JPH04241299A - Method and circuit for remedying defect of semiconductor memory and semiconductor memory having such circuit - Google Patents

Method and circuit for remedying defect of semiconductor memory and semiconductor memory having such circuit

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JPH04241299A
JPH04241299A JP3001919A JP191991A JPH04241299A JP H04241299 A JPH04241299 A JP H04241299A JP 3001919 A JP3001919 A JP 3001919A JP 191991 A JP191991 A JP 191991A JP H04241299 A JPH04241299 A JP H04241299A
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JP
Japan
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line
bit
relief
repair
address
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Application number
JP3001919A
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Japanese (ja)
Inventor
Toshiyuki Sakuta
俊之 作田
Kazuya Ito
和弥 伊藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Dram (AREA)

Abstract

PURPOSE:To improve the efficiency of using remedy bit in remedy line and to reduce the occupied area of remedy line by replacing bit-related defect concerning a word line or a data line with a common remedy line by the unit of bit. CONSTITUTION:By a discriminating circuit 23, the stored information of X address, Y address and an address register 26 for remedying bit are compared, and when they are coincident, a remedy signal is asserted. When the remedy signal outputted from a discriminating circuit 23 is asserted, a normal word line which follows an input address is selected in an address multiplex system, and then the remedy data line, which is specified by the input address and the remedy signal, is selected. Also, in a non-address multiplex system, for both the word line and the data line, the remedy word line and the remedy data line, which correspond to the input address and the remedy signal, are selected. In either system, bit-related defect is consequentially replaced with the common remedy line by the unit of bit, and the bit-related defect is remedied.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置さらに
はそれにおける欠陥を救済するための欠陥救済技術に関
し、例えば、アドレスマルチプレクス方式あるいはノン
アドレスマルチプレクス方式のDRAM(ダイナミック
・ランダム・アクセス・メモリ)に適用して有効な技術
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device and a defect repair technique for repairing defects therein. Regarding effective technology applied to memory (memory).

【0002】0002

【従来の技術】DRAMは年々大容量化される傾向にあ
り、それに伴い製造上の欠陥密度も増大され、最初から
完動品を得るのが困難になってきている。そこで一般的
には、チップ内に冗長性を導入することによって欠陥ビ
ットを救済する方法が採られる。例えば従来のダイナミ
ックRAMにおける欠陥救済は、取り込まれたロウアド
レスとカラムアドレスとに基づいて、不良ビットを含む
ワード線、データ線をライン単位で救済線に置換するこ
とによって可能とされる。
2. Description of the Related Art The capacity of DRAMs has been increasing year by year, and the density of manufacturing defects has also increased, making it difficult to obtain fully operational products from the beginning. Therefore, a method is generally adopted to repair defective bits by introducing redundancy within the chip. For example, defect repair in a conventional dynamic RAM is made possible by replacing word lines and data lines containing defective bits with repair lines line by line based on the fetched row address and column address.

【0003】具体的には、次のように行われる。[0003] Specifically, this is carried out as follows.

【0004】予め全ビットをテストし、それによって得
られた情報によって、不良ビットの存在するワード線あ
るいはデータ線のアドレスを、それぞれロウアドレス比
較回路とカラムアドレス比較回路のレジスタに保存する
。このレジスタには、電気ヒューズあるいはレーザヒュ
ーズを熔断することによってアドレス情報の書込みが可
能とされるものが適用される。このようなダイナミック
RAMのアクセスにおいて、取り込まれたアドレスと、
内部のレジスタに記憶されているアドレス情報(不良ビ
ットの存在するワード線あるいはデータ線のアドレス情
報)とが比較され、この比較においてそれらが一致した
場合には、正規のワード線あるいはデータ線の選択が禁
止され、それに代えて救済ワード線あるいは救済データ
線が選択される。それにより、不良ビットの存在するワ
ード線あるいはデータ線が、欠陥の無い救済線に置き換
えられる。
All bits are tested in advance, and based on the information obtained, the address of the word line or data line where the defective bit exists is stored in the registers of the row address comparison circuit and the column address comparison circuit, respectively. This register is one in which address information can be written by blowing an electric fuse or a laser fuse. In such dynamic RAM access, the fetched address and
The address information stored in the internal register (address information of the word line or data line where the defective bit exists) is compared, and if they match in this comparison, a normal word line or data line is selected. is prohibited, and a relief word line or relief data line is selected instead. As a result, the word line or data line in which the defective bit exists is replaced with a repair line without defects.

【0005】尚、ダイナミックRAMの欠陥救済につい
て記載された文献の例としては、昭和59年11月30
日に株式会社オーム社より発行された「LSIハンドブ
ック」がある。
[0005] An example of a document describing defect repair in dynamic RAM is
There is an ``LSI Handbook'' published by Ohmsha Co., Ltd. in Japan.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら本発明者
が上記従来の欠陥救済について検討したところ、以下の
ような問題点のあることを見いだした。
However, when the inventor of the present invention studied the above-mentioned conventional defect relief method, he found the following problems.

【0007】上記従来の欠陥救済においては、不良ビッ
トの存在するワード線あるいはデータ線の選択に代えて
、救済ワード線あるいは救済データ線が選択され、それ
により、不良ビットの存在するワード線あるいはデータ
線が、欠陥の無い救済線に置き換えられることにより、
欠陥救済がなされるため、例えば1ビットの欠陥救済を
するのに当該欠陥ビットを含む一つのワード線あるいは
データ線が、当該救済線に置換されてしまう。つまりこ
のような救済線への置き換えにより、本来使用可能なビ
ットまでもが救済線の救済ビットへ置き換えられてしま
う。このような救済方法によれば、救済線の占める面積
の割には救済効率が低い、換言すれば救済線における救
済ビットの利用効率が低いという欠点のあることが本発
明者によって明らかにされた。
In the conventional defect repair described above, instead of selecting the word line or data line in which the defective bit exists, a repair word line or data line is selected, and thereby the word line or data line in which the defective bit exists is selected. By replacing the line with a non-defective relief line,
Since defect relief is performed, for example, in order to relieve a defect of one bit, one word line or data line containing the defective bit is replaced with the relief line. In other words, due to such replacement with a relief line, even bits that can be originally used are replaced with the relief bits of the relief line. The present inventor has revealed that such a relief method has a drawback in that the relief efficiency is low compared to the area occupied by the relief line, in other words, the efficiency of use of relief bits on the relief line is low. .

【0008】本発明の目的は、救済線における救済ビッ
トの利用効率を向上し得る技術を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a technique that can improve the efficiency of use of repair bits on repair lines.

【0009】本発明の別の目的は、欠陥救済のための救
済線の占有面積を縮小し得る技術を提供することにある
Another object of the present invention is to provide a technique that can reduce the area occupied by a relief line for defect relief.

【0010】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本願に置いて開示される
発明の内代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記の
通りである。
[Means for Solving the Problems] A brief overview of representative inventions disclosed in this application is as follows.

【0012】すなわち、互いに異なる複数のワード線又
は互いに異なる複数のデータ線に係るビット性の欠陥を
、共通の救済線にビット単位で置換することにより救済
するものである。
That is, bit defects associated with a plurality of mutually different word lines or a plurality of mutually different data lines are repaired by replacing each bit with a common repair line.

【0013】さらに上記のような救済方法を実施可能と
するため、不良ビットのアドレス情報を書込み可能なビ
ット救済用アドレスレジスタと、このビット救済用アド
レスレジスタの記憶情報と外部からの入力アドレスとを
比較し、その比較結果に基づいて、ワード線又はデータ
線に係るビット性の欠陥を、共通の救済線にビット単位
で置換することで救済するためのビット救済用判定回路
とを含んで欠陥救済回路を形成するものである。
Furthermore, in order to make the above-mentioned relief method possible, a bit relief address register into which address information of a defective bit can be written, and the storage information of this bit relief address register and an externally input address are provided. Defect relief includes a bit relief determination circuit for comparing bit-related defects in word lines or data lines by replacing them with a common relief line bit by bit based on the comparison results. It forms a circuit.

【0014】また、ワード線又はデータ線に係るビット
性の欠陥については共通の救済線にビット単位で置換す
ることにより救済し、ワード線又はデータ線におけるラ
イン性の欠陥については救済線にライン単位で置換する
ことにより救済するものである。
[0014]Furthermore, bit-type defects related to word lines or data lines are repaired by replacing them bit by bit with a common repair line, and line-type defects in word lines or data lines are repaired by replacing the repair line in line units. This is a relief by replacing it with .

【0015】さらに上記のような救済方法を実施可能と
するため、不良ビットのアドレス情報を書込み可能なビ
ット救済用アドレスレジスタと、このビット救済用アド
レスレジスタの記憶情報と外部からの入力アドレスとを
比較し、その比較結果に基づいて、ワード線又はデータ
線に係るビット性の欠陥を、共通の救済線にビット単位
で置換することで救済するためのビット救済用判定回路
と、欠陥ビットに結合されるワード線又はデータ線のア
ドレス情報を書込み可能なライン救済用アドレスレジス
タと、このライン救済用アドレスレジスタの記憶情報と
外部からの入力アドレスとを比較し、その比較結果に基
づいて、ワード線又はデータ線におけるライン性の欠陥
を、救済線にライン単位で置換することにより救済する
ためのライン救済用判定回路とを含んで欠陥救済回路を
形成するものである。
Furthermore, in order to make the above-mentioned repair method possible, a bit repair address register into which address information of a defective bit can be written, and a memory information of this bit repair address register and an input address from the outside are provided. A bit repair determination circuit for repairing a bit defect related to a word line or data line by replacing it with a common repair line bit by bit based on the comparison result, and a defective bit. A line relief address register in which address information of the word line or data line to be saved can be written is compared with the information stored in this line relief address register and an input address from the outside, and based on the comparison result, the word line is Alternatively, a defect relief circuit is formed including a line relief determination circuit for relieving a line defect in a data line by replacing it with a relief line line by line.

【0016】そして上記のように欠陥救済回路が形成さ
れるとき、それを含んでなる半導体記憶装置において救
済用メモリセルの占有面積の増加を最小限に抑えるため
に、上記ビット性の欠陥を救済するための複数のビット
救済用メモリセルを共通の救済線に結合するものである
When the defect relief circuit is formed as described above, in order to minimize the increase in the area occupied by the relief memory cells in the semiconductor memory device including the defect relief circuit, the bit defect is relieved. A plurality of memory cells for bit relief are connected to a common relief line.

【0017】[0017]

【作用】上記した手段によれば、ワード線又はデータ線
に係るビット性の欠陥を共通の救済線にビット単位で置
換することは、例えば1ビットの欠陥救済をするのに当
該欠陥ビットを含む一つのデータ線を救済線に置換する
従来方式に比して、救済線における救済ビットの利用効
率を向上し、また、欠陥救済のための救済線の占有面積
縮小を可能とする。
[Operation] According to the above-mentioned means, replacing a bit defect related to a word line or a data line with a common repair line bit by bit means, for example, that the defective bit is included when repairing a 1-bit defect. Compared to the conventional method of replacing one data line with a relief line, the utilization efficiency of relief bits in the relief line can be improved and the area occupied by the relief line for defect relief can be reduced.

【0018】[0018]

【実施例】図1には本発明の一実施例方法が適用される
DRAMが示される。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a DRAM to which a method according to an embodiment of the present invention is applied.

【0019】同図に示されるDRAMは、特に制限され
ないが、公知の半導体集積回路製造技術により、単結晶
シリコンなどの一つの半導体基板に形成される。
The DRAM shown in the figure is formed on a single semiconductor substrate, such as single crystal silicon, by a known semiconductor integrated circuit manufacturing technique, although this is not particularly limited.

【0020】10はメモリセルアレイであり、このメモ
リセルアレイ10は、特に制限されないが、Nチャンネ
ル型MOSFETと蓄積容量とが直列接続された1トラ
ンジスタ形のダイナミックメモリセルが複数個マトリク
ス配置されて成る。メモリセルは、折り返しデータ線方
式によってレイアウトされた相補データ線のそれぞれに
一個おきに等しい数づつデータ入出力端子(MOSFE
Tのドレイン電極)を介して結合され、各メモリセルの
選択端子(MOSFETのゲート電極)は、それぞれに
対応する列のワード線に結合されている。尚、このメモ
リセルアレイ10は、後に詳述するように冗長性が導入
され、欠陥ビットの置換による欠陥救済が可能とされる
Reference numeral 10 denotes a memory cell array, and this memory cell array 10 is made up of a plurality of one-transistor type dynamic memory cells arranged in a matrix, each having an N-channel type MOSFET and a storage capacitor connected in series, although this is not particularly limited. The memory cells have an equal number of data input/output terminals (MOSFE) on every other complementary data line laid out using the folded data line method.
The selection terminal (gate electrode of MOSFET) of each memory cell is coupled to the word line of the corresponding column. Note that this memory cell array 10 has redundancy introduced therein as will be described in detail later, and it is possible to repair defects by replacing defective bits.

【0021】メモリセルアレイ10のアドレシングはワ
ードドライバ14の出力に基づいて所定の一本のワード
線を選択レベルに駆動する動作と、Yスイッチドライバ
18の出力に基づいて一対の相補データ線を図示されな
い相補共通データ線に選択接続する図示されないスイッ
チ回路動作に基づいて行われるようになっている。
Addressing of the memory cell array 10 involves driving a predetermined word line to a selected level based on the output of the word driver 14, and driving a pair of complementary data lines (not shown) based on the output of the Y switch driver 18. This is performed based on the operation of a switch circuit (not shown) that selectively connects to the complementary common data line.

【0022】それぞれの相補データ線は、特に制限され
ないが、スタティック型センスアンプ13の信号入力端
子に結合されている。このセンスアンプ13は、特に制
限されないが、CMOSインバータ回路の入出力端子を
相互に交差結合して構成され、そのゲートに互いに逆相
のセンスアンプ動作信号を受けるパワースイッチMOS
FETを介して駆動されるようになっている。そしてこ
のようなセンスアンプ13は、データの入出力を可能と
するデータ入出力回路11にI/O(インプット・アウ
トプット)線12を介して結合される。
Each complementary data line is coupled to a signal input terminal of the static sense amplifier 13, although this is not particularly limited. This sense amplifier 13 is configured by mutually cross-coupling the input and output terminals of a CMOS inverter circuit, but is not particularly limited thereto, and has a power switch MOS whose gate receives sense amplifier operation signals having mutually opposite phases.
It is designed to be driven via an FET. Such a sense amplifier 13 is coupled via an I/O (input/output) line 12 to a data input/output circuit 11 that enables data input/output.

【0023】17は、外部からのアドレス信号を取り込
むためのアドレス入力部であり、このアドレス入力部1
7の後段には、Xアドレス及びYアドレスをそれぞれ段
階的にデコードするために、Xドライバ16、Xデコー
ダ15、及びYドライバ20、Yデコーダ19が配置さ
れる。そしてXデコーダ15のデコード出力に基づいて
上記ワードドライバ14により所定のワード線が選択レ
ベルに駆動され、また、Yデコーダ19のデコード出力
に基づいて上記Yスイッチドライバ18によりデータ線
の選択接続のためのスイッチ回路が駆動される。
Reference numeral 17 denotes an address input section for taking in an address signal from the outside, and this address input section 1
7, an X driver 16, an X decoder 15, a Y driver 20, and a Y decoder 19 are arranged to decode the X address and Y address in stages. Then, based on the decode output of the X decoder 15, the word driver 14 drives a predetermined word line to a selection level, and based on the decode output of the Y decoder 19, the Y switch driver 18 drives the data line for selective connection. switch circuit is driven.

【0024】図2には上記アドレス入力部17の構成例
が示される。
FIG. 2 shows an example of the structure of the address input section 17.

【0025】Xアドレスバッファ28は外部からのXア
ドレスを取り込むためのバッファであり、このXアドレ
スバッファ28を介して取り込まれたXアドレスはXド
ライバ16、ライン救済用X系判定回路22及びビット
救済用判定回路23に入力される。この判定回路22は
、上記Xアドレスバッファ28を介して外部より取り込
まれたXアドレスと、ライン救済用X系アドレスレジス
タ25の記憶情報とを比較し、それが一致した場合に救
済信号をアサートする。この救済信号は上記メモリセル
アレイ10のXアドレスの一部とされ、この救済信号が
アサートされている場合には入力アドレスに従う正規の
ワード線選択に代えて、救済用ワード線が選択されるこ
とになる。それにより、ワード線におけるライン性の欠
陥救済が可能とされる。ここでライン性の欠陥とは、複
数の欠陥ビットがライン状に連続的に存在する場合の欠
陥を意味する。上記ライン救済用X系アドレスレジスタ
25には、本実施例DRAMの動作テスト結果に基づい
て把握された欠陥ビットに係るワード線のアドレス情報
が書き込まれる。この情報書込みは、後に詳述するよう
に当該レジスタ25を構成する所定のヒューズを熔断す
ることによって可能とされる。
The X address buffer 28 is a buffer for fetching an X address from the outside, and the X address fetched via this X address buffer 28 is sent to the X driver 16, the line repair X-system determination circuit 22, and the bit repair circuit. is input to the use determination circuit 23. This determination circuit 22 compares the X address fetched from the outside via the X address buffer 28 and the information stored in the line relief X-system address register 25, and asserts a relief signal if they match. . This relief signal is part of the X address of the memory cell array 10, and when this relief signal is asserted, a relief word line is selected instead of the regular word line selection according to the input address. Become. This makes it possible to repair line defects in word lines. Here, a linear defect means a defect in which a plurality of defective bits exist continuously in a line. Address information of the word line related to the defective bit detected based on the operation test results of the DRAM of this embodiment is written into the line repair X-system address register 25. This information writing is made possible by blowing out a predetermined fuse constituting the register 25, as will be described in detail later.

【0026】Yアドレスバッファ29は外部からのYア
ドレスを取り込むためのバッファであり、このYアドレ
スバッファ29を介して取り込まれたYアドレスはYド
ライバ20、ライン救済用Y系判定回路24及びビット
救済用判定回路23に入力される。この判定回路24は
、上記Yアドレスバッファ29を介して外部より取り込
まれたYアドレスと、ライン救済用Y系アドレスレジス
タ27の記憶情報とを比較し、それが一致した場合に救
済信号をアサートする。この救済信号は、上記メモリセ
ルアレイ10のYアドレスの一部とされ、この救済信号
がアサートされている場合には入力アドレスに従う正規
のデータ線に代えて、救済用データ線が選択さる。それ
により、データ線におけるライン性の欠陥救済が可能と
される。上記ライン救済用Y系アドレスレジスタ27に
は、本実施例DRAMの動作テスト結果に基づいて把握
された欠陥ビットに係るデータ線のアドレス情報が書き
込まれる。この情報書込みは、後に詳述するように当該
レジスタ27を構成する所定のヒューズを熔断すること
によって可能とされる。
The Y address buffer 29 is a buffer for fetching a Y address from the outside, and the Y address fetched via this Y address buffer 29 is sent to the Y driver 20, the line repair Y system determination circuit 24, and the bit repair circuit. is input to the use determination circuit 23. This determination circuit 24 compares the Y address taken in from the outside via the Y address buffer 29 and the information stored in the line relief Y-system address register 27, and asserts a relief signal if they match. . This relief signal is part of the Y address of the memory cell array 10, and when this relief signal is asserted, a relief data line is selected in place of the regular data line that follows the input address. This makes it possible to repair line defects in the data line. The address information of the data line related to the defective bit detected based on the operation test result of the DRAM of this embodiment is written into the line repair Y-system address register 27. This information writing is made possible by blowing a predetermined fuse constituting the register 27, as will be described in detail later.

【0027】判定回路23は、上記Xアドレス,Yアド
レスと、ビット救済用アドレスレジスタ26の記憶情報
とを比較し、それらが一致した場合に救済信号をアサー
トする。判定回路23から出力される救済信号がアサー
トされた場合、共通のアドレス入力端子を介してX,Y
アドレスを経時的に取り込むようにしたアドレスマルチ
プレクス方式では、入力アドレスに従う正規のワード線
が選択され、次に入力アドレスと救済信号とによって特
定される救済用データ線が選択される。また、X,Yア
ドレスをそれぞれ専用端子から取り込むようにしたノン
アドレスマルチプレクス方式では、ワード線、データ線
とも、入力アドレスと救済信号とに応じた救済用ワード
線、救済用データ線が選択される。いずれの方式でも結
果的に、ビット性の欠陥が共通の救済線にビット単位で
置換され、それによってビット性欠陥の救済が可能とさ
れる。ここにいうビット性の欠陥には、一つのワード線
もしくはデータ線における単独ビットの欠陥はもとより
、一つのワード線もしくはデータ線における全ビット欠
陥(ライン性の欠陥)以外の欠陥をも含ませることがで
きる。また、上記ビット救済用アドレスレジスタ26へ
の情報書込みは、後に詳述するように当該レジスタ26
を構成する所定のヒューズを熔断することによって可能
とされる。
The determination circuit 23 compares the X address and Y address with the information stored in the bit rescue address register 26, and asserts a rescue signal if they match. When the relief signal output from the determination circuit 23 is asserted, the X, Y
In the address multiplex system in which addresses are taken in over time, a regular word line according to the input address is selected, and then a relief data line specified by the input address and the relief signal is selected. In addition, in the non-address multiplex method in which X and Y addresses are taken in from dedicated terminals, the word line and data line for relief are selected according to the input address and relief signal. Ru. In either method, as a result, bit defects are replaced with a common repair line in bit units, thereby making it possible to repair bit defects. The bit defects referred to here include not only single bit defects in one word line or data line, but also defects other than all bit defects (line defects) in one word line or data line. Can be done. In addition, information writing to the bit relief address register 26 is performed by writing the information to the bit relief address register 26 as described in detail later.
This is possible by blowing a predetermined fuse that constitutes the

【0028】次に、上記判定回路22とライン救済用X
系アドレスレジスタ25の詳細な構成について説明する
Next, the determination circuit 22 and the line relief X
The detailed configuration of the system address register 25 will be explained.

【0029】救済用ワード線の数が4本とされる場合、
それに対応して上記判定回路22及びライン救済用X系
アドレスレジスタ25は、図3に示されるように4つの
レジスタ及び判定部100,101,102,103と
、それらの出力XR0,XR1,XR2,XR3のナン
ド論理を得るナンドゲート200とを含んで構成される
。ここでこのナンドゲート200の出力XRが上記救済
信号とされ、それがロウレベルの場合、入力アドレスに
従うワード線選択が行われ、またそれとは逆にハイレベ
ルの場合に、正規のワード線選択が禁止され、それによ
って救済用ワード線の選択が可能とされる。
When the number of relief word lines is four,
Correspondingly, the determination circuit 22 and line relief X-system address register 25 include four registers and determination sections 100, 101, 102, 103 and their outputs XR0, XR1, XR2, A NAND gate 200 that obtains the NAND logic of XR3. Here, the output XR of this NAND gate 200 is used as the relief signal, and when it is low level, word line selection is performed according to the input address, and conversely, when it is high level, normal word line selection is prohibited. , thereby making it possible to select a relief word line.

【0030】図4には、上記レジスタ及び判定部100
の詳細な構成が示される。
FIG. 4 shows the register and determination section 100.
The detailed configuration of is shown.

【0031】同図においてF1乃至F14で示されるの
は、ライン救済用X系アドレスレジスタ25(図1参照
)を形成するヒューズであり、このヒューズF1乃至F
14を選択的に熔断することにより、不良ビットのXア
ドレスの書込みが可能とされる。具体的には、Fの添字
が奇数とされるのもの(F1,F3,F5,…)を熔断
することによりロウアクティブ側の救済が可能とされ、
Fの添字が偶数とされるもの(F2,F4,F6,…)
を熔断することによりハイアクティブ側の救済が可能と
される。
In the figure, fuses F1 to F14 form the X-system address register 25 for line relief (see FIG. 1), and these fuses F1 to F14 are designated as F1 to F14.
By selectively fusing 14, it is possible to write the X address of the defective bit. Specifically, it is possible to save the row active side by melting down those in which the subscript of F is an odd number (F1, F3, F5,...).
The subscript of F is an even number (F2, F4, F6,...)
By melting down the high active side, it is possible to rescue the high active side.

【0032】尚、図4において、ヒューズF1乃至F1
4を除く回路部分が判定回路22に属する。
In FIG. 4, fuses F1 to F1
The circuit portions other than 4 belong to the determination circuit 22.

【0033】上記Xアドレスバッファ28を介して入力
されるXアドレスは、相補的な信号とされ、それがA0
(A0*)乃至A6(A6*)で示されるものとすると
(*印はロウアクティブを示す)、それに対応して2入
力ナンドゲート36乃至49が配置され、またこのナン
ドゲート36乃至49の出力端子に上記ヒューズF1乃
至F14がそれぞれ結合される。ヒューズF1乃至F1
4の他端には、高電位側電源Vddが印加されるPチャ
ンネル型MOSFETQ7乃至Q13、さらにはインバ
ータ50乃至56が結合され、その後段にNチャンネル
型MOSFETQ22乃至28が配置される。MOSF
ETQ22にはPチャンネル型MOSFETQ4が結合
され、高電位側電源Vddと低電位側電源Vssとの間
に上記MOSFETQ4,Q22乃至Q28が直列接続
されている。Pチャンネル型MOSFETQ14乃至Q
20はラインのプリチャージ用MOSFETとされ、図
示されないコントローラからのプリチャージ制御信号X
DPによって制御される。この制御信号XDPはスタン
バイ時にロウレベルとされ、動作可能時にハイレベルと
される。それにより、上記プリチャージは、制御信号X
DPがロウレベルとされるスタンバイ時に行われる。こ
のような構成により、ヒューズF1乃至F14に書き込
まれたアドレス情報と、入力アドレス情報とが一致され
た場合にのみMOSFETQ22乃至Q28の全てがオ
ン状態とされ、それにより制御信号XRj*(jは0〜
6とされる)がロウレベルにアサートされる。救済用ワ
ード線は4本とされ、それに対応してレジスタ部及び判
定部が配置されるため(図3参照)、レジスタ及び判定
部100乃至103の出力制御信号XR0乃至XR3の
うちのいずれかがロウレベルとされた場合にナンドゲー
ト41の出力がハイレベルとされ、それにより正規ワー
ド線の選択が禁止され、それに代えて所定の救済用ワー
ド線の選択が可能とされる。
The X address input via the X address buffer 28 is a complementary signal, which is A0.
(A0*) to A6 (A6*) (* indicates low active), 2-input NAND gates 36 to 49 are arranged correspondingly, and the output terminals of these NAND gates 36 to 49 The fuses F1 to F14 are respectively coupled. Fuse F1 to F1
P-channel type MOSFETs Q7 to Q13 to which the high potential side power supply Vdd is applied, and further inverters 50 to 56 are coupled to the other end of 4, and N-channel type MOSFETs Q22 to Q28 are arranged at the subsequent stage. MOSF
A P-channel type MOSFET Q4 is coupled to ETQ22, and the MOSFETs Q4, Q22 to Q28 are connected in series between the high potential side power supply Vdd and the low potential side power supply Vss. P-channel type MOSFETQ14 to Q
20 is a line precharge MOSFET, which receives a precharge control signal X from a controller (not shown).
Controlled by DP. This control signal XDP is set to a low level during standby, and set to a high level when ready for operation. Thereby, the precharge is controlled by the control signal
This is performed during standby when DP is set to low level. With this configuration, all of the MOSFETs Q22 to Q28 are turned on only when the address information written in the fuses F1 to F14 matches the input address information, and thereby the control signal XRj* (j is 0 ~
6) is asserted to low level. There are four relief word lines, and the register section and judgment section are arranged correspondingly (see FIG. 3), so any one of the output control signals XR0 to XR3 of the register and judgment sections 100 to 103 When the level is set to low level, the output of the NAND gate 41 is set to high level, thereby prohibiting the selection of a normal word line, and instead enabling the selection of a predetermined relief word line.

【0034】また、図4において、電源VddとVss
との間には、Nチャンネル型MOSFETQ1,Q2と
ヒューズFOとが直列接続され、それにNチャンネル型
MOSFETQ3,インバータ30が結合され、それの
後段にインバータ31,32及び2入力ナンドゲート3
3,インバータ34が配置される。上記MOSFETQ
1のゲートには、動作時にハイレベルとされる内部クロ
ック信号が入力される。ヒューズF0が熔断された場合
、インバータ32の出力がハイレベルとされ、救済イネ
ーブル信号XREがハイレベルにアサートされることに
よって欠陥救済可能状態とされる。従って本回路によっ
てビット救済を要しない場合にはヒューズf0を熔断せ
ずにXREをロウレベルとしておけば良い。さらに上記
救済制御信号XRj*はインバータ35により反転され
ることによりXRjとして出力可能とされる。このイン
バータ35にはPチャンネル型MOSFETQ6が結合
され、さらに当該インバータ35の入力端子と電源Vd
dとの間にはPチャンネル型MOSFETQ5が配置さ
れる。
In addition, in FIG. 4, power supplies Vdd and Vss
N-channel type MOSFETs Q1, Q2 and a fuse FO are connected in series, and an N-channel type MOSFET Q3 and an inverter 30 are connected thereto, followed by inverters 31, 32 and a two-input NAND gate 3.
3. An inverter 34 is installed. Above MOSFETQ
An internal clock signal that is at a high level during operation is input to the gate of No. 1. When the fuse F0 is blown, the output of the inverter 32 is set to a high level, and the repair enable signal XRE is asserted to a high level, thereby making it possible to repair the defect. Therefore, if bit relief is not required using this circuit, it is sufficient to set XRE to a low level without blowing fuse f0. Further, the relief control signal XRj* is inverted by an inverter 35 so that it can be output as XRj. A P-channel type MOSFET Q6 is coupled to this inverter 35, and the input terminal of the inverter 35 and the power supply Vd
A P-channel type MOSFET Q5 is arranged between the terminal and the terminal d.

【0035】上記のような回路が4つ配置され、さらに
、それにナンドゲート200が結合されることによって
X系の判定回路22やレジスタ25が形成される(図2
,図3参照)。
By arranging four circuits as described above and further coupling them with a NAND gate 200, an X-system determination circuit 22 and a register 25 are formed (FIG. 2).
, see Figure 3).

【0036】また、Y系の判定回路24やレジスタ27
、さらにはビット救済用の判定回路23やレジスタ26
も上記X系のものと同様に、図4に示される回路を含ん
で形成される。ただし、ビット救済用の判定回路やレジ
スタ26においては、ビット単位の欠陥救済を可能とす
ためXアドレスとYアドレスとについての判定を可能と
する回路構成とされる。つまり、X系及びY系の判定回
路22及び23,レジスタ25及び27を全て含むよう
な回路構成とされる。
In addition, the Y-system determination circuit 24 and the register 27
, furthermore, a determination circuit 23 and a register 26 for bit relief.
Similarly to the X-system, the circuit is also formed including the circuit shown in FIG. However, the determination circuit for bit relief and the register 26 have a circuit configuration that enables determination of the X address and the Y address in order to enable bit-by-bit defect relief. In other words, the circuit configuration includes all of the X-system and Y-system determination circuits 22 and 23 and registers 25 and 27.

【0037】次に欠陥救済の具体例について図5乃至図
13をも参照しながら説明する。
Next, a specific example of defect relief will be explained with reference to FIGS. 5 to 13.

【0038】図5には上記メモリセルアレイ10が模式
的に示される。
FIG. 5 schematically shows the memory cell array 10.

【0039】同図に示されるようにメモリセルアレイ1
0には、外部からの入力アドレスに従って選択レベルに
駆動される正規のワード線63、外部からの入力アドレ
スに従って共通のデータ線に選択的に結合される正規の
データ線64に加え、欠陥救済線としてビット救済用ワ
ード線62、ライン救済用ワード線61、ビット救済用
データ線65、ライン救済用データ線66が設けられて
いる。それらにダイナミック型の救済用メモリセルが結
合されている。本実施例において、特に制限されないが
、ビット救済用ワード線62とビット救済用データ線6
5とはそれぞれ単数構成とされ、ライン救済用ワード線
61とライン救済用データ線66とは複数構成とされる
。尚、図3の構成に従えばレジスタ及び判定部の数に対
応してライン救済用ワード線61及びライン救済用デー
タ線66は共に4本とされる。
As shown in the figure, the memory cell array 1
0 includes a regular word line 63 that is driven to a selected level according to an externally input address, a regular data line 64 that is selectively coupled to a common data line according to an externally input address, and a defect relief line. As such, a bit relief word line 62, a line relief word line 61, a bit relief data line 65, and a line relief data line 66 are provided. Dynamic relief memory cells are coupled to them. In this embodiment, although not particularly limited, the word line 62 for bit relief and the data line 6 for bit relief
5 has a single structure, and the line relief word line 61 and the line relief data line 66 have a plurality of lines. According to the configuration of FIG. 3, the number of line relief word lines 61 and line relief data lines 66 are both four, corresponding to the number of registers and determination sections.

【0040】ライン単位の欠陥救済は次のように行われ
る。
Defect relief in line units is performed as follows.

【0041】図6にはライン救済用ワード線61へのラ
イン単位の欠陥救済の様子が示される。
FIG. 6 shows how defects are relieved on a line-by-line basis on the line relief word line 61.

【0042】i番目の正規のワード線63i及びm番目
の正規のワード線63mにおいて、○印は正常ビットを
、×印は欠陥ビットをそれぞれ意味する。上記正規のワ
ード線63i及び63mにおいて欠陥ビットが存在する
ため、それをライン救済用ワード線61bと61cとに
よって救済する場合を考える。
In the i-th regular word line 63i and the m-th regular word line 63m, a circle mark means a normal bit, and an x mark means a defective bit. A case will be considered in which defective bits exist in the normal word lines 63i and 63m and are repaired by line repair word lines 61b and 61c.

【0043】図2のライン救済用X系アドレスレジスタ
25における所定のヒューズを熔断することにより当該
レジスタ25に、上記ワード線63iと63mについて
のアドレス情報を書き込んでおく。それにより、判定回
路22では、Xアドレスバッファ28を介して外部より
入力されたアドレスと、レジスタ25の記憶情報との比
較がなされ、その比較においてそれらが一致された場合
、正規のワード線63の選択に代えて救済用ワード線6
1bが選択され、また、正規のワード線63mに代えて
救済用ワード線61cが選択される。そのようなワード
線の置換により、正規のワード線63i,63mの欠陥
救済が可能とされる。尚、このようなライン単位の救済
は、一つのワード線の全ビットが全て不良とされるよう
なライン性の欠陥の場合はともかくとして、図6に示さ
れるように不良ビット(×)と共に正常ビット(○)が
存在する場合には、その正常ビットまでもが救済用ワー
ド線上に置換されてしまうために救済用ワード線の有効
利用を阻害することになる。同様のことは、ライン救済
用データ線へのライン単位の欠陥救済についてもいえる
By blowing a predetermined fuse in the X-system address register 25 for line relief shown in FIG. 2, address information regarding the word lines 63i and 63m is written into the register 25. Thereby, the determination circuit 22 compares the address input from the outside via the X address buffer 28 and the information stored in the register 25, and if they match in the comparison, the address of the regular word line 63 is compared. Relief word line 6 instead of selection
1b is selected, and the relief word line 61c is selected in place of the regular word line 63m. Such word line replacement makes it possible to repair defects in the regular word lines 63i and 63m. Incidentally, such line-by-line repair is possible, apart from the case of line-based defects in which all bits of one word line are considered defective, as shown in Figure 6. If a bit (◯) exists, even the normal bit is replaced on the relief word line, which impedes the effective use of the relief word line. The same thing can be said about line-by-line defect relief for data lines for line relief.

【0044】図7には、ライン救済用データ線へのライ
ン単位の欠陥救済の様子が示される。
FIG. 7 shows how a line-by-line defect is relieved on the data line for line relief.

【0045】i番目の正規のデータ線64i及びp番目
の正規のデータ線64pにおいて、○印は正常ビットを
、×印は欠陥ビットをそれぞれ意味する。上記正規のデ
ータ線64i及び64pにおいて欠陥ビットが存在する
ため、それをライン救済用データ線66bと66cとに
よって救済する場合を考える。
In the i-th regular data line 64i and the p-th regular data line 64p, a circle mark means a normal bit, and an x mark means a defective bit. A case will be considered in which defective bits exist in the normal data lines 64i and 64p and are repaired using the line repair data lines 66b and 66c.

【0046】図2のライン救済用Y系アドレスレジスタ
27における所定のヒューズを熔断することにより、上
記データ線64iと64pについてのアドレス情報を当
該レジスタ27に書き込んでおく。それにより、判定回
路24では、Yアドレスバッファ29を介して外部より
入力されたアドレスと、上記レジスタ27の記憶情報と
の比較がなされ、その比較においてそれらが一致された
場合、正規のデータ線64iの選択に代えて救済用デー
タ線66bが選択され、また、正規のデータ線64pに
代えて救済用データ線66cが選択される。そのような
データ線の置換により、正規のデータ線66i,66p
の欠陥救済が可能とされる。尚、このようなライン単位
の救済は、一つのデータ線の全ビットが全て不良とされ
るようなライン性の欠陥の場合はともかくとして、図7
に示されるように不良ビット(×)と共に正常ビット(
○)が存在する場合には、その正常ビットまでもが救済
用データ線上に置換されてしまうために救済用データ線
の有効利用を阻害することになる。
Address information regarding the data lines 64i and 64p is written into the register 27 by blowing out a predetermined fuse in the line relief Y-system address register 27 shown in FIG. Thereby, the determination circuit 24 compares the address input from the outside via the Y address buffer 29 and the information stored in the register 27, and if they match in the comparison, the regular data line 64i The relief data line 66b is selected instead of the selection of , and the relief data line 66c is selected instead of the normal data line 64p. By replacing such data lines, regular data lines 66i, 66p
defect relief is possible. Incidentally, such line-by-line repair is possible, except in the case of a line defect in which all bits of one data line are considered defective, as shown in FIG.
As shown in , there are defective bits (×) and normal bits (
○) exists, even the normal bits are replaced on the relief data line, which impedes effective use of the relief data line.

【0047】次に、ビット単位の欠陥救済の具体例につ
いて説明する。
Next, a specific example of bit-by-bit defect relief will be explained.

【0048】図8において、正規のデータ線64g,6
4k上に×印で示されるように欠陥ビットが複数個連続
して存在する場合、それら欠陥ビットは、単一のビット
救済用データ線へ複数ビット単位で置換されることによ
り救済される。すなわち、正規のデータ線64g,64
k上の欠陥ビットのみが共通の救済用データ線65上に
置換されることにより当該欠陥ビットの救済がなされる
。このような複数ビット単位の欠陥救済は、判定回路2
3に入力されるロウアドレスの一部を省略して正常ビッ
トが置換されないようにすることで可能とされる。それ
により上記正規のデータ線64g,64k上の欠陥ビッ
トに代えて上記ビット救済用データ線65上の救済ビッ
トのアクセスが可能とされる。
In FIG. 8, regular data lines 64g, 6
When a plurality of consecutive defective bits are present on the 4k as indicated by cross marks, these defective bits are repaired by replacing them with a single bit repair data line in units of a plurality of bits. That is, the regular data lines 64g, 64
By replacing only the defective bits on k onto the common relief data line 65, the defective bits are relieved. Such defect repair in units of multiple bits is performed by the determination circuit 2.
This is possible by omitting a part of the row address input to 3 so that normal bits are not replaced. Thereby, the repair bit on the bit repair data line 65 can be accessed in place of the defective bit on the normal data lines 64g, 64k.

【0049】このようなビット単位の欠陥救済は、上述
したようなライン単位の欠陥救済(図7参照)の場合と
異なり、正規のデータ線64g,64kにおける正常ビ
ットの置換が上記判定回路23の判定により除外され、
それによって欠陥ビットのみの置換とされるから、結果
的に、正規のデータ線2本に含まれるビット性の欠陥を
救済するのに救済線1本で足り、救済線の有効利用を図
ることができる。
This kind of bit-by-bit defect relief differs from the above-described line-by-line defect relief (see FIG. 7) in that the replacement of normal bits in the regular data lines 64g and 64k is performed by the determination circuit 23. Excluded by judgment,
As a result, only the defective bit is replaced, and as a result, one repair line is sufficient to repair a bit defect included in two regular data lines, making effective use of the repair line. can.

【0050】図9に示されるように、欠陥ビットが点在
する場合においても、単一のビット救済用データ線65
への救済が可能とされる。この場合、正規のワード線6
3が選択された後、判定回路23の出力に従ってビット
救済用データ線65が選択されることで、複数データ線
上の欠陥ビットが単一の救済データ線65上に置換され
る。
As shown in FIG. 9, even when defective bits are scattered, a single bit relief data line 65
relief is possible. In this case, regular word line 6
3 is selected, the bit relief data line 65 is selected in accordance with the output of the determination circuit 23, thereby replacing the defective bits on the plurality of data lines onto the single relief data line 65.

【0051】図10に示されるビット救済は、複数のワ
ード線のそれぞれに複数個の欠陥ビットが連続して存在
する場合の救済を、単一のビット救済用ワード線62に
よって可能とするものである。このような救済は、例え
ばノンアドレスマルチプレクス方式において判定回路2
3に入力されるカラムアドレスの一部を省略することで
可能とされる。
The bit relief shown in FIG. 10 enables relief when a plurality of defective bits exist consecutively on each of a plurality of word lines using a single bit relief word line 62. be. Such relief can be achieved, for example, in the non-address multiplex system by the judgment circuit 2.
This is possible by omitting part of the column address input in 3.

【0052】また、図11に示されるように、点在する
欠陥ビットを単一のビット救済用ワード線62に置換す
ることによって当該不良ビットを救済することもできる
Furthermore, as shown in FIG. 11, the defective bits can be relieved by replacing scattered defective bits with a single word line 62 for bit relief.

【0053】さらに、ノンアドレスマルチプレクス方式
の場合の利点を効果的に用いた例として、ロウアドレス
,カラムアドレス共救済アドレスに置換することにより
、エリア性の欠陥を単一の救済線によって救済可能とす
ることができる。例えば図12に示されるようにエリア
性の欠陥を単一のビット救済用データ線65への置換に
よって可能とすることができ、また図13に示されるよ
うに、エリア性の欠陥を単一のビット救済用ワード線6
2への置換によって救済することができる。
Furthermore, as an example of effectively utilizing the advantages of the non-address multiplex system, area defects can be repaired using a single repair line by replacing both row and column addresses with repair addresses. It can be done. For example, as shown in FIG. 12, area defects can be replaced with a single bit relief data line 65, and as shown in FIG. Bit relief word line 6
It can be saved by replacing it with 2.

【0054】本発明によれば以下の作用効果を得ること
ができる。
According to the present invention, the following effects can be obtained.

【0055】(1)ビット性の欠陥を共通の救済線62
又は65にビット単位で置換することは、例えば1ビッ
トの欠陥救済をするのに当該欠陥ビットを含む一つのワ
ード線又はデータ線をライン単位で救済線に置換する従
来方式に比して、正常ビットまでをも救済線に置換せず
に済むのでその分救済線における救済ビットの利用効率
を向上することができ、また、それによって欠陥救済の
ための救済線の占有面積を縮小することができる。
(1) Bit-related defects are removed by a common repair line 62
For example, replacing one word line or data line containing the defective bit with a repair line line by line to repair one bit defect is more normal. Since even bits do not need to be replaced with relief lines, the utilization efficiency of the relief bits in the relief lines can be improved accordingly, and the area occupied by the relief lines for defect relief can thereby be reduced. .

【0056】(2)ライン単位の欠陥救済においては、
置換ビットが多い割りに判定回路やレジスタの規模が小
さくて済むので、ワード線又はデータ線におけるビット
性の欠陥については共通の救済線62又は65にビット
単位で置換することにより救済し、ワード線又はデータ
線におけるライン性の欠陥については救済線にライン単
位で置換することにより救済する、というように現実の
欠陥状況に応じて救済方式の選択を可能とすることは、
救済効率の向上、さらには、歩留まりの向上を図る上で
きわめて有効とされる。
(2) In line-by-line defect relief,
Although the number of replacement bits is large, the size of the judgment circuit and registers can be small, so bit-related defects in word lines or data lines can be repaired by replacing them bit by bit with the common repair line 62 or 65, and the word line Alternatively, it is possible to select a repair method according to the actual defect situation, such as repairing a linear defect in a data line by replacing it with a repair line line by line.
This method is considered to be extremely effective in improving relief efficiency and, furthermore, improving yield.

【0057】(3)上記(1)の作用効果により救済ビ
ット数を大幅に増加させた場合でも、救済用メモリセル
の占める面積の増加は小さくて済むので、チップサイズ
の増大を阻止できる。
(3) Even if the number of relief bits is significantly increased due to the effect of (1) above, the increase in the area occupied by the relief memory cells is small, so an increase in chip size can be prevented.

【0058】(4)不良ビットのアドレス情報を書込み
可能なビット救済用アドレスレジスタ26と、このビッ
ト救済用アドレスレジスタ26の記憶情報と外部からの
入力アドレスとを比較し、その比較結果に基づいて、ワ
ード線又はデータ線に係るビット性の欠陥を、共通の救
済線にビット単位で置換することで救済するためのビッ
ト救済用判定回路23とを有することにより、上記ビッ
ト単位の欠陥救済を良好に行い得る。
(4) Compare the bit relief address register 26 into which address information of a defective bit can be written, and compare the stored information of this bit relief address register 26 with an input address from the outside, and based on the comparison result. , and a bit repair judgment circuit 23 for repairing bit defects related to word lines or data lines by replacing them with a common repair line in bit units, thereby making it possible to effectively repair defects in bit units. can be done.

【0059】(5)不良ビットのアドレス情報を書込み
可能なビット救済用アドレスレジスタ26と、このビッ
ト救済用アドレスレジスタ26の記憶情報と外部からの
入力アドレスとを比較し、その比較結果に基づいて、ワ
ード線又はデータ線に係るビット性の欠陥を、共通の救
済線にビット単位で置換することで救済するためのビッ
ト救済用判定回路23と、欠陥ビットに結合されるワー
ド線又はデータ線のアドレス情報を書込み可能なライン
救済用アドレスレジスタ25又は27と、このライン救
済用アドレスレジスタ25又は27の記憶情報と外部か
らの入力アドレスとを比較し、その比較結果に基づいて
、ワード線又はデータ線におけるライン性の欠陥を、救
済線にライン単位で置換することにより救済するための
ライン救済用判定回路22又は24とを含むことは、上
記ビット単位の欠陥救済と、ライン単位の欠陥救済とを
良好に行い得る。
(5) Compare the bit relief address register 26 into which address information of a defective bit can be written, and compare the stored information of this bit relief address register 26 with an input address from the outside, and based on the comparison result. , a bit repair determination circuit 23 for repairing a bit-related defect in a word line or data line by replacing it with a common repair line bit by bit; The line relief address register 25 or 27 in which address information can be written is compared with the memory information of this line relief address register 25 or 27 and the input address from the outside, and based on the comparison result, the word line or data The inclusion of the line repair determination circuit 22 or 24 for repairing linear defects in lines by replacing them with repair lines on a line-by-line basis means that the defect relief on a bit-by-bit basis and the defect relief on a line-by-line basis are included. can be performed well.

【0060】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定
されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲におい
て種々変更可能であることは言うまでもない。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on examples, it goes without saying that the present invention is not limited thereto and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. stomach.

【0061】例えば、判定回路22,23,24及びレ
ジスタ25,26,27のレイアウト面積を可能な限り
小さく抑えるには、電気的に書換可能なEPROMによ
り上記レジスタを構成すると良い。この場合において、
当該EPROMをDRAMと一緒に共通のパッケージに
収納するようにしても良いし、DRAM上にオンチップ
化して一つのLSIとしても良い。
For example, in order to keep the layout area of the determination circuits 22, 23, 24 and the registers 25, 26, 27 as small as possible, it is preferable to configure the registers with an electrically rewritable EPROM. In this case,
The EPROM may be housed together with the DRAM in a common package, or it may be placed on-chip on the DRAM to form one LSI.

【0062】尚、上記した欠陥救済方法は、判定回路2
2,23,24及びレジスタ25,26,27を含むこ
とにより実施可能とされるが、そのような構成によって
当該欠陥救済方法が制限されるものではない。
Note that the above-mentioned defect relief method is based on the determination circuit 2.
2, 23, 24 and registers 25, 26, 27, the defect relief method is not limited by such a configuration.

【0063】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるDRA
Mに適用した場合について説明したが、本発明はそれに
限定されるものではなく、スタティックRAMやその他
の半導体メモリ、さらには、それを含むようなデータ処
理装置などの半導体装置に広く適用することができる。
[0063] In the above explanation, the invention made by the present inventor will be mainly explained in relation to DRA, which is the application field that is the background of the invention.
Although the present invention has been described for the case where it is applied to M, the present invention is not limited thereto, and can be widely applied to semiconductor devices such as static RAM and other semiconductor memories, and furthermore, data processing devices that include them. can.

【0064】本発明は少なくとも複数のメモリ素子を含
む条件のものに適用することができる。
The present invention can be applied to conditions including at least a plurality of memory elements.

【0065】[0065]

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
Effects of the Invention The effects obtained by typical inventions disclosed in this application are briefly explained below.

【0066】すなわち、ワード線又はデータ線に係るビ
ット性の欠陥を共通の救済線にビット単位で置換するこ
とにより、例えば1ビットの欠陥救済をするのに当該欠
陥ビットを含む一つのデータ線を救済線に置換する従来
方式に比して、救済線における救済ビットの利用効率を
向上し、また、欠陥救済のための救済線の占有面積縮小
を図ることができる。
That is, by replacing a bit defect related to a word line or data line with a common repair line bit by bit, for example, in order to repair a 1-bit defect, one data line containing the defective bit is used. Compared to the conventional method of replacing the relief line with a relief line, the utilization efficiency of relief bits in the relief line can be improved and the area occupied by the relief line for defect relief can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

【図1】図1は本発明の一実施例であるDRAMの全体
的な構成ブロック図である。
FIG. 1 is an overall configuration block diagram of a DRAM that is an embodiment of the present invention.

【図2】図2は図1におけるアドレス入力部の構成ブロ
ック図である。
FIG. 2 is a configuration block diagram of an address input section in FIG. 1;

【図3】図3は図2における主要部の構成ブロック図で
ある。
FIG. 3 is a block diagram of the main parts in FIG. 2;

【図4】図4は図3における主要部の詳細な回路図であ
る。
FIG. 4 is a detailed circuit diagram of the main parts in FIG. 3;

【図5】図5はメモリセルアレイの模式図である。FIG. 5 is a schematic diagram of a memory cell array.

【図6】図6はライン救済用ワード線へのライン単位の
欠陥救済の説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram of line-by-line defect relief for line relief word lines.

【図7】図7はライン救済用データ線へのライン単位の
欠陥救済の説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of line-by-line defect relief for line relief data lines.

【図8】図8は複数個連続する欠陥ビットのビット救済
用データ線への救済説明図である。
FIG. 8 is an explanatory diagram of relief of a plurality of consecutive defective bits to a data line for bit relief.

【図9】図9は点在する欠陥ビットのビット救済データ
線への救済説明図である。
FIG. 9 is an explanatory diagram of relief of scattered defective bits to a bit relief data line.

【図10】図10は連続的に存在する欠陥ビットのビッ
ト救済用ワード線への救済説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram of relief of continuously existing defective bits to a word line for bit relief.

【図11】図11は、点在する欠陥ビットのビット救済
用ワード線への救済説明図である。
FIG. 11 is an explanatory diagram of relief of scattered defective bits to word lines for bit relief.

【図12】図12はエリア性欠陥のビット救済用データ
線への救済説明図である。
FIG. 12 is an explanatory diagram of relief of an area defect on a data line for bit relief.

【図13】図13はエリア性欠陥のビット救済用ワード
線への救済説明図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram of relief of an area defect to a word line for bit relief.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10  メモリセルアレイ 11  データ入出力回路 12  I/O線 13  センスアンプ 14  ワードドライバ 15  Xデコーダ 16  Xドライバ 17  アドレス入力部 18  Yスイッチドライバ 19  Yデコーダ 20  Yドライバ 22  判定回路 23  判定回路 24  判定回路 25  ライン救済用X系アドレスレジスタ26  ビ
ット救済用アドレスレジスタ27  ライン救済用Y系
アドレスレジスタ28  Xアドレスバッファ 29  Yアドレスバッファ 61  ライン救済用ワード線 62  ビット救済用ワード線 63  正規のワード線 64  正規のデータ線 65  ビット救済用データ線 66  ライン救済用データ線
10 Memory cell array 11 Data input/output circuit 12 I/O line 13 Sense amplifier 14 Word driver 15 X-system address register for relief 26 Address register for bit relief 27 Y-system address register for line relief 28 X-address buffer 29 Y-address buffer 61 Word line for line relief 62 Word line for bit relief 63 Regular word line 64 Regular data line 65 Data line for bit relief 66 Data line for line relief

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】  ワード線とデータ線とに複数のメモリ
セルが結合されてなる半導体記憶装置の欠陥救済方法に
おいて、ワード線又は複数のデータ線におけるビット性
の欠陥を、共通の救済線にビット単位で置換することに
より救済することを特徴とする半導体記憶装置の欠陥救
済方法。
1. A defect repair method for a semiconductor memory device in which a plurality of memory cells are coupled to a word line and a data line, in which a bit-type defect in a word line or a plurality of data lines is fixed to a common repair line. A method for repairing defects in a semiconductor memory device, characterized in that repair is performed by replacing units.
【請求項2】  ワード線とデータ線とに複数のメモリ
セルが結合されてなる半導体記憶装置の欠陥救済方法に
おいて、ワード線又はデータ線におけるビット性の欠陥
については共通の救済線にビット単位で置換することに
より救済し、ワード線又はデータ線におけるライン性の
欠陥については救済線にライン単位で置換することによ
り救済することを特徴とする半導体記憶装置の欠陥救済
方法。
2. In a defect repair method for a semiconductor memory device in which a plurality of memory cells are connected to a word line and a data line, bit defects in the word line or the data line are repaired bit by bit to a common repair line. 1. A defect repair method for a semiconductor memory device, characterized in that the defect is repaired by replacement, and a line defect in a word line or data line is repaired by replacing the repair line line by line.
【請求項3】  ワード線とデータ線とに複数のメモリ
セルが結合されてなる半導体記憶装置の欠陥救済回路に
おいて、不良ビットのアドレス情報を書込み可能なビッ
ト救済用アドレスレジスタと、このビット救済用アドレ
スレジスタの記憶情報と外部からの入力アドレスとを比
較し、その比較結果に基づいて、ワード線又はデータ線
におけるビット性の欠陥を、共通の救済線にビット単位
で置換することで救済するためのビット救済用判定回路
とを含むことを特徴とする半導体記憶装置の欠陥救済回
路。
3. In a defect relief circuit for a semiconductor memory device in which a plurality of memory cells are coupled to a word line and a data line, a bit relief address register in which address information of a defective bit can be written; To compare the information stored in the address register with the input address from the outside and, based on the comparison result, repair bit defects in the word line or data line by replacing them with a common repair line bit by bit. 1. A defect relief circuit for a semiconductor memory device, comprising a determination circuit for bit relief.
【請求項4】  ワード線とデータ線とに複数のメモリ
セルが結合されてなる半導体記憶装置の欠陥救済回路に
おいて、不良ビットのアドレス情報を書込み可能なビッ
ト救済用アドレスレジスタと、このビット救済用アドレ
スレジスタの記憶情報と外部からの入力アドレスとを比
較し、その比較結果に基づいて、ワード線又はデータ線
におけるビット性の欠陥を、共通の救済線にビット単位
で置換することで救済するためのビット救済用判定回路
と、欠陥ビットに結合されるワード線又はデータ線のア
ドレス情報を書込み可能なライン救済用アドレスレジス
タと、このライン救済用アドレスレジスタの記憶情報と
外部からの入力アドレスとを比較し、その比較結果に基
づいて、ワード線又はデータ線におけるライン性の欠陥
を、救済線にライン単位で置換することにより救済する
ためのライン救済用判定回路とを含むことを特徴とする
半導体記憶装置の欠陥救済回路。
4. In a defect relief circuit for a semiconductor memory device in which a plurality of memory cells are coupled to a word line and a data line, a bit relief address register in which address information of a defective bit can be written; To compare the information stored in the address register with the input address from the outside and, based on the comparison result, repair bit defects in the word line or data line by replacing them with a common repair line bit by bit. a bit repair determination circuit, a line repair address register into which address information of a word line or data line connected to a defective bit can be written, and a line repair address register that stores information stored in the line repair address register and an input address from the outside. A semiconductor characterized in that it includes a line repair determination circuit for comparing and repairing a line defect in a word line or data line by replacing it with a repair line line by line based on the comparison result. Memory device defect relief circuit.
【請求項5】  請求項3又は4記載の欠陥救済回路を
含み、上記ビット性の欠陥を救済するための複数のビッ
ト救済用メモリセルを共通の救済線に結合してなる半導
体記憶装置。
5. A semiconductor memory device comprising the defect relief circuit according to claim 3 or 4, and in which a plurality of bit relief memory cells for relief of the bit-type defects are coupled to a common relief line.
JP3001919A 1991-01-11 1991-01-11 Method and circuit for remedying defect of semiconductor memory and semiconductor memory having such circuit Pending JPH04241299A (en)

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