JPH04316386A - Harmonic wave generator - Google Patents

Harmonic wave generator

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JPH04316386A
JPH04316386A JP10977691A JP10977691A JPH04316386A JP H04316386 A JPH04316386 A JP H04316386A JP 10977691 A JP10977691 A JP 10977691A JP 10977691 A JP10977691 A JP 10977691A JP H04316386 A JPH04316386 A JP H04316386A
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JP
Japan
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nonlinear optical
fundamental wave
resonator
wavelength
harmonic
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Application number
JP10977691A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiromi Sakurai
宏巳 桜井
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AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH04316386A publication Critical patent/JPH04316386A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To reduce in size and manufacturing cost of a harmonic wave generator. CONSTITUTION:A semiconductor laser (LD) 13, a collimater lens 15, a mode matching lens 17 and a monolithic type resonator 53 are sequentially disposed on one Peltier element 55. A basic wave 27 emitted from the LD 13 is resonated in a triangular ring shape in the resonator 53, amplified, converted to a second harmonic wave, and emitted. Since the LD 13 and a nonlinear optical crystal 25 can be controlled by one element 55 to a temperature in which the wavelength of the wave 27 emitted from the LD 13 is brought into coincidence with the wavelength to be phase-matched by the crystal 25, a plurality of temperature controllers are eliminated to reduce in size and manufacturing cost a device.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、半導体レーザから発せ
られる基本波を共振器内で高調波に変換する高調波発生
装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a harmonic generation device that converts a fundamental wave emitted from a semiconductor laser into harmonic waves within a resonator.

【0002】0002

【従来の技術】近年、半導体レーザ(以下LDとする)
等から出射される基本波を非線形光学材料に通して、波
長変換された第2高調波や第3高調波を得る装置が種々
提案されている。これらの装置では、複数の反射面で構
成される共振器内に非線形光学材料を配置し、基本波を
共振器内に閉じ込めて増幅させることで、高調波を効率
よく発生させるようにしている。そして、共振器として
は、非線形光学材料の端面に反射膜を設けて、その内部
で共振させるモノリシック型共振器と、複数のミラーを
配置して共振器を構成し、この共振器内に非線形光学材
料を配置した外部共振器とが知られている。
[Background Art] In recent years, semiconductor lasers (hereinafter referred to as LD)
Various devices have been proposed in which a fundamental wave emitted from a nonlinear optical material is passed through a nonlinear optical material to obtain wavelength-converted second harmonics and third harmonics. In these devices, a nonlinear optical material is placed inside a resonator made up of a plurality of reflective surfaces, and the fundamental wave is confined and amplified within the resonator, thereby efficiently generating harmonic waves. The resonator can be a monolithic resonator in which a reflective film is provided on the end face of a nonlinear optical material to cause resonance inside the resonator, or a monolithic resonator in which a plurality of mirrors are arranged to form a resonator. External resonators arranged with materials are known.

【0003】図3には、外部共振器を用いた第2高調波
発生装置の一例が示されている。
FIG. 3 shows an example of a second harmonic generation device using an external resonator.

【0004】この第2高調波発生装置11は、半導体レ
ーザ(以下LDとする)13、コリメートレンズ15、
モードマッチングレンズ17及び外部共振器19によっ
て構成されている。LD13は、例えば波長860nm
の基本波27を出射する。コリメートレンズ15は、L
D13から出射される基本波27を収束させ、モードマ
ッチングレンズ17は、外部共振器19の共振モードと
入射ビームとを整合させる役割をなす。
This second harmonic generation device 11 includes a semiconductor laser (hereinafter referred to as LD) 13, a collimating lens 15,
It is composed of a mode matching lens 17 and an external resonator 19. For example, the LD13 has a wavelength of 860 nm.
The fundamental wave 27 is emitted. The collimating lens 15 is L
The mode matching lens 17 serves to converge the fundamental wave 27 emitted from the D 13 and to match the resonance mode of the external resonator 19 with the incident beam.

【0005】外部共振器19は、球面ミラー21、23
によって構成されており、その内部には、非線形光学材
料をなす例えばKNbO3 結晶等からなる非線形光学
結晶25が配置されている。
The external resonator 19 includes spherical mirrors 21 and 23.
Inside thereof, a nonlinear optical crystal 25 made of a nonlinear optical material such as KNbO3 crystal is arranged.

【0006】そして、基本波27を効率よく第2高調波
29に変換するために、LD13の近傍にペルチェ素子
31を配置し、LD13を一定の温度に保持して出射さ
れる基本波27の波長を安定させるとともに、非線形光
学結晶25の近傍にペルチェ素子33を配置して、上記
基本波27の波長に対する位相整合条件が得られるよう
に非線形光学結晶25を温度制御している。
In order to efficiently convert the fundamental wave 27 into the second harmonic 29, a Peltier element 31 is placed near the LD 13, and the wavelength of the emitted fundamental wave 27 is adjusted by keeping the LD 13 at a constant temperature. In addition, a Peltier element 33 is arranged near the nonlinear optical crystal 25 to control the temperature of the nonlinear optical crystal 25 so that a phase matching condition for the wavelength of the fundamental wave 27 is obtained.

【0007】LD13から出射される基本波27は、コ
リメートレンズ15、モードマッチングレンズ17を通
って球面ミラー21に照射され、外部共振器19内に入
射する。入射した基本波27は、球面ミラー21、23
によって反射されて共振して増幅される。そして、非線
形光学結晶25を通過するときにその一部が第2高調波
29に変換され、球面ミラー23を通過して出力される
A fundamental wave 27 emitted from the LD 13 passes through a collimating lens 15 and a mode matching lens 17, is irradiated onto a spherical mirror 21, and enters an external resonator 19. The incident fundamental wave 27 is transmitted to the spherical mirrors 21 and 23.
is reflected, resonates, and is amplified. Then, when passing through the nonlinear optical crystal 25, a part of it is converted into a second harmonic wave 29, which passes through the spherical mirror 23 and is output.

【0008】また、図4には、モノリシック型共振器を
用いた第2高調波発生装置の一例が示されている。
FIG. 4 shows an example of a second harmonic generator using a monolithic resonator.

【0009】この第2高調波発生装置35は、LD13
、コリメートレンズ15、モードマッチングレンズ17
及び非線形光学結晶25によって構成されている。非線
形光学結晶25の図中左右の2面は、球面状に研磨加工
されている。
[0009] This second harmonic generation device 35 includes the LD 13
, collimating lens 15, mode matching lens 17
and a nonlinear optical crystal 25. Two surfaces of the nonlinear optical crystal 25, on the left and right in the figure, are polished into spherical shapes.

【0010】図中左側の面は基本波27の入射面をなし
、この面に基本波27に対して一部透過、第2高調波2
9に対して反射の球面ミラー37が形成されている。 また、図中右側の面は第2高調波29の出射面をなし、
この面に基本波27に対して反射、第2高調波29に対
して透過の球面ミラー39が形成されている。更に、非
線形光学結晶25の図中下面は、基本波27及び第2高
調波29に対して全反射の平面ミラー41をなしている
。そして、LD13の近傍にはペルチェ素子31が、非
線形光学結晶25の近傍にはペルチェ素子33がそれぞ
れ配置され、LD13、非線形光学結晶25をそれぞれ
異なる温度に制御している。
The surface on the left side of the figure forms the incident surface of the fundamental wave 27, and this surface partially transmits the fundamental wave 27 and transmits the second harmonic 27.
9, a reflective spherical mirror 37 is formed. In addition, the surface on the right side in the figure serves as the output surface of the second harmonic wave 29,
A spherical mirror 39 that reflects the fundamental wave 27 and transmits the second harmonic 29 is formed on this surface. Further, the lower surface of the nonlinear optical crystal 25 in the drawing forms a plane mirror 41 that totally reflects the fundamental wave 27 and the second harmonic 29. A Peltier element 31 is disposed near the LD 13, and a Peltier element 33 is disposed near the nonlinear optical crystal 25, respectively, to control the LD 13 and the nonlinear optical crystal 25 to different temperatures.

【0011】LD13から出射する基本波27は、コリ
メートレンズ15、モードマッチングレンズ17を通っ
て、非線形光学結晶25の球面ミラー37から入射する
。入射した基本波27は、球面ミラー39、平面ミラー
41及び球面ミラー37で構成される共振器内で反射し
、三角リング状に共振して増幅される。そして、非線形
光学結晶25内を結晶軸方向に通過するとき、基本波2
7の一部が第2高調波29に変換され、球面ミラー39
を透過して出力される。このとき、LD13及び非線形
光学結晶25は、ペルチェ素子31、33によって温度
制御され、波長の安定化と位相整合がなされて、効率よ
く第2高調波29に変換される。
The fundamental wave 27 emitted from the LD 13 passes through the collimating lens 15 and the mode matching lens 17, and enters the spherical mirror 37 of the nonlinear optical crystal 25. The incident fundamental wave 27 is reflected within a resonator constituted by a spherical mirror 39, a plane mirror 41, and a spherical mirror 37, resonates in a triangular ring shape, and is amplified. When passing through the nonlinear optical crystal 25 in the crystal axis direction, the fundamental wave 2
7 is converted into the second harmonic 29, and the spherical mirror 39
is transmitted and output. At this time, the temperature of the LD 13 and the nonlinear optical crystal 25 is controlled by the Peltier elements 31 and 33, the wavelength is stabilized and the phase is matched, and the wavelength is efficiently converted into the second harmonic 29.

【0012】0012

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
第2高調波発生装置では、LDと非線形光学材料の制御
すべき温度がそれぞれ異なるため、LDと非線形光学材
料に対してペルチェ素子をそれぞれ一つずつ配置する必
要があった。このため、一つの装置に対して複数個のペ
ルチェ素子が必要となるばかりでなく、温度コントロー
ラも素子に対応する台数が必要となり、製品コストが高
いものとなっていた。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the conventional second harmonic generation device, since the temperatures to be controlled for the LD and the nonlinear optical material are different, it is necessary to provide one Peltier element for the LD and the nonlinear optical material. It was necessary to place them one by one. For this reason, not only a plurality of Peltier elements are required for one device, but also the number of temperature controllers corresponding to the number of elements is required, resulting in a high product cost.

【0013】また、複数個のペルチェ素子を用いる場合
には、ペルチェ素子の放熱を行なう関係上、それぞれの
ペルチェ素子を一定の間隔を確保して配置する必要があ
るため、装置を小型化することは困難であった。
Furthermore, when using a plurality of Peltier elements, it is necessary to arrange each Peltier element at a certain interval in order to dissipate heat from the Peltier elements, so it is necessary to downsize the device. was difficult.

【0014】したがって、本発明の目的は、LD及び非
線形光学材料を一定温度に制御して高調波を効率よく発
生させるとともに、装置の小型化及び製品コストの低減
を図ることができる高調波発生装置を提供することにあ
る。
[0014] Therefore, an object of the present invention is to provide a harmonic generation device that can efficiently generate harmonics by controlling an LD and a nonlinear optical material at a constant temperature, and that can reduce the size of the device and the product cost. Our goal is to provide the following.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明は、基本波発生用の半導体レーザと、前記基本
波を内部に閉じ込めて共振させる共振器と、前記共振器
内に配置されるかまたはそれ自体で共振器を構成する非
線形光学材料とを備えた高調波発生装置において、前記
半導体レーザと前記非線形光学材料の温度制御を一つの
ペルチェ素子で行なうことを特徴とする。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides a semiconductor laser for generating a fundamental wave, a resonator that confines the fundamental wave inside and makes it resonate, and a semiconductor laser disposed inside the resonator. The harmonic generation device is characterized in that temperature control of the semiconductor laser and the nonlinear optical material is performed by one Peltier element.

【0016】また、本発明の好ましい態様においては、
前記共振器は、外部共振器又はモノリシック型共振器と
される。
[0016] Furthermore, in a preferred embodiment of the present invention,
The resonator may be an external resonator or a monolithic resonator.

【0017】[0017]

【作用】本発明の高調波発生装置では、LDと非線形光
学材料を一つのペルチェ素子で同一の温度に制御する。 このため一つの装置に対して、一つのペルチェ素子及び
一台の温度コントローラを用いるだけで温度制御を行な
うことができ、製品コストの低減を図ることができる。 また、使用するペルチェ素子が一つで済むので、放熱の
ためのスペースを広く確保する必要がなくなり、装置の
小型化を実現することができる。
[Operation] In the harmonic generator of the present invention, the LD and the nonlinear optical material are controlled to the same temperature by one Peltier element. Therefore, temperature control can be performed for one device by using only one Peltier element and one temperature controller, and product costs can be reduced. Furthermore, since only one Peltier element is used, there is no need to secure a large space for heat radiation, and the device can be made smaller.

【0018】ここでLDと非線形光学材料を制御すべき
温度条件について図2を参照して説明する。
The temperature conditions to control the LD and nonlinear optical material will now be explained with reference to FIG. 2.

【0019】図2は、非線形光学材料で位相整合がとれ
る波長及びLDから出射される基本波の波長の温度依存
性を示している。図中、実線は、非線形光学材料で位相
整合がとれる波長と温度との関係を示し、破線は、LD
から出射される基本波の波長と温度との関係を示す。
FIG. 2 shows the temperature dependence of the wavelength at which phase matching can be achieved with the nonlinear optical material and the wavelength of the fundamental wave emitted from the LD. In the figure, the solid line shows the relationship between the wavelength and temperature at which phase matching can be achieved with the nonlinear optical material, and the broken line shows the relationship between the wavelength and temperature at which phase matching can be achieved with the nonlinear optical material.
This shows the relationship between the wavelength of the fundamental wave emitted from the temperature and the temperature.

【0020】実線に示すように、ある温度に保たれた非
線形光学材料は、その温度に対応する特定の波長λを有
する基本波に対してのみ位相整合をとることができる。 そして、非線形光学材料の温度が変化すると、それに伴
って位相整合がとれる波長λも変化する。同様に、破線
で示すように、LDから出射される基本波の波長λも温
度によって変化する。
As shown by the solid line, a nonlinear optical material kept at a certain temperature can achieve phase matching only for a fundamental wave having a specific wavelength λ corresponding to that temperature. When the temperature of the nonlinear optical material changes, the wavelength λ at which phase matching can be achieved also changes accordingly. Similarly, as shown by the broken line, the wavelength λ of the fundamental wave emitted from the LD also changes depending on the temperature.

【0021】そして、ある温度でLDから出射される基
本波の波長λは、LDの材料によって変化するので、L
Dの材料を選択することによって、図2における実線と
破線とが交差するような基本波の光源を得ることが可能
である。したがって、例えば温度T1 、T2 で交差
するとすれば、T1 、T2 のいずれかの温度に制御
することにより、LDから出射される基本波の波長λと
、非線形光学材料で位相整合がとれる波長λとを一致さ
せることができ、LDと非線形光学材料とを単一のペル
チェ素子によって温度制御することができる。
[0021]The wavelength λ of the fundamental wave emitted from the LD at a certain temperature varies depending on the material of the LD, so L
By selecting the material D, it is possible to obtain a fundamental wave light source where the solid line and the broken line in FIG. 2 intersect. Therefore, for example, if they intersect at temperatures T1 and T2, by controlling the temperature to either T1 or T2, the wavelength λ of the fundamental wave emitted from the LD and the wavelength λ at which phase matching can be achieved by the nonlinear optical material can be set. The temperatures of the LD and the nonlinear optical material can be controlled by a single Peltier element.

【0022】[0022]

【実施例】図1には、本発明の高調波発生装置の一実施
例が示されている。なお、この実施例は、本発明を第2
高調波発生装置に適用したものであるが、第3高調波発
生装置にも適用することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows an embodiment of a harmonic generator according to the present invention. Note that this embodiment is based on the second embodiment of the present invention.
Although this embodiment is applied to a harmonic generator, it can also be applied to a third harmonic generator.

【0023】この第2高調波発生装置51は、LD13
と、コリメートレンズ15と、モードマッチングレンズ
17と、モノリシック型共振器53とが、一つのペルチ
ェ素子55上に搭載されて構成されている。なお、この
実施例では、モノリシック型共振器53が用いられてい
るが、これに限定されることなく、外部共振器を用いる
こともできる。
[0023] This second harmonic generation device 51 includes the LD 13
, a collimating lens 15 , a mode matching lens 17 , and a monolithic resonator 53 are mounted on one Peltier element 55 . Note that although a monolithic resonator 53 is used in this embodiment, the present invention is not limited to this, and an external resonator may also be used.

【0024】LD13としては、前述したように、ある
共通の温度制御下で非線形光学材料の位相整合条件と適
合する波長の基本波27を出射できるもの、すなわち図
2において実線と破線とが交差する特性を有するものが
選択使用される。また、コリメートレンズ15は、LD
13から出射される基本波27を収束させ、モードマッ
チングレンズ17は、モノリシック型共振器53内の共
振モードと入射ビームとを整合させる役割をなす。
As mentioned above, the LD 13 is one that can emit the fundamental wave 27 of a wavelength that matches the phase matching condition of the nonlinear optical material under a certain common temperature control, that is, the solid line and the broken line intersect in FIG. Those with characteristics are selected and used. In addition, the collimating lens 15 is
The mode matching lens 17 serves to converge the fundamental wave 27 emitted from the monolithic resonator 53 and to match the resonant mode within the monolithic resonator 53 with the incident beam.

【0025】モノリシック型共振器53は、非線形光学
結晶25の位相整合がとれる結晶軸a方向に位置する一
方の端面を基本波27に対して一部透過、第2高調波2
9に対して反射の球面ミラー37とし、他方の端面を基
本波27に対して反射、第2高調波29に対して透過の
球面ミラー39とし、結晶軸aと平行な一つの面を基本
波27及び第2高調波29に対して全反射の平面ミラー
41として構成され、一方の球面ミラー37が基本波2
7の入射面をなし、他方の球面ミラー39が第2高調波
29の出射面をなしている。
The monolithic resonator 53 transmits a part of the fundamental wave 27 through one end face located in the crystal axis a direction where phase matching of the nonlinear optical crystal 25 can be achieved, and transmits the second harmonic wave 27.
The other end surface is a spherical mirror 37 that reflects the fundamental wave 27 and transmits the second harmonic 29, and one surface parallel to the crystal axis a is used as the fundamental wave mirror 39. 27 and the second harmonic 29, and one spherical mirror 37 reflects the fundamental wave 29.
The other spherical mirror 39 serves as the exit surface of the second harmonic 29.

【0026】なお、非線形光学結晶25としては、例え
ばKNbO3 、KTiOPO4 、KH2 PO4 
、LiNbO3 等の各種の非線形光学結晶を用いるこ
とができる。また、モノリシック型共振器53を非線形
光学結晶の端面にガラス等の透明基材を接合したブロッ
クを用いて形成することもできる。
[0026] As the nonlinear optical crystal 25, for example, KNbO3, KTiOPO4, KH2PO4
, LiNbO3, and the like can be used. Furthermore, the monolithic resonator 53 can also be formed using a block in which a transparent base material such as glass is bonded to the end face of a nonlinear optical crystal.

【0027】ペルチェ素子55は、LD13及び非線形
光学結晶25を共通の温度で制御するもので、図に示す
ように基本波27の光軸に沿ってLD13及び非線形光
学結晶25に接触するように配置されている。
The Peltier element 55 controls the LD 13 and the nonlinear optical crystal 25 at a common temperature, and is arranged so as to be in contact with the LD 13 and the nonlinear optical crystal 25 along the optical axis of the fundamental wave 27 as shown in the figure. has been done.

【0028】上記の構成において、LD13から出射さ
れる基本波27の波長と、非線形光学結晶25において
位相整合がとれる波長とが一致するような温度、すなわ
ち図2におけるT1 あるいはT2 の温度となるよう
に、ペルチェ素子55によりLD13及び非線形光学結
晶25の温度を制御する。
In the above configuration, the temperature is such that the wavelength of the fundamental wave 27 emitted from the LD 13 matches the wavelength at which phase matching can be achieved in the nonlinear optical crystal 25, that is, the temperature T1 or T2 in FIG. Next, the temperatures of the LD 13 and the nonlinear optical crystal 25 are controlled by the Peltier element 55.

【0029】この状態で、LD13から基本波27を出
射し、コリメートレンズ15、モードマッチングレンズ
17を通して、共振器53の球面ミラー37の点Aから
入射させる。基本波27は、非線形光学結晶25の結晶
軸a方向に伝搬し、対向する球面ミラー39の点Bで反
射され、平面ミラー41方向に向かう。そして、平面ミ
ラー41の点Cで球面ミラー37方向に反射されて点A
に戻り、点Aで反射されて再び結晶軸a方向に伝搬し、
元の光と重なり合って進行波型の共振がなされて増幅さ
れる。
In this state, the fundamental wave 27 is emitted from the LD 13 and is made to enter the spherical mirror 37 of the resonator 53 from point A through the collimating lens 15 and the mode matching lens 17. The fundamental wave 27 propagates in the direction of the crystal axis a of the nonlinear optical crystal 25, is reflected at point B of the opposing spherical mirror 39, and heads toward the plane mirror 41. Then, it is reflected at the point C of the plane mirror 41 in the direction of the spherical mirror 37, and is reflected at the point A.
It returns to , is reflected at point A, and propagates again in the crystal axis a direction,
It overlaps with the original light, creating a traveling wave type resonance and being amplified.

【0030】そして、基本波27は、点A−B間を結晶
軸a方向に伝搬するときに、その一部が第2高調波29
に変換され、この第2高調波29が球面ミラー39から
出射される。
When the fundamental wave 27 propagates between points A and B in the direction of the crystal axis a, a part of it becomes the second harmonic 29.
This second harmonic wave 29 is emitted from the spherical mirror 39.

【0031】ペルチェ素子55により、図2におけるT
1 、T2 の温度となるように、LD13及び非線形
光学結晶25の温度制御がなされるので、LD13から
出射される基本波27の波長を安定させることができ、
また、非線形光学結晶25における位相整合条件を上記
基本波27の波長に適合するように制御できる。
By the Peltier element 55, T in FIG.
Since the temperature of the LD 13 and the nonlinear optical crystal 25 is controlled so that the temperature becomes 1 and T2, the wavelength of the fundamental wave 27 emitted from the LD 13 can be stabilized.
Furthermore, the phase matching conditions in the nonlinear optical crystal 25 can be controlled to match the wavelength of the fundamental wave 27.

【0032】このように、単一のペルチェ素子55によ
って温度制御されるので、複数台の温度コントローラー
を用いる必要がなくなり、製品コストを低減することが
できる。また、複数のペルチェ素子を用いる場合のよう
に、放熱を行なうための広いスペースを確保して各部品
の組み付けを行なう必要がなくなるため、装置の小型化
を実現することができる。
[0032] In this way, since the temperature is controlled by a single Peltier element 55, there is no need to use a plurality of temperature controllers, and the product cost can be reduced. Further, unlike the case where a plurality of Peltier elements are used, there is no need to secure a large space for heat radiation and assemble each component, so the device can be made smaller.

【0033】具体的実施例を以下に示す。Specific examples are shown below.

【0034】上記実施例の第2高調波発生装置51にお
いて、非線形光学結晶25として、結晶軸a方向の長さ
が7mmのKNbO3 結晶を用い、結晶軸a方向の両
端面を半径5mmの球面に加工し、基本波27の入射側
には波長860nmの基本波を93%反射する光学膜を
蒸着して球面ミラー37を形成し、第2高調波29の出
射側には上記基本波を99.9%反射し、波長430n
mの第2高調波を90%以上透過する光学膜を蒸着して
球面ミラー39を形成した。そして、LD13として室
温にて波長858nmの基本波27を出射するものを用
いた。
In the second harmonic generator 51 of the above embodiment, a KNbO3 crystal with a length of 7 mm in the crystal axis a direction is used as the nonlinear optical crystal 25, and both end faces in the crystal axis a direction are spherical with a radius of 5 mm. An optical film that reflects 93% of the fundamental wave with a wavelength of 860 nm is deposited on the incident side of the fundamental wave 27 to form a spherical mirror 37, and on the output side of the second harmonic 29, the fundamental wave is reflected by 99.9 nm. 9% reflection, wavelength 430n
A spherical mirror 39 was formed by depositing an optical film that transmits 90% or more of the second harmonic of m. As the LD 13, one that emits the fundamental wave 27 with a wavelength of 858 nm at room temperature was used.

【0035】この第2高調波発生装置51を用いて、ペ
ルチェ素子55によりLD13及び非線形光学結晶25
の温度を27.8度に設定し、LD13から基本波27
を出射したところ、波長430nmの第2高調波29を
得ることができた。
Using this second harmonic generator 51, the LD 13 and the nonlinear optical crystal 25 are controlled by the Peltier element 55.
Set the temperature to 27.8 degrees, and send the fundamental wave 27 from LD13.
When the beam was emitted, a second harmonic wave 29 with a wavelength of 430 nm could be obtained.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体レーザと非線形光学材料とを一つのペルチェ素子
で温度制御することができるので、装置の小型化を図る
ことができるとともに、製品コストを低減することがで
きる。
[Effects of the Invention] As explained above, according to the present invention,
Since the temperatures of the semiconductor laser and the nonlinear optical material can be controlled by one Peltier element, the device can be made smaller and the product cost can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明の高調波発生装置の一実施例を示す概略
側面図
FIG. 1 is a schematic side view showing an embodiment of a harmonic generator of the present invention.

【図2】非線形光学材料で位相整合がとれる波長及びL
Dから出射される基本波の波長の温度依存性を示す図表
[Figure 2] Wavelength and L at which phase matching can be achieved with nonlinear optical materials
Chart showing the temperature dependence of the wavelength of the fundamental wave emitted from D

【図3】従来の第2高調波発生装置の一例を示す概略側
面図
[Fig. 3] A schematic side view showing an example of a conventional second harmonic generator.

【図4】従来の第2高調波発生装置の他の例を示す概略
側面図
FIG. 4 is a schematic side view showing another example of a conventional second harmonic generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

13  半導体レーザ(LD) 15  コリメートレンズ 17  モードマッチングレンズ 25  非線形光学結晶 27  基本波 29  第2高調波 37  球面ミラー 39  球面ミラー 41  平面ミラー 51  第2高調波発生装置 53  モノリシック型共振器 55  ペルチェ素子 13 Semiconductor laser (LD) 15 Collimating lens 17 Mode matching lens 25 Nonlinear optical crystal 27 Fundamental wave 29 Second harmonic 37 Spherical mirror 39 Spherical mirror 41 Plane mirror 51 Second harmonic generator 53 Monolithic resonator 55 Peltier element

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基本波発生用の半導体レーザと、前記基本
波を内部に閉じ込めて共振させる共振器と、前記共振器
内に配置されるかまたはそれ自体で共振器を構成する非
線形光学材料とを備えた高調波発生装置において、前記
半導体レーザと前記非線形光学材料の温度制御を一つの
ペルチェ素子で行なうことを特徴とする高調波発生装置
1. A semiconductor laser for generating a fundamental wave, a resonator that confines the fundamental wave inside and makes it resonate, and a nonlinear optical material that is disposed within the resonator or constitutes the resonator itself. 1. A harmonic generation device comprising: temperature control of the semiconductor laser and the nonlinear optical material using one Peltier element.
【請求項2】前記共振器が、外部共振器又はモノリシッ
ク型共振器である請求項1の高調波発生装置。
2. The harmonic generation device according to claim 1, wherein the resonator is an external resonator or a monolithic resonator.
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