発生せず、移動を開始する際に引っかかり
がなく、安定で高剛性な送りが可能になる。
Furthermore, the focusing mechanism of the movable optical unit 7 must move along the radial direction of the turntable 4, and should protrude in a direction perpendicular to the moving direction of the guide 5a of the static air guide 5. is attached to the slider 5b. Furthermore, the moving optical section 7 includes a lens drive mechanism 8.
has been established. By providing this lens drive mechanism 8 on the side surface of the slider 5b in the moving direction as shown in FIG. is supported by the force obtained from all directions of the blown air flow (arrow),
A moment M that causes the lens drive mechanism 8 to fall forward in the movement direction is not generated due to the weight of the lens drive mechanism 8, and there is no catch when starting movement, allowing stable and highly rigid feeding.

【0015】上記レンズ駆動機構8は図5及び図6に示
すように、集光レンズ10の鏡筒11の上部にコイル1
3を具備し、このコイル13を挟むマグネット14及び
ヨーク15とによっていわゆるボイスコイルを構成し、
これら全体の可動部16を螺旋状のばね12(ジンバル
スプリング)によって支持している。螺旋状のばね12
を用いることによって図7に示すようにレンズの可動範
囲が広くなり、ターンテーブル4上に載置する原盤Dの
厚みバラツキをも吸収することができ、且つこれ以外の
部品が不要になって移動光学部7の軽量化を図れる。ま
た、フォーカス光学系の光源に半導体レーザを用いるこ
とによって、従来のヘリウムネオンレーザを用いた場合
に比べて重量、体積ともに大幅に削減できて、一層の軽
量化を図れる。
As shown in FIGS. 5 and 6, the lens drive mechanism 8 includes a coil 1 at the top of the lens barrel 11 of the condenser lens 10.
3, and the magnet 14 and yoke 15 sandwiching this coil 13 constitute a so-called voice coil,
These entire movable parts 16 are supported by a spiral spring 12 (gimbal spring). spiral spring 12
As shown in Fig. 7, by using the lens, the movable range of the lens is widened, it is possible to absorb variations in the thickness of the master disc D placed on the turntable 4, and no other parts are required. The weight of the optical section 7 can be reduced. Furthermore, by using a semiconductor laser as the light source of the focusing optical system, both the weight and volume can be significantly reduced compared to the case where a conventional helium-neon laser is used, making it possible to further reduce the weight.

【0016】[0016]

【発明の効果】以上に説明したように本発明によれば、
静圧空気案内及びリニアモータにて集光レンズをターン
テーブルの半径方向に送る送り機構を設けたので、極め
てスムズに光学部を移動せしめることができ、ネジナッ
ト送り機構を用いた場合のようなギヤマークが発生する
ことがなくなる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention,
A feeding mechanism is provided to send the condensing lens in the radial direction of the turntable using a static air guide and a linear motor, so the optical section can be moved extremely smoothly, and there is no gear mark like when using a screw nut feeding mechanism. will no longer occur.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明を適用した光ディスク原盤記録装置の平
面図
[Fig. 1] A plan view of an optical disc master recording device to which the present invention is applied.

【図2】同装置の正面図[Figure 2] Front view of the device

【図3】同装置の送り機構へのレンズ駆動機構の取付け
状態の斜視図
[Figure 3] A perspective view of the lens drive mechanism attached to the feed mechanism of the device

【図4】同装置の送り機構へのレンズ駆動機構の他の取
付け状態の斜視図
[Fig. 4] A perspective view of another state in which the lens drive mechanism is attached to the feed mechanism of the device.

【図5】同装置のレンズ可動部の平面図[Figure 5] Plan view of the lens movable part of the device

【図6】同レン
ズ可動部の半断面図
[Figure 6] Half-sectional view of the lens movable part

【図7】同レンズ可動部の変位量を示す線図[Figure 7] Diagram showing the amount of displacement of the lens movable part

【図8】一
般的なカッティングマシンの光学系を示す構成図
[Figure 8] Configuration diagram showing the optical system of a general cutting machine

【図9】従来の送り機構の概略平面図[Fig. 9] Schematic plan view of a conventional feeding mechanism

【図10】従来のレンズ駆動機構の概略正面図[Fig. 10] Schematic front view of a conventional lens drive mechanism

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…石定盤、2…ヘリウムカドミニウムレーザ、3…光
学部、4…ターンテーブル、5…静圧空気案内、6…リ
ニアモータ、7…移動光学部、8…レンズ駆動機構、1
2…螺旋状ばね。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Stone surface plate, 2... Helium cadmium laser, 3... Optical section, 4... Turntable, 5... Static pressure air guide, 6... Linear motor, 7... Moving optical section, 8... Lens drive mechanism, 1
2...Spiral spring.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  レーザ光をビーム整形した後に集光し
て回転する記録原盤に螺旋状又は同心円状に信号を記録
する光ディスク原盤記録装置において、この記録装置は
静圧空気案内及びリニアモータにてレンズ駆動機構をタ
ーンテーブルの半径方向に移動する送り機構を備えてい
ることを特徴とする光ディスク原盤記録装置。
Claim 1: An optical disk master recording device that forms a laser beam and then focuses it and records a signal in a spiral or concentric manner on a rotating recording master, and this recording device uses a static air guide and a linear motor. An optical disc master recording device comprising a feeding mechanism that moves a lens drive mechanism in a radial direction of a turntable.
【請求項2】  前記送り機構の進行方向側面にレンズ
駆動機構を設けたことを特徴とする請求項1に記載の光
ディスク原盤記録装置。
2. The optical disk master recording device according to claim 1, further comprising a lens drive mechanism provided on a side surface of the feed mechanism in the traveling direction.
【請求項3】  前記レンズ駆動機構のうち集光レンズ
を含む可動部は螺旋状ばねによってレンズ駆動機構の本
体に支持されていることを特徴とする請求項1に記載の
光ディスク原盤記録装置。
3. The optical disk master recording device according to claim 1, wherein the movable part of the lens drive mechanism including the condensing lens is supported by the main body of the lens drive mechanism by a spiral spring.
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JP2715689B2 JP2715689B2 (en) 1998-02-18

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01271941A (en) * 1988-04-22 1989-10-31 Hitachi Ltd Master optical disk recorder
JPH0235337U (en) * 1988-08-25 1990-03-07
JPH02308428A (en) * 1989-05-22 1990-12-21 Seiko Epson Corp Optical memory device

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