JPH04205805A - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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JPH04205805A
JPH04205805A JP33395790A JP33395790A JPH04205805A JP H04205805 A JPH04205805 A JP H04205805A JP 33395790 A JP33395790 A JP 33395790A JP 33395790 A JP33395790 A JP 33395790A JP H04205805 A JPH04205805 A JP H04205805A
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JP
Japan
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magnetic
flux density
thin film
magnetic flux
gap
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Application number
JP33395790A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Kimura
亮 木村
Akihiro Ashida
芦田 晶弘
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To enable deterioration of recording characteristics and C/N characteristics to be reduced by joining one magnetic core where a high- saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is provided on a surface where a magnetic gap is formed and the other magnetic core consisting of a single crystal Mn-Zn ferrite where SnO2 is subjected to solid solution through a gap material. CONSTITUTION:A high-saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 is formed on a gap surface of a magnetic core 11 and a magnetic core 2 where a coil-winding window 15 is formed is constituted by a single-crystal Mn-Zn ferrite where SnO2 is subjected to solid solution. Also, a gap 3 is formed through a non-magnetic material 13 consisting of glass or SiO2 between the magnetic cores 2 and 11 and a high-saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1. Then, a track width regulating groove is formed from a front gap part to a back gap part, a glass 14 is filled at the part, and the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 exists not only near a gap but also along a part of the track width regulating groove, thus enabling a sliding noise to be reduced and C/N characteristics to be improved.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はビデオテープレコーダ(VTR)、ディジタル
オーディオチーブレコーダ(DAT)あるいはブロッピ
ーディスク(FDD)等に用いられる高保磁力の磁気記
録媒体に高密度に情報を記録再生するのに適した磁気ヘ
ッドに関すム 従来の技術 高密度磁気記録再生のために 記録媒体はその保磁力を
大きくし また磁気ヘッドの方はその飽和磁束密度を大
きくすれば良いことが一般に知られていも 現在磁気ヘ
ッド材料として主流になっているフェライト材料ζよ 
その飽和磁束密度が5000Gauss程度であり、 
10000e以上の高保磁力を示すメタルテープ等に使
用すると磁気飽和が起こり、記録が十分に行われなし 
そこでフェライト材料よりも飽和磁束密度の大きいセン
ダスト合金やCO系アモルファス膜等を用いた磁気ヘッ
ドが実用化されていも 磁気ヘッドの構造として(よ 第3図に示すように2つ
の磁気コア11がMn−Znフェライトからなり、磁気
ギャップ近傍の両側に軟磁性膜fi12と非磁性のギャ
ップ材13から構成されたMIG (メタル・イン・ギ
ャップ)磁気ヘッドであり、その製造方法が従来のフェ
ライトヘッドとほぼ同じであることから盛んに検討が行
われている。な耘 同図において、 14はトラック幅
を規制するためのガラ人 15は巻線窓である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention is applicable to high-density magnetic recording media with high coercive force used in video tape recorders (VTRs), digital audio recorders (DATs), floppy disks (FDDs), etc. Conventional technology related to magnetic heads suitable for recording and reproducing information For high-density magnetic recording and reproduction, the coercive force of the recording medium should be increased, and the saturation magnetic flux density of the magnetic head should be increased. Although it is generally known that ferrite material ζ is currently the mainstream material for magnetic heads,
Its saturation magnetic flux density is about 5000 Gauss,
If used with metal tapes that exhibit a high coercive force of 10,000e or more, magnetic saturation will occur and recording will not be performed adequately.
Therefore, even though magnetic heads using Sendust alloy, CO-based amorphous film, etc., which have a higher saturation magnetic flux density than ferrite materials, have been put into practical use, the structure of the magnetic head (as shown in Figure 3, the two magnetic cores 11 are Mn - This is a MIG (metal-in-gap) magnetic head made of Zn ferrite and composed of a soft magnetic film fi12 and a non-magnetic gap material 13 on both sides near the magnetic gap, and its manufacturing method is almost the same as that of conventional ferrite heads. Since they are the same, much research is being carried out.In the same figure, 14 is a winding window for regulating the track width, and 15 is a winding window.

発明が解決しようとする課題 しかしながら従来のMIGタイプの磁気ヘッドでζよ 
軟磁性薄膜12とフェライトコア11の境界において、
反応が起こるためにこの部分に磁気的劣化層が形成され
る。この磁気劣化層がギャップ面と平行になっていると
疑似ギャップとして働き、疑似信号が発生するという問
題点がある(日本応用磁気学会誌Vo1.11. No
2.1987、 pp、 105〜108)。
Problems to be Solved by the Invention However, with the conventional MIG type magnetic head,
At the boundary between the soft magnetic thin film 12 and the ferrite core 11,
A magnetically degraded layer is formed in this portion due to the reaction. If this magnetic deterioration layer is parallel to the gap plane, it acts as a pseudo gap and generates a pseudo signal (Journal of the Japan Society of Applied Magnetics Vol. 1.11. No.
2.1987, pp. 105-108).

一人 磁気コアを接合する場合 ガラス融着という方法
が一般に用いられも その場合 500℃以上の熱処理
が必要となる。この際にフェライトコアと上記軟磁性薄
膜の境界で反応が起こり、磁気的に非常に劣化した層が
形成されも 両者の境界はギャップ面と平行になってい
るために疑似ギャップとして作用し ヘッドの周波数特
性においてうねりとして現れもまた フェライトコアが
ギャップ近傍に露出しているた数 摺動ノイズが大きく
なり、C/N特性が劣化するといった課題を有してい池
上記の課題はVTR,DAT、FDD等のシステムにと
って致命的であも 本発明は上記の課題を解決し うねり、記録特性の劣化
およびC/N特性の劣化の少ない磁気ヘッドの提供を目
的とすム 課題を解決するための手段 上記の目的を達成するために本発明の磁気ヘッドは磁気
ギャップ形成面に高飽和磁束密度軟磁性薄膜を設けた一
方の磁気コアと5nu2を固溶した単結晶Mn−Znフ
ェライトからなる他方の磁気コアをギャップ材を介して
接合したものであム 作用 本発明は上記の構成により、磁気劣化層は片側にのみ存
在し ギャップ形成面に軟磁性膜を設けない磁気コアを
SnO2を固溶した単結晶Mn−Znフェライトで構成
して摺動ノイズを抑える。
When joining magnetic cores, a method called glass fusion is generally used, but in that case heat treatment at 500°C or higher is required. At this time, a reaction occurs at the boundary between the ferrite core and the above-mentioned soft magnetic thin film, and even though a very magnetically degraded layer is formed, the boundary between the two acts as a pseudo gap because it is parallel to the gap surface, and the head When the ferrite core is exposed near the gap, it also causes problems such as increased sliding noise and deterioration of C/N characteristics. The present invention solves the above-mentioned problems even though they are fatal to systems such as the above. In order to achieve the above object, the magnetic head of the present invention has one magnetic core provided with a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film on the magnetic gap forming surface, and the other magnetic core made of single crystal Mn-Zn ferrite containing 5nu2 as a solid solution. The magnetic deterioration layer is present only on one side, and the magnetic core is a single crystal with SnO2 dissolved in solid solution. Composed of Mn-Zn ferrite to suppress sliding noise.

実施例 以乍本発明の一実施例の磁気ヘッドについて図面を参照
しながら説明すも (実施例1) まず磁気ヘッドの構造に関しての実施例を示す。第1図
は本発明による磁気ヘッドの一例であり、同図(a)は
本発明の磁気ヘッドの斜視図であム 同図において、磁
気コア11は酸化物磁性材料 例えばMn−Znフェラ
イトからなり、その磁気コア11のギャップ面に高飽和
磁束密度軟磁性薄膜1が形成されている。そして巻線窓
15を形成した磁気コア2を5n02を固溶した単結晶
Mn−Znフェライトで構成する。
EMBODIMENTS A magnetic head according to an embodiment of the present invention will now be described with reference to the drawings (Embodiment 1) First, an embodiment of the structure of a magnetic head will be described. FIG. 1 shows an example of a magnetic head according to the present invention, and FIG. 1(a) is a perspective view of the magnetic head according to the present invention. In the figure, a magnetic core 11 is made of an oxide magnetic material such as Mn-Zn ferrite. A high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 is formed on the gap surface of the magnetic core 11. The magnetic core 2 in which the winding window 15 is formed is made of single crystal Mn--Zn ferrite containing 5n02 as a solid solution.

また磁気コア2、11と高飽和磁束密度軟磁性薄膜1の
間にはガラスまたは5i02などからなる非磁性材13
を介してギャップ3が形成され、L  トラック幅規制
溝がフロントギャップ部からパックギャップ部まで形成
されており、その部分にはガラス14が充填されていも
 また高飽和磁束密度軟磁性薄膜1(戴 ギャップ近傍
だけでなく、 トラック幅規制溝の部分にそって存在し
ていも 第1図(b)は本発明の磁気ヘッドの摺動面のギャップ
近傍を拡大したものである。ここで高飽和磁束密度軟磁
性薄膜1はたとえばCoNbZr  (200人)3と
CoNbZ rN  (200人)4が交互に100層
ずつ積層された[以下、 (CoNbZ r/CoNb
Z rN)  と表す]膜厚4μmのいわゆる超構造窒
化膜が用いられていも この超構造窒化膜の飽和磁束密
度はl。
Also, between the magnetic cores 2 and 11 and the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1, a non-magnetic material 13 made of glass or 5i02, etc.
A gap 3 is formed through the L track width regulating groove from the front gap portion to the pack gap portion. Fig. 1(b) is an enlarged view of the sliding surface of the magnetic head of the present invention near the gap. The density soft magnetic thin film 1 is made by laminating, for example, 100 layers of CoNbZr (200) 3 and CoNbZ rN (200) 4 [hereinafter referred to as (CoNbZ r/CoNb)].
Even if a so-called superstructure nitride film with a film thickness of 4 μm is used, the saturation magnetic flux density of this superstructure nitride film is l.

40テスラであっt島 な耘 磁気ヘッドの構造としては第1図に示したちの以
外にも種々あム その−例を第2図に示す。
There are various types of magnetic head structures other than the one shown in FIG. 1, an example of which is shown in FIG. 2.

第2図(a)は高飽和磁束密度軟磁性薄膜1がギャップ
部のみに形成され その他の構造は第1図と同じ磁気ヘ
ッドである。第2図(b)はトラック幅規制溝がフロン
トギャップ部のみに形成され 高飽和磁束密度軟磁性薄
膜1もギャップ近傍にしか存在しなl、%  その他の
構成(よ第1図の磁気ヘッドと同じであム な耘 ここに示した例は磁気ヘッド構成の一例であり、
本発明の本質は 片側の磁気コア11のギャップ形成面
だけに高飽和磁束密度軟磁性薄膜1を形成することと、
高飽和磁束密度軟磁性薄膜1を形成していない磁気コア
2を、5notを固溶した単結晶Mn−Znフェライト
で構成することであり、高飽和磁束密度軟磁性薄膜1の
組成 膜厚及びヘッドの形状などに関してはここに示し
た以外に多くの構成があム次に本発明の磁気ヘッドの電
磁変換特性の測定結果について示す。
In FIG. 2(a), the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 is formed only in the gap portion, and the other structure is the same as that in FIG. 1. In FIG. 2(b), the track width regulating groove is formed only in the front gap, and the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 is also present only in the vicinity of the gap. The example shown here is an example of a magnetic head configuration.
The essence of the present invention is to form a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 only on the gap forming surface of the magnetic core 11 on one side;
The magnetic core 2 on which the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 is not formed is composed of single crystal Mn-Zn ferrite containing 5not as a solid solution. Regarding the shape and the like, there are many configurations other than those shown here.Next, the results of measurement of the electromagnetic conversion characteristics of the magnetic head of the present invention will be shown.

まず第1図に示される高飽和磁束密度軟磁性薄膜1にC
oを主成分とする材料を用いたときの実施例を示す。
First, a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 shown in FIG.
An example will be shown in which a material containing o as a main component is used.

高飽和磁束密度軟磁性薄膜1にζよ Co−(Nb、 
 Zr、  Ta)  (200人)とCo−(Nb、
Zr、Ta)−N (200人)とを各100層ずス 
膜厚にして4μmの超構造薄膜を用い九磁気ヘッドのギ
ャップ長は0.3μ匹 トラック幅は20μmであも 
測定はドラムテスターを用(\ ヘッドとテープの相対
速度5.8m/Sで行つな テープの保磁力は1550
エルステツドであム 種々の高飽和磁束密度軟磁性薄膜を用いたヘッドの周波
数特性のうねりの振幅測定を行つ九その結果を第1表に
示す。
Co-(Nb,
Zr, Ta) (200 people) and Co-(Nb,
Zr, Ta)-N (200 people) and 100 layers each.
Using a superstructured thin film with a film thickness of 4 μm, the gap length of the nine magnetic heads is 0.3 μm, and the track width is 20 μm.
Use a drum tester to measure (at a relative speed of 5.8 m/s between the head and tape. The coercive force of the tape is 1550.
The amplitude of the waviness in the frequency characteristics of heads using various high saturation magnetic flux density soft magnetic thin films was measured using Oersted. The results are shown in Table 1.

(以下、余白) 第1表 上表のうねりの振幅の欄において、 (a)は本発明の
磁気ヘッドであり、片側の磁気コアにだけ高飽和磁束密
度軟磁性薄膜を形成した場合へ (b)は両方の磁気コ
アに軟磁性薄膜を形成した場合の磁気ヘッドの周波数特
性のうねりの振幅を示す。うねりの振幅UIMHz〜1
0MHzでの振幅のもっとも大きいものをその値とし?
=(a)の場合はうねりの振幅の平均値が約1.3dB
であるのに対し、  (b)の場合は約2.9dBであ
った すなわ叛 高飽和磁束密度軟磁性薄膜を片側の磁
気コアだけに形成する方力(両方の磁気コアに高飽和磁
束密度軟磁性薄膜を形成した場合に比べて装備ギャップ
による悪影響を低減することが可能であることがわかも しかしながら高飽和磁束密度軟磁性薄膜を磁気コアの片
側にだけ形成した場合は記録特性が劣化する恐れがある
。そこで片側にのみ高飽和磁束密度軟磁性薄膜を形成し
たときと磁気コアの両側に形成したときの記録特性の比
較を、高飽和磁束密度軟磁性薄膜の飽和磁束密度をいろ
いろ変化させて行った 測定は上記と同じ条件で行っ通 磁気ヘッドのギャップ
長を0.28〜0.30μmとじな再生ヘッドはギャッ
プ長が0.25μmのフェライトヘッドを用いて行った
 測定周波数は1゜0MHz、記録信号は正弦波として
再生出力か最大となるように記録電流の大きさを選んた
高飽和磁束密度軟磁性薄膜の飽和磁束密度は(1)1.
OT、 (2)1.2T、 (3)1.3T、(4)1
゜ 4T、  (5)1. 5Tのものについて実験を
行った サンプル数は各3個としその平均値を示した 
ここで測定ζよ 保磁力(A)=7500e  と、 
  (B)=170006  のテープを用いて行っ九
 ここで、 17000eのテープは現在市販されてい
るメタルテープで最も保磁力が大きいものの一つであム 第4図に結果を示す。磁気コアの両側に高飽和磁束密度
軟磁性薄膜を形成した場合を基準(OdB)とし これ
と比較した時の特性を示していも まず(A)の場合は
(1)〜(5)全てにおいて両方の磁気コアに高飽和磁
束密度軟磁性薄膜を形成した場合と片側のコアにだけ形
成した場合で差がなかっ九 すなわち保磁力が7500
e程度の記録媒体に対しては飽和磁束密度1.0T(こ
こではセンダストを用いた)の材料を片側の磁気コアに
形成するだけでL両側の磁気コアに形成したときと同じ
程度の記録特性が得られることがわかった 次に(B)
の場合は(1)では明らかに両コアに高飽和磁束密度軟
磁性薄膜を形成した磁気ヘッドの方が記録特性が優れて
いることがわかった しかし飽和磁束密度がさらに大き
くなって1.2T以上になると、片側のコアにだけ高飽
和磁束密度軟磁性薄膜を形成した場合と、両側のコアに
形成した場合でほとんど差がなくなることがわがっ九 
このことから保磁力が17000e程度に大きくなると
飽和磁束密度が1.0Tのセンダスト材料では記録が不
十分になり、 1.2T以上の材料が必要になることが
わがっ九このことから高飽和磁束密度軟磁性薄膜の飽和
磁束密度が1゜ 2T以上であれば 片側の磁気コアに
だけ高飽和磁束密度軟磁性薄膜を形成することで、現在
量も保磁力の大きいメタルテープに対しても両側の磁気
コアに高飽和磁束密度軟磁性薄膜を形成した磁気ヘッド
と遜色ない記録特性を示すMIGタイプの磁気ヘッドが
得られ墨ことがわかっ九 飽和磁束密度が1.2T以上で、 500℃以上の熱処
理後も軟磁気特性を示す材料としてζ表一般式CoMで
表される材料とその窒化物(−般式CoMN)とが少な
くとも薄膜作成時には積層された構造になっているもの
(以下、C。
(Hereinafter, blank space) In the column of waviness amplitude in the upper table of Table 1, (a) is the magnetic head of the present invention, and for the case where a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is formed only on one magnetic core (b) ) shows the amplitude of waviness in the frequency characteristics of the magnetic head when soft magnetic thin films are formed on both magnetic cores. Waviness amplitude UIMHz ~ 1
What is the value of the largest amplitude at 0MHz?
= In the case of (a), the average value of the amplitude of the waviness is approximately 1.3 dB
On the other hand, in the case of (b), it was about 2.9 dB. Although it is possible to reduce the negative effects caused by the equipment gap compared to the case where a soft magnetic thin film is formed, recording characteristics deteriorate when a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is formed only on one side of the magnetic core. Therefore, we compared the recording characteristics when a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film was formed only on one side and when it was formed on both sides of the magnetic core by varying the saturation magnetic flux density of the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film. The measurements were carried out under the same conditions as above. The gap length of the magnetic head was 0.28 to 0.30 μm. The reproducing head was a ferrite head with a gap length of 0.25 μm. The measurement frequency was 1°0 MHz. The saturation magnetic flux density of the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is (1)1.
OT, (2) 1.2T, (3) 1.3T, (4) 1
゜ 4T, (5)1. The experiment was conducted on 5T.The number of samples was 3 for each, and the average value is shown.
Now measure ζ, coercive force (A) = 7500e,
(B) = 170006 The tape of 17000e is one of the metal tapes currently on the market with the highest coercive force, and the results are shown in Figure 4. Although the characteristics are shown when compared with the standard (OdB) when a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is formed on both sides of the magnetic core, first of all, in the case of (A), both (1) to (5) are satisfied. There is no difference between the case where a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is formed on the magnetic core and the case where it is formed only on one side of the core.9 In other words, the coercive force is 7500.
For a recording medium of about E, simply forming a material with a saturation magnetic flux density of 1.0T (Sendust was used here) on one side of the magnetic core will produce the same recording characteristics as when forming it on both magnetic cores of L. Next, (B)
In the case of (1), it was clearly found that the magnetic head with a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film formed on both cores had better recording characteristics. It has been found that there is almost no difference between forming a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film on only one core and forming it on both cores.
From this, we know that when the coercive force increases to about 17000e, recording becomes insufficient with the Sendust material with a saturation magnetic flux density of 1.0T, and a material with a saturation magnetic flux density of 1.2T or more is required. If the saturation magnetic flux density of the density soft magnetic thin film is 1°2T or more, by forming a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film only on one side of the magnetic core, the current amount and coercive force of the metal tape on both sides can be increased. It was found that a MIG type magnetic head with recording characteristics comparable to those of a magnetic head with a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film formed in the magnetic core was obtained.9 The saturation magnetic flux density was 1.2T or higher, and heat treatment at 500℃ or higher was used. As a material exhibiting soft magnetic properties, a material represented by the general formula CoM in the ζ table and its nitride (-general formula CoMN) have a laminated structure at least at the time of thin film production (hereinafter referred to as C).

M/CoMNと表す。ここでMは金属光iNは窒素であ
ム )、いわゆる超構造CO系組成変調窒化合金膜が挙
げられも その合金膜の組成に関してlt、coは飽和
磁束密度を1.2T以上にするため原子比で80%以上
とし またMは所定の軟磁気特性を確保するためにNb
、Zr、Ta、Hf、Ti、Mo、Wの中の1種以上か
ら構成されるものとし 原子比で5%以上20%以下と
す4 また−層当りの厚みは1500Å以下であれば 
所定の軟磁気特性が得られも これらの材料を例示するなら1icoNbZr/CoN
bZrN、CoTaZr/CoTaZrN、CoNbZ
rTa/CoNbZrTaN、CoMoZr/CoMo
ZrN、CoNbMoor/CoNbMoZrN、Co
T1Nb/CoTiNbN、CoWNb/CoWNbN
等があり、この中でも特にCo N b Z r / 
C。
It is expressed as M/CoMN. Here, M is metal light (iN is nitrogen), and so-called superstructured CO-based compositionally modulated nitride alloy films are mentioned. Regarding the composition of the alloy film, lt and co are atoms in order to increase the saturation magnetic flux density to 1.2 T or more. The ratio should be 80% or more, and M is Nb to ensure the specified soft magnetic properties.
, Zr, Ta, Hf, Ti, Mo, and W, and the atomic ratio is 5% to 20%4. Also, the thickness per layer is 1500 Å or less.
An example of these materials that can obtain the desired soft magnetic properties is 1icoNbZr/CoN.
bZrN, CoTaZr/CoTaZrN, CoNbZ
rTa/CoNbZrTaN, CoMoZr/CoMo
ZrN, CoNbMoor/CoNbMoZrN, Co
T1Nb/CoTiNbN, CoWNb/CoWNbN
etc. Among these, especially Co N b Z r /
C.

NbZrN、CoTaZr’/CoTaZrN、CoN
bZ rTa/Co’NbZ rTaNが望ましL% 
 本実施例では高飽和磁束密度軟磁性薄膜にCoを主成
分とする軟磁性材料の例を示しため(本発明はこれに限
定されるものではな(を飽和磁束密度が1.2T以上で
あり、所定の軟磁気特性を示すものであれば同様の効果
が得られる。また膜厚は磁気ヘッドの用途によって変え
も 次に本実施例の磁気ヘッドの摺動ノイズについて従来の
磁気ヘッド及びフェライトヘッドとの比較を行っな 測
定方法は ドラムテスター上で、市販のメタルテープを
使用して測定し九そして第5図に示すように 摺動ノイ
ズについて(よ 主信号の周波数(7MHz)とじ そ
の±4MHzの帯域内での摺動ノイズの最大値でもって
代表することとした また ヘッドの突出状態の変化と
摺動ノイズとの関係についての検討もおこなっ九 その結果を第2表に示す。
NbZrN, CoTaZr'/CoTaZrN, CoN
bZ rTa/Co'NbZ rTaN is desirable L%
In this example, an example of a soft magnetic material containing Co as a main component is shown as a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film (the present invention is not limited to this). , similar effects can be obtained as long as the film exhibits predetermined soft magnetic properties.Furthermore, the film thickness may vary depending on the intended use of the magnetic head. The measurement method is as shown in Figure 5. The measurement method is as shown in Figure 5.The measurement method is as shown in Figure 5. The relationship between changes in the protruding state of the head and sliding noise was also investigated, and the results are shown in Table 2.

第2表 第2表より本実施例の磁気ヘッド(よ 従来の磁気ヘッ
ドに比べて約2dBの摺動ノイズの低減がはかれた フ
ェライトヘッドと比較すると約8dB程度の差となって
いる。従来の磁気ヘッドに比べて摺動ノイズが低い原因
(よ ヘッド感度の一番敏感なギャップ近傍が摺動ノイ
ズの発生しない高飽和磁束密度軟磁性薄膜と、摺動ノイ
ズの低いSnO2を固溶した単結晶Mn −Znフェラ
イトで構成されているためと考えられ フェライトヘッ
ドにくらべてノイズが低いのはもちろんのこと、従来の
磁気ヘッドと比較しても優位な結果となっていも さらにヘッド突出量を変化させて、ヘッド−テープ間の
インターフェイス状態と摺動ノイズの関係について検討
したとこへ 従来の磁気ヘッドで(よ インターフェイ
ス状態の違いで、摺動ノイズのレベルが約4〜8dBの
変化をしたのに対して、本実施例の磁気ヘッドでは そ
の変化は少なく、 2〜3dB程度であった この点か
らでも本実施例ヘッドの摺動ノイズに対する優位性が証
明され九 (実施例2) 第1図に示される高飽和磁束密度軟磁性薄膜1にFeを
主成分とする高飽和磁束密度軟磁性材料を用いたときの
実施例を示す。この例では片側にだけFeNbZr (
100人)とFeNbZrN(100人)を各々250
層ずス 膜厚にして5μmの高飽和磁束密度軟磁性薄膜
を形成した磁気ヘッドの例であa ここで高飽和磁束密
度軟磁性薄膜の飽和磁束密度は1.5テスラであっ通 
以下電磁変換特性に関して、実施例1と同様の測定を行
ったときの結果を第3表に示す。
Table 2 From Table 2, the magnetic head of this embodiment has reduced sliding noise by about 2 dB compared to the conventional magnetic head.Compared with the ferrite head, the difference is about 8 dB. The reason why the sliding noise is lower than that of other magnetic heads. This is thought to be due to the fact that it is composed of crystalline Mn-Zn ferrite.Not only does it have lower noise than ferrite heads, but it also has superior results compared to conventional magnetic heads. Now, we have examined the relationship between the head-tape interface condition and sliding noise.In a conventional magnetic head, the sliding noise level changes by about 4 to 8 dB depending on the interface condition. On the other hand, in the magnetic head of this example, the change was small, about 2 to 3 dB.This fact also proves the superiority of the head of this example against sliding noise.9 (Example 2) Figure 1 An example is shown in which a high saturation magnetic flux density soft magnetic material containing Fe as a main component is used for the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film 1 shown. In this example, FeNbZr (
250 each of FeNbZrN (100 people) and FeNbZrN (100 people)
This is an example of a magnetic head in which a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film with a film thickness of 5 μm is formed. Here, the saturation magnetic flux density of the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is 1.5 Tesla.
Regarding the electromagnetic conversion characteristics, the results of measurements similar to those in Example 1 are shown in Table 3 below.

(以下、余白) 第3表 第3表にl;&  Fe −(Ti、  Nb、  Z
r、  Ta、  Mn)  (100人)とFe−(
Ti、 Nb、Z r、  Ta、  Mn) −N 
(100人)とを各々200層ず−)、膜厚にして4μ
mの高飽和磁束密度軟磁性薄膜を(c)片側の磁気コア
にだけ形成した磁気ヘッドL  (d)両側の磁気コア
に形成した磁気ヘッドの周波数特性のうねりの振幅を示
す。周波数特性のうねりの振幅の平均値i友(c)の場
合的1.3dBであるのに対し、 (d)の場合は約2
.9dBであり、高飽和磁束密度軟磁性薄膜の飽和磁束
密度にはかかわらず片側の磁気コアにだけ高飽和磁束密
度軟磁性薄膜を形成することによりうねりの振幅を小さ
くすることが可能となム また記録特性に関しても保磁力(A)7500eと(B
)17000eの記録媒体を用いて軟磁性薄膜の飽和磁
束密度を(1)1.0T、(2)1.2T、 (3) 
 1. 4T、 (4)1゜5T、 (5)1.6Tの
材料について実験を行 。
(Hereinafter, blank space) Table 3 In Table 3, & Fe −(Ti, Nb, Z
r, Ta, Mn) (100 people) and Fe-(
Ti, Nb, Zr, Ta, Mn) -N
(100 people) and 200 layers each), film thickness is 4μ
(c) A magnetic head L in which a soft magnetic thin film with a high saturation magnetic flux density of m is formed only on one side of the magnetic core. (d) The amplitude of the waviness in the frequency characteristics of a magnetic head formed on both magnetic cores is shown. The average amplitude of the waviness of the frequency characteristic is 1.3 dB in case (c), while it is approximately 2 dB in case (d).
.. 9 dB, and it is possible to reduce the amplitude of waviness by forming a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film only on one side of the magnetic core, regardless of the saturation magnetic flux density of the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film. Regarding recording characteristics, coercive force (A) 7500e and (B
) Using a 17000e recording medium, the saturation magnetic flux density of the soft magnetic thin film is (1) 1.0T, (2) 1.2T, (3)
1. Experiments were conducted on materials of 4T, (4) 1°5T, and (5) 1.6T.

っ九 その結果を第6図に示す。高飽和磁束密度軟磁性
薄膜にCo系組成変調窒化合金膜を用いたときと同じよ
う+;=(A)に関しては (1)〜(5)でほとんど
差がなく片側の磁気コアにだけ高飽和磁束密度軟磁性薄
膜を形成しても記録特性が劣化しなζ−一方(B)の高
保磁力媒体に関してζよ (1)では片側の磁気コアに
だけ高飽和磁束密度軟磁性薄膜を形成した方が両側の磁
気コアに形成した場合に比べ記録特性が劣っている力丈
 (2)から(5)に関してはほぼ差のないことが確認
できた 飽和磁束密度が1.2T以上で、 500℃以上の熱処
理後も軟磁気特性を示すFeを主成分とする材料として
は 例えばFeM膜とFeMN膜の積層構造(以下、F
eM/FeMNと表す。ここでMは金属死魚 Nは窒素
であム)を有する超構造膜が挙げられも さらにその組
成に関してζL  Feは飽和磁束密度を1.2T以上
にするため原子比で70%以上とし またMは所定の軟
磁気特性を確保するためにNb、Zr5Ta、  Ti
5Cr、  Hf、  Mo、  W、  Mn、Re
、Ruの中の1種以上のから構成されるものとし 原子
比で5%以上30%以下のものが挙げられも これらの
材料の中でも特番ミFeNb/FeNbN、  Fea
r/FeZrN。
Figure 6 shows the results. Same as when a Co-based composition-modulated nitride alloy film is used as a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film.As for +;= (A), there is almost no difference between (1) to (5), and only one magnetic core has high saturation. Recording characteristics do not deteriorate even if a magnetic flux density soft magnetic thin film is formed ζ - On the other hand, regarding the high coercive force medium in (B) ζ In (1), a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is formed only on one magnetic core. It was confirmed that there is almost no difference in terms of force length (2) to (5), where the recording properties are inferior to when magnetic cores are formed on both sides of the magnetic core.When the saturation magnetic flux density is 1.2T or higher and the temperature is 500℃ or higher, An example of a material containing Fe as a main component that exhibits soft magnetic properties even after heat treatment is a laminated structure of FeM film and FeMN film (hereinafter referred to as F
It is expressed as eM/FeMN. Here, M is a dead metal, N is nitrogen, and the superstructured film has 70% or more in atomic ratio in order to increase the saturation magnetic flux density to 1.2T or more. is Nb, Zr5Ta, Ti to ensure the specified soft magnetic properties.
5Cr, Hf, Mo, W, Mn, Re
, Ru, and the atomic ratio may be 5% or more and 30% or less. Among these materials, the special materials FeNb/FeNbN, Fea
r/FeZrN.

FeTi/FeTiN、  FeTi/FeTiN。FeTi/FeTiN, FeTi/FeTiN.

FeNbZr/FeNbZrN、  FeNbTa/F
eNbTaN、  ’FeNbTi/FeNbTiN、
  FeZrTi/FeZrTiN、  FeZrTi
/FeZrTiN、  FeZrMn/FeZrMnN
、FeNbMn/FeNbMnN等が望ましく℃ また
−層当りの厚みは軟磁気特性が保たれる範囲であればよ
く、高飽和磁束密度軟磁性薄M1の膜厚はもヘッドの用
途に合わせて変えも また さきに実施例1で示したCo系組成変調窒化合金
膜を用いた磁気ヘッドと同様に摺動ノイズのレベルにつ
いて比較検討をおこなっ九測定方法は実施例1の場合と
同様であaその結果を第4表に示す。
FeNbZr/FeNbZrN, FeNbTa/F
eNbTaN, 'FeNbTi/FeNbTiN,
FeZrTi/FeZrTiN, FeZrTi
/FeZrTiN, FeZrMn/FeZrMnN
, FeNbMn/FeNbMnN, etc. are preferable. Also, the thickness per layer may be within a range that maintains the soft magnetic properties, and the film thickness of the high saturation magnetic flux density soft magnetic thin M1 may be changed depending on the use of the head. Similar to the magnetic head using the Co-based composition-modulated nitride alloy film shown in Example 1, we conducted a comparative study on the level of sliding noise.The measurement method was the same as in Example 1. It is shown in Table 4.

(以下、余白) 第4表 結果は Co系組成変調窒化合金膜を用いた磁気ヘッド
の場合とほぼ同じ傾向を示し 従来の磁気ヘッドと比較
すると摺動ノイズは約 1゜5dB程度の低減をはかる
ことができkまた磁気ヘッドとテープのインターフェイ
ス状態の変化と摺動ノイズの関係においても本実施例の
磁気ヘッドの優位性を確認することができた ここで実施例1及び2に示した超構造を有する高飽和磁
束密度軟磁性薄膜の製造方法としては 例えばスパッタ
法でCoMもしくはFeMをターゲットとしてArガス
に窒素ガスを所定の割合で周期的に混合すること等によ
り得ることができる。
(The following is a margin) The results in Table 4 show almost the same tendency as in the case of a magnetic head using a Co-based composition-modulated nitride alloy film, and the sliding noise is reduced by about 1°5 dB compared to a conventional magnetic head. We were also able to confirm the superiority of the magnetic head of this example in terms of the relationship between changes in the interface state between the magnetic head and tape and sliding noise. As a method for producing a soft magnetic thin film having a high saturation magnetic flux density, for example, it can be obtained by sputtering, using CoM or FeM as a target, and periodically mixing nitrogen gas with Ar gas at a predetermined ratio.

発明の効果 本発明ニヨリ、VTR,DAT、FDD用磁気ヘッドに
従来よりも疑似信号が小さく、摺動ノイズの低いC/N
特性に優れたMIGタイプの磁気ヘッドを得ることがで
きも また 本発明による磁気ヘッドは製造工程が簡略
て 低コストのMIGタイプ磁気ヘッドを得ることがで
き、実用価値の非常に高い磁気ヘッドの提供が可能とな
Effects of the Invention The present invention provides magnetic heads for VTRs, DATs, and FDDs with smaller pseudo signals and lower C/N noise than conventional ones.
It is possible to obtain a MIG type magnetic head with excellent characteristics, and the manufacturing process of the magnetic head according to the present invention is simple, and a low cost MIG type magnetic head can be obtained, thereby providing a magnetic head with extremely high practical value. is possible

【図面の簡単な説明】 第1図(a)は本発明の磁気ヘッドの一実施例の斜視医
 第1図(b)は同じく磁気ヘッド摺動面のギャップ近
傍の拡大医 第2図(a)、(b)は同じく磁気ヘッド
の他の実施例の斜視阻第3図は従来の磁気ヘッドの斜視
文 第4図および第6図は本発明の磁気ヘッドと従来の
磁気ヘッドの記録特性の比較@ 第5図は摺動ノイズの
測定方法を示すモデル図である。 1・・・高飽和磁束密度軟磁性薄[2、11・・・磁気
コア、 13・・・非磁性材。 代理人の氏名 弁理士 小鍜治 明 ほか2名第1図 第4図 館勾81東!廖(Bs) 第5図 第6図
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1(a) is a perspective view of an embodiment of the magnetic head of the present invention. FIG. 1(b) is an enlarged view of the vicinity of the gap on the sliding surface of the magnetic head. FIG. ) and (b) are perspective views of other embodiments of the magnetic head. FIG. 3 is a perspective view of the conventional magnetic head. FIGS. 4 and 6 show the recording characteristics of the magnetic head of the present invention and the conventional magnetic head. Comparison @ Figure 5 is a model diagram showing a method for measuring sliding noise. 1... High saturation magnetic flux density soft magnetic thin [2, 11... Magnetic core, 13... Non-magnetic material. Name of agent: Patent attorney Akira Okaji and 2 others Figure 1 Figure 4 Museum 81 East! Liao (Bs) Figure 5 Figure 6

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)磁気ギャップ形成面に高飽和磁束密度軟磁性薄膜
を設けた一方の磁気コアとSnO_2を固溶した単結晶
Mn−Znフェライトからなる他方の磁気コアを非磁性
材を介して接合したことを特徴とする磁気ヘッド。 (2)高飽和磁束密度軟磁性薄膜の飽和磁束密度が1.
2テスラ以上であることを特徴とする請求項(1)記載
の磁気ヘッド。 (3)高飽和磁束密度軟磁性薄膜がCoaMbで表され
る材料とその窒化物とが交互に積層されるか、または膜
厚方向に窒素の組成が変調された構造になっていること
を特徴とする請求項(1)記載の磁気ヘッド。 ここで、MはNb、Ta、Zr、Hf、Ti、Mo、W
の中の1種以上からなり、a、bは原子比を表し、次の
式を満足するものとする。 0.80≦a≦0.95 0.05≦b≦0.20 a+b=1.0 (4)高飽和磁束密度軟磁性薄膜がFeaMbで表され
る材料とその窒化物とが交互に積層されるか、または膜
厚方向に窒素の組成が変調された構造になっていること
を特徴とする請求項(1)記載の磁気ヘッド。 ここで、MはNb、Ta、Zr、Hf、Ti、Mo、C
r、W、Mn、Re、Ruの中の1種以上からなり、a
、bは原子比を表し、次の式を満足するものとする。 0.70≦a≦0.95 0.05≦b≦0.30 a+b=1.0
[Scope of Claims] (1) One magnetic core with a high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film provided on the magnetic gap forming surface and the other magnetic core made of single-crystal Mn-Zn ferrite with SnO_2 as a solid solution are made of a non-magnetic material. A magnetic head characterized in that it is bonded via. (2) High saturation magnetic flux density The saturation magnetic flux density of the soft magnetic thin film is 1.
The magnetic head according to claim 1, characterized in that the magnetic head has a magnetic flux of 2 Tesla or more. (3) The high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film has a structure in which a material represented by CoaMb and its nitride are alternately laminated, or the nitrogen composition is modulated in the film thickness direction. A magnetic head according to claim (1). Here, M is Nb, Ta, Zr, Hf, Ti, Mo, W
It consists of one or more of the following, a and b represent an atomic ratio, and satisfy the following formula. 0.80≦a≦0.95 0.05≦b≦0.20 a+b=1.0 (4) The high saturation magnetic flux density soft magnetic thin film is made by alternately laminating the material represented by FeaMb and its nitride. 2. The magnetic head according to claim 1, wherein the magnetic head has a structure in which the composition of nitrogen is modulated in the film thickness direction. Here, M is Nb, Ta, Zr, Hf, Ti, Mo, C
Consisting of one or more of r, W, Mn, Re, Ru, a
, b represent the atomic ratio and satisfy the following formula. 0.70≦a≦0.95 0.05≦b≦0.30 a+b=1.0
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61239411A (en) * 1985-04-17 1986-10-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic head
JPH02218006A (en) * 1989-02-17 1990-08-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic head and production thereof

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