JPH04261491A - Damping material and production thereof and buffer vibration damping mechanism using the same material - Google Patents

Damping material and production thereof and buffer vibration damping mechanism using the same material

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JPH04261491A
JPH04261491A JP2181391A JP2181391A JPH04261491A JP H04261491 A JPH04261491 A JP H04261491A JP 2181391 A JP2181391 A JP 2181391A JP 2181391 A JP2181391 A JP 2181391A JP H04261491 A JPH04261491 A JP H04261491A
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damping
damping material
head
magnetic disk
grease
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JP2181391A
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Japanese (ja)
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Masami Suzuki
正美 鈴木
Tomio Suzuki
冨男 鈴木
Hiroyuki Mihashi
浩之 三橋
Takeshi Takahashi
毅 高橋
Atsushi Naruse
成瀬 淳
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Hitachi Ltd
Hitachi Information and Telecommunication Engineering Ltd
Original Assignee
Hitachi Computer Peripherals Co Ltd
Hitachi Ltd
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Abstract

PURPOSE:To obtain a damping material capable of preventing occurrence of evaporating ingredients exerting bad influence on operation of a precision machine, freely controlling ratio of viscosity and electricity and obtaining always stabilized damping effects and buffer vibration damping mechanism and magnetic disk using the above-mentioned damping material. CONSTITUTION:A damping material 15 is constituted by packing space among particles of hard ceramic fine particles 21 of silicon carbide, etc., having <=1mum average particle size with a high molecular fluorine based oil or grease 22 such as perfluoropolyether. Then a buffer vibration damping mechanism obtained by packing the above-mentioned damping material in fine gaps formed by each fitting piston parts 5a and 5b in cylinder-like holes 14a and 14b is used for a head-retaining part 4 of magnetic disk and coupling part of a driving part 6.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ディスク装
置のように、微小な塵埃あるいはガスに対して高い清浄
度が要求される精密機械に好適なダンピング材料及びそ
の製造方法及びこれを使用した緩衝制振機構に関する。
[Industrial Application Field] The present invention relates to a damping material suitable for precision machines such as magnetic disk drives that require high cleanliness against minute dust or gas, a method for producing the same, and a method using the same. Regarding a damping vibration damping mechanism.

【0002】0002

【従来の技術】従来、磁気ディスク装置においては、磁
気ディスク上に形成されたトラックに対して高速に情報
を記録再生するために、磁気ヘッドを磁気ディスク表面
上の目標とするトラック位置へ高速に移動させる必要が
ある。しかしこの磁気ヘッドの目標トラックへの高速移
動の際には磁気ヘッドに振動が生じることがあり、この
振動は磁気ヘッドを目標トラックに対して高速に且つ精
密に位置決めする上で障害となっていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, in magnetic disk drives, in order to rapidly record and reproduce information on tracks formed on a magnetic disk, a magnetic head is moved to a target track position on the surface of a magnetic disk at high speed. need to be moved. However, when the magnetic head moves at high speed to the target track, vibrations may occur in the magnetic head, and these vibrations are an obstacle to positioning the magnetic head accurately and at high speed with respect to the target track. .

【0003】このような磁気ヘッドの振動による障害を
防止するため、従来は特開昭63−257967号公報
に記載のように、キャリッジのアームが搭載された面と
は反対面に、重り、バネ部品、防振部品より成る吸振機
構を設けるものがあった。この従来の吸振機構において
は、バネ部品は板バネを、また防振部品は防振ゴムを使
用していた。さらに、磁気ヘッドの振動を抑える別の方
法としては摩擦力を利用したフリクションダンパを使用
する方法もある。
In order to prevent problems caused by such vibrations of the magnetic head, conventionally, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-257967, a weight or a spring has been installed on the surface of the carriage opposite to the surface on which the arm is mounted. Some were equipped with a vibration absorption mechanism consisting of parts and vibration isolating parts. In this conventional vibration absorbing mechanism, a leaf spring is used as the spring component, and a vibration isolating rubber is used as the vibration isolating component. Furthermore, another method for suppressing vibrations of the magnetic head is to use a friction damper that utilizes frictional force.

【0004】また、装置外部の微小な塵埃が装置内部に
侵入したり、装置内部の温度上昇により装置内部にオイ
ルミストが発生したり、装置内部の可動部分の摩擦等に
より装置内部に金属粉が発生したりすることがある。こ
れらの塵埃、オイルミスト、金属粉が磁気ヘッドに付着
すると、記録再生性能が低下するという問題が生ずる。 また、記録再生時に磁気ディスク表面に対して磁気ヘッ
ドの浮上姿勢が乱れて磁気ヘッドが磁気ディスク表面に
衝突したりすること(ヘッドクラッシュ)によって、磁
気ディスク表面を損傷し、磁気ディスク表面に形成され
たトラックに記録された情報が失われてしまうという問
題がある。
[0004]Furthermore, fine dust from outside the device may enter the inside of the device, oil mist may be generated inside the device due to a rise in temperature inside the device, and metal powder may be generated inside the device due to friction of movable parts inside the device. It may occur. When these dust, oil mist, and metal powder adhere to the magnetic head, a problem arises in that recording and reproducing performance deteriorates. In addition, during recording and playback, the flying posture of the magnetic head relative to the magnetic disk surface is disturbed and the magnetic head collides with the magnetic disk surface (head crash), which can damage the magnetic disk surface and cause defects to form on the magnetic disk surface. There is a problem in that the information recorded on the track is lost.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】上記特開昭63−25
7967号公報に記載の技術では、防振部品に使用され
るゴムに含まれる低分子の有機物が、装置内部の温度上
昇や時間の経過と共に装置内部にガス状になって充満し
、磁気ヘッドに付着してヘッドクラッシュの原因になる
という問題があった。さらに、ゴムは粘性と弾性の両特
性を合わせ持つため、その装置に最も適した特性を持つ
ものを選定することが困難であり、その弾性のために振
動を伝えてしまうという問題があった。
[Problem to be solved by the invention] The above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-25
In the technology described in Publication No. 7967, low-molecular organic substances contained in the rubber used in vibration-proof parts become gaseous and fill the inside of the device as the temperature inside the device rises and over time, causing damage to the magnetic head. There was a problem in that it adhered and caused a head crash. Furthermore, since rubber has both viscous and elastic properties, it is difficult to select a rubber with the most suitable properties for the device, and there is a problem in that its elasticity transmits vibrations.

【0006】また、上記フリクションダンパを使用する
方法においては、摩擦力は粘性に比べて不安定であるた
め、常に一定の効果を得にくいという問題があった。さ
らに、摩擦力を利用するため、金属粉等の塵埃の発生を
避けることができず、発生した金属粉等の塵埃を外部に
漏らさないような密閉機構を別に設ける必要がある。
[0006] Furthermore, in the method using the friction damper described above, since frictional force is unstable compared to viscosity, there is a problem that it is difficult to always obtain a constant effect. Furthermore, since frictional force is used, the generation of dust such as metal powder cannot be avoided, and it is necessary to separately provide a sealing mechanism to prevent the generated dust such as metal powder from leaking to the outside.

【0007】本発明の第1の目的は、精密機械に用いて
好適なダンピング材料であって、精密機械の動作に悪影
響を与える蒸発成分の発生を防止したダンピング材料を
提供することにある。
A first object of the present invention is to provide a damping material suitable for use in precision machinery, which prevents the generation of evaporated components that adversely affect the operation of precision machinery.

【0008】第2の目的は、粘性と弾性の割合を自由に
調節することが可能なダンピング材料を提供することに
ある。
A second object is to provide a damping material whose ratio of viscosity and elasticity can be freely adjusted.

【0009】第3の目的は、上記のような特性を有する
ダンピング材料を製造する方法を提供することにある。
A third object is to provide a method for producing a damping material having the above-mentioned properties.

【0010】第4の目的は、上記のような特性を有する
ダンピング材料を用いて効果的に振動、衝撃を吸収する
ことができる緩衝制振機構を提供することにある。
A fourth object is to provide a damping and damping mechanism that can effectively absorb vibrations and shocks using a damping material having the above characteristics.

【0011】第5の目的は、磁気ヘッドを磁気ディスク
の所望の位置に高速に位置決めする際に発生する振動を
磁気ヘッドに伝えないようにするために、ヘッド保持部
と案内・駆動部との間に設けられた緩衝制振機構のダン
ピング材として上記のような特性を有するダンピング材
料を用いた磁気ディスク装置を提供することにある。
[0011] The fifth purpose is to prevent the vibrations generated when the magnetic head is positioned at a desired position on the magnetic disk at high speed from being transmitted to the magnetic head. An object of the present invention is to provide a magnetic disk device using a damping material having the above characteristics as a damping material of a damping damping mechanism provided between the two.

【0012】0012

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係るダンピング材料は、金属あるいはセラミ
ックの微粒子に、高分子高粘度のフッ素系オイルあるい
はグリースを含浸させたものである。
[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the damping material according to the present invention is made by impregnating fine particles of metal or ceramic with a polymeric high-viscosity fluorine-based oil or grease.

【0013】そしてこのようなダンピング材料を提供す
るために、金属あるいはセラミックの微粒子間に存在す
る空気を強制的に排気することによって、微粒子間に高
分子高粘度のフッ素系オイルあるいはグリースを含浸さ
せたものである。
[0013] In order to provide such a damping material, the air present between the metal or ceramic particles is forcibly evacuated to impregnate the particles with high-molecular, high-viscosity fluorine-based oil or grease. It is something that

【0014】さらに本発明に係る緩衝制振機構は、金属
あるいはセラミックの微粒子に、高分子高粘度のフッ素
系オイルあるいはグリースを含浸させた精密機械用ダン
ピング材料と、略円筒状で一方に開口部を有するシリン
ダ部材と、このシリンダ部材に嵌合する略円柱状のピス
トン部材を設け、シリンダ部材とピストン部材を嵌合し
た際に形成される空間に前記ダンピング材料を充填して
構成する。
Furthermore, the damping mechanism according to the present invention includes a damping material for precision machinery in which fine particles of metal or ceramic are impregnated with polymeric high-viscosity fluorine-based oil or grease, and a substantially cylindrical damping material with an opening on one side. The damping material is constructed by providing a cylinder member having a cylindrical shape and a substantially cylindrical piston member that fits into the cylinder member, and filling the space formed when the cylinder member and the piston member are fitted with the damping material.

【0015】上記緩衝制振機構においては、ピストン部
材はシリンダ部材との間に微小な隙間を形成して嵌合す
る頭部と、該頭部の径よりも小さな径の首部とを有する
形状として、常に安定なダンピング効果を得るようにし
たものである。
[0015] In the above-mentioned shock absorbing damping mechanism, the piston member has a shape having a head that fits into the cylinder member with a small gap formed therebetween, and a neck having a diameter smaller than the diameter of the head. , so as to always obtain a stable damping effect.

【0016】上記緩衝制振機構においては、ピストン部
材の周囲に凹部を設け、この凹部にOリングを嵌合させ
て、ダンピング材料からのオイル成分の蒸発を完全に防
止するようにしたものである。
In the above-mentioned damping damping mechanism, a recess is provided around the piston member, and an O-ring is fitted into the recess to completely prevent the oil component from evaporating from the damping material. .

【0017】また本発明においては、磁気的に情報が記
録される磁気ディスクと、該磁気ディスクに対して情報
を記録あるいは再生するための磁気ヘッドを含むアクチ
ュエータ部を有する磁気ディスク装置において、前記ダ
ンピング材料を前記アクチュエータ部の緩衝制振機構の
ダンピング材として使用したものである。
Further, in the present invention, in a magnetic disk device having an actuator section including a magnetic disk on which information is magnetically recorded and a magnetic head for recording or reproducing information on the magnetic disk, the damping The material is used as a damping material for the shock absorbing damping mechanism of the actuator section.

【0018】[0018]

【作用】本発明に係るダンピング材料は、金属あるいは
セラミックの微粒子の材質、大きさ等を選定し、フッ素
系オイルあるいはグリースの種類、量等を選定すること
により、両者の混成物であるダンピング材料の粘性や弾
性等の特性を自由に設定することができる。
[Operation] The damping material according to the present invention can be produced by selecting the material, size, etc. of the metal or ceramic fine particles, and selecting the type, amount, etc. of the fluorine-based oil or grease. Properties such as viscosity and elasticity can be freely set.

【0019】また本発明の精密機械用ダンピング材料の
製造方法は、高真空の条件下で行うため、金属あるいは
セラミックの微粒子の粒子間に存在する弾性を有する気
泡をほとんど除去でき、ほぼ粘性のみを有し弾性をほと
んど有さないダンピング材料を得ることができる。
Furthermore, since the method for manufacturing a damping material for precision machinery according to the present invention is carried out under high vacuum conditions, most of the elastic air bubbles existing between the metal or ceramic fine particles can be removed, and almost only the viscosity can be removed. damping materials with almost no elasticity can be obtained.

【0020】[0020]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面を用いて詳細
に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

【0021】図1は、本発明のダンピング材料を緩衝制
振機構に使用した磁気ディスク装置のアクチュエータ部
の例を示す図である。
FIG. 1 is a diagram showing an example of an actuator section of a magnetic disk device using the damping material of the present invention in a damping damping mechanism.

【0022】複数の磁気ディスク1の記録面に対向して
配置された磁気ヘッド2は、それぞれ支持アーム部材3
によって支持されている。この磁気ヘッド2を支持した
支持アーム部材3は、磁気ヘッド2を支持しない端部が
ヘッド保持部4に取り付けられている。
The magnetic heads 2 arranged facing the recording surfaces of the plurality of magnetic disks 1 are each supported by a support arm member 3.
Supported by The end portion of the support arm member 3 that supports the magnetic head 2 that does not support the magnetic head 2 is attached to the head holding portion 4 .

【0023】ヘッド保持部4にはピストン部材5a,5
bが取り付けられており、このピストン部材5a,5b
は、案内・駆動部6に形成されたシリンダ状の穴14a
,14bに微小な隙間を保ってそれぞれはめこまれてい
る。
The head holding portion 4 has piston members 5a, 5.
b is attached, and these piston members 5a, 5b
is a cylindrical hole 14a formed in the guide/drive section 6.
, 14b, respectively, with a small gap between them.

【0024】そしてピストン部材5a,5bがシリンダ
状の穴14a,14bにそれぞれはめこまれることによ
って形成される微小な隙間には、図3に示されるような
構成のダンピング材15が充填されている。
A damping material 15 having a structure as shown in FIG. 3 is filled in the minute gaps formed by fitting the piston members 5a and 5b into the cylindrical holes 14a and 14b, respectively. .

【0025】ヘッド保持部4にはバネ押え13が取り付
けられており、このバネ押え13と案内・駆動部6の間
に予圧バネ12が配置されている。この予圧バネ12に
よってヘッド保持部4,ピストン部材5a,5bには常
に案内・駆動部6方向に引っ張られる方向の力が作用し
ている。
A spring holder 13 is attached to the head holding section 4, and a preload spring 12 is disposed between the spring holder 13 and the guide/drive section 6. Due to this preload spring 12, a force is always applied to the head holding portion 4 and the piston members 5a, 5b in a direction that pulls them in the direction of the guide/drive portion 6.

【0026】案内・駆動部6には、ガイドレール8の表
面を転動可能な複数のガイドローラ7が設けられている
。案内・駆動部6の磁気ディスク1に対向する面の反対
側には駆動用コイル11が取り付けられており、この駆
動用コイル11とマグネット10と磁気回路9はボイス
コイルモータを形成している。そして駆動用コイル11
に通電付勢することによって電磁駆動力が発生し、ガイ
ドローラ7がガイドレール8の表面を転動することによ
って、磁気ヘッド2を所望のトラックの所定の位置に位
置づけるようにアクチュエータ部を移動させる。
The guide/drive section 6 is provided with a plurality of guide rollers 7 that can roll on the surface of a guide rail 8. A drive coil 11 is attached to the opposite side of the guide/drive unit 6 to the surface facing the magnetic disk 1, and the drive coil 11, magnet 10, and magnetic circuit 9 form a voice coil motor. And drive coil 11
By energizing, an electromagnetic driving force is generated, and the guide roller 7 rolls on the surface of the guide rail 8, thereby moving the actuator section so as to position the magnetic head 2 at a predetermined position on a desired track. .

【0027】このように構成された磁気ディスク装置の
アクチュエータ部において、駆動用コイル11に通電付
勢することによって発生した電磁駆動力を用いて磁気デ
ィスク1の所望のトラックに磁気ヘッド2を位置決め駆
動する。この際、駆動用コイル11で発生した電磁駆動
力によって、案内・駆動部6の各部が局所的に弾性変形
し高い周波数の振動が発生することがある。
In the actuator section of the magnetic disk drive configured as described above, the magnetic head 2 is positioned and driven to a desired track on the magnetic disk 1 using the electromagnetic driving force generated by energizing the driving coil 11. do. At this time, the electromagnetic driving force generated by the driving coil 11 may locally elastically deform each part of the guide/drive section 6 and generate high frequency vibrations.

【0028】また、ガイドローラ7がガイドレール8の
表面を転動してアクチュエータ部が所望の位置へ移動す
る際には、ガイドローラ7とガイドレール8の接触面の
面粗度などに起因した振動が発生することがある。
Furthermore, when the guide roller 7 rolls on the surface of the guide rail 8 and the actuator section moves to a desired position, there may be problems such as surface roughness of the contact surface between the guide roller 7 and the guide rail 8. Vibration may occur.

【0029】これらの振動は案内・駆動部6に伝わり、
案内・駆動部6には駆動力以外の様々なモードの振動成
分が作用する。
These vibrations are transmitted to the guide/drive section 6,
Vibration components of various modes other than the driving force act on the guide/drive section 6.

【0030】しかしながら本実施例の磁気ディスク装置
においては、シリンダ状の穴14a,14bとピストン
部材5a,5bによって形成された微小な隙間にダンピ
ング材15が充填されているので、上記の様に発生する
高い周波数の振動はこのダンピング材15によって吸収
されて案内・駆動部6からヘッド保持部4へ伝わらない
ようになっている。
However, in the magnetic disk drive of this embodiment, the damping material 15 is filled in the minute gap formed by the cylindrical holes 14a, 14b and the piston members 5a, 5b, so that the above-mentioned problem occurs. This high frequency vibration is absorbed by the damping material 15 and is prevented from being transmitted from the guide/drive section 6 to the head holding section 4.

【0031】図2は、図1に示したピストン部材5a,
5bが微小な隙間を保ってシリンダ状の穴14a,14
bにはめこまれたダンピング部分の他の実施例を示す図
である。
FIG. 2 shows the piston members 5a and 5a shown in FIG.
5b maintains a small gap between the cylindrical holes 14a and 14.
FIG. 6 is a diagram showing another embodiment of the damping part fitted in b.

【0032】図2において、ピストン部材5a′(5b
′)は頭部18と首部17と胴部19から成る。首部1
7は頭部18と胴部19の間に位置し、頭部18と胴部
19より小さな径で構成されている。
In FIG. 2, the piston member 5a' (5b
') consists of a head part 18, a neck part 17 and a body part 19. Neck 1
7 is located between the head 18 and the body 19, and has a smaller diameter than the head 18 and the body 19.

【0033】そして胴部19の径はシリンダ状の穴14
a(14b)の径とほぼ同じ大きさであり、頭部18の
径は胴部19の径よりも若干小さく形成されている。
[0033]The diameter of the body portion 19 is the diameter of the cylindrical hole 14.
a (14b), and the diameter of the head portion 18 is formed to be slightly smaller than the diameter of the body portion 19.

【0034】しかしながら本発明においては頭部18と
胴部19は、それぞれ同一の大きさの径でシリンダ状の
穴14a(14b)の径とほぼ同じ大きさでもよい。
However, in the present invention, the head portion 18 and the body portion 19 may each have the same diameter and approximately the same size as the diameter of the cylindrical hole 14a (14b).

【0035】さらに、図2に示された実施例においては
、頭部18とシリンダ状の穴14a(14b)によって
形成された空間にダンピング材15が充填される。
Furthermore, in the embodiment shown in FIG. 2, a damping material 15 is filled in the space formed by the head 18 and the cylindrical hole 14a (14b).

【0036】また、胴部19の周囲には凹部20を設け
、この凹部20にOリング16を嵌合させており、密閉
性を高めている。
Further, a recess 20 is provided around the body 19, and an O-ring 16 is fitted into the recess 20 to improve airtightness.

【0037】次に、ダンピング材15について図3を用
いて説明する。
Next, the damping material 15 will be explained using FIG. 3.

【0038】ダンピング材15は、平均粒径1μm以下
の炭化ケイ素のような硬いセラミック微粒子21の粒子
間が、〔化1〕の分子構造を持つパーフロロポリエーテ
ルのような高分子フッ素系オイルまたはグリース22に
よって充たされて構成されている。
The damping material 15 is made of a polymeric fluorinated oil such as perfluoropolyether having a molecular structure of [Chemical formula 1] between the hard ceramic fine particles 21 such as silicon carbide having an average particle size of 1 μm or less, or It is filled with grease 22.

【0039】[0039]

【化1】[Chemical formula 1]

【0040】このような構成のダンピング材15では、
その構成要素であるセラミック微粒子21と高分子フッ
素系オイルまたはグリース22は、両者とも圧縮性が極
端に小さいという特性を有しており、また高分子フッ素
系オイルまたはグリース22は粘性が大きいという特性
を有している。従って、このダンピング材15はほぼ粘
性のみを有し弾性をほとんど有さないダンピング材15
となる。
[0040] In the damping material 15 having such a structure,
The ceramic fine particles 21 and polymeric fluorine-based oil or grease 22, which are its constituent elements, both have the characteristic of extremely low compressibility, and the polymeric fluorine-based oil or grease 22 has the characteristic of high viscosity. have. Therefore, this damping material 15 has almost only viscosity and almost no elasticity.
becomes.

【0041】またここで高分子フッ素系オイルまたはグ
リース22として使用するパーフロロポリエーテルは常
温での蒸気圧が10 ̄8mmHgと低く、真空中でもほ
とんど蒸発しないことから、人工衛星用の軸受の潤滑剤
に使用されている。従って、通常の雰囲気下ではほとん
ど無視できる蒸発量であり、精密機械の内部に使用して
も装置を汚染する可能性が少ない。
The perfluoropolyether used here as the polymeric fluorinated oil or grease 22 has a low vapor pressure of 10~8 mmHg at room temperature and hardly evaporates even in vacuum, so it is suitable as a lubricant for bearings for artificial satellites. used in Therefore, the amount of evaporation is almost negligible under normal atmosphere, and there is little possibility of contaminating the equipment even if it is used inside a precision machine.

【0042】図2に示されたダンピング部においては、
頭部18が、頭部18とシリンダ状の穴14a(14b
)によって形成された空間に充填されたダンピング材1
5を押すと、ダンピング材15はシリンダ状の穴14a
(14b)とピストン部材5a′(5b′)の頭部18
との狭いクリアランスSを通って首部17の広いクリア
ランス部へはみ出す。そして狭いクリアランスSを通過
したダンピング材15は、首部17の広いクリアランス
部に溜る。
In the damping section shown in FIG.
The head 18 is connected to the cylindrical hole 14a (14b).
) Damping material 1 filled in the space formed by
When 5 is pressed, the damping material 15 is inserted into the cylindrical hole 14a.
(14b) and the head 18 of the piston member 5a'(5b')
It passes through a narrow clearance S with the neck part 17 and protrudes into a wide clearance part of the neck part 17. The damping material 15 that has passed through the narrow clearance S accumulates in the wide clearance portion of the neck portion 17.

【0043】ダンピング材15はこの首部17の広いク
リアランス部では粘性抵抗を生じないので、ピストン部
材5a′(5b′)が大きなストロークで動いても一定
の減衰効果を得ることができる。
Since the damping material 15 does not produce viscous resistance in the wide clearance portion of the neck portion 17, a certain damping effect can be obtained even if the piston member 5a'(5b') moves with a large stroke.

【0044】このように頭部18の長さの範囲Lでダン
ピング材15が狭いクリアランスSを通過する際の流動
時の粘性抵抗によってダンピング効果を得ることができ
る。この際、ダンピング材15は前述のようにほぼ粘性
のみを有し弾性をほとんど有さないため、案内・駆動部
6からの振動を磁気ヘッド2に伝えることなしに吸収で
きる。
As described above, a damping effect can be obtained by the viscous resistance during flow when the damping material 15 passes through the narrow clearance S in the length range L of the head 18. At this time, since the damping material 15 has almost only viscosity and almost no elasticity as described above, it can absorb the vibrations from the guide/drive section 6 without transmitting them to the magnetic head 2.

【0045】図4に、図2に示されたダンピング部の減
衰特性を示す。図4に示されたグラフにおいては、縦軸
にピストン5a′(5b′)の押込力を、横軸に押込変
位量をとる。
FIG. 4 shows the damping characteristics of the damping section shown in FIG. 2. In the graph shown in FIG. 4, the vertical axis represents the pushing force of the piston 5a'(5b'), and the horizontal axis represents the pushing displacement amount.

【0046】ピストン5a′(5b′)を押し込むにつ
れて押込力は大きくなってゆくが、この押込力はある一
定の値で飽和する。これはシリンダ状の穴14a(14
b)とピストン部材5a′(5b′)の頭部18との狭
いクリアランスSにダンピング材15が完全に充填され
た状態を示す。そしてこれ以後は押込量を増しても押込
力の増加はみられず、常に一定の抵抗力を得る。
As the piston 5a'(5b') is pushed in, the pushing force increases, but this pushing force is saturated at a certain value. This is a cylindrical hole 14a (14
b) shows a state in which the narrow clearance S between the head 18 of the piston member 5a'(5b') is completely filled with the damping material 15. Thereafter, even if the pushing amount is increased, no increase in pushing force is observed, and a constant resistance force is always obtained.

【0047】また抵抗力が一定になった後でピストン部
材5a′(5b′)を押込む動作を中断すると、ピスト
ン部材5a′(5b′)の位置はそのままで、押込力の
みがゼロとなる。これはダンピング材15がほぼ粘性の
みを有し弾性をほとんど有さないためである。そしてピ
ストン部材5a′(5b′)の押込みを再開すると、押
込力は押込み中断前のレベルまで復帰し、その状態が維
持される。
Furthermore, if the operation of pushing the piston member 5a'(5b') is interrupted after the resistance force becomes constant, the position of the piston member 5a'(5b') remains unchanged, and only the pushing force becomes zero. . This is because the damping material 15 has almost only viscosity and almost no elasticity. When the pushing of the piston member 5a'(5b') is resumed, the pushing force returns to the level before the interruption of pushing, and this state is maintained.

【0048】この減衰特性は、ピストン部材5a′(5
b′)とシリンダ状の穴14a(14b)の形状、寸法
、クリアランスSの大きさ、ピストン部材5a′(5b
′)の押込速度、ダンピング材15の選定により自由に
設定することが可能である。
This damping characteristic is similar to that of the piston member 5a' (5
b'), the shape and dimensions of the cylindrical hole 14a (14b), the size of the clearance S, and the piston member 5a' (5b).
') can be freely set by selecting the pushing speed and the damping material 15.

【0049】次にダンピング材15の製造方法を図5を
用いて説明する。
Next, a method for manufacturing the damping material 15 will be explained using FIG. 5.

【0050】オイル含浸容器23には高分子フッ素系オ
イルまたはグリース22が入っている。また粒子保持容
器24にはセラミック微粒子21が入っている。そして
セラミック微粒子21が入った粒子保持容器24は高分
子フッ素系オイルまたはグリース22が入ったオイル含
浸容器23の中に沈められている。
The oil-impregnated container 23 contains a polymeric fluorine-based oil or grease 22 . Further, the particle holding container 24 contains ceramic fine particles 21 . A particle holding container 24 containing ceramic fine particles 21 is submerged in an oil-impregnated container 23 containing polymeric fluorine-based oil or grease 22.

【0051】さらにオイル含浸容器23は、一方が真空
ポンプ25に接続されている排気用配管26の他方が接
続されているだけの密閉された容器である。
Furthermore, the oil-impregnated container 23 is a hermetically sealed container with one end connected to the vacuum pump 25 and an exhaust pipe 26 connected to the other end.

【0052】このように構成された装置で真空ポンプ2
5によって強制的に排気を行い、オイル含浸容器23内
の気圧を大気圧以下に下げると、粒子保持容器24に入
ったセラミック微粒子21の粒子間に存在する空気27
がオイル含浸容器23の外に排出されると共に、粒子間
に高分子フッ素系オイルまたはグリース22が排出され
た空気27のかわりに充填される。
[0052] With the device configured in this way, the vacuum pump 2
When the air pressure inside the oil-impregnated container 23 is lowered to below atmospheric pressure by forcibly exhausting air 27 in step 5, the air 27 existing between the ceramic fine particles 21 that have entered the particle holding container 24 is removed.
is discharged to the outside of the oil-impregnated container 23, and high-molecular fluorine-based oil or grease 22 is filled between the particles in place of the discharged air 27.

【0053】このようにすることによりセラミック微粒
子21の粒子間に存在する空気27を高分子フッ素系オ
イルまたはグリース22に完全に置換したダンピング材
15を得ることができる。
By doing this, it is possible to obtain the damping material 15 in which the air 27 existing between the ceramic fine particles 21 is completely replaced with the polymeric fluorine-based oil or grease 22.

【0054】尚本実施例においては、セラミック微粒子
21として炭化ケイ素の代わりに窒化ケイ素、ジルコニ
ア、アルミナ等のセラミック微粒子や、ダイヤモンド微
粒子などを用いても同様の効果を得ることができる。
In this embodiment, the same effect can be obtained by using ceramic particles such as silicon nitride, zirconia, alumina, or diamond particles instead of silicon carbide as the ceramic particles 21.

【0055】本実施例では弾性を有する金属粒子等を使
用すれば、若干の弾性を有するダンピング材を得ること
もできる。ここで使用できる金属粒子としては、ステン
レス、ニッケル、クロム、アルミ、金、銀等の化学的に
安定した金属が挙げられる。一方、鉄のようにさびて腐
食するような金属は適当ではない。
In this embodiment, if elastic metal particles or the like are used, a damping material having some elasticity can be obtained. Examples of metal particles that can be used here include chemically stable metals such as stainless steel, nickel, chromium, aluminum, gold, and silver. On the other hand, metals that rust and corrode, such as iron, are not suitable.

【0056】特に炭化ケイ素、窒化ケイ素、ジルコニア
、アルミナなどの成分を有するセラミック材料を使用し
た場合には、その硬度、剛性が極端に高いためほぼ粘性
のみを有するダンピング材料を得ることができる。また
、弾性を有する金属粉を使用した場合には、粘性と弾性
の両方を有するダンピング材料を得ることができる。
In particular, when a ceramic material containing components such as silicon carbide, silicon nitride, zirconia, and alumina is used, it is possible to obtain a damping material having almost only viscosity because of its extremely high hardness and rigidity. Moreover, when metal powder having elasticity is used, a damping material having both viscosity and elasticity can be obtained.

【0057】また本実施例においては、オイルまたはグ
リースの選定にあたっては特に粘性の高い高分子オイル
またはグリースを基油としたものを用いることで高い粘
性効果を得ることができる。
Furthermore, in this embodiment, when selecting the oil or grease, a high viscosity effect can be obtained by using a particularly highly viscous polymer oil or grease as the base oil.

【0058】例えば、フッ素系の高分子オイルまたはグ
リースは、通常真空環境下における軸受の潤滑に使用さ
れるほど蒸発しにくいという特徴があるため、このよう
なオイルまたはグリースを使用すればダンピング材料か
らのオイル分の蒸発を防止でき、このダンピング材料を
使用した精密機械内部を汚染することがない。フッ素系
オイルは磁気ディスク装置において、磁気ディスク表面
の潤滑剤として使用されているため、これと同系のオイ
ルまたはグリースを選定すれば、微量な蒸発成分に対し
ても磁気ディスク上に記憶された情報を破壊する可能性
は少ない。
For example, fluorine-based polymer oil or grease has the characteristic that it is difficult to evaporate to the extent that it is normally used for bearing lubrication in a vacuum environment. The damping material prevents the oil content from evaporating and does not contaminate the inside of precision machinery that uses this damping material. Fluorine-based oil is used as a lubricant for the surface of the magnetic disk in magnetic disk drives, so if you select an oil or grease that is similar to this oil, the information stored on the magnetic disk will be protected against trace amounts of evaporated components. is unlikely to be destroyed.

【0059】また本実施例において、ダンピング材料は
金属またはセラミックなどの化学的に安定な、すなわち
一般雰囲気に対して化学反応を起さない固体物質と、も
ともと液体上の化学的に安定なオイルあるいはグリース
を使用しているので、ゴムのような経時的な分子構造の
変化が起りにくいため、常に安定な粘弾性特性を得るこ
とができる。
In this embodiment, the damping material is a chemically stable solid material such as metal or ceramic, that is, a solid material that does not cause a chemical reaction in the general atmosphere, and a chemically stable oil or oil that is originally liquid. Since grease is used, the molecular structure is less likely to change over time, unlike rubber, so stable viscoelastic properties can always be obtained.

【0060】そして本実施例におけるダンピング材料は
その材料組成から圧縮性をほとんど有さない。また粘土
のように形状を自由に変えることが容易であり、しかも
形状の復元性が小さいという特性を有する。
The damping material in this example has almost no compressibility due to its material composition. In addition, like clay, it is easy to change its shape freely, and its shape is less likely to be restored.

【0061】さらに本実施例におけるダンピング材料の
製造方法は、金属あるいはセラミックの微粒子の粒子間
に存在する微小な空隙に、高真空の条件下でフッ素系オ
イルまたはグリースを含浸させるため、フッ素系オイル
またはグリースの中に含まれる金属またはセラミックの
微粒子の密度を容易に高めることができ、ダンピング材
料としての流動性、液の保持性などを自由に設定するこ
とができる。
Furthermore, the method for producing the damping material in this example involves impregnating fluorinated oil or grease into the minute voids existing between fine metal or ceramic particles under high vacuum conditions. Alternatively, the density of metal or ceramic fine particles contained in the grease can be easily increased, and the fluidity, liquid retention, etc. of the damping material can be freely set.

【0062】本実施例の緩衝制振機構は、上記のような
ダンピング材料をシリンダ部材にピストン部材をはめあ
わせて形成される空間に充填し、シリンダ部材にピスト
ン部材の両者のスラスト方向の相対運動によるダンピン
グ材料のせん断変形時の粘性抵抗、またはシリンダ部材
とピストン部材の間に形成される狭い隙間をダンピング
材料が流動する際の粘性抵抗により高いダンピング効果
を得ることができる。
The damping damping mechanism of this embodiment fills the above-mentioned damping material into the space formed by fitting the piston member into the cylinder member, and prevents the cylinder member from moving relative to the piston member in the thrust direction. A high damping effect can be obtained due to the viscous resistance during shear deformation of the damping material due to the damping material, or the viscous resistance when the damping material flows through the narrow gap formed between the cylinder member and the piston member.

【0063】そして上記のような緩衝制振機構において
、ピストン部材にOリングのような密閉手段を設けるこ
とにより、フッ素系オイルまたはグリースの微量な蒸発
を防止することができる。
[0063] In the above-mentioned shock absorbing damping mechanism, by providing a sealing means such as an O-ring on the piston member, it is possible to prevent a small amount of fluorine oil or grease from evaporating.

【0064】[0064]

【発明の効果】本発明に係るダンピング材料は、高分子
高粘度の極めて蒸発しにくいフッ素系オイルあるいはグ
リースと、弾性あるいは剛性を主に有する金属あるいは
セラミックの微粒子から構成されているため、例えば磁
気ディスク装置のような精密機械に悪影響を与える蒸発
成分の発生を防止し、ほぼ粘性のみを有するかあるいは
粘性と弾性の割合を自由に調節することが可能で、常に
安定したダンピング効果を得ることができるという効果
がある。
Effects of the Invention The damping material according to the present invention is composed of a fluorine-based oil or grease that has high molecular weight and high viscosity and is extremely difficult to evaporate, and fine particles of metal or ceramic that mainly have elasticity or rigidity. It prevents the generation of evaporative components that adversely affect precision machines such as disk devices, and has almost only viscosity or can freely adjust the ratio of viscosity and elasticity, making it possible to always obtain a stable damping effect. There is an effect that it can be done.

【0065】また本発明に係るダンピング材料は、気圧
を大気圧以下に下げた状況で製造されるため、セラミッ
ク微粒子の粒子間に存在する空気を高分子フッ素系オイ
ルまたはグリースに完全に置換することができ、粒子間
に存在する空気による弾性を除去することができるとい
う効果がある。
Furthermore, since the damping material according to the present invention is manufactured under conditions where the pressure is lowered to below atmospheric pressure, the air existing between the ceramic fine particles can be completely replaced with polymeric fluorine-based oil or grease. This has the effect of eliminating elasticity due to air existing between particles.

【0066】上記の方法で製造されたダンピング材料を
使用した本発明に係る緩衝制振機構は、効果的に装置の
振動、衝撃を吸収することができるという効果がある。
The shock absorbing damping mechanism according to the present invention using the damping material manufactured by the above method has the advantage of being able to effectively absorb vibrations and shocks of the device.

【0067】そして上記緩衝制振機構を使用した磁気デ
ィスク装置は、装置内部で塵埃が発生することがなく、
ヘッドクラッシュ等の装置に悪影響を与える現象を防止
でき、さらに目標とするトラックに精密に位置決めでき
るという効果がある。
[0067] The magnetic disk drive using the above-mentioned damping vibration damping mechanism does not generate dust inside the drive.
It is possible to prevent phenomena such as head crashes that adversely affect the device, and furthermore, it is possible to precisely position the target track.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明のダンピング材料を緩衝制振機構に使用
した磁気ディスク装置のアクチュエータ部の例を示す図
である。
FIG. 1 is a diagram showing an example of an actuator section of a magnetic disk device using the damping material of the present invention in a damping damping mechanism.

【図2】図1に示したダンピング部分の他の実施例を示
す図である。
FIG. 2 is a diagram showing another embodiment of the damping portion shown in FIG. 1;

【図3】本発明のダンピング材料の構成を説明するため
の図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining the structure of the damping material of the present invention.

【図4】図2に示されたダンピング部の減衰特性を示す
図である。
FIG. 4 is a diagram showing the damping characteristics of the damping section shown in FIG. 2;

【図5】本発明のダンピング材料の製造方法を説明する
ための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining a method for producing a damping material of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…磁気ディスク、2…磁気ヘッド、3…支持アーム部
材、4…ヘッド保持部、5…ピストン部材、6…案内・
駆動部、7…ガイドローラ、8…ガイドレール、9…磁
気回路、10…マグネット、11…駆動用コイル、12
…予圧バネ、13…バネ押え、14…シリンダ状の穴、
15…ダンピング材、16…〇リング、17…首部、1
8…頭部、19…胴部、20…凹部、21…セラミック
微粒子、22…高分子フッ素系オイルまたはグリース、
23…オイル含浸容器、24…粒子保持容器、25…真
空ポンプ、26…排気用配管。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Magnetic disk, 2... Magnetic head, 3... Support arm member, 4... Head holding part, 5... Piston member, 6... Guide
Drive unit, 7... Guide roller, 8... Guide rail, 9... Magnetic circuit, 10... Magnet, 11... Drive coil, 12
...Preload spring, 13...Spring holder, 14...Cylindrical hole,
15...damping material, 16...〇ring, 17...neck, 1
8...Head, 19...Body, 20...Recess, 21...Ceramic fine particles, 22...Polymer fluorine oil or grease,
23... Oil impregnated container, 24... Particle holding container, 25... Vacuum pump, 26... Exhaust piping.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】金属あるいはセラミックの微粒子に、高分
子高粘度のフッ素系オイルあるいはグリースを含浸させ
たことを特徴とするダンピング材料。
1. A damping material characterized in that fine particles of metal or ceramic are impregnated with a polymeric, high-viscosity fluorine-based oil or grease.
【請求項2】密閉容器中に入れられた高分子高粘度のフ
ッ素系オイルあるいはグリース中に粒子保持容器に入れ
られた金属あるいはセラミックの微粒子を浸し、前期密
閉容器中の空気を強制的に排気し該密閉容器中を真空状
態に近づけることによって、前期金属あるいはセラミッ
クの微粒子間に高分子高粘度のフッ素系オイルあるいは
グリースを含浸させることを特徴とするダンピング材料
の製造方法。
[Claim 2] Fine metal or ceramic particles placed in a particle holding container are immersed in a high-molecular, high-viscosity fluorinated oil or grease placed in a sealed container, and the air in the sealed container is forcibly evacuated. A method for producing a damping material, which comprises impregnating high-molecular and high-viscosity fluorine-based oil or grease between fine metal or ceramic particles by bringing the inside of the closed container close to a vacuum state.
【請求項3】金属あるいはセラミックの微粒子に、高分
子高粘度のフッ素系オイルあるいはグリースを含浸させ
たダンピング材料と、略円筒状で一方に開口部を有する
シリンダ部材と、当該シリンダ部材に嵌合する略円柱状
のピストン部材を設け、前記シリンダ部材とピストン部
材を嵌合した際に形成される空間に前記ダンピング材料
を充填したことを特徴とする緩衝制振機構。
3. A damping material in which fine particles of metal or ceramic are impregnated with high molecular weight, high viscosity fluorine-based oil or grease, a cylinder member that is approximately cylindrical and has an opening on one side, and a damping material that is fitted into the cylinder member. A damping damping mechanism characterized in that a substantially cylindrical piston member is provided, and a space formed when the cylinder member and the piston member are fitted is filled with the damping material.
【請求項4】前記ピストン部材の円周面に凹部を設け、
当該凹部にOリングを嵌合させたことを特徴とする請求
項3記載の緩衝制振機構。
4. A recess is provided on the circumferential surface of the piston member,
4. The shock absorbing damping mechanism according to claim 3, wherein an O-ring is fitted into said recess.
【請求項5】前記ピストン部材は前記シリンダ部材との
間に微小な隙間を形成して嵌合する頭部と、該頭部の径
よりも小さな径の首部とを有することを特徴とする請求
項3または請求項4記載の緩衝制振機構。
5. The piston member has a head that fits into the cylinder member with a small gap therebetween, and a neck having a diameter smaller than the diameter of the head. The buffer damping mechanism according to claim 3 or claim 4.
【請求項6】磁気的に情報が記録される磁気ディスクと
、該磁気ディスクに対して情報を記録あるいは再生する
ための磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを支持する支持アー
ム部材と、該磁気ヘッドを支持した支持アーム部材が取
り付けられたヘッド保持部と、前記磁気ヘッドを前記磁
気ディスクの所望の位置に位置付ける案内・駆動部とを
有する磁気ディスク装置において、前記ヘッド保持部と
案内・駆動部との間には案内・駆動部で発生した振動を
前記磁気ヘッドに伝えないための緩衝制振機構を設け、
前記ダンピング材料を前記緩衝制振機構のダンピング材
として使用したことを特徴とする請求項1記載のダンピ
ング材料を用いた磁気ディスク装置。
6. A magnetic disk on which information is magnetically recorded, a magnetic head for recording or reproducing information on the magnetic disk, a support arm member for supporting the magnetic head, and a supporting arm member for supporting the magnetic head. In a magnetic disk drive having a head holding section to which a supported support arm member is attached, and a guide/drive section for positioning the magnetic head at a desired position on the magnetic disk, the head holding section and the guide/drive section may be connected to each other. A damping vibration damping mechanism is provided between the magnetic heads to prevent vibrations generated in the guide/drive section from being transmitted to the magnetic head.
2. A magnetic disk device using a damping material according to claim 1, wherein the damping material is used as a damping material of the damping damping mechanism.
JP2181391A 1991-02-15 1991-02-15 Damping material and production thereof and buffer vibration damping mechanism using the same material Pending JPH04261491A (en)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004506052A (en) * 2000-08-08 2004-02-26 セレボフ,ジョエル エル. Composition for trauma reduction and pressure relief
JP2018510944A (en) * 2015-03-25 2018-04-19 ソルベイ スペシャルティ ポリマーズ イタリー エス.ピー.エー. (Per) fluoropolyether polymers as damping fluids
GB2567002A (en) * 2017-09-30 2019-04-03 Delphi Int Operations Luxembourg Sarl Spring assembly operating in liquid

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