JPH0425901A - Optimum value retrieval system for control parameter - Google Patents

Optimum value retrieval system for control parameter

Info

Publication number
JPH0425901A
JPH0425901A JP2131976A JP13197690A JPH0425901A JP H0425901 A JPH0425901 A JP H0425901A JP 2131976 A JP2131976 A JP 2131976A JP 13197690 A JP13197690 A JP 13197690A JP H0425901 A JPH0425901 A JP H0425901A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inference
value
parameter
amount
fuzzy
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2131976A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Hayasaka
浩 早坂
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2131976A priority Critical patent/JPH0425901A/en
Publication of JPH0425901A publication Critical patent/JPH0425901A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Devices For Executing Special Programs (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)

Abstract

PURPOSE:To execute automatic tuning and to shorten tuning time by extracting an inference characteristic quantity from the width of a complicated signal and sequentially converging it to a parameter value and an optimum value by means of fuzzy inference. CONSTITUTION:A characteristic extraction part 51 detects peak values 13, and 14 from a control target value 11 and a process value 12 and both are compared. Then, a follow-up excess quantity 15 or a follow lack quantity 16 are calculated and it is outputted to an inference part 53 as the inference characteristic quantity 52. The inference part fuzzy-infers the transmitted inference characteristic quantity 52. A fuzzy evaluation value calculated in an inference antecedent part 55 is outputted to an inference precedent part 56 and the alteration quantity of a parameter is decided from the fuzzy evaluation value of the other rule and knowledge for deciding the parameter accumulated from the past, whereby the more satisfactory parameter value is outputted to PID operation parts 4a and 4b. Then, the operation is executed at every peak detection and it is sequentially converged to the optimum parameter value.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、PID制御の制御パラメータを自動的に決
定するオートチューニング方式に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an auto-tuning method for automatically determining control parameters for PID control.

(従来の技術) 第9図は例えは横河電機、エキスパート・セルフチュー
ニング調節計、Technical Informat
ion。
(Prior art) Figure 9 is an example of Yokogawa Electric, Expert Self-Tuning Controller, Technical Informat.
ion.

TT IB4co−01(1987,6)に示された従
来のオート・チューニングの機能ブロック図であり、図
において、(1)はPID制御の制御目標値(Sい、(
2)はプロセスより検出されるプロセス量、(3)はP
ID制御の操作圧力値、(4)はPID演算部、(5)
はプロセス、(6)はオート・チューニング部、(7)
はPID制御の制御パラメータである。
This is a functional block diagram of conventional auto-tuning shown in TT IB4co-01 (1987, 6). In the figure, (1) indicates the control target value (S, (
2) is the process amount detected from the process, and (3) is P
ID control operating pressure value, (4) is PID calculation unit, (5)
is the process, (6) is the auto tuning section, (7)
is a control parameter of PID control.

次に動作について第10図、第11図にて説明する。第
11図は制御目標値(1工)を設定変更した時の代表的
なプロセス量(12)の応答である。
Next, the operation will be explained with reference to FIGS. 10 and 11. FIG. 11 shows a typical response of the process quantity (12) when the control target value (1 process) is changed.

第11図の如く、制御目標値(11)が矩形に変形した
後に、プロセス量が時間的に遅れを持ちながら徐々に近
づいていく。この過渡波形は様々な形状を示すが、第1
0図の如く、“波形が振動的かつオーバーシュートが小
さければ比例ゲイン(Pパラメータ)を大きく、積分定
数(■パラメータ)を小さくする。”、“振動がなく、
収束が遅けれはPパラメータを小さく、■パラメータを
小さくする。”、“オーバーシュートが大きく、収束が
速ければPパラメータを大きく、!パラメータを大きく
する。”、“長周期振動で収束が遅ければPパラメータ
を小さく、■パラメータを大きくする。′という様にオ
ートチューニング部(6)では推論ルールに従ってパラ
メータ変更量を計算し、新しい制御パラメータ例をPI
D演算部(4)に対して設定し、適正の操作出力値(3
)をプロセス(5)に与えていた。
As shown in FIG. 11, after the control target value (11) is transformed into a rectangular shape, the process amount gradually approaches with a time delay. This transient waveform shows various shapes, but the first
As shown in Figure 0, "If the waveform is oscillatory and the overshoot is small, increase the proportional gain (P parameter) and decrease the integral constant (■ parameter).", "If there is no vibration,
If the convergence is slow, decrease the P parameter and decrease the ■parameter. ”, “If the overshoot is large and the convergence is fast, increase the P parameter! Increase the parameter. ”, “If convergence is slow due to long-period vibration, decrease the P parameter and increase the ■ parameter. ′, the auto-tuning unit (6) calculates the amount of parameter change according to the inference rules, and uses the new control parameter example as the PI.
Set for the D calculation section (4) and set the appropriate operation output value (3
) was given to process (5).

(発明が解決しようとする課題) 従来のオートチューニング方式は以上の様に、設定値変
更等に生じるステップ状変化等を中心に推論ルールが構
成されていたので、例えばPIDカスケード制御の下位
のPID制御目標値の様に複雑な形状を有する信号に対
しては、ルールが通用できず、推論が働かずに有効なチ
ューニングが行われないことがあった。この様な場合、
外乱として故意にステップ状信号を入力しルールを働か
せチューニングを行わねばならず、プラント立上げ時等
は、現地調整員が時間をかけて外乱を何度も入力する。
(Problem to be Solved by the Invention) As described above, in the conventional auto-tuning method, the inference rules were structured mainly around step changes that occur due to setting value changes, etc. Rules cannot be applied to signals with complex shapes such as control target values, and inference may not work and effective tuning may not be performed. In such a case,
Tuning must be performed by intentionally inputting a step signal as a disturbance and applying rules, and when starting up a plant, on-site coordinators spend time inputting disturbances many times.

また、プラント通常運転時のプロセス変動時には現地オ
ペレータが同じ様に外乱を入力するか或はオートチュー
ニングを作動させずマニュアルでチューニングを行う等
の問題点があった。
In addition, when there are process fluctuations during normal plant operation, there are problems in that the on-site operator inputs disturbances in the same way or manually performs tuning without activating auto-tuning.

この発明は、上記の様な問題点を解消する為になされた
もので、PIDカスケード制御下位PIDを始めとする
複雑な入力でも適切なチューニングが行えるとともに、
プラント立上げ時の時間短縮、プラント通常運転時のプ
ロセス変動に対しても適切なチューニングを行える制御
パラメータの最適値探索方式を得ることを目的とする。
This invention was made to solve the above-mentioned problems, and allows appropriate tuning even with complex inputs such as PID cascade control lower PID.
The purpose of this study is to obtain an optimum value search method for control parameters that can shorten the time required to start up a plant and perform appropriate tuning for process fluctuations during normal plant operation.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

この発明に係る制御パラメータの最適値探索方式は、制
御部に入力される制御目標値とプロセス量測定値のピー
ク値を比較し、制御目標値に対するプロセス量測定値の
追従行き過ぎ量、或は追従不足量をピーク値検田の都度
計算する特徴量検出部と、上記計算された追従行き過ぎ
量、或は追従不足量より制御部に与えられる現在の制御
パラメータの大小値のファジィ評価を行ない最適な制御
パラメータに収束させる推論部とを備えたものである。
The control parameter optimum value search method according to the present invention compares the control target value input to the control unit with the peak value of the process quantity measurement value, and determines whether the process quantity measurement value is overshooting or following the control target value. A feature detection unit calculates the amount of deficiency each time a peak value is inspected, and a fuzzy evaluation of the magnitude of the current control parameter given to the control unit is performed based on the amount of tracking overshoot or amount of tracking shortage calculated above. and an inference section that converges to the control parameters.

(作用) この発明における特徴量抽出部は、制御目標値およびプ
ロセス値の信号変化の中よりピーク値を検出し、時間遅
れを持ちつつ現れる両者のピーク値を比較し、追従行き
過ぎ量又は追従不足量を計算し、推論部では、上記計算
された追従行き過ぎ量、追従不足量から“現在のPパラ
メータの値は大きすぎる。′、又は“現在のPパラメー
タの値は小さすぎる”という様にファジィ評価を行い順
次最適なパラメータ値に値を近づけていくことで、複雑
な信号波形に対応でき、且つプラント通常運転でもプロ
セス変動等信号系に変化があるたびに現れる信号の乱れ
より、推論を行うことができ新しい最適値にパラメータ
を収束させることができる。
(Operation) The feature quantity extraction unit in this invention detects a peak value from among the signal changes of the control target value and the process value, compares the two peak values that appear with a time delay, and determines the amount of overshooting or undertracking. The inference section calculates a fuzzy result such as "The current value of the P parameter is too large.'" or "The current value of the P parameter is too small" based on the amount of tracking overshoot and amount of tracking undershoot calculated above. By performing evaluation and gradually bringing the values closer to the optimal parameter values, it is possible to deal with complex signal waveforms, and to make inferences based on signal disturbances that appear every time there are changes in the signal system such as process fluctuations even during normal plant operation. The parameters can be converged to new optimal values.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第1
図は本実施例における制御パラメータの最適値探索方式
に適用するIJDカスケード制御にオートチューニング
機能を付加したシステム構成図である。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1st
The figure is a system configuration diagram in which an auto-tuning function is added to the IJD cascade control applied to the control parameter optimum value search method in this embodiment.

図において、(la)、  (1b)は上位PID演算
部(4a)、下位PID演算部(4b)の制御目標値、
(2a)(2b)は制御対象(5)の上位プロセッサ(
5a)、下位プロセッサ(5b)から入力される操作量
、(3a)(3b)は上位PID演算部(1a)、下位
PID演算部(1b)より各オートチューニング部(6
) 、 (E)に出力される操作量である。
In the figure, (la) and (1b) are the control target values of the upper PID calculation unit (4a) and the lower PID calculation unit (4b),
(2a) and (2b) are the upper processor of the controlled object (5) (
5a), the operation amount input from the lower processor (5b), (3a) and (3b) are input from each auto-tuning unit (6) from the upper PID calculation unit (1a) and the lower PID calculation unit (1b).
) is the manipulated variable output to (E).

上記構成でなるカスケード制御系に対して付加された上
記オートチューニング部(5) 、 (5)において、
(51)は特徴量抽出部、(52)は特徴量抽出部(5
1)より出力される推論の為の特徴量、(53)はファ
ジィ推論部、(54)は推論に必要なルールやパラメー
タ・データの知識ベースである。(7a)。
In the auto-tuning section (5), (5) added to the cascade control system having the above configuration,
(51) is a feature extraction unit, and (52) is a feature extraction unit (5
1) is a feature amount for inference outputted from, (53) is a fuzzy inference unit, and (54) is a knowledge base of rules, parameters, and data necessary for inference. (7a).

(7b)はオートチューニング部の出力、すなわちPI
D演算部(4a)、  (4b)の制御パラメータであ
る。
(7b) is the output of the autotuning section, that is, the PI
These are control parameters for the D calculation units (4a) and (4b).

上記ファジィ推論部(53)は公知の如く第2図に示す
ように、知識ベース(54)、推論前件部(55)、推
論後件部(56)より構成されている。
As is well known, the fuzzy inference section (53) is composed of a knowledge base (54), an inference antecedent section (55), and an inference consequent section (56), as shown in FIG.

次に、上記構成に従って、本実施例の動作を第3図〜第
5図に示す複雑な制御信号を例にとって説明する。各図
において、(11)は制御目標値、(12)はプロセス
値、(13)は制御目標値のピーク値、(14)はプロ
セス値のピーク値、(15)は追従行き過ぎ量(EVO
V)、(16)は追従不足量(EVON) テする。
Next, the operation of this embodiment according to the above configuration will be explained by taking as an example the complicated control signals shown in FIGS. 3 to 5. In each figure, (11) is the control target value, (12) is the process value, (13) is the peak value of the control target value, (14) is the peak value of the process value, and (15) is the tracking overshoot amount (EVO).
V) and (16) are the follow-up shortage amount (EVON).

更に、第2図に従ってオートチューニング部の動作機能
を説明すると、制御目標値(11)、プロセス値(12
)は第2図の1,2として、特徴量抽出部(51)にて
常時観測される。特徴量抽出部(51)では制御目標値
(11) 、プロセス値(12)よりそれぞれピーク値
(13)、  (14)を検出し、両者の値を比較して
追従行き過ぎ量(15)又は追従不足量(16)を計算
し、推論特徴量(52)として推論部(53)に出力す
る。
Furthermore, to explain the operating function of the auto-tuning section according to Fig. 2, the control target value (11), the process value (12)
) are constantly observed by the feature extraction unit (51) as 1 and 2 in FIG. The feature extraction unit (51) detects peak values (13) and (14) from the control target value (11) and process value (12), respectively, and compares both values to determine the amount of tracking overshoot (15) or the amount of tracking The missing amount (16) is calculated and outputted to the inference section (53) as an inferred feature amount (52).

推論特徴量(52)は、行き過ぎ量(15)の場合は正
、不足量(16)の場合は負で表される。推論部では、
送られてくる推論特徴量(52)に対して、ファジィ評
価を行うが、評価の為に、第6図、第7図に示す様なメ
ンバシップ関数(21a) 、 (21b)を知識ベー
ス(54)の中に持っている推論特徴量(52)が行き
過ぎ量の場合は第6図の(21a)のメンバシップ関数
が評価用に使用され、不足量の場合は第7図の(21b
)メンバシップ関数が評価用に使用され、それらの評価
は第8図の如く行われ、検出れさた行き過ぎ量(15)
とメンバシップ関数(21a)を照合することにより、
ファジィ評価値(17)を算出する。ファジィ評価値は
(0,1)の範囲で計算され、例えば“今のPパラメー
タは大きすぎる”を(0,1)の範囲で表現するのであ
る。(不足量の場合は、“今のPパラメータは小さすぎ
る。”を表現する) この様に推論前件部(55)で算出されたファジィ評価
値は推論後件部(56)に出力され、他のルールのファ
ジィ評価値および過去から蓄積されているパラメータ決
定の為の知識より、パラメータの変更量を決定し、より
良いパラメータ値をPID演算部(4a)又は(4b)
に出力する。これらの操作をビーク検出の度に行ない、
順次最適なパラメータ値に収束させていく。
The inferred feature quantity (52) is expressed as positive when it is an overshooting amount (15), and negative when it is an insufficient amount (16). In the reasoning section,
Fuzzy evaluation is performed on the inferred feature quantity (52) that is sent. For the evaluation, membership functions (21a) and (21b) as shown in Figs. 6 and 7 are used in the knowledge base ( If the inference feature value (52) in 54) is an excessive amount, the membership function (21a) in Figure 6 is used for evaluation, and if it is an insufficient amount, the membership function (21b) in Figure 7 is used for evaluation.
) membership functions are used for evaluation, and their evaluation is performed as shown in Figure 8, and the amount of overshoot detected (15)
By comparing the membership function (21a) with
Calculate the fuzzy evaluation value (17). The fuzzy evaluation value is calculated in the range (0, 1), and for example, "the current P parameter is too large" is expressed in the range (0, 1). (In the case of a shortage, it is expressed as "The current P parameter is too small.") The fuzzy evaluation value calculated in the inference antecedent section (55) in this way is output to the inference consequent section (56), The PID calculation unit (4a) or (4b) determines the amount of parameter change based on fuzzy evaluation values of other rules and knowledge for determining parameters accumulated from the past, and calculates better parameter values.
Output to. Perform these operations every time a beak is detected,
Sequentially converge to the optimal parameter values.

なお、上記実施例では、ピーク検出時のルールを示した
が、上記ルール以外にも例えば、“制御目標値が大きく
変動しているにもかかわらずプロセス量が動かない場合
には今のPパラメータを大きく、Iパラメータを小さく
する。”或は、“制御目標値が信号上限値下限値に近く
ないのに、操作量がリミッタにかかってしまえばPパラ
メータを小さくする。”等のルールも合わせて推論部を
構成すると、信号が複雑な形状の場合のパラメータの最
適な値への収束がより確実になる。
In addition, in the above embodiment, the rules for peak detection are shown, but in addition to the above rules, for example, ``If the process amount does not change even though the control target value fluctuates greatly, the current P parameter and "increase the I parameter." or "If the manipulated variable is applied to the limiter even though the control target value is not close to the signal upper limit value and lower limit value, reduce the P parameter." By configuring the inference unit with the following, convergence to the optimum value of the parameter becomes more reliable when the signal has a complicated shape.

ファジィ推論は一般にルールを多数持ちそれらルールを
並列(同時)に動作させて推論出力を行う。このルール
群は、比較的追加、削除が容易であるのでルール間の論
理的整合性かとれさえすれば例えば代表的な設定変更(
ステップ外乱、ランプ外乱)等のルールも付加でき、よ
りよい制御を行うことができる。
Fuzzy inference generally has a large number of rules and operates these rules in parallel (simultaneously) to produce an inference output. This group of rules is relatively easy to add or delete, so as long as you check the logical consistency between the rules, for example, a typical setting change (
Rules such as step disturbance, ramp disturbance) can also be added, allowing better control.

(発明の効果) 以上のようにこの発明では、複雑な信号の巾より推論特
徴量を抽出し、それをファジィ推論により順次パラメー
タ値や最適値に収束させる様にしたので、例えばPrD
カスケード制御の下位PIDやその他多くの対象PID
のように、複雑な波形を呈する信号であってもオートチ
ューニングできることとなり、プラント立上げ時の制御
性の向上、チューニング時間の短縮化、プラント通常時
の制御対象プロセスのプロセス変動への対応が可能とな
る効果がある。
(Effects of the Invention) As described above, in this invention, inference features are extracted from the width of a complex signal, and they are sequentially converged to parameter values and optimal values by fuzzy inference.
Cascade control lower PID and many other target PIDs
This means that even signals with complex waveforms can be autotuned, making it possible to improve controllability during plant startup, shorten tuning time, and respond to process fluctuations in the controlled process during normal plant operation. This has the effect of

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図はこの発明の一実施例によるオートチューニング
方式を通用した制御パラメータの最適値探索方式のシス
テム構成図、第2図はオートチューニング部の推論フロ
ー図、第3図〜第5図は本オートチューニング方式の対
象とする制御信号の例を示す図、第6図〜第8図は推論
部でのファジィ評価の例を示す図、第9図は従来のオー
トチューニング方式の機能ブロック図、第10図は従来
の推論ルールの例を示す図、第11図はその推論ルール
が対象とする信号の例を示す図である。 (4)はpH)演算部、(13)は制御目標値のピーク
値、(14)はプロセス量のピーク値、(25)4f追
従行き過ぎ量、(16)は追従不足量、(17)はファ
ジィ評価値、(51)は特徴量抽出部、(52)は特徴
量、(53)はファジィ推論部。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分一 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 図 第 小鴫ト−−−−−−−−−−−−−−□比例帯図 大 第 図 手 続 補 正 書(自発)
Fig. 1 is a system configuration diagram of an optimum value search method for control parameters using an auto-tuning method according to an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an inference flow diagram of the auto-tuning section, and Figs. 6 to 8 are diagrams showing examples of fuzzy evaluation in the inference section. FIG. 9 is a functional block diagram of the conventional auto-tuning method. FIG. 10 is a diagram showing an example of a conventional inference rule, and FIG. 11 is a diagram showing an example of a signal targeted by the inference rule. (4) is the pH) calculation unit, (13) is the peak value of the control target value, (14) is the peak value of the process amount, (25) is the 4f follow-up overshoot amount, (16) is the follow-up shortage amount, and (17) is the Fuzzy evaluation value, (51) is a feature extraction unit, (52) is a feature, and (53) is a fuzzy inference unit. In addition, in each figure, the same reference numerals refer to the same or corresponding parts. Grand diagram procedural amendment (voluntary)

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 制御部に入力される制御目標値とプロセス量測定値のピ
ーク値を比較し、制御目標値に対するプロセス量測定値
の追従行き過ぎ量、或は追従不足量をピーク値検出の都
度計算する特徴量検出部と、上記計算された追従行き過
ぎ量、或は追従不足量より制御部に与えられる現在の制
御パラメータの大小値のファジィ評価を行ない最適な制
御パラメータに収束させる推論部とを備えたことを特徴
とする制御パラメータの最適値探索方式。
Feature value detection that compares the control target value input to the control unit and the peak value of the process quantity measurement value, and calculates the amount of overshooting or undertracking of the process quantity measurement value with respect to the control target value each time a peak value is detected. and an inference unit that performs fuzzy evaluation of the magnitude of the current control parameter given to the control unit based on the calculated tracking overshoot amount or tracking undershoot amount and converges to the optimal control parameter. Optimal value search method for control parameters.
JP2131976A 1990-05-22 1990-05-22 Optimum value retrieval system for control parameter Pending JPH0425901A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2131976A JPH0425901A (en) 1990-05-22 1990-05-22 Optimum value retrieval system for control parameter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2131976A JPH0425901A (en) 1990-05-22 1990-05-22 Optimum value retrieval system for control parameter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0425901A true JPH0425901A (en) 1992-01-29

Family

ID=15070631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2131976A Pending JPH0425901A (en) 1990-05-22 1990-05-22 Optimum value retrieval system for control parameter

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0425901A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007256262A (en) * 2006-03-24 2007-10-04 Tokyo Electric Power Co Inc:The Nondestructive inspection apparatus
JP2011226913A (en) * 2010-04-20 2011-11-10 Shimadzu Corp Testing machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007256262A (en) * 2006-03-24 2007-10-04 Tokyo Electric Power Co Inc:The Nondestructive inspection apparatus
JP2011226913A (en) * 2010-04-20 2011-11-10 Shimadzu Corp Testing machine

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5748467A (en) Method of adapting and applying control parameters in non-linear process controllers
EP1040392B1 (en) Method of predicting overshoot in a control system response
US4602326A (en) Pattern-recognizing self-tuning controller
US5166873A (en) Process control device
Tan et al. Gain scheduling: from conventional to neuro-fuzzy
JPH0425901A (en) Optimum value retrieval system for control parameter
CN108227476A (en) A kind of control method of AGV trolleies
JPH0610761B2 (en) Controller
Rivas-Echeverria et al. Neural network-based auto-tuning for PID controllers
JP2781886B2 (en) Control device and control method
JP3494772B2 (en) Fuzzy control device
JPS62241002A (en) Auto-tuning controller
JPH07261803A (en) Control method for multivariable interference system process
JPH03268103A (en) Automatic tuning controller
JPH0410101A (en) Periodical disturbance compensation type process controller
JPH0643905A (en) Process controller
JPH0447303A (en) Process identifying device
JPH05324007A (en) Process controller
JPS62241003A (en) Auto-tuning controller
JPS6250901A (en) Process control device
JPS63204401A (en) Pid controller
KR970005553B1 (en) Pid controller
CN116772284A (en) Heating furnace temperature control method
JP2915220B2 (en) Process control equipment
JPH03204001A (en) Process control method