JPH04258711A - Scale device - Google Patents

Scale device

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JPH04258711A
JPH04258711A JP1999291A JP1999291A JPH04258711A JP H04258711 A JPH04258711 A JP H04258711A JP 1999291 A JP1999291 A JP 1999291A JP 1999291 A JP1999291 A JP 1999291A JP H04258711 A JPH04258711 A JP H04258711A
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scale
holding member
fixed
contraction
base
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Junichi Sano
潤一 佐野
Yoshio Katsuta
勝田 芳雄
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Sony Magnescale Inc
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Abstract

PURPOSE:To reduce the measurement error and simplify the constitution of a scale device by reducing the mechanical extension or contraction of a scale which is caused by the mechanical extension or contraction due to the thermal expansion or thermal contraction of a scale holding member, in the scale device in which the scale holding member is installed on a base board having the standard surface of the machine tool and a scale is fixed on the scale holding member. CONSTITUTION:A scale holding member 31 is installed on the base board 1 of the machine tool, and when a scale 5 is installed on a scale holding member 31, only a part of the measurement effective length part 5A of the scale 5 is fixed by the scale holding member 31. Accordingly, even if the scale holding member 31 is mechanically extended or contracted by the thermal expansion or contraction, the mechanical extension or contraction of the scale 5 are suppressed to the min. value.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、工作機械の位
置決め用スケールに適用して好適なスケール装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scale device suitable for use as a positioning scale for machine tools, for example.

【0002】0002

【従来の技術】一般に、工作機械等の基準面側には目盛
の記録されたスケールが取り付けられ、一方、工具台側
には、上記スケールに対向する位置に検出ヘッドが取り
付けられている。そして、工具台側の移動に伴い、上記
検出ヘッドにより上記スケールに記録されている目盛が
読み取られて、その工具台側(工具)の相対移動量が分
かるように構成されている。工作機械の基準面側(以下
、基台という)にスケールを取り付ける従来の技術とし
て以下に示す4つの技術がある。第1の技術は、図10
に示すように、基台1にスケール保持部材2およびブラ
ケット3,4を固定し、このブラケット3,4とテンシ
ョン調整機構15とによりスケール5の長さ方向にテン
ションをかけてそのスケール5を基台1に固定する技術
である。この場合、スケール5は、測定精度が保証され
ている有効長部(以下、必要に応じて測定有効長部とい
う)5Aと保証されていない無効長部5Bとを有してお
り、その無効長部5Bが固定される。一方、有効長部5
Aはスケール保持部材2の上面2Aに載せられているだ
けで固定されてはいない。図10のA−A線一部断面を
図11に示す。図11に示すように、スケール5の幅方
向の端部はスケール保持部材2により位置が規制される
。この第1の技術において、スケール5の機械的な歪(
伸縮)は基台1の熱膨張・熱収縮による機械的な歪(伸
縮)に依存する。また、スケール5の精度は、テンショ
ン調整機構5によりそのテンションを調整してスケール
5の伸びを調整することにより確保される。第2の技術
は、図12に示すように、基台1にスケール保持部材1
0を固定し、かつそのスケール保持部材10にスケール
5を貼り付け固定する技術である。この第2の技術にお
いては、スケール5の機械的な伸縮がスケール保持部材
10の熱膨張・熱収縮による機械的な伸縮に依存する。 したがって、このスケール保持部材10の熱的特性を基
台1の熱的特性に一致させる必要がある。スケール保持
部材10の機械的な歪(外形が変形する歪)によりスケ
ール5が歪んで測定誤差を発生するおそれがあるからで
ある。そこで、一般には、スケール保持部材10の材質
として基台1と同材質の鉄材またはマルテンサイト系の
ステンレスを採用している。熱膨張係数を一致させるた
めである。第3の技術は、図13に示すように、ブラケ
ット4によりスケール5の一方の無効長部5Bのみを基
台1に固定する技術である。この例では、スケール5が
熱膨張・熱収縮により伸縮した場合、そのスケール5は
スケール保持部材2の上面2A上を長さ方向に滑って移
動することができる。また、第4の技術は、図14に示
すように、スケール5の一方の無効長部5Bを、直接、
基台1に接触させてブラケット12により固定したもの
である。これら第3および第4の技術によれば、スケー
ル5の熱的な伸縮はスケール5自体の熱的な伸縮に依存
する。
2. Description of the Related Art Generally, a scale with graduations recorded is attached to the reference surface of a machine tool, etc., and a detection head is attached to the tool stand at a position opposite to the scale. As the tool stand moves, the scale recorded on the scale is read by the detection head, so that the amount of relative movement of the tool stand (tool) can be determined. There are the following four conventional techniques for attaching a scale to the reference surface side (hereinafter referred to as the base) of a machine tool. The first technique is shown in Figure 10.
As shown in the figure, the scale holding member 2 and the brackets 3 and 4 are fixed to the base 1, and tension is applied in the length direction of the scale 5 by the brackets 3 and 4 and the tension adjustment mechanism 15 to move the scale 5 to the base. This is a technology that fixes it to the stand 1. In this case, the scale 5 has an effective length portion 5A whose measurement accuracy is guaranteed (hereinafter referred to as measurement effective length portion as necessary) and an invalid length portion 5B whose measurement accuracy is not guaranteed. The portion 5B is fixed. On the other hand, the effective length 5
A is only placed on the upper surface 2A of the scale holding member 2, but is not fixed. FIG. 11 shows a partial cross section taken along the line AA in FIG. 10. As shown in FIG. 11, the position of the end portion of the scale 5 in the width direction is regulated by the scale holding member 2. As shown in FIG. In this first technique, mechanical strain on scale 5 (
The expansion/contraction) depends on mechanical strain (expansion/contraction) due to thermal expansion/contraction of the base 1. Further, the accuracy of the scale 5 is ensured by adjusting the tension by the tension adjustment mechanism 5 to adjust the elongation of the scale 5. The second technique, as shown in FIG.
0 is fixed, and the scale 5 is attached and fixed to the scale holding member 10. In this second technique, the mechanical expansion and contraction of the scale 5 depends on the mechanical expansion and contraction of the scale holding member 10 due to thermal expansion and contraction. Therefore, it is necessary to match the thermal characteristics of the scale holding member 10 with those of the base 1. This is because there is a risk that the scale 5 will be distorted due to mechanical distortion of the scale holding member 10 (distortion that deforms the outer shape) and a measurement error may occur. Therefore, the scale holding member 10 is generally made of iron, which is the same material as the base 1, or martensitic stainless steel. This is to match the coefficients of thermal expansion. The third technique is a technique in which only one invalid length portion 5B of the scale 5 is fixed to the base 1 using a bracket 4, as shown in FIG. In this example, when the scale 5 expands or contracts due to thermal expansion or contraction, the scale 5 can slide on the upper surface 2A of the scale holding member 2 in the length direction. Moreover, as shown in FIG. 14, the fourth technique directly connects one invalid length portion 5B of the scale 5
It is fixed by a bracket 12 in contact with the base 1. According to these third and fourth techniques, the thermal expansion and contraction of the scale 5 depends on the thermal expansion and contraction of the scale 5 itself.

【0003】0003

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のスケール装置における4つの技術においては、次に
記載するような不都合がある。第1の技術(図10,図
11参照)では、スケール保持部材2はスケール5に機
械的な歪を与えることがないので、その材料はプラスチ
ック等の比較的軽量の材質を使用することができる。反
面、構成が複雑であり、また、スケール5の精度出しに
要する時間が長くかかるという問題がある。第2の技術
(図12参照)では、スケール保持部材10を比較的比
重の大きい鉄あるいはステンレス等、基台1と熱的特性
が同一の材料を使用することが必要になるので、そのス
ケール保持部材10の重量を原因として、基台1を有す
る工作機械(図示せず)が変形して工作機械自体の精度
が悪化するという問題がある。また、第3および第4の
技術(図13,図14参照)では、スケール5の一端の
みを固定しているため、スケール5の熱的な伸縮がスケ
ール5自体により決定されるという利点を有する。反面
、無効長部5Bの一端のみを固定しているため、その固
定点を基準として、スケール5が伸縮するため、スケー
ル5と基台1との間に熱膨張係数の僅かな差があっても
、固定されていない有効長部5Aとそれに対応する基台
1との位置ずれが比較的に大きくなることから、検出ヘ
ッド(図示せず)による読み取り精度が低下し、結局、
工作機械による加工精度の低下を招くという不都合があ
る。その理由は、一般に、スケール5の有効長部5Aが
、工作機械のX,YおよびZ軸等の中央(例えば、縦型
フライス盤においては、移動テーブル上のX軸に取り付
けられるスケールの長さ方向中央部がその縦型フライス
盤の主軸頭の軸線上)に合わせて取り付けられるからで
ある。
However, the four techniques of the conventional scale apparatus described above have the following disadvantages. In the first technique (see FIGS. 10 and 11), the scale holding member 2 does not apply mechanical strain to the scale 5, so a relatively lightweight material such as plastic can be used as the material. . On the other hand, there are problems in that the configuration is complicated and it takes a long time to obtain the accuracy of the scale 5. In the second technique (see Fig. 12), it is necessary to use a material with the same thermal characteristics as the base 1 for the scale holding member 10, such as iron or stainless steel, which has a relatively large specific gravity. There is a problem in that the machine tool (not shown) having the base 1 is deformed due to the weight of the member 10, and the accuracy of the machine tool itself is deteriorated. Furthermore, in the third and fourth techniques (see FIGS. 13 and 14), only one end of the scale 5 is fixed, so there is an advantage that the thermal expansion and contraction of the scale 5 is determined by the scale 5 itself. . On the other hand, since only one end of the invalid length portion 5B is fixed, the scale 5 expands and contracts with respect to that fixed point, so there is a slight difference in the coefficient of thermal expansion between the scale 5 and the base 1. Also, since the positional deviation between the unfixed effective length portion 5A and the corresponding base 1 becomes relatively large, the reading accuracy by the detection head (not shown) decreases, and eventually,
This has the disadvantage of causing a decrease in the machining accuracy of the machine tool. The reason for this is that the effective length 5A of the scale 5 is generally located at the center of the X, Y, and Z axes of the machine tool (for example, in the longitudinal direction of the scale attached to the X axis on the movable table in a vertical milling machine). This is because the center part is installed in line with the axis of the spindle head of the vertical milling machine.

【0004】本発明はこのような課題に鑑みてなされた
ものであり、比較的簡単な構成で、しかも、スケールの
熱的歪を原因とする測定精度の低下を比較的に防止する
ことのできるスケール装置を提供することを目的とする
The present invention has been made in view of these problems, and has a relatively simple configuration, and can relatively prevent a decrease in measurement accuracy caused by thermal distortion of the scale. The purpose is to provide a scale device.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明スケ
ール装置は、例えば、図1に示すように、目盛が形成さ
れた方向の端部を除く位置に測定有効長部5Aが形成さ
れたスケール5と、このスケール5を載せて保持するス
ケール保持部材31とを備え、上記スケール5の測定有
効長部5Aの一箇所のみを上記スケール保持部材31で
固定するようにしたものである。請求項2記載の発明ス
ケール装置は、例えば、図1に示すように、固定された
一箇所がスケール保持部材31の略中央部31Mである
ようにしたものである。請求項3記載の発明スケール装
置は、例えば、図8に示すように、スケール39と、こ
のスケール39を載せて保持する少なくとも3つのスケ
ール保持部材44〜46とを備え、上記少くとも3つの
スケール保持部材44〜46は一列に配置され、かつそ
のスケール39をスケール保持部材44〜46の中、基
台1の基準位置21に固定されたスケール保持部材45
にのみ固定するようにしたものである。
[Means for Solving the Problems] The scale device according to the invention as set forth in claim 1 has, for example, as shown in FIG. The scale 5 includes a scale 5 and a scale holding member 31 on which the scale 5 is placed and held, and only one part of the measurement effective length 5A of the scale 5 is fixed by the scale holding member 31. In the scale device according to the second aspect of the invention, for example, as shown in FIG. 1, one fixed location is approximately the center portion 31M of the scale holding member 31. The scale device according to the third aspect of the invention includes, for example, a scale 39 and at least three scale holding members 44 to 46 on which the scale 39 is placed and held, as shown in FIG. The holding members 44 to 46 are arranged in a line, and the scale 39 is fixed to the scale holding member 45 fixed at the reference position 21 of the base 1 among the scale holding members 44 to 46.
It was designed to be fixed only to

【0006】[0006]

【作用】請求項1記載の発明によれば、スケールの測定
有効長部5Aの一箇所のみをスケール保持部材31で固
定するようにしたので、構成が簡単になり、しかも測定
誤差の少ないスケール装置が得られる。請求項2記載の
発明によれば、スケールの測定有効長部5Aの一箇所の
みをスケール保持部材31の略中央部31Mで固定する
ようにしたので、構成が簡単になり、しかも測定誤差が
一層少ないスケール装置が得られる。請求項3記載の発
明によれば、少なくとも3つのスケール保持部材44〜
46でスケール39を保持し、かつ上記スケール保持部
材44〜46の中、中央のスケール保持部材45のみに
よりスケール39を固定するようにしたので、スケール
39が比較的安定に保持でき、かつ測定誤差の少ないス
ケール装置が得られる。
[Function] According to the invention as claimed in claim 1, since only one point of the effective measurement length portion 5A of the scale is fixed by the scale holding member 31, the structure is simplified and the scale device has less measurement error. is obtained. According to the invention as claimed in claim 2, since only one point of the effective measurement length portion 5A of the scale is fixed at the approximately central portion 31M of the scale holding member 31, the configuration is simplified and the measurement error is further reduced. Less scale equipment is obtained. According to the invention set forth in claim 3, at least three scale holding members 44-
46, and the scale 39 is fixed only by the central scale holding member 45 among the scale holding members 44 to 46, so that the scale 39 can be held relatively stably and there is no measurement error. It is possible to obtain a scale device with less.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明スケール装置の一実施例につい
て図面を参照して説明する。なお、以下の図面において
上述の図10〜図14に示したものに対応するものには
同一の符号をつけている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the scale apparatus of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following drawings, the same reference numerals are given to the parts corresponding to those shown in FIGS. 10 to 14 described above.

【0008】A.第1の実施例 図2はスケール5をスケール保持部材31に装着したス
ケール装置を示し、図1は図2のように構成されたスケ
ール装置を工作機械の基準面を有する基台1に取り付け
た状態の概略的な断面構成を示している。図1において
、21は基台1のX軸方向の基準位置であり、基台1は
この基準位置21を中央位置(X軸の原点)としてX軸
方向に移動する。したがって、スケール5にはこのX軸
と直交する幅方向に目盛が形成されている。なお、スケ
ール5としては、磁気スケール、光学式スケールおよび
容量式スケール等を採用することができる。図3は基準
位置21に沿ったA−A線断面図である。図1および図
3から理解されるように本実施例において、スケール5
は、測定精度が保証されている有効長部5A(以下、単
に有効長部あるいは測定有効長部という)のX軸方向の
略中央位置5Mにおいて、接着材22によって、スケー
ル保持部材31のX軸方向の略中央位置31Mに固定さ
れ、スケール保持部材31はそのX軸方向の略中央位置
31Nにおいて、接着材23により基台1に固定される
A. First Embodiment FIG. 2 shows a scale device in which a scale 5 is attached to a scale holding member 31, and FIG. 1 shows a scale device configured as shown in FIG. 2 attached to a base 1 having a reference surface of a machine tool. A schematic cross-sectional configuration of the state is shown. In FIG. 1, 21 is a reference position of the base 1 in the X-axis direction, and the base 1 moves in the X-axis direction with this reference position 21 as the center position (origin of the X-axis). Therefore, scales are formed on the scale 5 in the width direction perpendicular to the X-axis. Note that as the scale 5, a magnetic scale, an optical scale, a capacitive scale, etc. can be adopted. FIG. 3 is a sectional view taken along the line A-A along the reference position 21. As understood from FIGS. 1 and 3, in this example, scale 5
The X-axis of the scale holding member 31 is fixed by the adhesive 22 at approximately the center position 5M in the X-axis direction of the effective length portion 5A (hereinafter simply referred to as effective length portion or measurement effective length portion) where measurement accuracy is guaranteed. The scale holding member 31 is fixed to the base 1 by an adhesive 23 at a substantially central position 31N in the X-axis direction.

【0009】この場合、上述の実施例によれば、スケー
ル5の測定精度が保証されていない無効長部5Bではな
く、測定有効長部5Aの中、一箇所(この例では、中央
位置5M)のみをスケール保持部材31の略中央位置3
1Mで固定するようにしたので、従来技術で説明したよ
うなブラケットが不要になり、構成が比較的簡単になる
と同時に測定有効長部5Aの部分に熱膨張の基準を設定
できるという効果が得られる。また、スケール保持部材
31の略中央位置31Mを基台1の基準位置21に合わ
せ、中央位置31Nのみを基台1に固定したので、スケ
ール5と基台1との熱膨張係数とを合致させておくこと
により、スケール保持部材31の材質の熱膨張係数はほ
とんど無関係になる。このため、スケール保持部材31
を、例えば、アルミ材、プラスチック材等の比較的軽量
な材質で作ることが可能になり、スケール保持部材31
の重量を原因とする基台1の機械的な歪の発生を抑制す
ることができて、測定誤差の少ないスケール装置が得ら
れる。なお、図1例において、スケール5は接着材22
によりスケール保持部材31に固定するようにしている
が、固定方法は、このように接着材による方法に限らな
い。例えば、図4に示すように、かしめ部26により固
定してもよく、図5に示すように、リベット27により
固定してもよい。かしめ部26により固定する場合には
、図4に示すように、スケール保持部材27の幅方向の
両側に長さ方向に凸部28と台座部33を形成しておき
、その凸部28間の台座部33にスケール5を載せる。 そして、スケール5の測定有効長部5Aの側面に対向す
る凸部28の一箇所を変形させて、かしめ部26を形成
すればよい。一方、リベット27により固定する場合に
は、スケール保持部材29の幅方向の両側に長さ方向に
溝部30と台座部34を形成しておき、その溝部30間
の台座部34にスケール5を載せる。そして、スケール
5の測定有効長部5Aの側面に対向する溝部30の一箇
所にリベット27を打ち込んで固定すればよい。凸部2
8および溝部30は、スケール保持部材27,29の材
料として、アルミ材を使用した場合には、押しだし加工
により容易に形成することができる。なお、スケール保
持部材27,29の材料としては、アルミ材に限らず、
プラスチック材でもよい、プラスチック材を使用した場
合には成形加工により凸部28および溝部30を容易に
形成することができる。プラスチック材を使用した場合
には、熱等による変形によりかしめ部26を形成できる
。また、図4および図5においては、スケール5として
磁気スケールを採用しており、この磁気スケールを採用
した場合には、鉄系のスケール5またはプラスチック磁
石よりなるスケール5が、マルテンサイト系のステンレ
スである強磁性体の薄板36に一体的に固定され、この
薄板36がかしめ部26またはリベット27によりスケ
ール保持部材27,29に固定される。
In this case, according to the above embodiment, the measurement accuracy of the scale 5 is not guaranteed at the invalid length section 5B, but at one location in the effective measurement length section 5A (in this example, the center position 5M). only at approximately center position 3 of scale holding member 31
Since it is fixed at 1M, there is no need for a bracket as described in the prior art, and the configuration is relatively simple, and at the same time, the thermal expansion standard can be set at the measurement effective length section 5A. . In addition, since the approximate center position 31M of the scale holding member 31 is aligned with the reference position 21 of the base 1, and only the center position 31N is fixed to the base 1, the thermal expansion coefficients of the scale 5 and the base 1 are matched. By doing so, the coefficient of thermal expansion of the material of the scale holding member 31 becomes almost irrelevant. For this reason, the scale holding member 31
For example, the scale holding member 31 can be made of a relatively lightweight material such as aluminum or plastic.
It is possible to suppress the occurrence of mechanical distortion of the base 1 due to the weight of the scale device, and thus a scale device with less measurement error can be obtained. In addition, in the example of FIG. 1, the scale 5 is the adhesive material 22.
Although the scale holding member 31 is fixed to the scale holding member 31, the fixing method is not limited to the method using an adhesive as described above. For example, as shown in FIG. 4, it may be fixed using a caulking portion 26, or as shown in FIG. 5, it may be fixed using a rivet 27. When fixing by caulking part 26, as shown in FIG. The scale 5 is placed on the pedestal portion 33. Then, the caulked portion 26 may be formed by deforming one location of the convex portion 28 facing the side surface of the measurement effective length portion 5A of the scale 5. On the other hand, when fixing with rivets 27, grooves 30 and pedestals 34 are formed in the length direction on both sides of the scale holding member 29 in the width direction, and the scale 5 is placed on the pedestals 34 between the grooves 30. . Then, a rivet 27 may be driven into one location of the groove portion 30 facing the side surface of the measurement effective length portion 5A of the scale 5 to fix it. Convex part 2
8 and the groove 30 can be easily formed by extrusion when aluminum is used as the material for the scale holding members 27 and 29. Note that the material for the scale holding members 27 and 29 is not limited to aluminum.
A plastic material may be used, and when a plastic material is used, the convex portion 28 and the groove portion 30 can be easily formed by molding. When a plastic material is used, the caulked portion 26 can be formed by deformation due to heat or the like. In addition, in FIGS. 4 and 5, a magnetic scale is used as the scale 5. When this magnetic scale is used, the iron-based scale 5 or the scale 5 made of a plastic magnet is replaced by a martensitic stainless steel scale. This thin plate 36 is fixed to the scale holding members 27 and 29 by the caulking portion 26 or the rivet 27.

【0010】B.第2の実施例 図6〜図8は本発明の第2の実施例の構成を示す図であ
る。この例では、比較的長尺なスケール39を載せるた
めに、その長尺なスケール39の長さ方向に一列に5個
のスケール保持部材43(53)〜47(57)(図8
参照)を配置し、それら5個のスケール保持部材43(
53)〜47(57)をそれぞれ基台1に固定している
。なお、スケール保持部材の数は5個に限らず、3個,
4個,6個,7個等、少なくとも3個あればよい。 また、これら5個のスケール保持部材43(53)〜4
7(57)は、1本の比較的長いスケール保持部材を後
述する間隔で幅方向に切断することにより容易に準備す
ることができる。5個のスケール保持部材43(53)
〜47(57)の対向する面間には隙間48が設けられ
ている。基台1に固定されているスケール保持部材43
(53)〜47(57)に熱的歪(機械的伸縮)が発生
しても、そのスケール保持部材43(53)〜47(5
7)が一本で構成されている場合に比較して歪を低減す
るためである。隙間48の長さは一定である必要はない
B. Second Embodiment FIGS. 6 to 8 are diagrams showing the configuration of a second embodiment of the present invention. In this example, in order to place a relatively long scale 39, five scale holding members 43 (53) to 47 (57) are arranged in a line in the length direction of the long scale 39 (FIG.
), and place these five scale holding members 43 (
53) to 47 (57) are each fixed to the base 1. Note that the number of scale holding members is not limited to 5, but may be 3,
At least 3 pieces, such as 4 pieces, 6 pieces, 7 pieces, etc., are sufficient. In addition, these five scale holding members 43 (53) to 4
7 (57) can be easily prepared by cutting one relatively long scale holding member in the width direction at intervals described below. 5 scale holding members 43 (53)
A gap 48 is provided between the opposing surfaces of 47 (57). Scale holding member 43 fixed to base 1
(53) to 47 (57) even if thermal strain (mechanical expansion and contraction) occurs, the scale holding members 43 (53) to 47 (57)
7) This is to reduce distortion compared to the case where only one wire is used. The length of the gap 48 does not need to be constant.

【0011】この第2の実施例においても、基台1の基
準位置21(図8参照)に固定されたスケール保持部材
45の一箇所のみに設けられたかしめ部50(図6参照
)により長尺なスケール39を固定するようにしている
。また、基台1の基準位置21に固定された中央のスケ
ール保持部材55の一箇所のみにリベット51(図7参
照)を打つことにより長尺なスケール39を固定するよ
うにしている。したがって、長尺なスケール39は、固
定された中央のスケール保持部材45(55)以外の他
のスケール保持部材43(53),44(54),46
(56),47(57)に載っているだけである。言い
換えれば、他のスケール保持部材43(53),44(
54),46(56),47(57)はガイド部材とし
て機能しているだけである。なお、図6〜図8において
は、スケール39として磁気スケールを採用しており、
この磁気スケールを採用した場合には、鉄系のスケール
39またはプラスチック磁石よりなるスケール39が、
マルテンサイト系のステンレスである強磁性体の薄板5
2に一体的に固定され、この薄板52がかしめ部50ま
たはリベット51によりスケール保持部材45(55)
に固定されている。この場合、図8に示すように、スケ
ール保持部材45(55)の長さL3を、熱的歪が許容
できる比較的短い長さに選択しておく(一般には、長さ
L3は、他のスケール保持部材43(53),44(5
4),46(56),47(57)の長さL1,L2,
L4,L5のいずれの長さよりも短くなる)。このよう
に構成すると、中央のスケール保持部材45(55)の
材質のみを基台1の材質と略同一な熱膨張係数を有する
材質に選択しさえすれば、このスケール装置における測
定誤差を少なくすることができる。また、この第2の実
施例においても、長尺なスケール39の取り付け構造は
比較的に簡単なものになる。
[0011] Also in this second embodiment, the length is increased by the caulking portion 50 (see Fig. 6) provided only at one location of the scale holding member 45 fixed at the reference position 21 (see Fig. 8) of the base 1. A large scale 39 is fixed. Further, the elongated scale 39 is fixed by driving a rivet 51 (see FIG. 7) only at one location of the central scale holding member 55 fixed to the reference position 21 of the base 1. Therefore, the long scale 39 is attached to scale holding members 43 (53), 44 (54), 46 other than the fixed central scale holding member 45 (55).
(56), 47 (57). In other words, the other scale holding members 43 (53), 44 (
54), 46 (56), and 47 (57) only function as guide members. In addition, in FIGS. 6 to 8, a magnetic scale is used as the scale 39,
When this magnetic scale is adopted, the iron-based scale 39 or the scale 39 made of a plastic magnet will
Thin plate 5 of ferromagnetic material, which is martensitic stainless steel
2, and this thin plate 52 is fixed to the scale holding member 45 (55) by the caulking part 50 or the rivet 51.
Fixed. In this case, as shown in FIG. 8, the length L3 of the scale holding member 45 (55) is selected to be a relatively short length that allows thermal distortion (generally, the length L3 is Scale holding members 43 (53), 44 (5
4), 46 (56), 47 (57) lengths L1, L2,
(The length will be shorter than either L4 or L5). With this configuration, measurement errors in this scale device can be reduced by selecting only the material of the central scale holding member 45 (55) that has a coefficient of thermal expansion substantially the same as that of the material of the base 1. be able to. Also in this second embodiment, the mounting structure for the long scale 39 is relatively simple.

【0012】図9は、上述の第1および第2の実施例に
おいて、例えば、図4に示すスケール保持部材27の幅
方向両側部の上側にオーバーハング部59を設けスケー
ル保持部材62とし、このオーバーハング部59とスケ
ール5の表面49間にオーステナイト系の非磁性体の薄
板60を装着したものである。これによりスケール5が
保護され、スケール装置の耐久性が向上する。また、ス
ケール5がかしめ部26(図4参照)以外の部分におい
ても確実に保持される。
FIG. 9 shows that in the first and second embodiments described above, for example, an overhang portion 59 is provided above both sides in the width direction of the scale holding member 27 shown in FIG. 4 to form a scale holding member 62. A thin plate 60 of austenitic non-magnetic material is attached between the overhang portion 59 and the surface 49 of the scale 5. This protects the scale 5 and improves the durability of the scale device. Furthermore, the scale 5 is reliably held in portions other than the caulked portion 26 (see FIG. 4).

【0013】なお、本発明は上述の実施例に限らず本発
明の要旨を逸脱することなく種々の構成を採り得ること
はもちろんである。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it goes without saying that various configurations can be adopted without departing from the gist of the present invention.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明スケール装置によれば、スケールの測定有効長部の一
箇所のみをスケール保持部材で固定するようにしたので
、構成が簡単になり、しかも熱的な要因等による測定誤
差が少なくすることができるという効果が得られる。 また、スケールとスケール保持部材とはその全面が固定
されていないことからスケール保持部材の材料の選択範
囲が比較的に広がるという利点も得られる。請求項2記
載の発明スケール装置によれば、スケールの測定有効長
部の一箇所のみをスケール保持部材の略中央部で固定す
るようにしたので、構成が簡単になり、しかも熱的な要
因等による測定誤差が一層少なくできるという効果が得
られる。また、スケールとスケール保持部材とはその全
面が固定されていないことからスケール保持部材の材料
の選択範囲が比較的に広がるという利点も得られる。請
求項3記載の発明スケール装置によれば、少なくとも3
つのスケール保持部材でスケールを保持し、かつ上記ス
ケール保持部材の中、基台の基準位置に固定されたスケ
ール保持部材のみによりスケールを固定するようにした
ので、スケールが比較的安定に保持でき、かつ熱的な要
因等による測定誤差が少なくできるという効果が得られ
る。また、スケールは基台の基準位置に固定されたスケ
ール保持部材のみにより固定され他のスケール保持部材
には載せられていないことから、この他のスケール保持
部材の材料の選択範囲が比較的に広がるという利点も得
られる。
As explained above, according to the scale device of the invention as set forth in claim 1, only one part of the effective measurement length of the scale is fixed by the scale holding member, so the configuration is simplified. Moreover, the effect of reducing measurement errors due to thermal factors etc. can be obtained. Furthermore, since the scale and the scale holding member are not fixed on their entire surface, there is an advantage that the range of materials for the scale holding member can be selected is relatively wide. According to the scale device of the invention as set forth in claim 2, since only one part of the effective measurement length of the scale is fixed at approximately the center of the scale holding member, the configuration is simplified and furthermore, thermal factors etc. This has the effect of further reducing measurement errors due to Furthermore, since the scale and the scale holding member are not fixed on their entire surface, there is an advantage that the range of materials for the scale holding member can be selected is relatively wide. According to the invention scale device according to claim 3, at least 3
The scale is held by two scale holding members, and the scale is fixed only by the scale holding member fixed at the reference position of the base among the scale holding members, so the scale can be held relatively stably. Moreover, the effect of reducing measurement errors due to thermal factors etc. can be obtained. In addition, since the scale is fixed only by the scale holding member fixed at the reference position of the base and is not placed on other scale holding members, the range of materials to be selected for other scale holding members is relatively wide. You can also get this advantage.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明によるスケール装置の一実施例の構成を
示す断線図である。
FIG. 1 is a cross-sectional diagram showing the configuration of an embodiment of a scale device according to the present invention.

【図2】図1に示すスケール装置の外観構成を示す斜視
図である。
FIG. 2 is a perspective view showing the external configuration of the scale device shown in FIG. 1;

【図3】図1に示すスケール装置のA−A線断面図であ
る。
FIG. 3 is a sectional view taken along line A-A of the scale device shown in FIG. 1;

【図4】本発明によるスケール装置の他の実施例の構成
を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of another embodiment of the scale device according to the present invention.

【図5】本発明によるスケール装置のさらに他の実施例
の構成を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing the configuration of still another embodiment of the scale device according to the present invention.

【図6】本発明によるスケール装置のさらに他の実施例
の構成を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing the configuration of still another embodiment of the scale device according to the present invention.

【図7】本発明によるスケール装置のさらに他の実施例
の構成を示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing the configuration of still another embodiment of the scale device according to the present invention.

【図8】図6および図7の長さ方向の断面図である。FIG. 8 is a longitudinal cross-sectional view of FIGS. 6 and 7;

【図9】本発明によるスケール装置のさらに他の実施例
の構成を示す断面図である。
FIG. 9 is a sectional view showing the configuration of still another embodiment of the scale device according to the present invention.

【図10】従来の技術によるスケール装置の構成を示す
断面図である。
FIG. 10 is a sectional view showing the configuration of a scale device according to a conventional technique.

【図11】図10に示すスケール装置のA−A線断面図
である。
11 is a sectional view taken along line AA of the scale device shown in FIG. 10. FIG.

【図12】他の従来の技術によるスケール装置の構成を
示す断面図である。
FIG. 12 is a sectional view showing the configuration of a scale device according to another conventional technique.

【図13】さらに他の従来の技術によるスケール装置の
構成を示す断面図である。
FIG. 13 is a sectional view showing the configuration of a scale device according to still another conventional technique.

【図14】さらに他の従来の技術によるスケール装置の
構成を示す断面図である。
FIG. 14 is a sectional view showing the configuration of a scale device according to still another conventional technique.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

5  スケール 5A  測定有効長部 31  スケール保持部材 34,36  スケール保持部材 45,55  基台の基準位置に固定されたスケール保
持部材 39  長尺なスケール
5 Scale 5A Measurement effective length portion 31 Scale holding members 34, 36 Scale holding members 45, 55 Scale holding member 39 fixed at the reference position of the base Long scale

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  目盛が形成された方向の端部を除く位
置に測定有効長部が形成されたスケールと、このスケー
ルを載せて保持するスケール保持部材とを備え、上記ス
ケールの測定有効長部の一箇所のみを上記スケール保持
部材を利用して固定するようにしたことを特徴とするス
ケール装置。
1. A scale having an effective measurement length formed at a position excluding the end in the direction in which the scale is formed, and a scale holding member on which the scale is placed and held, the effective measurement length of the scale. A scale device characterized in that only one portion of the scale is fixed using the scale holding member.
【請求項2】  固定された一箇所がスケール保持部材
の略中央部であることを特徴とする請求項1記載のスケ
ール装置。
2. The scale device according to claim 1, wherein the one fixed location is approximately at the center of the scale holding member.
【請求項3】  スケールと、このスケールを載せて保
持する少なくとも3つのスケール保持部材とを備え、上
記少くとも3つのスケール保持部材は一列に配置され、
かつそのスケール保持部材の中、基台の基準位置に固定
されたスケール保持部材のみにより上記スケールを固定
したことを特徴とするスケール装置。
3. A scale, and at least three scale holding members for mounting and holding the scale, the at least three scale holding members being arranged in a line,
A scale apparatus characterized in that the scale is fixed only by a scale holding member fixed at a reference position of a base among the scale holding members.
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