JPH04259860A - 気体の運動センサ - Google Patents

気体の運動センサ

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JPH04259860A
JPH04259860A JP4281991A JP4281991A JPH04259860A JP H04259860 A JPH04259860 A JP H04259860A JP 4281991 A JP4281991 A JP 4281991A JP 4281991 A JP4281991 A JP 4281991A JP H04259860 A JPH04259860 A JP H04259860A
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JP
Japan
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gas
electrode
ion
movement
sensor
Prior art date
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Application number
JP4281991A
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English (en)
Inventor
Shunsaku Nakauchi
俊作 中内
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Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd
Original Assignee
Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、気体の運動状態を検出
するセンサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、気体の全体的な一方向への運動の
センサとしては、各種の風向,風速計があり、気体の振
動運動のセンサとしては各種のマイクロホンがある。従
来の風速計は、流体の動きをプロペラのような固体の運
動に変換した後、その固体の運動を検出するという間接
方式のため、応答速度が遅く、平均風速を示すことはで
きても、瞬間的に変化する風の微細構造を明らかにする
ことはできなかった。又、極度に遅い数mm/sのよう
な微風の正確な検出にも、又、数mm/sから数10m
/s迄の広い範囲の測定もできない。
【0003】従来のマイクロホンは超低周波,0.1H
z〜10Hz位の所の音に対して振動板が応答しないの
で、非常に感度が悪かった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする問題
点は、従来の風速計が微風速から強風速迄の広い範囲の
風速に、早い応答で対応することができない点と、従来
のマイクロホンが超低周波の音に対応できない点である
【0005】
【課題を解決するための手段】従来の風速計やマイクロ
ホンでは流体の運動を、間接的方法によって検出してい
る所に問題があったので、本発明では流体をイオン化す
ることによって、流体自身をセンサの一部として、その
動きを電極を通して直接検出するという手段を採用した
。この方法の為に、非常に早い応答速度で、リアルタイ
ムに流体自身の動きを直接的にとらえることができる。
【0006】
【実施例】図1は、本発明装置の一実施例の簡略構造図
である。1はイオン発生電極(以下イオン電極という)
、2はイオン吸着電極(以下電極という)、3は加速電
源、4は抵抗、5は増幅器、6は出力端子、7はイオン
流、8は絶縁台である。
【0007】図1で、イオン電極1は陽電荷を発生する
放射性同位体とそれを支える絶縁物とで構成されている
。この放射性同位体にはα壊変をする同位体が適してい
る。自然のものではラドン(Ra226)、人工のもの
ではアメリシウム(Am241)等があげられる。
【0008】これらの放射性同位体は主としてα壊変を
行い、例えばアメリシウムの場合は殆どα壊変で、それ
以外に少しのγ壊変があるだけで、半減期は458年で
ある。これらの放射性同位体から放出されたα粒子は、
その周囲の気体を強くイオン化する作用がある。イオン
化された気体は加速電源3の作る加速電界の力で、電極
2に向って動く。これがイオン流7を形成する。この時
のイオンの速度は加速電源3の電圧によって変る。
【0009】電極2に至った気体イオンはそこで電荷を
放出するが、その電荷は抵抗4を通ってアースされる。 その時抵抗4の両端に現われる電圧は増幅器5によって
増幅されて、出力端6に現われる。この時気体が静止し
ていたとすると、僅かなイオン電流7がイオン電極1と
電極2の間に流れるだけで、且つその電流値は一定であ
る。人体にも悪影響を与えない程度の弱い放射性同位体
によるイオン電流は通常pA〜nAのオーダーである。
【0010】この時二つの電極1,2の間に流れるイオ
ン流7と交叉する方向に気体が運動すると、イオン化さ
れた気体粒子もその運動につれて動き、イオン流7の一
部は電極2から外れて、他の大地に流れる。その分だけ
抵抗4に流れる電流は減少し、従って出力端子6の出力
も減少する。
【0011】気体の運動速度と出力端子6の出力変動と
の間には、実験によると、7図に示したような関係があ
る。この図から明らかなように、出力端子6の出力変動
から気体の運動状況を知ることができる。
【0012】イオン流7の中のイオン粒子の運動速度と
、気体の運動速度と、本センサの感度との間にも密接な
関係がある。今、イオン流7と直角に気体が移動したと
し、その時電極2の端から端迄気体が移動する時間内に
、若しイオン粒子がイオン電極1から電極2迄飛来する
ことができなかった場合は、イオン粒子は総べて吹き飛
ばされて、電極2に到達することができない。所謂スケ
ールアウトの状態になる。
【0013】従って、気体の運動がはげしい時はイオン
粒子のスピードも早くしなければならない。その為に加
速電源3の電圧を気体の運動状況に応じて増減し、セン
サの感度を変化させる。即ち強い気体の運動に対しては
、加速電源3の電圧を強くして感度を低下させ、弱い気
体の運動に対しては、加速電圧を弱くして感度を向上さ
せる。そして最適のセンサの感度を得るようにする。 このことは本センサが広い範囲の気体の運動に対応でき
ることを意味している。
【0014】本センサを風速計として使用する時の被測
定気体粒子の運動速度は、mm/sから数10m/sの
間にある。本センサをマイクロホンとして使う場合の気
体粒子の運動速度は、60dbの音圧の時で、サイン波
形として、46μm/s(rm.s)80dbの音圧で
460μm/s(r.m.s)位である。即ちこの両者
で取扱う気体の速度に100〜1000倍の差がある。 これに従って加速電圧、電極の構造等に夫々の工夫が必
要である。
【0015】図2は電極2の実施例を示す平面図である
。図2で21と22は電極、23は絶縁性の溝、24は
電線、25は差動増幅器、26はイオン流7の当たる所
である。電極21と22は溝23によって絶縁されて二
つの島を形成して、この両者で電極2となる。
【0016】気体が静止している時にはイオン流7は、
点線で示した丸26のように中心部の溝に対して、対称
の位置に当たるようにする。この時電極21と22に流
れ込むイオン電流の値は同じで、従って差動増幅器25
の出力は0である。
【0017】今、気体が電極2の上を溝23と直角に、
図示した矢印の方向に動いたとすると、イオン流7は動
いて丸26は図上で上方向に動く。そうすると電極21
のイオン流は減少し、22のイオン流は増加する。この
為、差動増幅器25の入力に差を生じて出力を発生する
。この電極構造は、図1の単一電極より一般的には敏感
で良好なS/Nのセンサを得易い。
【0018】電源21,22の二分割方式では、気体の
運動方向によって感度が異なる。感度を最善にするには
、溝23の方向を気体の運動方向と直角をなすようにす
る。この作業を自動的に行う為の電極構造を次に示す。
【0019】図3は、電極2を多数の溝23で区切って
、島の数を増加させたものの構造示す。28は分割され
た電極である。電極2は全体としては円形であり、中心
を通る多数の溝23で中心から点対称に多くの電極28
に分けられる。イオン流7は、図2の場合と同じく、静
止気体の場合、電極2の中心に来るようになされる。
【0020】図3で、各電極28のイオン流の値を高速
でサンプリングする。例えば、高速A/D変換器で10
0μs位の間で全電極をサンプリングする。その時の最
高値を示す電極28と最低値を示す電極28を結ぶ線が
気体の移動方向を示している。従って、この線とほぼ直
角に近い溝で分けられた、二つのグループに電極を分け
、各グループの和の差を取ると、最高の感度が得られる
。この作業はソフトウェアによって構成される。
【0021】図2に示したイオン流7の当たる場所を示
す丸26の大きさは、風速計の場合は気体の移動距離が
大きいから、ある程度の大きさが必要であり、又、大き
くても充分な感度をもっている。しかし、マイクロホン
の場合は検出すべき気体の移動距離が極めて小さいから
、丸26は極度に小さくする必要があり、又、溝23も
狭くする必要がある。
【0022】図4はイオン流7をしぼる手段を示してい
る。図4で41は電子レンズである。イオン流7は電荷
をもった流れであるから、電子レンズによってこれを一
定の大きさに収束させることができる。電子レンズとし
ては静電レンズと電磁レンズが使用できる。マイクロホ
ンの場合はこのような手段が是非必要である。又、この
場合イオン流7が電極2の上から風によって吹き飛ばさ
れないような適当な風防の手段が必要なことは勿論であ
る。
【0023】図5は他の電極構造をもつ本発明の他の実
施例を示す図で、(a)は断面図、(b)は側面図であ
る。図5で51は円筒状構造体、52と53は電極、5
4は溝、55は同位体56の絶縁物の支持体である。図
5で電極52,53は絶縁性の溝54で、二つに分割さ
れた円筒形の電極で構造体51の内面にとりつけられ、
電極2を形成している。この二つの電極は、図示されて
いない差動増幅器の二つの入力端子に導かれる。放射性
同位体56は円筒51の中心で溝54に向い合った位置
に支持体55で支えられている。放射性同位体56は細
長い棒状のものが適している。
【0024】図5のセンサの作用は図2の場合と同じで
、これは電極2が円筒形である点が図2と違うだけであ
る。図5の矢印方向の気体の運動に応答する。図5のセ
ンサは、同位体56の形状を気体の流れに従って細長く
できるので、風速の変化と電気的な出力の変化の直線性
を得易く、又、応答範囲を広くとれる。又、図5の形式
は風の抵抗が少ないので、風にあまり擾乱を与えること
なく測定できるから、風速計として適している。
【0025】図6は、図5のセンサを風速計用にした時
の一実施例を示し、(a)は正面図、(b)は側面図で
、61は方向舵、62はベアリング、63は支持柱であ
る。 図6でセンサ51はベアリング62によって、支持柱6
3を中心として回転自在に支持されている。風が吹いて
くると、方向舵は風の向きと一致した時に最も風の抵抗
が少ないので風の向きとセンサ51の長手方向が一致す
るようにセンサ51を回転させる。
【0026】以上の説明では、気体をイオン化させるの
に、放射性同位体を使用するとしたが、これの代りに針
状電極等と、高圧電界によって気体のイオン化をしても
同じ目的を達することができる。しかし、この場合は電
圧を広範囲に変化させることができないから(低電圧で
はイオン化が起らない)、用途は風速計としての一部に
とどまる。即ち、放射性同位体を用いることによって、
用途を広範囲に広げられる。
【0027】
【発明の効果】測定しようとしている気体の一部をイオ
ン化することにより、被測定物そのものをセンサの一部
として取り込むことができる。これによって早い応答特
性をもって気体の運動を知ることができる。
【0028】測定時に被測定物に与える擾乱が非常に少
ないので、気体の運動の実体をほぼ正確に知ることがで
きる。
【0029】従来のマイクロホンの振動板のようなもの
を用いないので、超低周派迄の気体の運動をとらえるこ
とができる。
【0030】加速電源を可変にすることによって、広範
囲に感度を可変にすることができる。
【0031】吸着電極を二つに分割することによって、
高いS/Nと感度を得ることができる。
【0032】吸着電極を多数に分割することによって、
風速計としては風速と風向の双方を知ることができるし
、マイクロホンとしては音圧と音源の方向を自動的に検
出できる。そして、センサを常に最高感度の方向で使う
ことができる。
【0033】イオン流を電子レンズで収束することによ
って、高感度のセンサを得ることができる。
【0034】棒状の放射性同位体を円筒状の二つに分割
された電源でかこむことによって、風に与える擾乱の少
ない、測定範囲の広い風速計を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す簡略構造図である。
【図2】電極の一実施例を示す平面図である。
【図3】電極の他の実施例を示す平面図である。
【図4】イオン流を集束する手段を示す図である。
【図5】(a)は本発明の他の実施例を示す断面図であ
る。 (b)は同じくその側面図である。
【図6】(a)は図5のセンサを風速計に応用した実施
例の正面図である。 (b)は同じくその側面図である。
【図7】気体の運動と出力変動との関係を示す図である
【符号の説明】
1      イオン発生電極 2      イオン吸着電極 3      加速電源 4      抵抗 5      増幅器 6      出力端子 7      イオン流 21,22  イオン吸着電極 28      イオン吸着電極 41      電子レンズ 52,53  イオン吸着電極 56      放射性同位体

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  被測定気体の一部をイオン化するイオ
    ン発生電極と、イオン化した気体を吸着するイオン吸着
    電極と、イオン化した気体を該吸着電極に向って加速す
    る電源と、該吸着電極に流れるイオンによる電流値を検
    出する手段とからなることを特徴とする気体の運動セン
    サ。
  2. 【請求項2】  イオン発生電極に、放射性同位体を用
    いたことを特徴とする請求項1記載の気体の運動センサ
  3. 【請求項3】  イオン発生電極に針状電極を用いたこ
    とを特徴とする請求項1記載の気体の運動センサ。
  4. 【請求項4】  加速電源の電圧を可変としたことを特
    徴とする請求項1,2又は3記載の気体の運動センサ。
  5. 【請求項5】  イオン吸着電極を二つ以上の複数に分
    割された電極の集合体として構成したことを特徴とする
    請求項1,2,3又は4記載の気体の運動センサ。
  6. 【請求項6】  イオン化された気体を集束するための
    電子レンズを具えたことを特徴とする請求項1,2,3
    ,4又は5記載の気体の運動センサ。
  7. 【請求項7】  イオン吸着電極を円筒状に形成し、そ
    の中心に同心に、放射性同位体を設けたことを特徴とす
    る請求項1,2,3,4又は5記載の気体の運動センサ
JP4281991A 1991-02-15 1991-02-15 気体の運動センサ Pending JPH04259860A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017187334A (ja) * 2016-04-04 2017-10-12 株式会社デンソー 計測装置
JP2017194296A (ja) * 2016-04-18 2017-10-26 株式会社デンソー 計測装置
KR20190066139A (ko) * 2017-12-05 2019-06-13 은성훈 이온 검출 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017187334A (ja) * 2016-04-04 2017-10-12 株式会社デンソー 計測装置
JP2017194296A (ja) * 2016-04-18 2017-10-26 株式会社デンソー 計測装置
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