JPH04192480A - Adjusting method of mirror for resonance use at excimer laser apparatus - Google Patents
Adjusting method of mirror for resonance use at excimer laser apparatusInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明はエキシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方
法に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Industrial Application) The present invention relates to a method for adjusting a resonant mirror of an excimer laser device.
（従来の技術）
周知のようにエキシマレーザ装置は、絶縁性の基台に放
電用の一対の主電極、予備電離電極、２次側コンデンサ
などを搭載するとともに、この基台をもって出力窓を備
えたチャンバーを閉塞するようにして構成されている。(Prior Art) As is well known, an excimer laser device has a pair of main electrodes for discharging, a pre-ionization electrode, a secondary capacitor, etc. mounted on an insulating base, and also has an output window mounted on this base. The chamber is configured to close the chamber.
そしてチャンバー内にレーザガスを充満させた状態で、
主電極間で放電を発生することによってレーザガスを励
起して光を発生させ、その光を主電極の長手方向に沿う
両側に設けた部分反射形の共振用のミラーと全反射形の
共振用ミラーとの間で往復させ、この誘導放出現象で増
幅した光を、前記部分反射形の共振用ミラー側から出力
としてレーザ光をとりだすようにしている。Then, with the chamber filled with laser gas,
By generating a discharge between the main electrodes, the laser gas is excited to generate light, and the light is reflected by a partially reflective resonant mirror and a fully reflective resonant mirror provided on both sides along the longitudinal direction of the main electrode. The light amplified by this stimulated emission phenomenon is extracted as an output laser beam from the partially reflective resonant mirror side.
このような構成のエキシマレーザ装置において、前記両
共振用ミラーの反射面を主電極間の中心、すなわち光軸
に対して垂直に配置することが必要であり、これが垂直
に配置されていない場合は、出力効率が低下するように
なる。In an excimer laser device with such a configuration, it is necessary to arrange the reflective surfaces of both the resonant mirrors at the center between the main electrodes, that is, perpendicular to the optical axis. , the output efficiency will decrease.
従来では、主電極、予備電離電極、コンデンサなどを搭
載した基台にチャンバーを取り付けた後、チャンバー外
の両側であって設計上決まる光軸上に調整用のピンホー
ルを設置し、これらピンホール間にアライメント光を通
過せしめ、このアライメント光を用いて共振用ミラーの
反射面の傾きを調整していた。Conventionally, after a chamber is mounted on a base on which the main electrode, pre-ionization electrode, capacitor, etc. are mounted, adjustment pinholes are installed on both sides outside the chamber on the optical axis determined by the design, and these pinholes are In between, alignment light is passed through, and this alignment light is used to adjust the inclination of the reflection surface of the resonant mirror.
（発明が解決しようとする課題）
しかしこの調整方法では、実際に主電極などを基台に組
み立てた状態では、製作上の寸法誤差、組立精度などに
より、設計上の光軸と合致するとは限らず、主電極間の
長手方向の中心軸である真の光軸上に前記ピンホールが
設置されず、したがって共振用ミラーの反射面が光軸に
対して垂直に配置されるとは限らない。そのような場合
は出力効率が悪いままに使用せざるを得なかった。(Problem to be solved by the invention) However, with this adjustment method, when the main electrode etc. are actually assembled on the base, it may not always match the designed optical axis due to manufacturing dimensional errors, assembly precision, etc. First, the pinhole is not placed on the true optical axis, which is the central axis in the longitudinal direction between the main electrodes, and therefore the reflective surface of the resonant mirror is not necessarily placed perpendicular to the optical axis. In such cases, it is necessary to use the device with poor output efficiency.
この発明はエキシマレーザ装置における光軸に対し、共
振用ミラーの反射面が垂直となるように、その傾きを調
整可能とすることを目的とする。An object of the present invention is to make it possible to adjust the inclination of the reflective surface of a resonant mirror so that it is perpendicular to the optical axis of an excimer laser device.
（課題を解決するための手段） この発明は、次の順序にしたがって調整する。(Means for solving problems) This invention is adjusted according to the following order.
最初にチャンバーに装着する以前の基台について、主電
極のうちの一方を支持している支持具上に、第１の治具
を主電極の長手方向に沿う両側に配置し、これに設けて
ある小孔が主電極の光軸上に位置するように、実測しな
がらその治具の位置をセットする。これによって前記小
孔の位置を光軸とみなすことができるようになる。Regarding the base before it is first installed in the chamber, the first jig is placed on both sides of the main electrode along the longitudinal direction on the support supporting one of the main electrodes, and the first jig is installed on this. The position of the jig is set while taking actual measurements so that a certain small hole is located on the optical axis of the main electrode. This allows the position of the small hole to be regarded as the optical axis.
次に第２の治具を使用する。この治具は一対の起立面を
一体的に備えており、各起立面がこのあと取り付けられ
るであろうチャンバーの各外側に位置するようにセット
される。各起立面には孔が開けられてある。Next, use the second jig. This jig is integrally equipped with a pair of upright surfaces, and is set so that each upright surface is located on each outside of the chamber to which it will be attached later. Each upright surface is perforated.
そして第１の治具の両小孔を同時に通過するようにアラ
イメント光の位置を調整し、そのアライメント光が同時
に第２の治具の孔を通過するように、その第２の治具の
セット位置を調整する。Then, adjust the position of the alignment light so that it passes through both small holes of the first jig at the same time, and set the second jig so that the alignment light passes through the hole of the second jig at the same time. Adjust the position.
この状態で第２の治具の孔にシートを貼り、そのシート
に照射された前記アライメント光による光点に小孔を開
ける。このように開けられた小孔が以後光軸の位置とみ
なされる。このようにして光軸の位置は、このあと取り
付けられるであろうチャンバーの外側に移されたことに
なる。In this state, a sheet is attached to the hole of the second jig, and a small hole is made at the light spot of the alignment light irradiated onto the sheet. The small hole opened in this way will be regarded as the position of the optical axis from now on. In this way, the position of the optical axis has been moved to the outside of the chamber where it will be installed later.
次に第１の治具を取りはずし、チャンバーに基台を組み
込む。Next, the first jig is removed and the base is assembled into the chamber.
次に第２の治具に貼られたシートの両小孔に、同時にア
ライメント光が通過するように、そのアライメント光の
位置を調整する。Next, the position of the alignment light is adjusted so that it passes through both small holes of the sheet attached to the second jig at the same time.
最後に主電極の光軸上の一方側に部分反射形の共振用ミ
ラーを、他方側に全反射形の共振用ミラーをそれぞれ設
け、これら共振用ミラーから反射されたアライメント光
が、いずれか一方の第２の治具に貼られたシートの小孔
を通過するように、その傾きを調整する。以上によって
共振用ミラーの調整は終了する。Finally, a partially reflective resonant mirror is provided on one side of the optical axis of the main electrode, and a fully reflective resonant mirror is provided on the other side, so that the alignment light reflected from these resonant mirrors is transmitted to either Adjust its inclination so that it passes through the small hole in the sheet attached to the second jig. With the above steps, the adjustment of the resonance mirror is completed.
（作用）
以上のようにして共振用ミラーの傾きを調整すると、共
振用ミラーの反射面が光軸に垂直に位置するようになり
、主電極間で発生した光が、その長手方向の放電中心、
すなわち真の光軸上を中心に往復することになり、最適
なレーザ発振が可能となる。(Function) When the inclination of the resonant mirror is adjusted as described above, the reflective surface of the resonant mirror is positioned perpendicular to the optical axis, and the light generated between the main electrodes is directed to the discharge center in the longitudinal direction. ,
In other words, the laser beam reciprocates around the true optical axis, making it possible to perform optimal laser oscillation.
（実施例）
この発明の実施例を図によって説明する。第１図におい
て、１，２は放電発生用の主電極、３゜４は各主電極を
支持する支持具で、基台５に支持されている。６は主電
極１，２間の物理的なセンター、すなわち光軸である。(Example) An example of the present invention will be described with reference to the drawings. In FIG. 1, 1 and 2 are main electrodes for generating discharge, and 3 and 4 are supports for supporting each main electrode, which are supported on a base 5. 6 is the physical center between the main electrodes 1 and 2, that is, the optical axis.
７は主電極１，２の長手方向に沿う両側に配置された第
１の治具で、ここには小孔８が形成されてあり、また複
数の支持棒７１によって、支持具４の上で、上下に移動
自在に支持されている。Reference numeral 7 denotes a first jig arranged on both sides of the main electrodes 1 and 2 in the longitudinal direction, in which a small hole 8 is formed, and a plurality of support rods 71 are used to hold the first jig on both sides of the main electrodes 1 and 2 in the longitudinal direction. , supported to be able to move up and down.
そして光軸６上に小孔８が位置するように、主電極１，
２間の寸法をノギスなどで実測しなから治具１の位置を
セットする。このセットによって、小孔８が光軸６上に
位置することになる（第２図参照。）。The main electrode 1,
Measure the distance between the two using a caliper or the like, and then set the position of the jig 1. This set positions the small hole 8 on the optical axis 6 (see FIG. 2).
次に第２の治具９を使用する。治具９は第３図に示すよ
うに一対の起立面１ｏを一体的に備えており、各起立面
１０がこのあと取り付けられるであろうチャンバー（第
４図中−点鎖線で示す。）の各外側に位置するようにセ
ットされる。各起立面１０には孔１１が開けられてある
。Next, the second jig 9 is used. The jig 9 is integrally provided with a pair of upright surfaces 1o as shown in FIG. 3, and each upright surface 10 is attached to a chamber (indicated by a dotted chain line in FIG. 4) to which each upright surface 10 will be attached later. It is set to be located on each outside. Each upright surface 10 is provided with a hole 11.
そして第４図に示すように、アライメント光源たとえば
可視晃を発するＨｅ−Ｎｅレーザ光源１２からのアライ
メント光を１反射［１３を介して孔１１を通過するよう
に、治具９を取り付ける。このとき小孔８にもアライメ
ント光が通過するようにしであることはもちろんである
。Then, as shown in FIG. 4, the jig 9 is attached so that alignment light from an alignment light source, such as a He-Ne laser light source 12 that emits visible light, passes through the hole 11 via one reflection [13]. Of course, at this time, the alignment light is also allowed to pass through the small hole 8.
この状態で治具９の孔１１にシート１４を貼り、そのシ
ート１４に照射されているアライメント光による光点に
小孔１５を開ける。この小孔１５が以後光軸上に位置し
ているものとみなされる。In this state, the sheet 14 is attached to the hole 11 of the jig 9, and a small hole 15 is made at the light spot of the alignment light irradiated onto the sheet 14. This small hole 15 will be considered to be located on the optical axis from now on.
このようにして光軸の位置は、このあと取り付けられる
であろうチャンバーの外側に移されたことになる。この
あと治具７を取りはずし、チャンバー１６に基台５を組
み込む。In this way, the position of the optical axis has been moved to the outside of the chamber where it will be installed later. Thereafter, the jig 7 is removed and the base 5 is assembled into the chamber 16.
次に第５図に示すように、アライメント光源たとえば可
視光を発するＨｅ −Ｎｅレーザ光源１７からのアライ
メント光を１反射鏡１８を介して両小孔１５を通過する
ように、反射鏡１８を調節する。Next, as shown in FIG. 5, the reflecting mirror 18 is adjusted so that the alignment light from the alignment light source, for example, the He-Ne laser light source 17 that emits visible light, passes through the small holes 15 via one reflecting mirror 18. do.
そして前記主電極１，２の光軸６上の一方側に部分反射
形の共振用ミラー２３を、他方側に全反射形の共振用ミ
ラー２２をそれぞれ設け、部分反射形の共振用ミラー２
３の反射面で反射されたアライメント光が、紙面左側（
第５図参照。）にある第２の治具９に貼られたシート１
４の小孔１５を通過するように、その傾きを調整する。A partially reflective resonant mirror 23 is provided on one side of the optical axis 6 of the main electrodes 1 and 2, and a fully reflective resonant mirror 22 is provided on the other side.
The alignment light reflected by the reflective surface 3 is shown on the left side of the page (
See Figure 5. ) Sheet 1 pasted on second jig 9
Adjust its inclination so that it passes through the small hole 15 of No. 4.
同様に全反射形の共振用ミラー２２の反射面で反射され
たアライメント光が１紙面右側にある第２の治具９に貼
られたシート１４の小孔１５を通過するように、その反
射面の傾きを調整する。以上により両共振用ミラー２２
．２３の調整は終了する。２１は出力窓である。Similarly, the reflection surface of the total reflection type resonant mirror 22 is adjusted so that the alignment light reflected by the reflection surface passes through the small hole 15 of the sheet 14 attached to the second jig 9 on the right side of the page. Adjust the tilt. As a result of the above, both resonance mirrors 22
．． The adjustment of No. 23 is completed. 21 is an output window.
なお上述の説明では省略したが、共振用ミラー２２．２
３は、ねじなどの調整機構を備えており。Although omitted in the above explanation, the resonance mirror 22.2
3 is equipped with an adjustment mechanism such as a screw.
これを調整することによって、その入反射面の傾きが調
整できるようになっていることはもちろんである。共振
用ミラーとして凹面のものを用いた場合には、その反射
面の接線が光軸に垂直になるように調整すればよい。Of course, by adjusting this, the inclination of the incident and reflective surface can be adjusted. If a concave mirror is used as the resonant mirror, it may be adjusted so that the tangent to the reflective surface is perpendicular to the optical axis.
またこの発明は、出力窓２１として共振用ミラーを用い
、両機能を兼ねるようにしたエキシマレーザ装置につい
ても適用できるのはもちろんである。It goes without saying that the present invention can also be applied to an excimer laser device that uses a resonant mirror as the output window 21 to serve both functions.
第２の治具９はレーザ発振動作中は除去が、定期点検時
など再確認のためにこれを必要の都度、同じところにセ
ットしてチエツクするようにするとよい。The second jig 9 is preferably removed during laser oscillation operation, but set and checked in the same place whenever necessary for reconfirmation, such as during periodic inspection.
またチャンバーの外側において光軸が認識できる状態、
すなわち第２の治具に貼られたシートに小孔を設ければ
、それ以後ただちに共振用ミラーの調整を行なわず、ア
ライメント光と第３の治具によって光軸が認識できるよ
うにし、その後共振用ミラーの調整を実施するようにし
てもよいのはもちろんである。In addition, the optical axis can be recognized outside the chamber,
In other words, by making a small hole in the sheet attached to the second jig, the optical axis can be recognized by the alignment light and the third jig without immediately adjusting the resonance mirror, and then the resonance mirror can be recognized by the alignment light and the third jig. Needless to say, the adjustment of the mirror for use may be carried out.
（発明の効果）
以上詳述したようにこの発明によれば、エキシマレーザ
装置における光軸に対し、共振用ミラーの反射面が垂直
となるように調整することができる効果を奏する。(Effects of the Invention) As described in detail above, according to the present invention, the reflective surface of the resonant mirror can be adjusted to be perpendicular to the optical axis of the excimer laser device.
第１図はこの発明の実施例における第１の治具の取付状
態を示す部分斜視図、第２図は同概略正面図、第３図は
第２の治具の斜視図、第４図はその取付状態を示す概略
正面図、第５図は部分反射形と全反射形の共振用ミラー
を取り付けた状態を示す正面図である。
１．２・・・主電極、５・・・基台、６・・・光軸、７
・・・第１の治具、８・・・小孔、９・・・第２の治具
、１０・・・起立面１０．１１・・・孔、１４・・・シ
ート、１５・・・小孔。FIG. 1 is a partial perspective view showing the installed state of the first jig in an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic front view of the same, FIG. 3 is a perspective view of the second jig, and FIG. FIG. 5 is a schematic front view showing the mounted state, and FIG. 5 is a front view showing the state in which partial reflection type and total reflection type resonance mirrors are installed. 1.2... Main electrode, 5... Base, 6... Optical axis, 7
...first jig, 8...small hole, 9...second jig, 10...upright surface 10.11...hole, 14...sheet, 15... Small hole.
Claims (1)
極のうちの一方を支持している支持具上に、第１の治具
を主電極の長手方向に沿う両側に配置し、これに設けて
ある小孔が主電極の光軸上に位置するように、前記治具
の位置をセットする第１の工程、 孔が開けられてある一対の起立面を一体的に備えている
第２の治具の、その各起立面を、チャンバーの取付位置
よりも各外側に位置するようにセットする第２の工程、 前記第１の治具の両小孔を同時に通過するようにアライ
メント光の位置を調整し、そのアライメント光が同時に
前記第２の治具の孔を通過するように、前記第２の治具
のセット位置を調整する第３の工程、 前記第２の治具の孔にシートを貼り、前記シートに照射
された前記アライメント光による光点に小孔を開ける第
４の工程、 前記第１の治具を取りはずし、チャンバーに基台を組み
込んだあと、前記第２の治具に貼られたシートの両小孔
に、同時にアライメント光が通過するように、そのアラ
イメント光の位置を調整する第５の工程、 前記主電極の光軸上の一方側に部分反射形の共振ミラー
を、他方側に全反射形の共振ミラーをそれぞれ設け、こ
れら共振用ミラーから反射されたアライメント光が、い
ずれか一方の第２の治具に貼られたシートの小孔を通過
するように、その傾きを調整する第６の工程からなるエ
キシマレーザ装置の共振用ミラーの調整方法。[Claims] A first jig is placed on both sides of the main electrode along the longitudinal direction on a support supporting one of a pair of main electrodes that generates a discharge that generates an excimer laser, A first step of setting the position of the jig so that the small hole provided in the jig is located on the optical axis of the main electrode. a second step of setting the second jig so that its respective upright surfaces are located outside of the mounting position of the chamber; aligning the second jig so that it passes through both small holes of the first jig at the same time; a third step of adjusting the position of the light and adjusting the set position of the second jig so that the alignment light passes through the hole of the second jig at the same time; a fourth step of pasting a sheet in the hole and making a small hole at the light spot of the alignment light irradiated on the sheet; after removing the first jig and assembling the base into the chamber; The fifth step is to adjust the position of the alignment light so that it passes through both small holes of the sheet attached to the jig at the same time. A resonant mirror is provided on one side, and a total reflection type resonant mirror is provided on the other side, so that the alignment light reflected from these resonant mirrors passes through a small hole in a sheet attached to one of the second jigs. and a sixth step of adjusting the inclination of the resonant mirror of an excimer laser device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32391790A JP2940153B2 (en) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | Adjustment method of resonance mirror for excimer laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32391790A JP2940153B2 (en) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | Adjustment method of resonance mirror for excimer laser device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04192480A true JPH04192480A (en) | 1992-07-10 |
| JP2940153B2 JP2940153B2 (en) | 1999-08-25 |
Family
ID=18160067
Family Applications (1)
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| JP32391790A Expired - Fee Related JP2940153B2 (en) | 1990-11-26 | 1990-11-26 | Adjustment method of resonance mirror for excimer laser device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2940153B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5914648A (en) * | 1995-03-07 | 1999-06-22 | Caddock Electronics, Inc. | Fault current fusing resistor and method |
| EP1026538A2 (en) * | 1999-02-01 | 2000-08-09 | Cymer, Inc. | Narrow band uv laser with visible light alignment laser |
| JP2006024596A (en) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | Method of adjusting laser device |
-
1990
- 1990-11-26 JP JP32391790A patent/JP2940153B2/en not_active Expired - Fee Related
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| US5914648A (en) * | 1995-03-07 | 1999-06-22 | Caddock Electronics, Inc. | Fault current fusing resistor and method |
| US6253446B1 (en) | 1995-03-07 | 2001-07-03 | Richard E. Caddock, Jr. | Fault current fusing resistor and method |
| EP1026538A2 (en) * | 1999-02-01 | 2000-08-09 | Cymer, Inc. | Narrow band uv laser with visible light alignment laser |
| EP1026538A3 (en) * | 1999-02-01 | 2004-03-10 | Cymer, Inc. | Narrow band uv laser with visible light alignment laser |
| JP2006024596A (en) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Komatsu Ltd | Method of adjusting laser device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2940153B2 (en) | 1999-08-25 |
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