JPH0429775U - - Google Patents
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- JPH0429775U JPH0429775U JP7219290U JP7219290U JPH0429775U JP H0429775 U JPH0429775 U JP H0429775U JP 7219290 U JP7219290 U JP 7219290U JP 7219290 U JP7219290 U JP 7219290U JP H0429775 U JPH0429775 U JP H0429775U
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- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 8
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- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
第１図は本考案に係るヘリウムガス圧縮装置の
一実施例を示す回路図、第２図は従来のヘリウム
ガス圧縮装置を示す回路図である。 １……圧縮機、２……低圧ガス経路、３……ヘ
リウム冷凍機、４……高圧ガス経路、５……油分
離器、６……キヤピラリー、７……油リターン経
路、８……保圧弁、９，１１……経路、１０……
電磁弁、３０……バイパス路、３２……ニードル
弁（自動調整弁）、３４……ステツプモータ、３
６……センサ、３８……コントローラ、４０……
プログラム。
一実施例を示す回路図、第２図は従来のヘリウム
ガス圧縮装置を示す回路図である。 １……圧縮機、２……低圧ガス経路、３……ヘ
リウム冷凍機、４……高圧ガス経路、５……油分
離器、６……キヤピラリー、７……油リターン経
路、８……保圧弁、９，１１……経路、１０……
電磁弁、３０……バイパス路、３２……ニードル
弁（自動調整弁）、３４……ステツプモータ、３
６……センサ、３８……コントローラ、４０……
プログラム。
Claims (1)
- ヘリウムガスを圧縮する圧縮機と、この圧縮機
の低圧吸入側とヘリウム冷凍機の低圧排出側とを
接続する低圧ガス経路と、前記圧縮機の高圧吐出
側と前記ヘリウム冷凍機の高圧供給側とを接続す
るとともに途中に油分離器を有する高圧ガス経路
と、前記油分離器と低圧ガス経路とを接続し途中
にキヤピラリーを有する油リターン経路と、前記
高圧ガス経路と低圧ガス経路とを接続し途中に保
圧弁を有するガスリターン経路と、前記高圧ガス
経路と低圧ガス経路とを接続し途中に開閉弁を有
するガスリターン経路と、前記三つのリターン経
路のいずれかで前記キヤピラリー、保圧弁、ある
いは開閉弁と並列に配置されたバイパス路に設け
られる自動調整弁と、前記ヘリウム冷凍機の冷却
部の温度を検出するセンサと、このセンサからの
検出信号に基づいて前記自動調整弁を制御するコ
ントローラとを備えたことを特徴とするヘリウム
ガス圧縮装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7219290U JPH0429775U (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 | |
| EP90120714A EP0436084A1 (en) | 1989-11-14 | 1990-10-29 | Helium gas compressing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7219290U JPH0429775U (ja) | 1990-07-05 | 1990-07-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0429775U true JPH0429775U (ja) | 1992-03-10 |
Family
ID=31609915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7219290U Pending JPH0429775U (ja) | 1989-11-14 | 1990-07-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0429775U (ja) |
-
1990
- 1990-07-05 JP JP7219290U patent/JPH0429775U/ja active Pending
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