JPH04199084A - Display device - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、表示装置に関するものであり、詳ししは、静
電フィルムアクチュエータを巧みに応用した表示装置に
関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a display device, and more particularly to a display device that skillfully applies an electrostatic film actuator.
静電フィルムアクチュエータは、絶縁性支持体に帯状電
極を所定間隔で並べた固定子と絶縁性フィルムに抵抗体
を設けてなる移動子から成り、当該移動子と当該固定子
とが接するように配置して構成されている。そして、静
電気の作用により、移動子を瞬間的に浮上させて摩擦を
防止しながら移動子を移動させるものである（平成元年
度電気学会全国大会講演予稿集６−１９１、日経メカニ
カル１９８９．５．２９，１１２〜１１３ページ等）。An electrostatic film actuator consists of a stator in which band-shaped electrodes are arranged at predetermined intervals on an insulating support, and a mover in which a resistor is provided on an insulating film, and the mover is arranged so that the mover and the stator are in contact with each other. It is configured as follows. Then, by the action of static electricity, the mover is momentarily levitated to move the mover while preventing friction (Proceedings of the National Conference of the Institute of Electrical Engineers of Japan 1989, Proceedings 6-191, Nikkei Mechanical 1989.5). 29, pages 112-113, etc.).
上記の静電フィルムアクチュエータは、電極やギャップ
の寸法が小さくなるにつれて力密度を大きくでき、また
、小型化しやすいという特徴を有する。The electrostatic film actuator described above has the characteristics that the force density can be increased as the dimensions of the electrodes and gaps become smaller, and that it can be easily miniaturized.
第７図（ａ、）〜（ｄ）は、上記の静電フィルムアクチ
ュエータの作動原理を示す側面説明図である。FIGS. 7(a,) to (d) are side views showing the operating principle of the electrostatic film actuator described above.
ここで、（１）は絶縁性支持体、（２）は帯状電極、（
３）は固定子、（４）は絶縁性フィルム、（５）は抵抗
体、（６）は移動子、（７）〜（９）は電線を表す。Here, (1) is an insulating support, (2) is a strip electrode, (
3) represents a stator, (4) an insulating film, (5) a resistor, (6) a mover, and (7) to (9) electric wires.
先ず、第７図（ａｌに示すように、電線（７）に正、電
線（８）に負の電圧を加える。これにより、電線（７）
に接続した電極に存する電荷■と電線（８）に接続した
電極に存する電荷■の電位差により、抵抗体（５）に電
流が流れ、移動子（６）の絶縁性フィルム（４）と抵抗
体（５）の墳界に帯状電荷■、■か誘起され、平衡状態
となる。First, as shown in Figure 7 (al), a positive voltage is applied to the electric wire (7) and a negative voltage is applied to the electric wire (8).
Due to the potential difference between the electric charge ■ existing in the electrode connected to the electric wire (8) and the electric charge ■ existing in the electrode connected to the electric wire (8), a current flows through the resistor (5), and the insulating film (4) of the mover (6) and the resistor (5) Band-shaped charges ■ and ■ are induced in the burial mound, and an equilibrium state is reached.
上記の帯状電荷は、第７図（ｂｌの点線で示した鏡像電
荷で置き換えることができる。そして、電荷■、■の極
性は、それぞれ、電極■、■の極性と異なるので、第７
図（ｂ）の状態では固定子（３）と移動子（６）とは吸
引し合う。The above band-shaped charges can be replaced with mirror image charges shown by the dotted line in FIG.
In the state shown in Figure (b), the stator (3) and the mover (6) attract each other.
次に、第７図（Ｃ）に示すように、電線（７）に負、電
線（８）に正、電線（９）に負の電圧を加える。Next, as shown in FIG. 7(C), a negative voltage is applied to the electric wire (7), a positive voltage is applied to the electric wire (8), and a negative voltage is applied to the electric wire (9).
これにより、電極内の電荷は瞬間に移動するが、抵抗体
（５）に誘起された鏡像電荷は、抵抗値が高いため、直
ぐには移動できない。その結果、固定子（３）と移動子
（６）とは反発し合い、移動子（６）が移動する瞬間だ
け浮上し、固定子（３）と移動子（６）の摩擦が小さく
なる。一方、電線（９）に負の電圧を加えた結果、電荷
■と帯状電荷■との間の力によって移動子（６）は電極
１ピッチ分程移動する。As a result, the charge within the electrode moves instantaneously, but the mirror image charge induced in the resistor (5) cannot move immediately because of its high resistance value. As a result, the stator (3) and the mover (6) repel each other, and the mover (6) floats only at the moment of movement, reducing the friction between the stator (3) and the mover (6). On the other hand, as a result of applying a negative voltage to the electric wire (9), the force between the charge (2) and the band-shaped charge (2) causes the mover (6) to move by one electrode pitch.
第７図（ｄ）は、上記の駆動力により、電極１ピッチ分
右方向に移動した結果を示している。FIG. 7(d) shows the result of the electrode being moved rightward by one pitch due to the above driving force.
上記の操作を繰り返すことにより、移動子（６）が連続
的に右方向に移動する。左方向に移動させる場合は、第
７図（ｃ）における電線（９）に正の電圧を加えればよ
い。By repeating the above operation, the mover (6) continuously moves to the right. In order to move it to the left, a positive voltage may be applied to the electric wire (9) in FIG. 7(c).
従って、静電フィルムアクチュエータは、上記のような
特性を活かし、各種の応用が期待される。Therefore, electrostatic film actuators are expected to have various applications by taking advantage of the above characteristics.
しかしながら、静電フィルムアクチュエータは、前記の
公知文献においても概念的な記載しか成されておらず、
未だ研究段階にあってその応用例は見ない。However, the electrostatic film actuator is only conceptually described in the above-mentioned known documents.
It is still in the research stage and there are no examples of its application.
本発明の目的は、静電フィルムアクチュエータを巧みに
応用した表示装置を提供することにある。An object of the present invention is to provide a display device that skillfully applies an electrostatic film actuator.
〔課題を解決するための手段］
本発明の上記の目的は、着色透明な絶縁性支持体に透明
な帯状電極を所定間隔で並べた固定子と前記絶縁性支持
体とは異なる着色透明な絶縁性フィルムに抵抗体を設け
てなる移動子から成り、当該移動子と当該固定子とが接
するように配置したことを特徴とする表示装置により容
易に達成される。[Means for Solving the Problems] The above object of the present invention is to provide a stator in which transparent strip electrodes are arranged at predetermined intervals on a colored transparent insulating support, and a stator having a colored transparent insulating support different from the insulating support. This can be easily achieved by a display device comprising a moving element formed by providing a resistive film with a resistor, and arranged so that the moving element and the stator are in contact with each other.
以下、本発明を添付図面に従って詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第３〜５図は、透明な固定子の一例を示す説明図であり
、第３図は部分平面図（移動子の載置される側）、第４
図は帯状電極などの細部を省略して示した全体平面図、
第５図は全体底面図である。3 to 5 are explanatory diagrams showing an example of a transparent stator.
The figure is an overall plan view with details such as strip electrodes omitted;
FIG. 5 is an overall bottom view.
第６図（ａ）〜（ｅ）は、透明な帯状電極の形成過程の
一例を示す説明図である。FIGS. 6(a) to 6(e) are explanatory diagrams showing an example of the process of forming a transparent strip-shaped electrode.
本発明の表示装置を構成する静電フィルムアクチュエー
タの基本的構成は、固定子および移動子を互いに異なる
着色透明状態に構成する点を除き、前記した公知のもの
と同じであり、絶縁性支持体（１）に帯状電極（２）を
所定間隔で並べた固定子（３）と絶縁性フィルム（４）
に抵抗体（５）を設けてなる移動子（６）から成る。The basic structure of the electrostatic film actuator constituting the display device of the present invention is the same as that of the known one described above, except that the stator and the mover are configured in different colored and transparent states. Stator (3) with strip electrodes (2) arranged at predetermined intervals on (1) and insulating film (4)
It consists of a mover (6) provided with a resistor (5).
先ず、本発明において用いられる固定子（３）について
説明する。First, the stator (3) used in the present invention will be explained.
上記の固定子（３）は、着色透明な絶縁性支持体（１）
に透明な帯状電極（２）を所定間隔で並べて構成される
。The above stator (3) is made of a colored transparent insulating support (1)
It is constructed by arranging transparent strip electrodes (2) at predetermined intervals.
透明な絶縁性支持体（１）は、透明ガラス板や透明絶縁
性フィルムなどの透明な絶縁性支持体に着色を施すこと
により得ることができる。The transparent insulating support (1) can be obtained by coloring a transparent insulating support such as a transparent glass plate or a transparent insulating film.
なお、上記の透明な固定子（３）の着色については後述
する。Note that coloring of the transparent stator (3) will be described later.
上記の透明絶縁性フィルムとしては、具体的には、ポリ
エチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート
、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリカーボネ
ート等の公知の透明プラスチックの各フィルムにより構
成することができるが、特に、ポリエチレンテレフタレ
ートが好ましい。Specifically, the above-mentioned transparent insulating film can be composed of films of known transparent plastics such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polysulfone, polyethersulfone, and polycarbonate, but in particular, polyethylene terephthalate is used. is preferred.
そして、フィルム厚みは、通常、３０〜２００μｍの範
囲とされる。The film thickness is usually in the range of 30 to 200 μm.
透明な帯状電極（２）は、透明な導電性材料で構成され
、一般的には、透明な金属および／または導電性を有す
る透明な金属酸化物で構成される。The transparent strip electrode (2) is made of a transparent conductive material, typically a transparent metal and/or a transparent metal oxide having conductivity.
上記の金属としては、金、銀、銅、パラジウム、インジ
ウム−錫、亜鉛、アルミニウム等が挙げられるが、特に
、パラジウム又はインジウム−錫か好ましい。また、上
記の金属酸化物としては、酸化インジウム、酸化インジ
ウム−酸化錫、酸化亜鉛、酸化アルミニウム等が挙げら
れるが、特に、酸化インジウム−酸化錫は、高い透明性
を有しており好ましい。Examples of the above metals include gold, silver, copper, palladium, indium-tin, zinc, aluminum, etc., and palladium or indium-tin is particularly preferred. Further, examples of the metal oxides include indium oxide, indium oxide-tin oxide, zinc oxide, aluminum oxide, etc., and indium oxide-tin oxide is particularly preferred because it has high transparency.
透明な固定子（３）においては、透明な帯状電極（２）
は、透明な絶縁性支持体（１）の表面に並べても、透明
な絶縁性支持体（１）中に埋設してもよい。そして、透
明な帯状電極（２）の間隔は、特に限定されるものでは
ないが、通常、０．０２〜２ｉｕｎであり、フィルムア
クチュエータの発生力、駆動電圧等の駆動性能を向上さ
せるためには電極間隔の微細化が望ましい。In the transparent stator (3), the transparent strip electrode (2)
may be arranged on the surface of the transparent insulating support (1) or embedded in the transparent insulating support (1). The interval between the transparent strip electrodes (2) is not particularly limited, but is usually 0.02 to 2 iun. It is desirable to make the electrode spacing finer.
上記の透明な帯状電極（２）は、次のような過程を経て
形成される。The transparent strip-shaped electrode (2) described above is formed through the following process.
先ず、第６図（ａ）に示すように、透明な絶縁性支持体
（１）の表面に上記の透明な導電性材料の薄膜（ｌＯ）
を積層する。薄膜（１０）の積層は、例えば、スパッタ
リング法、真空蒸着法により行うことかできる。First, as shown in FIG. 6(a), a thin film (lO) of the above transparent conductive material is applied to the surface of a transparent insulating support (1).
Laminate. Lamination of the thin film (10) can be performed by, for example, a sputtering method or a vacuum evaporation method.
スパッタリング法は、カソード電極側に導電性材料より
成るターゲツト材を設置し、ｌｏ−３〜１０ ”Ｔｏｒ
ｒ程度に減圧したアルコンなどの不活性カス雰囲気中に
おいて、アノード側に１００〜５００■の電圧を印加す
ることにより、ターゲツト材からの表面から飛び出した
電子によりイオン化したアルゴンをターゲツト材に衝突
させ、ターゲツト材の構成原子や分子を叩き出して透明
な絶縁性支持体（１）の表面に薄膜（１０）を積層する
方法である。In the sputtering method, a target material made of a conductive material is installed on the cathode electrode side, and
By applying a voltage of 100 to 500 μ to the anode side in an inert gas atmosphere such as Arcon whose pressure is reduced to approximately This is a method in which constituent atoms and molecules of the target material are ejected and a thin film (10) is laminated on the surface of a transparent insulating support (1).
本発明においては、上記のターゲツト材として、特に、
酸化インジウムと酸化錫の比率が９０＝１０〜９５：５
（重量比）のものが好適に使用される。In the present invention, in particular, as the above-mentioned target material,
The ratio of indium oxide and tin oxide is 90 = 10 to 95:5
(weight ratio) is preferably used.
なお、上記のスパッタリング法においては、必要に応じ
て、不活性ガス雰囲気中に微量の酸素を存在させること
もできる。In addition, in the above sputtering method, a trace amount of oxygen may be present in the inert gas atmosphere, if necessary.
真空蒸着法は、高真空中において、導電性材料を加熱蒸
発させ、この蒸発粒子を透明な絶縁性支持体（１）の表
面に沈着させて薄膜（１０）を積層する方法である。そ
して、加熱方式によって、抵抗加熱法、アーク蒸着法、
レーザー加熱法、高周波加熱法、電子ビーム加熱法など
があるが、本発明においては、いずれの方式をも採用し
得る。The vacuum evaporation method is a method in which a conductive material is heated and evaporated in a high vacuum, and the evaporated particles are deposited on the surface of a transparent insulating support (1) to form a thin film (10). Depending on the heating method, resistance heating method, arc evaporation method,
There are laser heating methods, high frequency heating methods, electron beam heating methods, etc., and any of these methods can be employed in the present invention.
上記の各方法により、透明な絶縁性支持体（１）の表面
に形成される透明な導電性材料の薄膜（１０）の厚さは
、これをパターン化することにて形成される透明な帯状
電極（２）の抵抗値と相関があり、従って、当該抵抗値
との関係にて適宜選択されるが、通常は、５０〜２００
０人の範囲から選択するのが好ましい。The thickness of the thin film (10) of the transparent conductive material formed on the surface of the transparent insulating support (1) by each of the above methods is determined by There is a correlation with the resistance value of the electrode (2), so it is selected appropriately depending on the relationship with the resistance value, but usually 50 to 200
It is preferable to select from a range of 0 people.
次いで、第６図（ｂ）〜（ｄ）に示す工程に従い、薄膜
（１０）の表面にレジストを塗布し、露光および現像を
行い、パターンを形成する。Next, according to the steps shown in FIGS. 6(b) to 6(d), a resist is applied to the surface of the thin film (10), exposed to light, and developed to form a pattern.
第６図（ｂ）に示すフォトレジスト層（２０）の形成は
、バーコーター法、スピンコーター法、ロールコータ−
法などによって行われる。中でも、ロールコータ−法は
、連続的塗布が可能であるので長尺ものの場合には好適
な方法である。The photoresist layer (20) shown in FIG. 6(b) can be formed using a bar coater method, a spin coater method, or a roll coater method.
This is done by law etc. Among these, the roll coater method is a suitable method in the case of long objects because continuous coating is possible.
レジストとしては、フォトレジストの他、スクリーン印
刷用レジストを使用することもできるが、パターン精度
の観点から、フォトレジストが好ましい。更に、フォト
レジストとしては、露光部分が除去されるポジ型と非露
光部分が除去されるネガ型のいずれであってもよいが、
現像工程において膨潤の少ないポジ型か好ましい。そし
て、ポジ型レジストとしては、一般的には、フェノール
−ノボラック樹脂や、その他の、ポリビニルアルコール
、セルロースなどのヒドロキシル基を有する各種の樹脂
に感光剤としてキノンジアジド系の化合物を配合したレ
ジスト組成物が使用される。As the resist, a screen printing resist can be used in addition to a photoresist, but a photoresist is preferable from the viewpoint of pattern accuracy. Furthermore, the photoresist may be either a positive type in which exposed areas are removed or a negative type in which non-exposed areas are removed.
A positive type is preferred because it causes less swelling during the development process. As a positive resist, a resist composition is generally made by blending a phenol-novolak resin or other various resins with hydroxyl groups such as polyvinyl alcohol or cellulose with a quinone diazide compound as a photosensitizer. used.
第６図（ｃ）は、露光および現像を行った状態を示した
ものであるが、各処理は、次のように行われる。FIG. 6(c) shows the state after exposure and development, and each process is performed as follows.
露光は、フォトレジスト層（２０）の上にフォトマスク
（３０）を配置して紫外線（４０）をその上から照射し
て行う。また、上記の他、フォトマスクの図形を投影す
ることにより行うこともできる。Exposure is performed by placing a photomask (30) on the photoresist layer (20) and irradiating ultraviolet light (40) from above. In addition to the above, it can also be performed by projecting a figure on a photomask.
現像は、適宜の現像液で処理することにより行われ、こ
れにより、フォトレジスト層（２０）の可溶部が除去さ
れ不溶部はパターンとして残される。Development is performed by processing with a suitable developer, whereby the soluble portions of the photoresist layer (20) are removed and the insoluble portions are left as a pattern.
次いで、第６図（ｄ）に示すように、上記のレジストパ
ターンを利用して、適宜のエツチング溶液で処理して薄
膜（１０）のエツチングを行う。Next, as shown in FIG. 6(d), the thin film (10) is etched using a suitable etching solution using the above resist pattern.
第４図（ｅ）は、その後、レジストパターンを適宜の剥
離溶液で処理して除去し、薄膜（１０）より、透明な帯
状電極（２）を形成した状態を示したものである。FIG. 4(e) shows a state in which the resist pattern is then treated and removed with an appropriate stripping solution, and a transparent band-shaped electrode (2) is formed from the thin film (10).
また、第６図（ｆ）は、透明な帯状電極（２）の表面に
、透明絶縁ペーストの塗布膜より成る保護層（５０）を
設けたものである。保護層（５０）の形成は、市販の透
明絶縁ペーストを用い、前記のレジスト層の形成と同様
の各種塗布方法を採用して行われ、その厚さは、通常、
５〜１００μｍの範囲とされるか、最適厚さは、帯状電
極（２）の間隔、絶縁性支持体（１）の厚さ等を考慮し
て決定される。Further, in FIG. 6(f), a protective layer (50) made of a coating film of transparent insulating paste is provided on the surface of the transparent strip-shaped electrode (2). The protective layer (50) is formed using a commercially available transparent insulating paste using various coating methods similar to those used for forming the resist layer, and its thickness is usually as follows:
The optimum thickness is determined in the range of 5 to 100 μm, taking into account the spacing between the strip electrodes (2), the thickness of the insulating support (1), and the like.
なお、上記の現像液、エツチング溶液および剥離溶液と
しては、透明な絶縁性支持体（１）を構成するプラスチ
ックや透明な帯状電極（２）を構成する導電性材料に変
形や腐食の影響を与えることのないものが適宜選択して
使用される。Note that the developer, etching solution, and stripping solution mentioned above may deform or corrode the plastic forming the transparent insulating support (1) or the conductive material forming the transparent strip electrode (2). Appropriately selected materials are used.
本発明においては、以上の電極形成過程を経て第３図に
示すような透明な帯状電極（２）のパターンを透明な絶
縁支持体（１）の表面に形成する。In the present invention, a pattern of transparent band-shaped electrodes (2) as shown in FIG. 3 is formed on the surface of a transparent insulating support (1) through the above electrode forming process.
次に、上記の透明な帯状電極（２）の結線方法について
説明する。Next, a method of connecting the transparent strip electrode (2) described above will be explained.
先ず、第３図および第４図に示すように、透明な絶縁支
持体（１）の表面に、上下に突出した各透明な帯状電極
（２）と接して電線（７）及び（８）をそれぞれ形成す
る。これらの電線は、帯状の集合電線として形成する。First, as shown in FIGS. 3 and 4, electric wires (7) and (8) are placed on the surface of a transparent insulating support (1) in contact with each transparent strip-shaped electrode (2) that projects upward and downward. Form each. These electric wires are formed as a band-shaped collective electric wire.
なお、第３図において、透明な帯状電極（２）の先端部
に設けた円形のラントは、当該帯状電極を後述する電線
（９）とスルーホールにより連結するためのものである
。In FIG. 3, the circular runt provided at the tip of the transparent strip-shaped electrode (2) is for connecting the strip-shaped electrode to an electric wire (9), which will be described later, through a through hole.
次に、第５図に示すように、透明な絶縁支持体（１）の
裏面に、上記ランドと対応させて電線（９）を帯状の集
合電線として形成し、該当する透明な帯状電極（２）と
接続させる。Next, as shown in FIG. 5, electric wires (9) are formed as band-shaped collective wires on the back surface of the transparent insulating support (1) in correspondence with the lands, and the corresponding transparent band-shaped electrodes (2 ).
第３図ないし第５図からも、明らかなように、電線（７
）〜（９）及びランドの形成位置は、透明な絶縁支持体
（１）の両端部であり、従って、これらは、敢えて、透
明状態に形成する必要はなく、例えば、銀ペーストによ
る印刷法で形成すれば足りるが、透明な帯状電極（２）
と合わせて前記の方法によって透明状態に形成すること
もできる。As is clear from Figures 3 to 5, the electric wire (7
) to (9) and the lands are formed at both ends of the transparent insulating support (1), so there is no need to intentionally form them in a transparent state; for example, they can be formed using a printing method using silver paste. It is sufficient to form a transparent strip electrode (2)
In addition, it can also be formed into a transparent state by the method described above.
次に、本発明において用いられる移動子（６）について
説明する。Next, the mover (6) used in the present invention will be explained.
上記の移動子（６）は、着色透明な絶縁性フィルム（４
）に抵抗体（５）を設けて構成される。The above-mentioned mover (6) is made of a colored transparent insulating film (4).
) is provided with a resistor (5).
なお、上記の透明な移動子（６）の着色については後述
する。Note that coloring of the transparent mover (6) will be described later.
透明な絶縁性フィルム（４）としては、具体的には、透
明な固定子（３）を構成するのに用いたのと同様のフィ
ルムか挙げられるか、密度、曲げ弾性率、耐皺性等の点
からポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。Specifically, the transparent insulating film (4) may be a film similar to that used to construct the transparent stator (3), and its density, flexural modulus, wrinkle resistance, etc. From this point of view, polyethylene terephthalate film is preferred.
上記の透明な絶縁性フィルム（４）の厚さは、通常５〜
２００μｍであり、好ましくは、着色透明な絶縁性支持
体（１）に並べた透明な帯状電極（２）のピッチをＰと
し、透明な帯状電極表面（２）と着色透明な絶縁性フィ
ルム（４）と抵抗体層（５）との境界面との距離をＧと
した場合、０、１５ ＜Ｇ／Ｐ＜０．４の関係を満足す
る範囲とされれる。The thickness of the above transparent insulating film (4) is usually 5~
200 μm, preferably the pitch of the transparent band-shaped electrodes (2) arranged on the colored transparent insulating support (1) is P, and the transparent band-shaped electrode surface (2) and the colored transparent insulating film (4 ) and the interface between the resistor layer (5) and the resistor layer (5).
移動子（６）は、透明な絶縁性フィルム（４）の少なく
とも一方の面に抵抗体層（５）を設けたものである。そ
して、抵抗体層（５）は、例えば、帯電防止効果の弱い
帯電防止剤のスプレー塗布等の方法により設けられる。The mover (6) has a resistor layer (5) provided on at least one surface of a transparent insulating film (4). The resistor layer (5) is provided, for example, by a method such as spray coating with an antistatic agent having a weak antistatic effect.
そして、抵抗体層は、表面固有抵抗が１０１２〜１０１
５Ω／口にする必要がある。The resistor layer has a surface resistivity of 1012 to 101.
5Ω/must be used.
本発明においては、固定子（３）を構成する透明な絶縁
性支持体（１）及び移動子（６）を構成する透明な絶縁
性フィルム（４）は、共に、透明性を損なうことなく着
色して用いられる。In the present invention, both the transparent insulating support (1) constituting the stator (3) and the transparent insulating film (4) constituting the mover (6) are colored without impairing transparency. It is used as
上記の着色は、公知の染料の溶夜を塗布して乾燥するか
、透明な絶縁性支持体（１）及び透明な絶縁性フィルム
（４）の原料樹脂などに予め染料を練り込むことにより
容易になし得る。そして、着色が塗布方法で行われる場
合は、透明な絶縁性支持体（１）への着色は、前述した
透明な帯状電極の形成後に行われる。また、透明な絶縁
性フィルム（４）への着色は、前述した低抗体層（５）
の形成前に行うのが好ましい。何故ならば、抵抗体層（
５）によって着色層の保護力く図られるからである。The above coloring can be easily done by applying a solution of a known dye and drying it, or by kneading the dye in advance into the raw material resin of the transparent insulating support (1) and the transparent insulating film (4). It can be done. When coloring is performed by a coating method, the transparent insulating support (1) is colored after the transparent strip-shaped electrodes described above are formed. In addition, the coloring of the transparent insulating film (4) is performed using the low antibody layer (5) described above.
Preferably, this is carried out before the formation of. This is because the resistor layer (
This is because the protective effect of the colored layer is improved by 5).
本発明においては、透明な絶縁性支持体（］、 ）及び
透明な絶縁性フィルム（４）の着色は、異なる色で行う
必要がある。In the present invention, the transparent insulating support ( ], ) and the transparent insulating film (4) need to be colored in different colors.
一般に色光は、三原色（青、緑、赤）の各組み合わせの
混合により、任意の色を作ることが出来る。例えば、青
−緑ではシアン、青−赤ではマゼンタ、緑−赤では黄、
青−緑一赤では黒を作ることが出来る。Generally, any color can be created from colored light by mixing combinations of the three primary colors (blue, green, and red). For example, cyan for blue-green, magenta for blue-red, yellow for green-red,
Blue-green-red can make black.
本発明は、互いに接するように配置された固定子（３）
と移動子（６）において、それぞれを構成する透明な絶
縁性支持体（１）及び透明な絶縁性フィルム（４）を互
いに異なる色にて着色したことにより、移動子（６）の
移動による加色部と非加色部とを生じせしめ、これに基
づく色光変化を表示装置の機能の一部に活用したもので
ある。The present invention provides stators (3) arranged so as to be in contact with each other.
In the slider (6), the transparent insulating support (1) and the transparent insulating film (4) that constitute each are colored in different colors, so that no damage is caused by the movement of the slider (6). A colored portion and a non-colored portion are generated, and the color light change based on this is utilized as part of the function of the display device.
透明な絶縁性支持体（１）及び透明な絶縁性フィルム（
４）の色の組み合わせは、補色関係の他、任意に選択す
ることができる。Transparent insulating support (1) and transparent insulating film (
The combination of colors in 4) can be arbitrarily selected in addition to complementary colors.
そして、着色透明な絶縁性支持体または着色透明な絶縁
性フィルムに地色とは異なる色の表示を施すならば、三
原色を自由に組み合わせて一層の色光変化を容易に得る
ことができる。If a colored transparent insulating support or a colored transparent insulating film is displayed in a color different from the ground color, further color light changes can be easily obtained by freely combining the three primary colors.
第１図は、本発明の表示装置の一例を模式的に示す説明
図であり、円筒状に構成された固定子（３）の表面に円
筒状の移動子（６）を嵌合させて移動子（６）が回転す
るように構成されたものである。FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing an example of the display device of the present invention, and is moved by fitting a cylindrical mover (6) onto the surface of a stator (3) configured in a cylindrical shape. The child (6) is configured to rotate.
上記のような表示装置において、例えば、透明な絶縁性
支持体（１）の全面を青色とし、透明な絶縁性フィルム
（４）に所定幅の緑色を適当間隔にて斜め方向に施すな
らば、移動子（６）の回転により、移動子（６）の非加
色部（無色透明部）における青色と移動子（６）の加色
部（緑色透明部）におけるシアンとの斜線模様を移動さ
せることができる。In the display device as described above, for example, if the entire surface of the transparent insulating support (1) is colored blue, and the transparent insulating film (4) is colored green with a predetermined width at appropriate intervals, By rotating the mover (6), the diagonal line pattern between blue in the non-colored part (colorless transparent part) of the mover (6) and cyan in the colored part (green transparent part) of the mover (6) is moved. be able to.
第２図は、本発明の表示装置の他の一例を模式的に示す
説明図であり、移動子（６）が固定子（３）の表面に上
下に移動するように構成されたものである。FIG. 2 is an explanatory diagram schematically showing another example of the display device of the present invention, in which the mover (6) is configured to move up and down on the surface of the stator (3). .
上記のような表示装置において、例えば、透明な絶縁性
支持体（１）の全面を黄色としてその表面にマゼンタ色
（青−赤）によりＡの表示を施し、透明絶縁性フィルム
（４）の全表面に赤色を施すならば、移動子（６）が移
動して固定子（３）のＡの表示に重なるに従い、当該型
なり部分は、透明絶縁性フィルム（４）の色と同一の赤
色となるから、移動子（６）の移動に従ってＡの表示を
次第に消失させることができる。In the above-mentioned display device, for example, the entire surface of the transparent insulating support (1) is made yellow, and the display A is displayed in magenta (blue-red) on the surface, and the entire surface of the transparent insulating film (4) is displayed in yellow. If the surface is colored red, as the mover (6) moves and overlaps the mark A on the stator (3), the molded part will become red, which is the same color as the transparent insulating film (4). Therefore, as the mover (6) moves, the display of A can gradually disappear.
本発明の表示装置は、静電フィルムアクチュエータを利
用したことにより、上記の他、各種の態様で使用するこ
とが出来る。例えば、透明な絶縁性支持体（１）及び透
明な絶縁性フィルム（４）の可撓能を利用することによ
り、曲面体の表面に固定子（３）を貼合して使用するこ
とも可能である。By utilizing an electrostatic film actuator, the display device of the present invention can be used in various modes other than those described above. For example, by utilizing the flexibility of the transparent insulating support (1) and the transparent insulating film (4), it is also possible to use the stator (3) attached to the surface of the curved body. It is.
なお、以上においては、透明な絶縁性支持体（１）及び
透明な絶縁性フィルム（４）の異なる着色は、色相を中
心に説明したが、明度や彩度などを異ならせることもで
きる。In addition, although the different coloring of the transparent insulating support (1) and the transparent insulating film (4) has been explained above mainly in terms of hue, it is also possible to make the brightness, chroma, etc. different.
以下、本発明を実施例により更に詳しく説明するが、本
発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定さ
れるものでない。EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof.
（ａ）透明な固定子の作製
先ス、１２５μｍのポリエチレンテレフタレートフィル
ムの表面に、スパッタリング法により、厚さ２５０人の
酸化インジウム−酸化錫（ＩＴＯ）の透明導電層（表面
固有抵抗３００Ω／口）を形成した。(a) Fabrication of transparent stator First, a transparent conductive layer of indium oxide-tin oxide (ITO) with a thickness of 250 mm (surface resistivity 300 Ω/hole) was applied to the surface of a 125 μm polyethylene terephthalate film by sputtering. was formed.
次いで、上記の透明導電層の表面にポジ型フォトレジス
ト（三菱化成（掬製、商品名、ＭＣＰＲ−２０００）を
スピンコーターで塗布した後、９０℃で３０分間プリベ
ークを行い、厚さ１．２μｍのレジスト膜を形成した。Next, a positive photoresist (manufactured by Mitsubishi Kasei Co., Ltd., trade name, MCPR-2000) was applied on the surface of the transparent conductive layer using a spin coater, and then prebaked at 90° C. for 30 minutes to form a film with a thickness of 1.2 μm. A resist film was formed.
次いで、帯状電極の幅が０．２ｍｍ、電極ピッチが０、
４ ｍｍに設計されたパターンマスクを用いて上記のレ
ジスト膜を露光した。Next, the width of the strip electrode was 0.2 mm, the electrode pitch was 0,
The above resist film was exposed using a pattern mask designed to have a thickness of 4 mm.
次いで、２５°Ｃの２，３８重量％テトラメチルアンモ
ニウムハイドロオキサイド水溶液で１分間現像を行い、
露光部分を除去した後、水洗処理し、１２０°Ｃで３０
分間ポストベークを行った。Next, development was performed for 1 minute with a 2.38% by weight aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide at 25°C.
After removing the exposed area, it was washed with water and heated at 120°C for 30 minutes.
Post-bake was performed for 1 minute.
次いで、上記のフィルムを４０°Ｃの１０重量％の塩酸
に６０秒浸漬し、エツチングを行った後、水洗処理した
。その後、２重量％水酸化カリウム水溶液に６０°Ｃ３
０秒間浸漬することにより、残存レジストを完全に剥離
した。Next, the above film was immersed in 10% by weight hydrochloric acid at 40°C for 60 seconds to perform etching, and then washed with water. Then, add it to 2 wt% potassium hydroxide aqueous solution at 60°C3.
The remaining resist was completely peeled off by immersion for 0 seconds.
得られた酸化インジウム−酸化錫のパターンは、第３図
に示すようなパターンであり、当初の設計通り、帯状電
極の幅か０．２ ＋ｎｍ、電極ピッチが０．４ｍｍであ
った。The obtained indium oxide-tin oxide pattern was as shown in FIG. 3, and as originally designed, the width of the strip electrode was 0.2 + nm and the electrode pitch was 0.4 mm.
なお、帯状電極の移動子と対向する電極部分は、Ｌ ４
０ｍｍＸ １００ｍｍである。−次いで、上記の電極パ
ターン側に、第４図および第５図に示すような帯状の電
線（７）及び（８）とランドとを設け、各電線と電極と
の結線を行った。Note that the electrode portion of the strip electrode facing the mover is L 4
It is 0mm x 100mm. - Next, strip-shaped electric wires (7) and (8) and lands as shown in FIGS. 4 and 5 were provided on the electrode pattern side, and each electric wire and the electrode were connected.
一方、上記の電極パターンの裏面側には、第５図に示す
ような帯状の電線（９）を設け、残りの電極との結線を
行った。On the other hand, a strip-shaped electric wire (9) as shown in FIG. 5 was provided on the back side of the electrode pattern and connected to the remaining electrodes.
なお、上記の集合給電線（７）〜（９）及びランドは、
銀ペーストにて形成した。In addition, the above collective feeder lines (7) to (9) and lands are:
Made of silver paste.
上記のようにして得られた透明な固定子（３）の全面を
市販の青色染料にて着色し、透明青色固定子とした。The entire surface of the transparent stator (3) obtained as described above was colored with a commercially available blue dye to obtain a transparent blue stator.
（ｂ）移動子の作製
先ス、７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム
の前面を市販の赤色染料にて着色した。(b) Preparation of mover The front surface of a 75 μm polyethylene terephthalate film was colored with a commercially available red dye.
次いで、フィルムの片面に帯電防止効果の弱い帯電防止
剤をスプレー塗布して抵抗体層を形成し、透明赤色移動
子とした。Next, an antistatic agent having a weak antistatic effect was spray-coated on one side of the film to form a resistor layer, thereby obtaining a transparent red moving element.
なお、抵抗体層の表面固有抵抗は、２Ｘ１０’″Ω／口
であった。Note that the surface resistivity of the resistor layer was 2×10′″Ω/hole.
（ｃ）表示装置の作製
上記の（ａ）にて作製した透明青色固定子を透明接着剤
により透明窓ガラスの表面に貼合し、当該透明青色固定
子の表面に上記の（ｂ）にて作製した透明赤色移動子を
重ね合わせ、表示装置とした。(c) Production of display device The transparent blue stator produced in (a) above is pasted on the surface of a transparent window glass with a transparent adhesive, and the transparent blue stator produced in (b) above is attached to the surface of the transparent blue stator. The produced transparent red movers were overlapped to form a display device.
次いで、帯状電極に±５００Ｖの電圧を印加（７、第５
図（ａ）〜（ｄ）に示す要領で駆動したところ、透明赤
色移動子が上下に移動するに従い、当該移動子が重なっ
た部分はマゼンタ色に変化することが確認された。Next, a voltage of ±500V is applied to the strip electrode (7, 5th
When the device was driven in the manner shown in Figures (a) to (d), it was confirmed that as the transparent red slider moved up and down, the portion where the transparent red slider overlapped turned magenta.
なお、上記においては、印加電圧パターンの一例として
、第５図（ｂ）状態において電線（７）、（８）にそれ
ぞれ正、負の電圧を印加する時間を４５０ｍｓとし、第
５図（Ｃ）状態において電線（７）、（８）、（９）に
それぞれ負、正、負の電圧を印加する時間を５０ｍｓと
した。この場合の電圧印加周波数は２Ｈｚであるが、Ｉ
ＫＨｚまで駆動し得ることを確認した。In the above, as an example of the applied voltage pattern, the time for applying positive and negative voltages to the electric wires (7) and (8) respectively in the state shown in FIG. 5(b) is 450 ms, and the time shown in FIG. In this state, the time during which negative, positive, and negative voltages were applied to the electric wires (7), (8), and (9), respectively, was 50 ms. The voltage application frequency in this case is 2Hz, but I
It was confirmed that it can be driven up to KHz.
［発明の効果］
以上説明した本発明によれば、静電フィルムアクチュエ
ータを巧みに応用した表示装置が提供される。[Effects of the Invention] According to the present invention described above, a display device in which an electrostatic film actuator is skillfully applied is provided.
そして、本発明の表示装置によれば、次のような効果が
奏せられる。According to the display device of the present invention, the following effects can be achieved.
（ａ） 全体をフィルムで構成することが可能であり
、従って、移動子の移動を損なわない限り、曲面上に貼
合して使用することができる。(a) It is possible to construct the entire structure with a film, and therefore, it can be used by laminating it on a curved surface as long as the movement of the mover is not impaired.
（ｂ） 全体が透明であることから、双方向から透視
することができる。(b) Since the entire structure is transparent, it can be viewed from both directions.
（Ｃ） 小型かつ薄型化が可能である。(C) It is possible to make it smaller and thinner.
よって、本発明の表示装置は、上記の基本的機能を活か
すことにより、例えは、公告塔、装飾窓、玩具などの各
種の使用態様にて利用することができ、しかも、公告塔
などに使用した場合は、注意喚起性や刺激性の高い宣伝
や公告を行うことができる。Therefore, by making use of the above-mentioned basic functions, the display device of the present invention can be used in various ways such as a public notice tower, a decorative window, and a toy. In such cases, advertisements and public announcements that are highly alert and stimulating can be made.
第１図は、本発明の表示装置の一例を模式的に示す説明
図であり、第２図は、本発明の表示装置の他の一例を模
式的に示す説明図
第３〜５図は、透明な固定子の一例を示す説明図であり
、第３図は部分平面図（移動子の載置される側）、第４
図は帯状電極などの細部を省略して示した全体平面図、
第５図は全体底面図である。
第６図（ａ）〜（ｅ）は、透明な帯状電極の形成過程の
一例を示す説明図である。
第１図は、本発明の時計の一例の組立状態を示す説明図
、第２図は、同時計の側面説明図である。
第７図（ａ）〜（ｄ）は、静電フィルムアクチュエータ
の作動原理を示す側面説明図である。
図中、（１）は絶縁性支持体、（２）帯状電極、（３）
は固定子、（４）は絶縁性フィルム、（５）は抵抗体層
、（６）は移動子、（７）〜（９）は電線を表す。FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing an example of the display device of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram schematically showing another example of the display device of the present invention, and FIGS. FIG. 3 is an explanatory diagram showing an example of a transparent stator, and FIG.
The figure is an overall plan view with details such as strip electrodes omitted;
FIG. 5 is an overall bottom view. FIGS. 6(a) to 6(e) are explanatory diagrams showing an example of the process of forming a transparent strip-shaped electrode. FIG. 1 is an explanatory diagram showing an assembled state of an example of the timepiece of the present invention, and FIG. 2 is a side explanatory diagram of the same timepiece. FIGS. 7(a) to 7(d) are explanatory side views showing the operating principle of the electrostatic film actuator. In the figure, (1) is an insulating support, (2) a strip electrode, and (3)
(4) is an insulating film, (5) is a resistor layer, (6) is a mover, and (7) to (9) are electric wires.
Claims (2)
間隔で並べた固定子と前記絶縁性支持体とは異なる着色
透明な絶縁性フィルムに抵抗体を設けてなる移動子から
成り、当該移動子と当該固定子とが接するように配置し
たことを特徴とする表示装置。(1) Consisting of a stator in which transparent strip electrodes are arranged at predetermined intervals on a colored and transparent insulating support, and a mover in which a resistor is provided on a colored and transparent insulating film different from the insulating support, A display device characterized in that the movable element and the stator are arranged so as to be in contact with each other.
フィルムに地色とは異なる色の表示が施されていること
を特徴とする請求項第１項記載の表示装置。(2) The display device according to claim 1, wherein the colored transparent insulating support or the colored transparent insulating film is displayed in a color different from the background color.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33262490A JPH04199084A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Display device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33262490A JPH04199084A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Display device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04199084A true JPH04199084A (en) | 1992-07-20 |
Family
ID=18257033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33262490A Pending JPH04199084A (en) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | Display device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04199084A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06250593A (en) * | 1993-02-26 | 1994-09-09 | Nec Corp | Electrostatically driven micro-shutter and shutter array |
| JPH0876700A (en) * | 1994-09-06 | 1996-03-22 | Toshiba Corp | Movable film type display device |
| US6618034B1 (en) | 1999-09-28 | 2003-09-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Actuated film display device |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP33262490A patent/JPH04199084A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06250593A (en) * | 1993-02-26 | 1994-09-09 | Nec Corp | Electrostatically driven micro-shutter and shutter array |
| JPH0876700A (en) * | 1994-09-06 | 1996-03-22 | Toshiba Corp | Movable film type display device |
| US6618034B1 (en) | 1999-09-28 | 2003-09-09 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Actuated film display device |
| US6963330B2 (en) | 1999-09-28 | 2005-11-08 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Actuated film display device |
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