JPH0425320U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0425320U JPH0425320U JP6652990U JP6652990U JPH0425320U JP H0425320 U JPH0425320 U JP H0425320U JP 6652990 U JP6652990 U JP 6652990U JP 6652990 U JP6652990 U JP 6652990U JP H0425320 U JPH0425320 U JP H0425320U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- electrode pattern
- pattern formed
- reference coordinate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す弾性表面波素
子の要部の平面図、第２図はそのＸ−Ｘ線の断面
図、第３図および第４図は粗面部の拡大断面図、
第５図は他の実施例を示す弾性表面波素子の要部
の平面図、第６図はそのＹ−Ｙ線の拡大断面図、
第７図ないし第９図は従来の基準座標認識パター
ンの平面図である。 １……圧電性基板、２……櫛形電極、３……ボ
ンデイングパツド、４……シールド電極、５……
粗面部。
子の要部の平面図、第２図はそのＸ−Ｘ線の断面
図、第３図および第４図は粗面部の拡大断面図、
第５図は他の実施例を示す弾性表面波素子の要部
の平面図、第６図はそのＹ−Ｙ線の拡大断面図、
第７図ないし第９図は従来の基準座標認識パター
ンの平面図である。 １……圧電性基板、２……櫛形電極、３……ボ
ンデイングパツド、４……シールド電極、５……
粗面部。
Claims (1)
- 弾性表面波素子表面の一部、またはその素子表
面に形成される電極パターンの一部、あるいは前
記電極パターンとは別に前記素子表面に形成され
た基準座標認識用パターンの一部または全部が粗
面状態とされていることを特徴とする弾性表面波
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6652990U JPH0425320U (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6652990U JPH0425320U (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0425320U true JPH0425320U (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=31599320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6652990U Pending JPH0425320U (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0425320U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009154058A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 弾性表面波霧化装置 |
-
1990
- 1990-06-22 JP JP6652990U patent/JPH0425320U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009154058A (ja) * | 2007-12-25 | 2009-07-16 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 弾性表面波霧化装置 |