JPH04191645A - Inspecting apparatus - Google Patents

Inspecting apparatus

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JPH04191645A
JPH04191645A JP2321566A JP32156690A JPH04191645A JP H04191645 A JPH04191645 A JP H04191645A JP 2321566 A JP2321566 A JP 2321566A JP 32156690 A JP32156690 A JP 32156690A JP H04191645 A JPH04191645 A JP H04191645A
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JP
Japan
Prior art keywords
light
optical fiber
image sensor
light source
fiber transmission
Prior art date
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Pending
Application number
JP2321566A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriaki Saito
斉藤 憲敬
Masaki Fuse
正樹 布施
Masatoshi Toda
正利 戸田
Shinichi Kamiyama
神山 慎一
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Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To detects accurately defects differing in color components by a method wherein a synthesized light having a spectral radiation characteristic of detecting the defects or patterns with a prescribed sensitivity is emitted uniformly in an image-sensing range of an image sensor. CONSTITUTION:Lights of light sources 3a and 3b are made to enter incident parts 5a and 6a of optical fiber transmission units 4. The incident light is applied in an image-sensing range 8a of an image sensor 8 on a substance 6 to be inspected. An emission part 7 of the optical fiber transmission units 4 corresponds to each sensor element of the image sensor 8 and emits a synthesized light of the light from each of the light sources 3a and 3b by an optical fiber. Subsequently, a light from the image-sensing range 8a is sensed by the image sensor 8 and a sensed-light signal thereof is sent to a defect processing unit. According to this constitution, defects or patterns being different in color components in the substance can be detected with a prescribed sensitivity.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention] 【産業上の利用分野】[Industrial application field]

本発明は、色成分の異なる欠陥、例えばカタログ等のカ
ラー印刷した原稿に生じた印刷ミスや油汚れ、他の付着
物等の欠陥を検出する検査装置に関する。
The present invention relates to an inspection device for detecting defects with different color components, such as defects such as printing errors, oil stains, and other deposits that occur in color-printed manuscripts such as catalogs.

【従来の技術】[Conventional technology]

カタログ等のカラー印刷した原稿においては、印刷ミス
や油汚れあるい他の付着物等の色成分が異なる欠陥を正
確に検出する検査装置が必要があった。 この要求に対応できるもっとも簡単に考えられる検査装
置としては、例えば、その欠陥の色成分に応じた撮像系
を用意し、被検査物体をセンシングすれば良い。しかし
、この検査装置では、色分解する光学系と色分解した各
々の光を別々にセンシングするセンサが必要となり非常
に複雑である。 したがって、幅広い色成分の欠陥を検査でき構成が簡便
な検査装置としては、センサーと光源とを一組で構成し
、光源側において光源の輝度をできるだけ上げ、更にフ
ィルタを挿入して分光放射率を均一するものがあった。
For color-printed documents such as catalogs, there is a need for an inspection device that can accurately detect defects with different color components, such as printing errors, oil stains, and other deposits. The simplest possible inspection device that can meet this requirement is, for example, to provide an imaging system corresponding to the color component of the defect and to sense the object to be inspected. However, this inspection device requires an optical system that separates the colors and a sensor that separately senses each color-separated light, making it extremely complicated. Therefore, an inspection device that can inspect defects in a wide range of color components and has a simple configuration should consist of a sensor and a light source as a set, increase the brightness of the light source as much as possible on the light source side, and insert a filter to increase the spectral emissivity. There was something uniform about it.

【発明が解決しようとする課題】[Problem to be solved by the invention]

しかしながら、前記検査装置においては、光源の分光放
射特性にかなり偏りがありフィルタで広範囲を矯正する
ことは困難であること、またセンサ自体にも分光感度特
性を有していること等により、幅広い色成分の検査を行
うことが困難であった。
However, in the above-mentioned inspection equipment, the spectral radiation characteristics of the light source are quite biased and it is difficult to correct a wide range with a filter, and the sensor itself also has spectral sensitivity characteristics, so it is difficult to correct a wide range of colors. It was difficult to test the ingredients.

【課題を解決するための手段】[Means to solve the problem]

本発明は、上記課題を解決することを目的とするもので
あり、以下に示す構成からなる。すなわち本発明は、 複数個の光源からなり、かつこれらの光源による合成出
射光が、(1)式で表される分光放射特性を有する光源
群で構成した光源装置と、合成出射光の分光放射特性=
A/B   (1)但し、Aは欠陥の反射率または透過
率で、Bはイメージセンサの分光感度である。 複数本の光ファイバから構成されるものであって、この
光ファイバの一端を分割して集束した一端を前記光源装
置の各々の光源に対向配置して形成した入射部と、かつ
各光ファイバの他端の配列が、前記イメージセンサの各
センサ素子に、各光源による光ファイバを集束して合成
出射光を照射する配置を形成した出射部とからなる光フ
ァイバ伝送部と、 前記光ファイバ伝送部の出射部からの光で被検査物体か
らの反射光または透過光を受光するイメージセンサとか
らなることを特徴とする。
The present invention aims to solve the above problems and consists of the configuration shown below. That is, the present invention provides a light source device constituted by a light source group consisting of a plurality of light sources and whose combined emitted light has a spectral radiation characteristic expressed by equation (1); Characteristic =
A/B (1) However, A is the reflectance or transmittance of the defect, and B is the spectral sensitivity of the image sensor. It is composed of a plurality of optical fibers, and includes an entrance portion formed by dividing one end of the optical fiber and converging the other end and arranging it facing each light source of the light source device, and an entrance portion of each optical fiber. an optical fiber transmission unit, the other end of which is arranged to form an output unit configured to focus optical fibers from each light source and irradiate combined output light onto each sensor element of the image sensor; and the optical fiber transmission unit. It is characterized by comprising an image sensor that receives reflected light or transmitted light from the object to be inspected using light from the emission section.

【作用】[Effect]

本発明の検査装置は次のような作用を有している。 まず本発明の検査装置では、光源装置が複数個の光源か
ら構成され、これらの光源から出射された光を合成する
と、被検査物体に生じた色成分の異なる模様を検出しや
すいようにしである。 例えば、欠陥及びその模様がすべての色成分を含んでお
り、分光放射率×分光感度=一定であることが要求され
る場合において説明する。ここでイメージセンサの分光
感度が400〜700nmの波長の範囲で第3図(a)
に示す特性を有していたとする。第3図(a)の分光感
度を有するイメージセンサを使用した場合、被検査物体
に生じた色成分の異なる欠陥または模様を検査するには
、第3図(b)に示す分光放射特性を有する光を出射す
る光源が必要となる。通常は、このような分光放射特性
を有する光源を探しこれに一致したものを使用するが、
−前約に一致する光源を見つけだすことは困難であり、
またこの検査目的である色成分が異なる欠陥を正確に検
知する場合、単一の光源で達成することは不可能に近い
。 そこで、本発明では、複数個の光源で同図(b)に示す
分光放射特性を有する光を形成する。仮に、同図(C)
及び同図(d)の分光放射特性を有した光源があったと
すると、この二つの光源で合成した光は、同図(b)に
示した分光放射特性を有した光となる。これは、即ち(
1)式に示した分光放射特性を有した光となる。 また本発明では、前述した分光放射特性を有した光が、
イメージセンサの撮像範囲で、均一に照射されるように
複数本の光ファイバによる光ファイバ伝送部を用いてい
る。 すなわち、この光ファイバ伝送部が、光源装置の各光源
の光を分割して形成した入射部から光を入射する。光フ
ァイバ伝送部の出射部では、同図(C)の光を導く光フ
ァイバと同図(d)の光を導く光ファイバとが集められ
、この集めた光ファイバから出射されて合成した光、つ
まり同図(b)の分光放射特性を有する光が、イメージ
センサの各センサ素子に照射されるようにしである。こ
れによりイメージセンサは、検査物に生じた色成分の異
なる欠陥または模様に対して一定の感度で検出を行うこ
とができる。
The inspection device of the present invention has the following functions. First, in the inspection apparatus of the present invention, the light source device is composed of a plurality of light sources, and when the light emitted from these light sources is combined, it is possible to easily detect patterns with different color components generated on the object to be inspected. . For example, a case will be explained in which the defect and its pattern include all color components and it is required that spectral emissivity x spectral sensitivity = constant. Here, the spectral sensitivity of the image sensor is in the wavelength range of 400 to 700 nm as shown in Figure 3 (a).
Suppose that it has the characteristics shown in . When using an image sensor having the spectral sensitivity shown in Figure 3(a), it is necessary to have the spectral radiation characteristics shown in Figure 3(b) in order to inspect defects or patterns with different color components occurring on the object to be inspected. A light source that emits light is required. Normally, one searches for a light source with such spectral radiation characteristics and uses one that matches this.
− It is difficult to find a light source that matches the pre-convenience;
Furthermore, if the purpose of this inspection is to accurately detect defects with different color components, it is almost impossible to achieve this with a single light source. Therefore, in the present invention, a plurality of light sources generate light having the spectral radiation characteristics shown in FIG. 3(b). If the same figure (C)
Assuming that there is a light source having the spectral radiation characteristics shown in FIG. 12(d), the light combined from these two light sources becomes light having the spectral radiation characteristics shown in FIG. 14(b). This means (
1) The light has the spectral radiation characteristics shown in the formula. Further, in the present invention, the light having the above-mentioned spectral radiation characteristics is
An optical fiber transmission section with a plurality of optical fibers is used to uniformly illuminate the imaging range of the image sensor. That is, this optical fiber transmission section receives light from an input section formed by dividing light from each light source of the light source device. At the output section of the optical fiber transmission section, the optical fiber that guides the light shown in FIG. 10C and the optical fiber that guides the light shown in FIG. In other words, each sensor element of the image sensor is irradiated with light having the spectral radiation characteristics shown in FIG. 2(b). This allows the image sensor to detect defects or patterns with different color components occurring on the inspection object with a constant sensitivity.

【実施例】【Example】

本発明の一実施例を図面と共に説明する。 第1図は、本発明の検査装置の装置概要をあられす側面
図である。 同図において、検査装置1は、紙、フィルム等にカラー
印刷されたシート状物を被検査物体9とし、これに生じ
た印刷ミス、油汚れ、他の付着物等の色成分が異なる欠
陥を検出するものである。 この検査装置1は、大きく光源装置2と光ファイバ伝送
部4とイメージセンサ7の三つから構成される。 光源装置2は、二つの光源3a、3bからなりこの光源
として具体的にはメタルハライドランプやハロゲンラン
プあるいは蛍光灯等が用いられる。 但しこの光源は、必要な分光放射特性を有している。ま
た光源装置には、合成した光がより(1〉式に示した分
光放射特性となるようにフィルターを挿入しても良い。 したがって光源装置2では、イメージセンサの分光感度
に対応した合成光を作るのに、光源とフィルタとの組み
合わせで次の構成が採用される。 ■異なる分光放射特性を有する複数個の光源のみで合成
光を作る。 ■異なる分光放射特性を有する複数個の光源とどちらか
もしくは両方にフィルタを挿入して合成光を作る。 ■同じ分光放射特性を有する複数個の光源でどちらかも
しくは両方にフィルタを挿入して合成光を作る。 光ファイバ伝送部4は、複数の光ファイ1<を集束した
光ファイバ束5.6で形成される。光ファイバ伝送部4
は、この光ファイバ束5.6の一端がそれぞれの光ファ
イバを集束して入射5a16bを形成しである。そして
この入射部5a、6bには、光源3 a s  3 b
の光を入射できるように対向配置しである。更に、光フ
ァイバ伝送部4は、光ファイバ束5.6の他端が一つに
集めて光出射部7を形成して、被検査物体9におけるイ
メージセンサ8の撮像範囲8a内に照射するようにして
ある。 ここで、光ファイバ伝送部4の出射部7における光ファ
イバ配置に関して説明する。第2図は、光ファイバ伝送
部4の出射部7とイメージセンサ8を拡大した上面図で
ある。同図において光出射部7は、ライン型のイメージ
センサ8を用いであるために、同じラインを形成させで
ある。出射部7では、斜線の入った光ファイバ60a、
60b。 ・・・が光源3aからの光を導く光ファイバであり、ま
た光ファイバ50as50b+、  ・・・が光源3b
からの光を導く光ファイバである。また、イメージセン
サ8は、センサ素子8a、  ・・・からなる複数個の
センサ素子で構成される。イメージセンサ8の一センサ
素子8aの視野範囲に対しては、光源3aからの光ファ
イバ2本と光源3bからの光ファイバ2本の計4本によ
る合成光が照射される。なお、この実施例では、センサ
ー素子に対応する光ファイバは4本にしであるがこれに
限定されるものではなく何本でも良い。また、光源3a
、3bを導く光ファイバの本数の比においても、同じに
する必要はなく光ファイノzHで伝送される輝度等に応
じて変更して構わない。 なお図示しないがイメージセンサ8には、欠陥処理部と
接続してあり、イメージセンサ8からの受光信号に基づ
いて、欠陥の有無を検出しその種別、個数等を調べてそ
の検査結果を知らせる。 次に本発明の検査装置の機能等について説明する。 第1図より、光源装置2の光源3a、3bからの光は、
光ファイバ伝送部4の入射部5a、6aに入射される。 そして、光ファイバ伝送部4の出射部7は、その入射部
5a、6aから入射した光を被検査物9におけるイメー
ジセンサ8の撮像範囲8a内に照射させる。なお、光フ
ァイバ伝送部4の出射部7は、イメージセンサ8の各セ
ンサ素子に対応して、各光源からの光ファイバによる合
成光が出射される。 イメージセンサ8では、被検査物体9の撮像範囲からの
光を受光し、その受光信号を欠陥処理部に送る。こうし
て欠陥処理部では、その受光信号によって欠陥を検知し
たら種別、個数等を調べて検査結果を知らせる。
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a side view showing an outline of the inspection device of the present invention. In the figure, the inspection device 1 uses a sheet-like object 9 printed in color on paper, film, etc. as an object to be inspected, and detects defects with different color components such as printing errors, oil stains, and other deposits that occur on the object. It is something to detect. This inspection device 1 is mainly composed of three components: a light source device 2, an optical fiber transmission section 4, and an image sensor 7. The light source device 2 includes two light sources 3a and 3b, and specifically, a metal halide lamp, a halogen lamp, a fluorescent lamp, or the like is used as the light source. However, this light source has the necessary spectral radiation characteristics. In addition, a filter may be inserted into the light source device so that the combined light has the spectral radiation characteristics shown in equation (1). Therefore, the light source device 2 outputs the combined light corresponding to the spectral sensitivity of the image sensor. The following configurations are adopted by combining light sources and filters to create composite light: ■Create composite light using only multiple light sources with different spectral radiation characteristics.■Create combined light using only multiple light sources with different spectral radiation characteristics. A filter is inserted into one or both of the light sources to create a composite light. ■A composite light is created by inserting a filter into one or both of the light sources having the same spectral radiation characteristics. It is formed by an optical fiber bundle 5.6 which is a bundle of optical fibers 1<.Optical fiber transmission section 4
One end of this optical fiber bundle 5.6 focuses the respective optical fibers to form an input 5a16b. In these incident parts 5a and 6b, light sources 3a s 3b
They are arranged so that they face each other so that they can receive the same amount of light. Further, the optical fiber transmission section 4 is configured such that the other ends of the optical fiber bundles 5.6 are gathered together to form a light emitting section 7, and the light is irradiated into the imaging range 8a of the image sensor 8 on the object 9 to be inspected. It is set as. Here, the arrangement of optical fibers in the output section 7 of the optical fiber transmission section 4 will be explained. FIG. 2 is an enlarged top view of the output section 7 and image sensor 8 of the optical fiber transmission section 4. As shown in FIG. In the figure, the light emitting section 7 uses a line-type image sensor 8, so the same lines are formed. In the output section 7, a shaded optical fiber 60a,
60b. . . . are optical fibers that guide light from the light source 3a, and optical fibers 50as50b+, . . . are optical fibers that guide light from the light source 3b.
An optical fiber that guides light from Further, the image sensor 8 is composed of a plurality of sensor elements including sensor elements 8a, . . . . The viewing range of one sensor element 8a of the image sensor 8 is irradiated with combined light from a total of four optical fibers: two optical fibers from the light source 3a and two optical fibers from the light source 3b. In this embodiment, the number of optical fibers corresponding to the sensor elements is four, but the number is not limited to this and any number may be used. In addition, the light source 3a
, 3b need not be the same, and may be changed depending on the brightness transmitted by the optical fiber zH. Although not shown, the image sensor 8 is connected to a defect processing section, which detects the presence or absence of defects based on the light reception signal from the image sensor 8, checks their type, number, etc., and reports the inspection results. Next, functions etc. of the inspection device of the present invention will be explained. From FIG. 1, the light from the light sources 3a and 3b of the light source device 2 is
The light is input to the input sections 5a and 6a of the optical fiber transmission section 4. Then, the output section 7 of the optical fiber transmission section 4 irradiates the light that has entered from the input sections 5a and 6a into the imaging range 8a of the image sensor 8 on the object to be inspected 9. Note that the output section 7 of the optical fiber transmission section 4 outputs combined light from each light source through the optical fibers, corresponding to each sensor element of the image sensor 8. The image sensor 8 receives light from the imaging range of the object to be inspected 9, and sends the light reception signal to the defect processing section. In this manner, when the defect processing section detects a defect based on the light reception signal, it checks the type, number, etc., and notifies the inspection result.

【効果】【effect】

以上、詳述したように本発明の検査装置によれば、光源
装置が構成される複数個の光源の合成光が、種々の欠陥
または模様に対し一定の感度で検知できるような分光放
射特性を有したおり、また光ファイバ伝送部の出射部で
その合成光をイメージセンサの撮像範囲に均一に出射す
るようにしたるので、色成分の異なる欠陥を正確に検出
することができその効果は大きい。
As detailed above, according to the inspection device of the present invention, the combined light of the plurality of light sources that constitute the light source device has spectral radiation characteristics that allow detection of various defects or patterns with a constant sensitivity. In addition, the combined light is emitted uniformly to the imaging range of the image sensor at the output section of the optical fiber transmission section, making it possible to accurately detect defects with different color components, which is highly effective. .

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明の一実施例を示す装置概要図図、第2
図は、第1図に示した被ファイバ伝送部の出射部とイメ
ージセンサの上面図、第3図は、イメージセンサの分光
感度と光源の分光放射特性を示す特性図である。 1・・・検査装置 2・・・光源装置 3a、3b・・・光源 4・・・光ファイバ伝送部 5.6・・・光ファイバ束 5a、6a・・・入射部 7・・・出射部    ” 50 as  50 bs ・・・光源3bの光を導く
光ファイバ 60a、60b、・・・光源3aの光を導く光ファイバ 8・・・イメージセンサ 8a、  8b、  8c、 −・・センサ素子9・・
・被検査物体 ω 第3図(a) 波長[nm] 第3図(b) 波長[止コ 第3図<C) 波長[nmコ 第3図<d)
FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus showing one embodiment of the present invention, and FIG.
The figure is a top view of the output section of the fiber transmission section and the image sensor shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a characteristic diagram showing the spectral sensitivity of the image sensor and the spectral radiation characteristics of the light source. 1... Inspection device 2... Light source device 3a, 3b... Light source 4... Optical fiber transmission section 5.6... Optical fiber bundle 5a, 6a... Input section 7... Output section "50 as 50 bs...Optical fibers 60a, 60b that guide the light from the light source 3b,...Optical fiber 8 that guides the light from the light source 3a...Image sensors 8a, 8b, 8c, -...Sensor element 9.・
・Object to be inspected ω Fig. 3 (a) Wavelength [nm] Fig. 3 (b) Wavelength [stop Fig. 3 < C) Wavelength [nm Fig. 3 < d)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)被検査物体に生じた異なる色成分の欠陥または模
様をイメージセンサで検査する検査装置において、 複数個の光源からなり、かつこれらの光源による合成出
射光が、(1)式で表される分光放射特性を有する光源
群で構成した光源装置と、 合成出射光の分光放射特性=A/B(1) 但し、Aは欠陥の反射率または透過率で、Bはイメージ
センサの分光感度である。 複数本の光ファイバから構成されるものであって、この
光ファイバの一端を分割して集束した一端を前記光源装
置の各々の光源に対向配置して形成した入射部と、かつ
各光ファイバの他端の配列が、前記イメージセンサの各
センサ素子に、各光源による光ファイバを集束して合成
出射光を照射する配置を形成した出射部とからなる光フ
ァイバ伝送部と、 前記光ファイバ伝送部の出射部からの光で被検査物体か
らの反射光または透過光を受光するイメージセンサとか
らなることを特徴とする検査装置。
(1) In an inspection device that uses an image sensor to inspect defects or patterns of different color components occurring on an object to be inspected, it consists of multiple light sources, and the combined emitted light from these light sources is expressed by equation (1). A light source device composed of a group of light sources having spectral radiation characteristics, and spectral radiation characteristics of combined emitted light = A/B (1) However, A is the reflectance or transmittance of the defect, and B is the spectral sensitivity of the image sensor. be. It is composed of a plurality of optical fibers, and includes an entrance portion formed by dividing one end of the optical fiber and converging the other end and arranging it facing each light source of the light source device, and an entrance portion of each optical fiber. an optical fiber transmission unit, the other end of which is arranged to form an output unit configured to focus optical fibers from each light source and irradiate combined output light onto each sensor element of the image sensor; and the optical fiber transmission unit. An inspection device comprising: an image sensor that receives reflected light or transmitted light from an object to be inspected using light from a light emitting section of the inspection device.
(2)前記光源装置において、光源の出射光の分光放射
特性を矯正するフィルタを配置したことを特徴とする請
求項第1項記載の検査装置。
(2) The inspection device according to claim 1, wherein the light source device is provided with a filter for correcting spectral radiation characteristics of the light emitted from the light source.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007078385A (en) * 2005-09-12 2007-03-29 Nippon Steel Corp Lighting system for flaw inspection

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007078385A (en) * 2005-09-12 2007-03-29 Nippon Steel Corp Lighting system for flaw inspection

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