JPH04258394A - Machining head of laser beam machine - Google Patents

Machining head of laser beam machine

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JPH04258394A
JPH04258394A JP3035563A JP3556391A JPH04258394A JP H04258394 A JPH04258394 A JP H04258394A JP 3035563 A JP3035563 A JP 3035563A JP 3556391 A JP3556391 A JP 3556391A JP H04258394 A JPH04258394 A JP H04258394A
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JP
Japan
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laser
laser beam
gas
workpiece
processing head
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JP3035563A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Mori
敦 森
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Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
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Publication date
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  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

PURPOSE:To easily maintain by preventing the contaminated substance splashed from the part to be machined from invading the deep inside the machining head. CONSTITUTION:The laser beam 2 esmitting from the laser oscillator 1 is reflecfted with the mirror 3 and 4, and sent to the lens 15. The lens 15 collects the laser beam 2 at the focus 17 once and sends it to the parabolic surface mirror 6. The screening plate 19 having the passing hole 19a is set at the focus 17. The laser beam 2 passes through the passing hole 19a of this shielding plate 19. The parabolic surface mirror 6 reflects the laser beam 2, collects and irradiates on the part to be machined. On the other hand, the assistant gas 10 for laser beam machining is jetted from the gsa jetting part 20, jetted to the material 7 side to be machined through the passing hole 19a. The contaminated substance 13 splashed from the material 7 to be machined is blown out with this assistant gas 10. So, the contaminated substance 13 does not contaminate the machining head 5. If the contaminated substance 13 invades, it is shielded with the shielding plate 19, and prevented from invading to the light introducing path 12 side.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明はレーザ発振器から発射さ
れるレーザビームを集光して被加工物を加工するレーザ
加工機の加工ヘッドに関し、特に加工ヘッド内へのスパ
ッタ等の侵入を防ぐレーザ加工機の加工ヘッドに関する
[Industrial Application Field] The present invention relates to a processing head of a laser processing machine that processes a workpiece by condensing a laser beam emitted from a laser oscillator, and particularly relates to a processing head of a laser processing machine that processes a workpiece by focusing a laser beam emitted from a laser oscillator. It relates to a processing head of a processing machine.

【0002】0002

【従来の技術】近年、レーザ加工機を用いた金属加工技
術が飛躍的に増加している。図3は従来から多く使用さ
れているレーザ加工機の概略構成図である。このレーザ
加工機では、レーザ発振器1より出射されたレーザビー
ム2は、導光路12内のミラー3および4で反射し加工
ヘッド5内へ進む。そして放物面鏡6で集光され、焦点
である被加工物7表面に照射される。一方、図示されて
いないガスボンベからは、補助ガス10がガス配管8を
通じてガス供給部9に導かれる。補助ガス10は、ガス
供給部9から出射され、ノズル11で絞られ被加工物7
に照射される。被加工物7の表面は、レーザビーム2と
補助ガス10との相互作用により溶融し、それによりレ
ーザ加工が達成される。
2. Description of the Related Art In recent years, metal processing techniques using laser processing machines have increased dramatically. FIG. 3 is a schematic diagram of a laser processing machine that has been widely used in the past. In this laser processing machine, a laser beam 2 emitted from a laser oscillator 1 is reflected by mirrors 3 and 4 in a light guide path 12 and advances into a processing head 5 . The light is then focused by a parabolic mirror 6 and irradiated onto the surface of the workpiece 7, which is the focal point. On the other hand, auxiliary gas 10 is guided from a gas cylinder (not shown) to a gas supply section 9 through a gas pipe 8. The auxiliary gas 10 is emitted from the gas supply section 9, is squeezed by a nozzle 11, and is applied to the workpiece 7.
is irradiated. The surface of the workpiece 7 is melted by the interaction between the laser beam 2 and the auxiliary gas 10, thereby achieving laser processing.

【0003】0003

【発明が解決しようとする課題】しかし、図3のレーザ
加工機では、被加工物7からスパッタ、汚染ガス等の多
量の汚染物質13が飛散し、加工ヘッド5内に侵入して
しまう。この汚染物質13は、放物面鏡6を汚染し、さ
らに導光路12、ミラー3,4等をも汚染する。したが
って、これらの部品を頻繁に清浄しなければならず、保
守が困難になるという問題がある。特にミラー3が汚れ
てしまうと、清浄後の光軸合わせが困難となる。
However, in the laser processing machine shown in FIG. 3, a large amount of contaminants 13 such as spatter and contaminant gas are scattered from the workpiece 7 and enter the processing head 5. This contaminant 13 contaminates the parabolic mirror 6, and further contaminates the light guide path 12, mirrors 3, 4, etc. Therefore, there is a problem in that these parts must be cleaned frequently, making maintenance difficult. In particular, if the mirror 3 becomes dirty, it becomes difficult to align the optical axis after cleaning.

【0004】図4は、このような汚染物質13を防ぐよ
うに工夫したレーザ加工機の加工ヘッドの概略構成図で
ある。このレーザ加工機では、放物面鏡6とノズル11
との間に窓14が設けられている。この窓14は、例え
ばセレン化亜鉛のような透過性の材料であり、これによ
り汚染物質13をカットしている。
FIG. 4 is a schematic diagram of a processing head of a laser processing machine designed to prevent such contaminants 13. This laser processing machine uses a parabolic mirror 6 and a nozzle 11.
A window 14 is provided between the two. This window 14 is a transparent material, such as zinc selenide, thereby filtering out contaminants 13.

【0005】しかし窓14自体は、容易に汚染され劣化
してしまうので、頻繁に交換する必要がある。特に、透
過性の材料は、スパッタ等が付着するとそこに熱が蓄積
し、焼損しやすくなる。図5は窓14の位置を工夫した
加工ヘッドの概略構成図である。図5では、窓14をミ
ラー4と放物面鏡6との間に設けている。放物面鏡6は
汚染に強いので、それよりも奥の方の部品を保護するよ
うにしている。これにより、窓14は図4の場合より汚
染されにくくなる。よって保守が容易になる。しかし、
3次元加工を行う場合には、加工ヘッド5の向きが横や
上を向くので、やはり窓14は汚染されてしまう。
[0005] However, the window 14 itself is easily contaminated and deteriorated, so it must be replaced frequently. In particular, when spatter or the like adheres to a transparent material, heat accumulates there, making it susceptible to burnout. FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a processing head in which the position of the window 14 is devised. In FIG. 5, a window 14 is provided between the mirror 4 and the parabolic mirror 6. Since the parabolic mirror 6 is resistant to contamination, parts further back than the parabolic mirror 6 are protected. This makes the window 14 less susceptible to contamination than in the case of FIG. Therefore, maintenance becomes easier. but,
When performing three-dimensional processing, since the processing head 5 faces sideways or upwards, the window 14 is also contaminated.

【0006】このように、従来のレーザ加工機の加工ヘ
ッドの構成では、図3のように導光路への汚染物質の侵
入を全く防ぎ得ないか、または図4、図5のように透過
性の光学部品の頻繁な清浄を必要としていた。このため
、保守が困難であるという問題点があった。また、この
ような理由から、3次元加工用のレーザ加工機において
は、レーザ加工のアプリケーションに大きな制限を受け
ていた。
As described above, with the structure of the processing head of a conventional laser processing machine, it is impossible to prevent contaminants from entering the light guide path at all as shown in FIG. required frequent cleaning of optical components. Therefore, there was a problem that maintenance was difficult. Furthermore, for these reasons, laser processing machines for three-dimensional processing have been subject to significant limitations in the application of laser processing.

【0007】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、加工ヘッド内深部への汚染物質の侵入を防ぐ
ことのできるレーザ加工機の加工ヘッドを提供すること
を目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a processing head for a laser processing machine that can prevent contaminants from penetrating deep into the processing head.

【0008】また、本発明の他の目的は、3次元加工等
におけるアプリケーションの拡大を図ったレーザ加工機
の加工ヘッドを提供することである。
Another object of the present invention is to provide a machining head for a laser beam machine that has expanded applications in three-dimensional machining and the like.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、レーザ発振器から発射されるレーザビー
ムを集光して被加工物を加工するレーザ加工機の加工ヘ
ッドにおいて、前記レーザビームを前記加工ヘッド内の
導光路の所定位置で一旦集光させる第1の集光装置と、
前記所定位置を通過した前記レーザビームを再び集光し
前記被加工物に照射する第2の集光装置と、前記所定位
置において前記加工ヘッド内を前記レーザ発振器側と前
記被加工物側とに遮蔽するとともに前記レーザビームが
通過できる通過孔が穿設された遮蔽板と、を有すること
を特徴とするレーザ加工機の加工ヘッドが、提供される
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above problems, the present invention provides a processing head of a laser processing machine that processes a workpiece by focusing a laser beam emitted from a laser oscillator. a first condensing device that once condenses the light at a predetermined position of the light guide path in the processing head;
a second focusing device that focuses the laser beam that has passed through the predetermined position again and irradiates the workpiece; There is provided a processing head for a laser processing machine, characterized in that the processing head includes a shielding plate that provides shielding and is provided with a passage hole through which the laser beam can pass.

【0010】0010

【作用】レーザ発振器から発射されるレーザビームは、
第1の集光装置により導光路の所定位置で一旦集光され
、遮蔽板の通過孔を通過し、さらに第2の集光装置を介
して被加工物に照射される。被加工物からは汚染物質が
飛散するが、遮蔽板によって加工ヘッド内深部への汚染
物質の侵入が防止される。
[Operation] The laser beam emitted from the laser oscillator is
The light is once focused at a predetermined position on the light guide path by the first light condensing device, passes through the passage hole of the shielding plate, and is further irradiated onto the workpiece via the second light condensing device. Although contaminants are scattered from the workpiece, the shielding plate prevents the contaminants from entering deep inside the processing head.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図1は本発明の一実施例であるレーザ加工機の
概略構成図である。図1において、図3と同一の構成要
素には同一の符号が付してある。レーザ発振器1から出
射されたレーザビーム2は、ミラー3および4で反射さ
れてレンズ(第1の集光装置)15に送られる。レンズ
15は補助部材16で固定されている。導光路12と加
工ヘッド5とは、これらレンズ15と補助部材16によ
って気密に分断されている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic diagram of a laser processing machine that is an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the same components as in FIG. 3 are given the same reference numerals. A laser beam 2 emitted from a laser oscillator 1 is reflected by mirrors 3 and 4 and sent to a lens (first condenser) 15. The lens 15 is fixed with an auxiliary member 16. The light guide path 12 and the processing head 5 are hermetically separated by the lens 15 and the auxiliary member 16.

【0012】レンズ15は、その焦点17がレンズ15
と放物面鏡6との間にあるように形成されている。した
がって、レンズ15を通過したレーザビーム2は、焦点
17で一旦集光し、再び広がって放物面鏡6(第2の集
光装置)で反射される。放物面鏡6は、反射したレーザ
ビーム2が被加工物7の表面で焦点18を結ぶように形
成されている。より具体的には、放物面鏡6の表面が、
焦点17,18を焦点とした楕円の一部となるように形
成する。
The focal point 17 of the lens 15 is
and the parabolic mirror 6. Therefore, the laser beam 2 that has passed through the lens 15 is once condensed at the focal point 17, spread out again, and is reflected by the parabolic mirror 6 (second condenser). The parabolic mirror 6 is formed so that the reflected laser beam 2 focuses 18 on the surface of the workpiece 7. More specifically, the surface of the parabolic mirror 6 is
It is formed to be part of an ellipse with focal points 17 and 18 as the focal point.

【0013】加工ヘッド5内の焦点17のある位置には
、遮蔽板19が設けられている。遮蔽板19には、焦点
17で集光されたレーザビーム2のみが通過できる通過
孔19aが穿設されている。また、遮蔽板19には調整
ネジ19bが設けられており、通過孔19aの位置が焦
点17に合うように、微調整が行えるようになっている
A shielding plate 19 is provided in the processing head 5 at a position where the focal point 17 is located. The shielding plate 19 has a passage hole 19a through which only the laser beam 2 focused at the focal point 17 can pass. Further, the shielding plate 19 is provided with an adjustment screw 19b, so that fine adjustment can be made so that the position of the passage hole 19a matches the focal point 17.

【0014】レンズ15と遮蔽板19との間には、ガス
噴射部20が設けられている。このガス噴射部20は、
ガス配管8を介して図示されていないガスボンベと接続
されている。ガス噴射部20は、穴20aからレンズ1
5と遮蔽板19との間の空間にレーザ加工用の補助ガス
10を噴射する。
A gas injection section 20 is provided between the lens 15 and the shielding plate 19. This gas injection part 20 is
It is connected to a gas cylinder (not shown) via a gas pipe 8. The gas injection unit 20 injects the lens 1 from the hole 20a.
Auxiliary gas 10 for laser processing is injected into the space between 5 and shielding plate 19.

【0015】このような構成により本実施例のレーザ加
工機では、補助ガス10は、ガス噴射部20の穴20a
から噴出されると、レンズ15と遮蔽板19との間の空
間に充満する。しかし、レンズ15側は補助部材16に
より気密にされているので、補助ガス10は遮蔽板19
の通過孔19aから被加工物7側に吹き出される。そし
て、放物面鏡6および加工ヘッド5内を冷却しつつノズ
ル11より吹き出され、レーザビーム2とともに被加工
物7に照射される。通過孔19aからノズル11まで通
過する間補助ガス10は、被加工物7から飛散した汚染
物質13を被加工物7側に吹き飛ばす。したがって、汚
染物質13が加工ヘッド5内を汚染することがない。万
一、汚染物質13が加工ヘッド5内に侵入しても、遮蔽
板19により遮蔽され、導光路12側への侵入が防止さ
れる。
With such a configuration, in the laser processing machine of this embodiment, the auxiliary gas 10 is supplied to the hole 20a of the gas injection section 20.
When the liquid is ejected, it fills the space between the lens 15 and the shielding plate 19. However, since the lens 15 side is made airtight by the auxiliary member 16, the auxiliary gas 10 is
It is blown out from the passage hole 19a toward the workpiece 7 side. Then, while cooling the inside of the parabolic mirror 6 and the processing head 5, it is blown out from the nozzle 11, and the workpiece 7 is irradiated with the laser beam 2. While passing from the passage hole 19a to the nozzle 11, the auxiliary gas 10 blows away contaminants 13 scattered from the workpiece 7 toward the workpiece 7. Therefore, the contaminant 13 does not contaminate the inside of the processing head 5. Even if contaminants 13 should enter the processing head 5, they will be shielded by the shielding plate 19 and prevented from entering the light guide path 12 side.

【0016】したがって、ミラー3,4およびレンズ1
5等が汚染されないので、これらを頻繁に清浄する必要
がなく、保守が容易になる。また、このレーザ加工機を
3次元加工に使用した場合でも、汚染物質13の侵入を
防げるので、アプリケーションも増大する。
Therefore, mirrors 3, 4 and lens 1
5 etc. are not contaminated, there is no need to frequently clean them, making maintenance easier. Further, even when this laser processing machine is used for three-dimensional processing, the number of applications increases because the intrusion of contaminants 13 can be prevented.

【0017】次に本発明の他の実施例を説明する。図2
は本発明の他の実施例であるレーザ加工機の概略構成図
である。このレーザ加工機には、図1のミラー4の代わ
りに第1の集光装置として放物面鏡21が用いられてい
る。レーザ発振器1から出射されたレーザビーム2は、
放物面鏡21で反射して焦点17に集光され、再び広が
って放物面鏡6で反射し、被加工物7に照射される。
Next, another embodiment of the present invention will be described. Figure 2
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a laser processing machine that is another embodiment of the present invention. In this laser processing machine, a parabolic mirror 21 is used as a first condenser instead of the mirror 4 in FIG. 1. The laser beam 2 emitted from the laser oscillator 1 is
The light is reflected by the parabolic mirror 21, condensed at the focal point 17, spread out again, reflected by the parabolic mirror 6, and irradiated onto the workpiece 7.

【0018】加工ヘッド5には、遮蔽板19を挟むよう
にガス噴射部22,23が設けられている。これらガス
噴射部22,23は、ともにガス配管26を介して図示
されていないガスボンベと接続されており、それぞれ穴
22a,23aから清浄用のガス(例えば浄化空気)2
2b,23bを噴射する。遮蔽板19のレーザ発振器1
側には、導光路12へガス22bが流入しないようにガ
ードするガード板24が設けられている。ガード板24
は、焦点17に近づくほど遮蔽板19との間が狭くなる
ように形成されている。これにより、ガス22bは被加
工物7側へより強く噴出され、被加工物7からの汚染物
質13を被加工物7側へ吹き飛ばす。
The processing head 5 is provided with gas injection sections 22 and 23 so as to sandwich the shielding plate 19 therebetween. These gas injection parts 22 and 23 are both connected to a gas cylinder (not shown) via a gas pipe 26, and a cleaning gas (for example, purified air) 2 is ejected from holes 22a and 23a, respectively.
Inject 2b and 23b. Laser oscillator 1 on shielding plate 19
A guard plate 24 is provided on the side to prevent the gas 22b from flowing into the light guide path 12. Guard plate 24
is formed such that the closer it gets to the focal point 17, the narrower the distance between it and the shielding plate 19 is. As a result, the gas 22b is ejected more strongly toward the workpiece 7, and the contaminants 13 from the workpiece 7 are blown away toward the workpiece 7.

【0019】一方、ガス噴射部23は、ノズル形状にな
っており、吹き出し口25に向かってガス23bを噴射
するようになっている。これにより、ガス23bは、汚
染物質13を吹き出し口25から加工ヘッド5の外部へ
排出する。このように、本実施例では、ガス噴射部22
,23によって、レーザ発振器1側への汚染物質13の
侵入を防止することができる。なお、これらのうち、何
れか一方だけでも効果は期待できる。
On the other hand, the gas injection section 23 has a nozzle shape and is configured to inject gas 23b toward the outlet 25. Thereby, the gas 23b discharges the contaminants 13 from the blow-off port 25 to the outside of the processing head 5. In this way, in this embodiment, the gas injection section 22
, 23 can prevent contaminants 13 from entering the laser oscillator 1 side. Note that effects can be expected even if only one of these is used.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように本発明では、第1の
集光装置の焦点の位置にある遮蔽板によって汚染物質の
加工ヘッド内深部への侵入を防ぐようにしたので、レー
ザ発振器側にあるミラー等の各部品の汚染を防止するこ
とができる。また、レーザビームは遮蔽板の通過孔を通
過するので、遮蔽板が汚染されても問題はない。このた
め、各部品を頻繁に清浄する必要がなくなるので、保守
が容易になる。
As explained above, in the present invention, the shielding plate located at the focal point of the first condenser prevents contaminants from entering deep inside the processing head. It is possible to prevent contamination of various parts such as certain mirrors. Furthermore, since the laser beam passes through the passage hole of the shielding plate, there is no problem even if the shielding plate becomes contaminated. This eliminates the need to frequently clean each component, making maintenance easier.

【0021】さらに、被加工物の下側からレーザビーム
を当てるような悪条件でも、汚染の心配がないので、3
次元加工等にも使用でき、アプリケーションが増大する
Furthermore, there is no risk of contamination even under adverse conditions such as when the laser beam is applied from below the workpiece.
It can also be used for dimensional processing, increasing the number of applications.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】本発明の一実施例であるレーザ加工機の概略構
成図である。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a laser processing machine that is an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の他の実施例であるレーザ加工機の概略
構成図である。
FIG. 2 is a schematic configuration diagram of a laser processing machine that is another embodiment of the present invention.

【図3】従来のレーザ加工機の概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram of a conventional laser processing machine.

【図4】従来のレーザ加工機の概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of a conventional laser processing machine.

【図5】従来のレーザ加工機の概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a conventional laser processing machine.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1  レーザ発振器 2  レーザビーム 5  加工ヘッド 6  放物面鏡(第2の集光装置) 7  被加工物 8  ガス配管 10  補助ガス 11  ノズル 12  導光路 13  汚染物質 15  レンズ(第1の集光装置) 17,18  焦点 19  遮蔽板 20,22,23  ガス噴射部 21  放物面鏡(第1の集光装置) 24  ガード板 25  吹き出し口 1 Laser oscillator 2 Laser beam 5 Processing head 6 Parabolic mirror (second condenser) 7 Workpiece 8 Gas piping 10 Auxiliary gas 11 Nozzle 12 Light guide path 13. Contaminants 15 Lens (first condensing device) 17,18 Focus 19 Shielding plate 20, 22, 23 Gas injection part 21 Parabolic mirror (first condenser) 24 Guard plate 25 Air outlet

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  レーザ発振器から発射されるレーザビ
ームを集光して被加工物を加工するレーザ加工機の加工
ヘッドにおいて、前記レーザビームを前記加工ヘッド内
の所定位置で一旦集光させる第1の集光装置と、前記所
定位置を通過した前記レーザビームを再び集光し前記被
加工物に照射する第2の集光装置と、前記所定位置にお
いて前記加工ヘッド内を前記レーザ発振器側と前記被加
工物側とに遮蔽するとともに前記レーザビームが通過で
きる通過孔が穿設された遮蔽板と、を有することを特徴
とするレーザ加工機の加工ヘッド。
1. In a processing head of a laser processing machine that processes a workpiece by condensing a laser beam emitted from a laser oscillator, a first condenser that once converges the laser beam at a predetermined position within the processing head; a second focusing device that focuses the laser beam that has passed through the predetermined position again and irradiates the workpiece; 1. A processing head for a laser processing machine, comprising: a shielding plate that shields a workpiece and has a passage hole through which the laser beam can pass.
【請求項2】  前記遮蔽板付近には、前記遮蔽板付近
から前記被加工物側に向かってガスを噴射するガス噴射
部が設けられていることを特徴とする請求項1記載のレ
ーザ加工機の加工ヘッド。
2. The laser processing machine according to claim 1, further comprising a gas injection unit provided near the shielding plate to inject gas toward the workpiece from the vicinity of the shielding plate. processing head.
【請求項3】  前記ガス噴射部は、前記遮蔽板より前
記レーザ発振器側に設けられており、前記通過孔を介し
て前記被加工物側に前記ガスを噴射することを特徴とす
る請求項2記載のレーザ加工機の加工ヘッド。
3. The gas injection section is provided closer to the laser oscillator than the shielding plate, and injects the gas toward the workpiece through the passage hole. Processing head of the laser processing machine described.
【請求項4】  前記ガス噴射部は、前記遮蔽板より前
記被加工物側に設けられていることを特徴とする請求項
2記載のレーザ加工機の加工ヘッド。
4. The processing head of a laser processing machine according to claim 2, wherein the gas injection section is provided closer to the workpiece than the shielding plate.
【請求項5】  前記第1の集光装置は、レンズである
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の加工ヘ
ッド。
5. The processing head of a laser processing machine according to claim 1, wherein the first condensing device is a lens.
【請求項6】  前記第1の集光装置は、放物面鏡であ
ることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の加工
ヘッド。
6. The processing head of a laser processing machine according to claim 1, wherein the first condenser is a parabolic mirror.
【請求項7】  前記ガスは、レーザ加工用の補助ガス
であることを特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の
加工ヘッド。
7. The processing head of a laser processing machine according to claim 1, wherein the gas is an auxiliary gas for laser processing.
【請求項8】  前記ガスは、清浄用ガスであることを
特徴とする請求項1記載のレーザ加工機の加工ヘッド。
8. The processing head of a laser processing machine according to claim 1, wherein the gas is a cleaning gas.
JP3035563A 1991-02-05 1991-02-05 Machining head of laser beam machine Pending JPH04258394A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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