JPH04290750A - Piezoelectric liquid droplet jet apparatus - Google Patents

Piezoelectric liquid droplet jet apparatus

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JPH04290750A
JPH04290750A JP3054669A JP5466991A JPH04290750A JP H04290750 A JPH04290750 A JP H04290750A JP 3054669 A JP3054669 A JP 3054669A JP 5466991 A JP5466991 A JP 5466991A JP H04290750 A JPH04290750 A JP H04290750A
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piezoelectric
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ink
flow path
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義和 高橋
Masahiko Suzuki
雅彦 鈴木
Shigeru Kagayama
加賀山 茂
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    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/10Finger type piezoelectric elements

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enhance the degree of integration of ink flow passages and to achieve the miniaturization of a jet apparatus and the enhancement of printing resolving power by injecting the ink in the ink flow passages by the deformation of the piezoelectric material provided around the ink flow passages corresponding to a predetermined jet apparatus due to piezoelectric thickness slide effect. CONSTITUTION:Ink flow passages 4 are divided into groups A, B, C not adjacent to each other and the groups A, B, C are driven by the continuous clock pulses supplied from a clock line. Further, it is determined which ink flow passages 4 of each of the groups must be operated and the voltage V of a voltage line is applied to the electrodes 6 of the selected group. By applying an electric field in the direction vertical to the polarizing direction of both piezoelectric ceramics plates 2,3 across the respective electrodes of six ink flow passages 4 adjacent to the selected ink flow passages 4, the walls of the ink flow passages of both piezoelectric ceramics plates 2, 3 are deformed by piezoelectric thickness slide effect to change the volumes of the selected ink flow passages 4. Therefore, all of the ink flow passages 4 of each group become operable.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は圧電式液滴噴射装置に係
わり、さらに詳しくは圧電トランスデューサの変形を利
用した圧電式液滴噴射装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric droplet ejecting device, and more particularly to a piezoelectric droplet ejecting device that utilizes deformation of a piezoelectric transducer.

【0002】0002

【従来の技術】従来、プリンタヘッドに圧電式インクジ
ェットを利用したものが近年提案されている。これは、
圧電アクチュエータの寸法変位によってインク流路の容
積を変化させることにより、その容積減少時にインク流
路内のインクをオリフィスから噴射し、容積増大時に他
方の弁からインク流路内にインクを導入するようにした
もので、ドロップオンデマンド方式と呼ばれている。そ
して、このような噴射装置を多数互いに近接して配設し
、所定の位置の噴射装置からインクを噴射させることに
より、所望する文字や画像を形成するのである。
2. Description of the Related Art Conventionally, printer heads using piezoelectric inkjet have been proposed in recent years. this is,
By changing the volume of the ink flow path by dimensional displacement of the piezoelectric actuator, ink in the ink flow path is ejected from the orifice when the volume decreases, and ink is introduced into the ink flow path from the other valve when the volume increases. This is called the drop-on-demand method. By arranging a large number of such ejecting devices close to each other and ejecting ink from the ejecting devices at predetermined positions, desired characters and images are formed.

【0003】0003

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電式液滴噴射装置は一つの噴射装置に一つの圧電アク
チュエータが用いられているため、高解像度で広い範囲
の印字を行うために多数の噴射装置を密集して配置しよ
うとすると、その構造が複雑で製造工数が多く、高価に
なるという問題がある。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in conventional piezoelectric droplet ejecting devices, one piezoelectric actuator is used in one ejecting device. If devices are arranged closely together, there are problems in that the structure is complicated, requires a large number of manufacturing steps, and is expensive.

【0004】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、構造が簡単で製造コストが安く
、しかも高い解像度が得られる圧電式液滴噴射装置を提
供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a piezoelectric droplet ejecting device that has a simple structure, low manufacturing cost, and can provide high resolution. do.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧電式液滴噴射装置は圧電トランスデューサ
を用いてインク流路の容積を変化させることによりイン
ク流路のインクを噴射する噴射装置を多数備えており、
その圧電トランスデューサが、分極方向と平行方向に貫
通する複数のインク流路を有する圧電材料であり、かつ
駆動電界方向が前記分極方向と垂直となるよう構成して
ある。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve this object, the piezoelectric droplet ejecting device of the present invention uses a piezoelectric transducer to eject ink in an ink flow path by changing the volume of the ink flow path. Equipped with many devices,
The piezoelectric transducer is made of a piezoelectric material having a plurality of ink channels passing through it in a direction parallel to the polarization direction, and is configured such that the driving electric field direction is perpendicular to the polarization direction.

【0006】[0006]

【作用】上記の構成を有する本発明の圧電式液滴噴射装
置によれば、所定の噴射装置に対応するインク流路の周
囲の圧電材料が、圧電厚みすべり効果の変形をし、流路
内のインクが噴射装置から噴射される。
[Operation] According to the piezoelectric droplet ejecting device of the present invention having the above configuration, the piezoelectric material around the ink flow path corresponding to a predetermined ejection device is deformed by the piezoelectric thickness shear effect, and the inside of the flow path is deformed. of ink is ejected from the ejector.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を、図1
乃至図10を参照して詳細に説明する。図10は、本発
明の一実施例である圧電式液滴噴射装置を搭載するイン
クジェットプリンタの要部を示す図であり、紙58を支
持するプラテン36は、軸38によりフレーム40に回
転可能に取り付けられており、モータ42によって駆動
される。プラテン36に対向して圧電式液滴噴射装置4
4が設けられている。圧電式液滴噴射装置44は、イン
ク供給装置46と共にキャリッジ48上に載置されてい
る。キャリッジ48はプラテン36の軸線平行に配設さ
れた2本のガイドロッド50に摺動可能に支持されると
共に、一対のプーリ52に巻き掛けられたタイミングベ
ルト56が結合させられている。そして、一方のプーリ
52がモータ54によって回転させられ、タイミングベ
ルト56が送られることによりキャリッジ48はプラテ
ン36に沿って移動させられる。
[Example] Hereinafter, an example embodying the present invention is shown in Fig. 1.
This will be explained in detail with reference to FIGS. FIG. 10 is a diagram showing the main parts of an inkjet printer equipped with a piezoelectric droplet ejecting device according to an embodiment of the present invention. It is mounted and driven by a motor 42. A piezoelectric droplet ejecting device 4 is mounted opposite the platen 36.
4 are provided. A piezoelectric droplet ejecting device 44 is mounted on a carriage 48 together with an ink supply device 46 . The carriage 48 is slidably supported by two guide rods 50 arranged parallel to the axis of the platen 36, and is coupled to a timing belt 56 wound around a pair of pulleys 52. Then, one pulley 52 is rotated by the motor 54, and the timing belt 56 is fed, thereby moving the carriage 48 along the platen 36.

【0008】図1は、前記圧電式液滴噴射装置44に用
いられるアレー1の断面図である。また、図2は、該ア
レー1の縦断面図(図1におけるx−x’縦断面図)で
ある。アレー1は、矢印26の方向に分極処理を施し、
かつ直径が0.5mmの貫通孔を中心間距離0.75m
mで図1のように六回対称軸をもつ幾何学的図形状に配
置した厚さ1.25mmの上部圧電セラミックス板2と
、矢印28の方向に分極処理を施し、かつ前記上部圧電
セラミックス板2と同様に直径が0.5mmの貫通孔を
中心間距離0.75mmで図1のように六回対称軸をも
つ幾何学的図形状に配置した厚さ1.25mmの下部圧
電セラミックス板3とを、接着層14を介して接合して
なる。ここで前記貫通孔により形成されるインク流路4
は直径0.5mmの円形断面であり、流路長さは2.5
mm、流路を分ける両圧電セラミックス2、3の壁の横
幅は最小で0.25mmである。全てのインク流路4の
内壁表面には電極6を形成し、さらに該電極6の表面は
インクとの絶縁の為の絶縁処理が施してある。また、上
部圧電セラミックス板2の上部表面には各インク流路4
に対応するオリフィス10を有するオリフィスプレート
8、下部圧電セラミックス板4の下部表面には、各イン
ク流路4に対応する上述したインク供給装置46に連結
するインク供給路13を有する底プレート12が接合し
てある。噴射装置34は液滴を噴射するオリフィス10
と、インク流路4と、インク供給路13、及び流路内容
積を変えインクに圧力を与えるための圧電セラミックス
2、3からなり、アレー1は9個の噴射装置34を有す
る前記圧電式液滴噴射装置44を構成している。
FIG. 1 is a cross-sectional view of the array 1 used in the piezoelectric droplet ejecting device 44. As shown in FIG. Moreover, FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the array 1 (a vertical cross-sectional view taken along the line xx' in FIG. 1). Array 1 is polarized in the direction of arrow 26,
And through holes with a diameter of 0.5 mm and a center distance of 0.75 m.
m, an upper piezoelectric ceramic plate 2 with a thickness of 1.25 mm arranged in a geometric shape having a six-fold symmetry axis as shown in FIG. 2, a lower piezoelectric ceramic plate 3 with a thickness of 1.25 mm has through-holes with a diameter of 0.5 mm arranged at a center-to-center distance of 0.75 mm in a geometric shape with a six-fold symmetry axis as shown in FIG. are bonded together via an adhesive layer 14. Here, the ink flow path 4 formed by the through hole
is a circular cross section with a diameter of 0.5 mm, and the flow path length is 2.5 mm.
mm, and the width of the walls of both piezoelectric ceramics 2 and 3 that separate the flow path is 0.25 mm at the minimum. Electrodes 6 are formed on the inner wall surfaces of all the ink channels 4, and the surfaces of the electrodes 6 are subjected to insulation treatment to insulate them from the ink. Further, each ink flow path 4 is provided on the upper surface of the upper piezoelectric ceramic plate 2.
A bottom plate 12 having an ink supply path 13 connected to the above-mentioned ink supply device 46 corresponding to each ink flow path 4 is joined to the lower surface of the orifice plate 8 having orifices 10 corresponding to the orifices 10 and the lower piezoelectric ceramic plate 4. It has been done. The injector 34 has an orifice 10 that injects droplets.
, an ink flow path 4, an ink supply path 13, and piezoelectric ceramics 2 and 3 for changing the internal volume of the flow path and applying pressure to the ink, and the array 1 has nine ejecting devices 34. A droplet ejecting device 44 is configured.

【0009】前記アレー1は以下の製造法によって製造
される。
The array 1 is manufactured by the following manufacturing method.

【0010】図5に示すように、まず強誘電性を有する
チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系のセラミックス材料
にて、上述したようなインク流路4を形成する貫通孔を
有する圧電セラミックス板2、3の成形体を射出成形を
利用し作製する。その後脱脂工程、焼結工程、板の厚み
方向への分極処理、無電解銅(またはニッケル)めっき
処理による電極形成、および電極の絶縁処理を行う。そ
して図に示したように貫通孔の中心を通る波線に沿った
切断工程と板上下表面に付着した余分な電極を除きかつ
平面度をよくするための上下端面加工を経て圧電セラミ
ックス板2、3を得る。このとき成形法として押し出し
成形法を用いてもよいし、または予め焼結した圧電セラ
ミックス板に機械加工により穴をあけてもよい。
As shown in FIG. 5, first, a piezoelectric ceramic plate 2 having through-holes forming the ink flow path 4 as described above is made of a lead zirconate titanate (PZT) ceramic material having ferroelectric properties. , 3 are produced using injection molding. Thereafter, a degreasing process, a sintering process, polarization treatment in the thickness direction of the plate, electrode formation by electroless copper (or nickel) plating treatment, and electrode insulation treatment are performed. Then, as shown in the figure, the piezoelectric ceramic plates 2 and 3 are cut through a cutting process along the wavy line passing through the center of the through hole, and processed to remove excess electrodes attached to the top and bottom surfaces of the plates and process the top and bottom ends to improve flatness. get. At this time, an extrusion molding method may be used as the molding method, or holes may be made by machining in a piezoelectric ceramic plate that has been sintered in advance.

【0011】また電極形成法として銅、またはニッケル
のスパッタ法(穴の内部表面に電極形成するために穴の
軸と金属原子の平行ビームとを傾斜させると良い)を用
いても同様な圧電セラミックス板2、3が得られる。こ
のようにして得た上部圧電セラミックス板2と下部圧電
セラミックス板3と、各インク流路4に対応するオリフ
ィス10を形成したオリフィスプレート8と、各インク
流路4に対応するインク供給路13を形成しかつ流路内
の電極と駆動用LSIチップ16とを電気的に連結する
ための配線を下部表面に施した底プレート12とを前記
圧電セラミックス2、3の分極が低下しないように該圧
電セラミックス板2、3のキュリー温度より十分低い温
度で図6のように接合する。そして前記駆動用LSIチ
ップ16を装着しアレー1が得られる。
Similar piezoelectric ceramics can also be produced by using copper or nickel sputtering as an electrode forming method (it is preferable to tilt the axis of the hole and the parallel beam of metal atoms in order to form an electrode on the inner surface of the hole). Plates 2 and 3 are obtained. The upper piezoelectric ceramic plate 2 and the lower piezoelectric ceramic plate 3 thus obtained, the orifice plate 8 in which the orifice 10 corresponding to each ink flow path 4 was formed, and the ink supply path 13 corresponding to each ink flow path 4 were assembled. The piezoelectric ceramics 2 and 3 are connected to a bottom plate 12 on the lower surface of which is provided with wiring for electrically connecting the electrodes in the flow path and the driving LSI chip 16. They are joined as shown in FIG. 6 at a temperature sufficiently lower than the Curie temperature of the ceramic plates 2 and 3. Then, the driving LSI chip 16 is mounted to obtain the array 1.

【0012】各アレー1には、それぞれ図4に示されて
いる電気回路が設けられている。この電気回路において
、切断によりインク流路4を形成できなくなった端部貫
通孔5の内部表面の電極6dは全て接地してある。電極
6a〜6cがそれぞれ別々に駆動用LSIチップ16に
接続され、クロックライン18、データライン20、電
圧ライン22およびアースライン24も駆動用LSIチ
ップ16に接続されている。
Each array 1 is provided with an electrical circuit as shown in FIG. In this electric circuit, all electrodes 6d on the inner surface of the end through-hole 5 where the ink flow path 4 cannot be formed due to cutting are grounded. The electrodes 6a to 6c are each separately connected to the driving LSI chip 16, and the clock line 18, data line 20, voltage line 22, and ground line 24 are also connected to the driving LSI chip 16.

【0013】インク流路4は図1に示したような隣合わ
ないA、B、Cのグループに分けられており、クロック
ライン18から供給された連続するクロックパルスがこ
のA、B、Cのグループを続けて駆動する。データライ
ン20上に現れる多ビット・ワード形式のデータが各グ
ループのうちのどちらのインク流路4を作動すべきかを
決定し、駆動用LSIチップ16の回路により選ばれた
グループの流路の電極6に電圧ライン22の電圧Vを印
加する。このとき作動されていない同一グループのイン
ク流路4の電極4と、他のグループに属する全てのイン
ク流路4の電極8は接地される。これにより選ばれたイ
ンク流路4と隣合う6個のインク流路4の各々の電極間
に両圧電セラミックス板2、3の分極方向と垂直な方向
に電界が印加され、電界の印加された両圧電セラミック
ス板2、3の流路壁が圧電厚みすべり効果による変形を
し、選ばれたインク流路4の容積を変える。従って各グ
ループに於て全てのインク流路4が作動可能になる。
The ink flow path 4 is divided into non-adjacent groups A, B, and C as shown in FIG. Drive the group in succession. Data in a multi-bit word format appearing on the data line 20 determines which ink channel 4 in each group should be activated, and the electrodes of the channel in the group selected by the circuit of the driving LSI chip 16 The voltage V of the voltage line 22 is applied to the voltage line 6. At this time, the electrodes 4 of the ink channels 4 of the same group that are not activated and the electrodes 8 of all the ink channels 4 belonging to other groups are grounded. As a result, an electric field is applied between the electrodes of the selected ink flow path 4 and each of the six adjacent ink flow paths 4 in a direction perpendicular to the polarization direction of both piezoelectric ceramic plates 2 and 3. The channel walls of both piezoelectric ceramic plates 2 and 3 are deformed by the piezoelectric thickness shear effect, changing the volume of the selected ink channel 4. Therefore, all ink flow paths 4 in each group become operable.

【0014】図3、図4は所定の印字データに従って、
噴射装置34bが選択された場合を示しており、図4は
図3のx−x’縦断面図である。インク流路4b内の電
極6bに電圧ライン22の電圧Vが印加され、他の電極
6a、6cをはじめとするインク流路4bと隣合う流路
の電極6は全て接地され、圧電セラミックス2b、3b
、2c、3cをはじめとするインク流路4bを囲む全て
の圧電セラミックス2、3の壁に矢印32の方向に駆動
電界が印加される。
3 and 4, according to predetermined print data,
The case where the injection device 34b is selected is shown, and FIG. 4 is a longitudinal sectional view taken along the line xx' in FIG. 3. The voltage V of the voltage line 22 is applied to the electrode 6b in the ink flow path 4b, and all the electrodes 6 in the flow path adjacent to the ink flow path 4b, including the other electrodes 6a and 6c, are grounded, and the piezoelectric ceramics 2b, 3b
, 2c, 3c and other piezoelectric ceramics 2 and 3 surrounding the ink flow path 4b, a driving electric field is applied in the direction of the arrow 32.

【0015】駆動電界と分極方向とが直交しているため
圧電厚みすべり効果の変形により圧電セラミックス2b
、3b、2c、3cをはじめとするインク流路4bを囲
む全ての圧電セラミックス2、3の壁がくの字形にイン
ク流路4b内に向かってから変形する。このため前記イ
ンク流路4bの容積が減少しインク30がオリフィス1
0bから噴射される。また、電圧の印加が遮断され圧電
セラミックス2b、3b、2c、3cをはじめとするイ
ンク流路4bを囲む全ての圧電セラミックス2、3の壁
が元の位置まで戻されると、その時のインク流路4bの
容積増加に伴ってインク供給路13bを経て前記インク
供給装置46からインクが補充される。
Since the driving electric field and the polarization direction are perpendicular to each other, the piezoelectric ceramic 2b is deformed due to the piezoelectric thickness shear effect.
, 3b, 2c, and 3c, all the walls of the piezoelectric ceramics 2 and 3 surrounding the ink flow path 4b deform into a dogleg shape toward the inside of the ink flow path 4b. Therefore, the volume of the ink flow path 4b decreases, and the ink 30 flows into the orifice 1.
It is injected from 0b. Further, when the voltage application is cut off and all the walls of the piezoelectric ceramics 2 and 3 surrounding the ink flow path 4b including the piezoelectric ceramics 2b, 3b, 2c, and 3c are returned to their original positions, the ink flow path at that time is As the volume of ink 4b increases, ink is replenished from the ink supply device 46 via the ink supply path 13b.

【0016】尚、例えば他の噴射装置34cが選択され
た場合には、圧電セラミックス2c、3c、2d、3d
をはじめとするインク流路4cを囲む全ての圧電セラミ
ックス2、3の壁がくの字形にインク流路4c内に向か
って変形しインク流路4c内のインクが噴射される。
Note that, for example, if another injection device 34c is selected, the piezoelectric ceramics 2c, 3c, 2d, 3d
The walls of all the piezoelectric ceramics 2 and 3 surrounding the ink flow path 4c including the ink flow path 4c are deformed into a dogleg shape toward the inside of the ink flow path 4c, and the ink within the ink flow path 4c is jetted.

【0017】このように、本実施例の圧電式液滴噴射装
置においては、9個の噴射装置34を駆動するための圧
電トランスデューサが2枚の圧電セラミックス板2、3
からなり、アレー1の構造が簡略化されているので、ア
レー1、さらにはそのアレー1を多数組み付けることに
よって圧電式液滴噴射装置の製造工程が少なくなり製造
コストも低減されるのである。また、圧電セラミックス
2、3に貫通孔からなるインク流路4を多数密集させる
ことにより、噴射装置34の数を増やすこと、アレー1
を小型にすること、印字の解像度を上げることが出来る
。例えば、本実施例と同じ寸法のインク流路4を同じ中
心距離で96個(縦8*横12)に配置したときのアレ
ー1の外形寸法は10mm*6mmx5mm以下でよい
As described above, in the piezoelectric droplet ejecting device of this embodiment, the piezoelectric transducers for driving the nine ejecting devices 34 are connected to the two piezoelectric ceramic plates 2 and 3.
Since the structure of the array 1 is simplified, by assembling the array 1 or a large number of arrays 1, the number of manufacturing steps of the piezoelectric droplet ejecting device is reduced, and the manufacturing cost is also reduced. In addition, the number of ejecting devices 34 can be increased by crowding a large number of ink channels 4 made up of through holes in the piezoelectric ceramics 2 and 3;
can be made smaller and the resolution of printing can be increased. For example, when 96 ink channels 4 having the same dimensions as in this embodiment are arranged at the same center distance (8 vertically x 12 horizontally), the outer dimensions of the array 1 may be 10 mm x 6 mm x 5 mm or less.

【0018】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなくその趣旨を逸脱しない範囲において数々の変形
を加えることもできる。例えばインク流路4の配置は六
回対称軸をもつ幾何学的図形状である必要はなく、二、
三、四等の対称軸でもよい。図7のように四回対称軸を
もつ幾何学的図形状の場合、インク流路4はA、Bの二
つのグループに分けるだけでよく駆動回路の設計が簡単
となる。また、インク流路を形成する貫通孔は内径が一
定である必要はなく、例えば図8に示すように貫通孔の
内径を細い部分をオリフィス10、及びインク供給路1
3とし、太い部分をインク流路4とすればさらに部品点
数を減らすことが出来る。このときに、図に示したよう
に圧電セラミックス2、3のインク流路4の天井部、底
部にも電極6を形成すれば駆動時に該天井部、底部の圧
電縦効果の変形もおこるので低電圧で駆動することが出
来る。またインク流路4の断面は円形である必要はなく
楕円や多角形状でもよい、例えば図9に示したように六
角形状にするとインク流路4を分ける圧電セラミックス
2、3の壁の厚みが一定となり理想的な電界分布が得ら
れるため、駆動電圧が低下する。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, but can be modified in many ways without departing from the spirit thereof. For example, the arrangement of the ink channels 4 does not need to be a geometric shape with a six-fold axis of symmetry;
It may be a 3rd or 4th order axis of symmetry. In the case of a geometric shape having a four-fold symmetry axis as shown in FIG. 7, the ink flow path 4 only needs to be divided into two groups, A and B, and the design of the drive circuit becomes simple. Further, the through hole forming the ink flow path does not need to have a constant inner diameter; for example, as shown in FIG.
3 and use the thick part as the ink flow path 4, the number of parts can be further reduced. At this time, if the electrodes 6 are also formed on the ceiling and bottom of the ink flow path 4 of the piezoelectric ceramics 2 and 3 as shown in the figure, the piezoelectric vertical effect of the ceiling and bottom will also be deformed during driving, so it will be reduced. It can be driven by voltage. Furthermore, the cross section of the ink flow path 4 does not have to be circular and may be oval or polygonal. For example, if it is hexagonal as shown in FIG. 9, the thickness of the walls of the piezoelectric ceramics 2 and 3 that separate the ink flow path 4 will be constant. Since an ideal electric field distribution is obtained, the driving voltage is reduced.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明の圧電式液滴噴射装置は、従来に比較して構造が簡
単で製造工数が少ないため製造コストが低減される。ま
たインク流路の集積度を上げることが容易であり噴射装
置の小型化、印字の解像度を向上させることが出来る。
As is clear from the above explanation, the piezoelectric droplet ejecting device of the present invention has a simpler structure and requires fewer manufacturing steps than the conventional device, so that manufacturing costs are reduced. Furthermore, it is easy to increase the degree of integration of the ink channels, making it possible to downsize the ejecting device and improve the resolution of printing.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】圧電式液滴噴射装置の一部を構成するアレーの
断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an array forming part of a piezoelectric droplet ejection device.

【図2】図1のアレーのx−x’縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view along line x-x' of the array of FIG. 1;

【図3】アレーに電気回路が設けられた状態を示す図で
ある。
FIG. 3 is a diagram showing a state in which the array is provided with an electric circuit.

【図4】図3のアレーのx−x’縦断面図である。FIG. 4 is a longitudinal cross-sectional view along line x-x' of the array of FIG. 3;

【図5】圧電セラミックス板の正面図である。FIG. 5 is a front view of a piezoelectric ceramic plate.

【図6】アレーの組立行程を示す斜視図である。FIG. 6 is a perspective view showing the assembly process of the array.

【図7】他の実施例に於ける圧電式液滴噴射装置の一部
を構成するアレーの断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view of an array forming part of a piezoelectric droplet ejecting device in another embodiment.

【図8】他の実施例に於ける圧電式液滴噴射装置の一部
を構成するアレーの縦断面図である。
FIG. 8 is a longitudinal cross-sectional view of an array forming part of a piezoelectric droplet ejecting device in another embodiment.

【図9】他の実施例に於ける圧電式液滴噴射装置の一部
を構成するアレーの断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view of an array forming part of a piezoelectric droplet ejecting device in another embodiment.

【図10】圧電式液滴噴射装置を搭載するインクジェッ
トプリンタの要部を示す斜視図である。
FIG. 10 is a perspective view showing the main parts of an inkjet printer equipped with a piezoelectric droplet ejecting device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2  圧電セラミックス(上部圧電セラミックス板)3
  圧電セラミックス(下部圧電セラミックス板)4 
 インク流路 26  分極方向 28  分極方向 34  噴射装置
2 Piezoelectric ceramics (upper piezoelectric ceramics plate) 3
Piezoelectric ceramics (lower piezoelectric ceramics plate) 4
Ink flow path 26 Polarization direction 28 Polarization direction 34 Injection device

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  圧電トランスデューサを用いてインク
流路の容積を変化させることにより該インク流路のイン
クを噴射する噴射装置を多数備えた圧電式液滴噴射装置
に於て、前記圧電トランスデューサが、分極方向と平行
方向に貫通する複数のインク流路を有する圧電材料であ
り、かつ駆動電界方向が前記分極方向と垂直であること
を特徴とする圧電式液滴噴射装置。
1. A piezoelectric droplet ejecting device comprising a number of ejecting devices that eject ink in an ink flow path by changing the volume of the ink flow path using a piezoelectric transducer, wherein the piezoelectric transducer comprises: A piezoelectric droplet ejecting device characterized in that the device is made of a piezoelectric material having a plurality of ink channels penetrating in a direction parallel to a polarization direction, and a driving electric field direction is perpendicular to the polarization direction.
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