JPH04184734A - Magnetic-optical recording medium - Google Patents

Magnetic-optical recording medium

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Publication number
JPH04184734A
JPH04184734A JP31277090A JP31277090A JPH04184734A JP H04184734 A JPH04184734 A JP H04184734A JP 31277090 A JP31277090 A JP 31277090A JP 31277090 A JP31277090 A JP 31277090A JP H04184734 A JPH04184734 A JP H04184734A
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JP
Japan
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magnetic layer
magnetic
layer
magnetization
temperature
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Application number
JP31277090A
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Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Shiratori
力 白鳥
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To obtain excellent writing characteristics and reading characteristics and, further, improve the stability of information holding and reproduce durability by a method wherein (n) layers (wherein (n) denotes an even number not smaller than 3) of magnetic layers composed of magnetic thin films are laminated on a substrate with mutual exchange couplings and the respective magnetic layers satisfy specific conditions. CONSTITUTION:If the Curie point of an (i)th magnetic layer (wherein (i) denotes a natural number not larger than (n)) is denoted by Tc1 and it is defined that Tcn+1 = ambient temperature, for any natural number (m) which is not larger than (n-1)/2, the vertical magnetic anisotropy (Ku) and the saturated magnetization (Ms) of a (2m+1)th magnetic layer at a room temperature are 7X10<5> erg/cm<3> or larger and 300 emu/cm<3> or smaller respectively and Tc2m+1>=Tc1>=Tc2m and Tc2m>=Tc2(m+1). The magnetization of the (2m+1)th magnetic layer is so oriented as to provide the stable state of a coupling state produced by an exchange interaction with a (2m-1)th magnetic layer when the temperature of a (2m)th magnetic layer drops to its Curie point Tc2m or lower. With this constitution, excellent writing characteristics and reading characteristics and, further, excellent reproduce durability can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、光磁気メモリ、磁気記録、表示素子などに用
いられ、磁気カー効果あるいはファラデー効果などの磁
気光学効果によって記録を読み出すことのできる光磁気
記録媒体に関する。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is used in magneto-optical memories, magnetic recording, display elements, etc., and can read out records using magneto-optical effects such as the magnetic Kerr effect or the Faraday effect. It relates to magneto-optical recording media.

[従来の技術] 光磁気記録では、光磁気記録媒体の磁性層領域にバイア
ス磁界を印加しながら前記磁性層の表面にレーザー光等
を照射することにより、照射部分を前記磁性層のキュリ
ー点近傍あるいは補償点近傍にまで加熱して、この部分
の磁化を他の部分とは逆の方向に配向させるによって情
報の書き込み(記録)を行なう。一方、書き込んだ情報
の読み出しく再生)は、記録時よりも低出力であってか
つ直線偏光したレーザー光を磁性層表面に照射し、その
反射光の偏光面の磁気光学効果による回転な検光子を介
して光学的に検出することによって行なわれる。
[Prior Art] In magneto-optical recording, a bias magnetic field is applied to the magnetic layer region of a magneto-optical recording medium while a laser beam or the like is irradiated onto the surface of the magnetic layer, so that the irradiated area is near the Curie point of the magnetic layer. Alternatively, information may be written (recorded) by heating to near the compensation point and orienting the magnetization of this portion in the opposite direction to that of other portions. On the other hand, in order to read and reproduce written information, the surface of the magnetic layer is irradiated with a linearly polarized laser beam that is lower in output than during recording, and a rotating analyzer is used that uses the magneto-optical effect of the polarization plane of the reflected light. This is done by optical detection via

このような光磁気記録に用いられる光磁気記録媒体とし
ては、書き込み効率が良く、かつ書き込んだ情報が安定
に保存されること、また読み出し特性が良好なことが望
まれる。しかしながら、これらの要求を単一の材料で全
て満たすことは非常に困難である。例えば、キュリー点
書き込みの場合、書き込み効率を上げるためにはキュリ
ー温度を下げる必要があるが、一方においてキュリー温
度の降下は磁気光学効果を低下させるため読み出し特性
の劣化を招く。また、補償点書き込みの場合、補償点近
傍で保磁力が急激に低下する材料を用いるので、高キュ
リー温度の材料にも比較的低パワーで書き込むことがで
きるが、書き込んだ情報の保存安定性や磁区形状に問題
がある。
A magneto-optical recording medium used for such magneto-optical recording is desired to have good writing efficiency, to stably store written information, and to have good read characteristics. However, it is extremely difficult to meet all of these requirements with a single material. For example, in the case of Curie point writing, it is necessary to lower the Curie temperature in order to increase the writing efficiency, but on the other hand, a drop in the Curie temperature lowers the magneto-optic effect, leading to deterioration of read characteristics. In addition, in the case of compensation point writing, since a material whose coercive force rapidly decreases near the compensation point is used, it is possible to write to materials with a high Curie temperature with relatively low power, but the storage stability of the written information may be affected. There is a problem with the magnetic domain shape.

このため従来より、機能を分離した複合膜による光磁気
記録媒体が提案されている。すなわち、磁気光学効果が
大きく読み出し特性の良好な磁性層と、キュリー温度が
比較的低く垂直磁気異方性が大きくて書き込み特性の良
好な磁性層とを磁気的に結合させて積層し、書き込み特
性の良好な層に書き込んだ情報を、磁気的な結合力によ
って読み出し特性の良好な層に転写して、この転写した
情報を読み出すというものである。特に、交換結合力に
よる結合をした複合膜は、情報の転写性及び転写した情
報の保存性において有利であり、特開昭57−7865
2号公報や特開昭63−302448号公報などにおい
て、Gd−Fe/Tb−Fe交換結合二層膜やTb−F
eCo/Tb−FeGo交換結合二層膜などを用いた光
磁気記録媒体が開示されている。
For this reason, magneto-optical recording media using composite films with separate functions have been proposed. In other words, a magnetic layer with a large magneto-optical effect and good read characteristics and a magnetic layer with a relatively low Curie temperature, large perpendicular magnetic anisotropy, and good write characteristics are magnetically coupled and laminated to improve the write characteristics. Information written in a layer with good read characteristics is transferred by magnetic coupling force to a layer with good read characteristics, and this transferred information is read out. In particular, a composite membrane bonded by exchange bonding force is advantageous in terms of information transferability and preservation of transferred information.
2 and JP-A-63-302448, etc., Gd-Fe/Tb-Fe exchange-coupled bilayer films and Tb-F
Magneto-optical recording media using eCo/Tb-FeGo exchange-coupled double-layer films have been disclosed.

[発明が解決しようとする課題] ところが、上述の従来の複合膜による光磁気記録媒体で
は、磁気光学効果が大きく読み出し特性の良好な磁性層
は、単層では書き込みにより生成した磁区な安定に保持
できないような材料・組成で構成されている。すなわち
この磁性層は、書き込み特性に優れた磁性層と交換結合
することによって、初めて良好に磁区を形成し保持する
ことができる。このため、その反作用として、書き込み
特性に優れた磁性層に形成された磁区には、磁区の不安
定な磁性層(読み出し特性に優れた磁性層)との交換結
合により、磁区な崩壊させる方向への作用が働いている
。したが2て、従来の複合膜による光磁気記録媒体の情
報の保存安定性は、読み出し用の層を積層しない場合に
比べて不利になるという問題点があった。特に繰り返し
再生を行なうときの耐久性、すなわち再生耐久性におい
て劣っていた。
[Problems to be Solved by the Invention] However, in the above-mentioned conventional magneto-optical recording medium using a composite film, the magnetic layer, which has a large magneto-optic effect and good read characteristics, cannot stably hold the magnetic domains generated by writing in a single layer. It is composed of materials and compositions that cannot be used. That is, this magnetic layer can form and maintain a magnetic domain well only by being exchange-coupled with a magnetic layer having excellent writing characteristics. Therefore, as a reaction to this, the magnetic domains formed in the magnetic layer with excellent write characteristics are forced to collapse due to exchange coupling with the unstable magnetic layer (magnetic layer with excellent read characteristics). The effect of is at work. However, there is a second problem in that the storage stability of information in a magneto-optical recording medium using a conventional composite film is disadvantageous compared to a case where a readout layer is not laminated. In particular, it was inferior in durability upon repeated reproduction, that is, reproduction durability.

また、十分な読み出し特性の向上を得るためには、読み
出し用の層をある程度厚くする必要があるが、この層の
膜厚を厚くしていくと良好な磁区が形成できなくなった
り、磁区の保存安定性が悪くなるという問題点があった
In addition, in order to obtain sufficient improvement in readout characteristics, it is necessary to make the readout layer thicker to some extent, but increasing the thickness of this layer may result in the inability to form good magnetic domains or the preservation of magnetic domains. There was a problem that stability deteriorated.

これらの問題卑濱回避するためには、読み出し用の層の
特性生、その層が単独で存在した場合においても、形成
された磁区を安定に保持できるような特性にすれば良い
と考えられる。そのためには、この層を垂直磁気異方性
が大きく飽和磁化の比較的小さな材料・組成で構成する
必要がある。
In order to avoid these problems, it is considered that the characteristics of the readout layer should be made so that the formed magnetic domain can be stably maintained even when the layer exists alone. To this end, this layer must be made of a material and composition that has a large perpendicular magnetic anisotropy and a relatively small saturation magnetization.

ところが、この場合、書き込み用の層に書き込んだ情報
を読み出し用の層に転写するというプロセスの実現が非
常に困難となり、特に、読み出し用の層の膜厚を再生に
充分な厚さにすることは不可能であるという問題点があ
る。
However, in this case, it is extremely difficult to realize the process of transferring information written in the writing layer to the reading layer, and in particular, it is difficult to make the reading layer thick enough for reproduction. The problem is that it is impossible.

本発明の目的は、上記の問題点を解決し、書き込み特性
、読み出し特性とも優れ、かつ情報の保存の安定性、特
に再生耐久性を向上させた光磁気記録媒体を提供するこ
とにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems and provide a magneto-optical recording medium that has excellent writing and reading characteristics, and has improved information storage stability, particularly reproduction durability.

[課題を解決するための手段] 本発明の光磁気記録媒体は、上記の問題点を解決するた
めに、機能分離した交換結合複合膜において、読み出し
用の磁性層の特性を、その磁性層が単独で存在した場合
においても形成された磁区を安定に保持できるような特
性とした上で、この磁性層への、書き込み用の磁性層か
らの情報の転写が確実に行なわれるように、また、この
磁性層の膜厚な、読み出し特性の向上を得るに十分な厚
さにできるように、層構成の設計を工夫したものである
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems, the magneto-optical recording medium of the present invention has a functionally separated exchange-coupled composite film in which the characteristics of the magnetic layer for reading are changed by the characteristics of the magnetic layer. In order to ensure that the information from the write magnetic layer is transferred to this magnetic layer reliably, the magnetic layer has a property that allows the formed magnetic domain to be stably maintained even when it exists alone. The layer structure is designed so that the thickness of the magnetic layer can be made thick enough to improve the readout characteristics.

すなわち本発明の光磁気記録媒体は、第1磁性層から第
n磁性層(ただしnは3以上の奇数の1つ)までの、磁
性薄膜からなるn層の磁性層が基板上に順次積層された
光磁気記録媒体において、 前記各磁性層は室温において相互に交換結合し、 第i磁性層(ただしiはn以下の自然数)のキュリー温
度をTc、とし、TCn+rを周囲温度と定義したとき
、(n−1)/2以下の全ての自然数mについて、以下
の4条件、 (a)第(2m+ 1)磁性層の、室温における垂直磁
気異方性定数(Ku)は7 X 10 ’erg/cm
’以上であり、かつ室温における飽和磁化(Ms)は3
00 emu/cm’以下であり、 (b ) TCim++≧Tc+ ≧Tc2mであり、
(C)TC2量≧Tct l+a◆1)であり・(cl
)前記光磁気記録媒体の一部分を前記第1磁性層のキュ
リー温度Tc、近傍まで加熱し、前記一部分の第1磁性
層の磁化の配向状態を加熱前とは異なる状態に遷移させ
た後の冷却過程において、第(2m)磁性層の温度が該
第(2m)磁性層のキュリー温度T c 2m以下に降
下したときに、前記第(2m)磁性層と第(2m+1)
磁性層の磁化が、第(2m−1)磁性層に対して交換相
互作用による結合状態が安定な状態となるように配向し
、前記第(2m−1)磁性層の磁化は、第(2m)磁性
層の温度が該第(2m)磁性層のキュリー温度TCn以
下に降下する直前の配向状態を維持する、の条件のすべ
てを満たすことを特徴とする。
That is, in the magneto-optical recording medium of the present invention, n magnetic layers made of magnetic thin films, from the first magnetic layer to the n-th magnetic layer (n is an odd number of 3 or more), are sequentially laminated on a substrate. In the magneto-optical recording medium, each of the magnetic layers is exchange-coupled with each other at room temperature, the Curie temperature of the i-th magnetic layer (where i is a natural number equal to or less than n) is defined as Tc, and TCn+r is defined as the ambient temperature, For all natural numbers m less than or equal to (n-1)/2, the following four conditions are met: (a) The perpendicular magnetic anisotropy constant (Ku) of the (2m+1)th magnetic layer at room temperature is 7 X 10 'erg/ cm
' or more, and the saturation magnetization (Ms) at room temperature is 3
00 emu/cm' or less, (b) TCim++≧Tc+ ≧Tc2m,
(C) TC2 amount≧Tct l+a◆1) and (cl
) Cooling after heating a portion of the magneto-optical recording medium to a temperature close to the Curie temperature Tc of the first magnetic layer and transitioning the magnetization orientation state of the portion of the first magnetic layer to a state different from that before heating. In the process, when the temperature of the (2m) magnetic layer falls below the Curie temperature T c 2m of the (2m) magnetic layer, the (2m) magnetic layer and the (2m+1)
The magnetization of the magnetic layer is oriented so that the bonding state due to exchange interaction with the (2m-1)th magnetic layer is stable, and the magnetization of the (2m-1)th magnetic layer is oriented to the (2m-1)th magnetic layer. ) The magnetic layer maintains the orientation state immediately before the temperature of the magnetic layer falls below the Curie temperature TCn of the (2m)th magnetic layer.

各磁性層を希土類−鉄族非晶質合金で構成するようにす
るとよい、また、上記(a)の条件において、第(2m
+1)磁性層の、室温における垂直磁気異方性定数(K
u)がI X 10 ’erg/cm”以上であり、か
つ室温における飽和磁化(Ms)が200 emu/c
m’以下であるようにするとよい。
It is preferable that each magnetic layer is made of a rare earth-iron group amorphous alloy, and under the condition (a) above, the (2mth
+1) Perpendicular magnetic anisotropy constant (K
u) is I x 10 'erg/cm'' or more, and the saturation magnetization (Ms) at room temperature is 200 emu/c
It is preferable that it be less than or equal to m'.

[作用] 磁性薄膜からなるn層(nは3以上の奇数)の磁性層が
基板上に相互に交換結合しながら積層された複合膜構成
の本発明の光磁気記録媒体の作用は以下に示すとおりの
ものである。なお、以下の説明で、mは(n−1)/2
以下の全ての自然数を表わす。すなわち第(2m)磁性
層とあれば、第1磁性層側から数えて偶数番目の磁性層
を意味し、第(2m+1)磁性層とあれば、同様にして
、第3磁性層以降の奇数番目の磁性層を意味する。また
Tc+を第i磁性層のキュリー温度とする。
[Function] The function of the magneto-optical recording medium of the present invention having a composite film structure in which n magnetic layers (n is an odd number of 3 or more) consisting of magnetic thin films are laminated on a substrate while being exchange-coupled with each other is as follows. It is as expected. In addition, in the following explanation, m is (n-1)/2
Represents all the following natural numbers. In other words, the (2m)th magnetic layer means the even-numbered magnetic layer counting from the first magnetic layer, and the (2m+1)th magnetic layer means the odd-numbered magnetic layer from the third magnetic layer onwards. means the magnetic layer of Further, Tc+ is the Curie temperature of the i-th magnetic layer.

本発明の光磁気記録媒体において、書き込み用の磁性層
に相当するのは第1磁性層であり、読み出し用の磁性層
に相当するのは第(2m+ 1)磁性層である。第(2
m)磁性層は、各層間の磁気的な結合を切断するための
磁性層である0次に、このような複合膜からなる光磁気
記録媒体に磁区が形成されるプロセスについて説明する
In the magneto-optical recording medium of the present invention, the first magnetic layer corresponds to the magnetic layer for writing, and the (2m+1)th magnetic layer corresponds to the magnetic layer for reading. 2nd (2nd
m) The magnetic layer is a zero-order magnetic layer for breaking the magnetic coupling between each layer. Next, we will explain the process by which magnetic domains are formed in a magneto-optical recording medium made of such a composite film.

消去を行なった後、記録用のバイアス磁界を印加しなが
ら、磁性層表面にレーザー光を照射して、照射部分を第
1磁性層のキュリー温度Tc+近傍まで加熱する。レー
ザー照射後のこの温度からの冷却過程において、まず、
第1磁性層に磁化配向の反転した磁区が形成される。こ
の時、第2磁性層はキュリー温度以上であるため第1磁
性層と第3磁性層との磁気的な結合は切断されている。
After erasing, the surface of the magnetic layer is irradiated with laser light while applying a bias magnetic field for recording, and the irradiated portion is heated to around the Curie temperature Tc+ of the first magnetic layer. In the cooling process from this temperature after laser irradiation, first,
A magnetic domain with reversed magnetization orientation is formed in the first magnetic layer. At this time, since the temperature of the second magnetic layer is higher than the Curie temperature, the magnetic coupling between the first magnetic layer and the third magnetic layer is severed.

また、第(2m+1)磁性層は、キュリー温度がTc+
よりも高く、しかも垂直磁気異方性の大きな材料で構成
されているため、通常は、この近傍の温度では磁化反転
が起こらず、消去状態の磁化配向を保っている。(但し
、材料によっては磁化反転が起こる場合もありうる。ま
た、レーザー照射領域内の温度勾配により、領域の中心
部に微小な磁区が形成される場合もありうる。いずれの
場合も以下の説明に大差はない。)さて、媒体温度が降
下して、第2磁性層のキュリー温度以下になると、第1
磁性層と第2磁性層、および第2磁性層と第3磁性層と
の間に交換相互作用が作用し始めて、各層が磁気的に結
合する。第4磁性層はそのキュリー温度以上であるため
第3磁性層と第5磁性層との磁気的な結合は切断されて
いる。ここで、第1磁性層と第3磁性層とはスピンの配
向が逆転しているため、この2層間にはスピンの遷移領
域が形成され、ここに交換相互作用に起因したエネルギ
ーが蓄積される。そして温度がさらに降下すると、この
エネルギーが増大するため、一方の層を磁化反転させて
、両層のスピンの向きを揃えようとする。この時、この
温度において、第3磁−性層の磁化反転に要するエネル
ギーが、第1磁性層の磁化反転に要するエネルギーより
も小さくなるように各磁性層の膜厚や物性値を制御して
おくと、第3磁性屡が優先的に磁化反転して第1磁性層
のスピンの向きに揃えられる。(このプロセスを実現さ
せるための、膜厚や物性値の設計指針については実施例
中でさらに詳しく説明する。)こうして第1磁性層の磁
区が第3磁性層に転写される。
Further, the (2m+1)th magnetic layer has a Curie temperature of Tc+
Since it is made of a material with a perpendicular magnetic anisotropy higher than 100% and a large perpendicular magnetic anisotropy, normally magnetization reversal does not occur at temperatures around this temperature and the magnetization orientation in the erased state is maintained. (However, depending on the material, magnetization reversal may occur. Also, due to the temperature gradient within the laser irradiation area, a minute magnetic domain may be formed in the center of the area. In either case, the following explanation will be provided. ) Now, when the medium temperature drops below the Curie temperature of the second magnetic layer, the first
Exchange interaction begins to act between the magnetic layer and the second magnetic layer, and between the second magnetic layer and the third magnetic layer, and each layer is magnetically coupled. Since the temperature of the fourth magnetic layer is higher than its Curie temperature, the magnetic coupling between the third magnetic layer and the fifth magnetic layer is severed. Here, since the spin orientations of the first and third magnetic layers are reversed, a spin transition region is formed between these two layers, and energy due to exchange interaction is accumulated here. . As the temperature drops further, this energy increases, causing the magnetization of one layer to reverse and aligning the spin directions of both layers. At this time, the film thickness and physical properties of each magnetic layer are controlled so that the energy required to reverse the magnetization of the third magnetic layer is smaller than the energy required to reverse the magnetization of the first magnetic layer at this temperature. When the third magnetic layer is left in place, the magnetization of the third magnetic layer is preferentially reversed and aligned with the spin direction of the first magnetic layer. (Design guidelines for film thickness and physical property values for realizing this process will be explained in more detail in Examples.) In this way, the magnetic domains of the first magnetic layer are transferred to the third magnetic layer.

媒体温度が第4磁性層のキュリー温度以下になると、第
5磁性層がこの層を介して磁気的に結合され、第3磁性
層以下の層の磁区が第5磁性層に転写される。このよう
にして順次磁区が転写されて行き、最終的に、媒体温度
が第(n−1)磁性層のキュリー温度Tcn−+以下に
なった時、第n磁性層に磁区が転写されて、この複合膜
への磁区形成が完了する。
When the medium temperature falls below the Curie temperature of the fourth magnetic layer, the fifth magnetic layer is magnetically coupled through this layer, and the magnetic domains of the layers below the third magnetic layer are transferred to the fifth magnetic layer. In this way, the magnetic domains are transferred one after another, and finally, when the medium temperature becomes equal to or lower than the Curie temperature Tcn-+ of the (n-1)th magnetic layer, the magnetic domains are transferred to the n-th magnetic layer. The formation of magnetic domains in this composite film is completed.

以上のようにして情報の記録がなされた光磁気記録媒体
からの記録情報の読み出しは、第n磁性層側に直線偏光
した低出力のレーザービームを照射することによって行
なわれる。入射レーザービームは、−群の高キュリー温
度の磁性層、すなわち第(2m+1)磁性層によって反
射されるため、高い磁気光学効果が得られる。また、こ
れらの磁性層は、高キュリー温度である上に垂直磁気異
方性が大きく、飽和磁化が比較的小さいので、入射レー
ザーによる媒体の温度上昇や外部からの磁界の印加に対
しても、記録情報を安定に保持することができる。
Reading recorded information from the magneto-optical recording medium on which information has been recorded as described above is performed by irradiating the n-th magnetic layer side with a linearly polarized, low-power laser beam. Since the incident laser beam is reflected by the high Curie temperature magnetic layer of the - group, that is, the (2m+1)th magnetic layer, a high magneto-optic effect is obtained. In addition, these magnetic layers have a high Curie temperature, large perpendicular magnetic anisotropy, and relatively low saturation magnetization, so they are resistant to temperature increases in the medium caused by incident laser and the application of external magnetic fields. Recorded information can be stably held.

[実施例] 次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
[Example] Next, an example of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図は本発明の一実施例の光磁気記録媒体の構成を示
す模式断面図である。この光磁気記録媒体は、ガラスあ
るいはプラスチックからなる透明な基板1の上に、下引
き層2、磁性複合膜3、保護層4が順次積層された構成
となっている。下引き層2は、光学的な干渉効果によっ
て光を良好に磁性複合膜3に入射させるようにするとと
もに、磁性複合膜3の腐食を防止するためのものであっ
て、例えば、5isNn、 AIN、 5in2. S
in、 ZnS、 MgF*などの銹電体からなる。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a magneto-optical recording medium according to an embodiment of the present invention. This magneto-optical recording medium has a structure in which an undercoat layer 2, a magnetic composite film 3, and a protective layer 4 are sequentially laminated on a transparent substrate 1 made of glass or plastic. The undercoat layer 2 is for making light incident on the magnetic composite film 3 well by optical interference effect and for preventing corrosion of the magnetic composite film 3, and is made of, for example, 5isNn, AIN, 5in2. S
It consists of galvanic materials such as in, ZnS, and MgF*.

磁性複合膜3は、磁性薄膜からなるn層(ただしnは3
以上の奇数)の磁性層が相互に交換作用を及ぼし合うよ
うに積層されたものであり、下引き層2の側から第n磁
性層、第(n−1)磁性層、・・・と順次積み重なって
いて、一番上すなわち下引き層2とは反対側が第1磁性
層となっている。第i磁性層(ただしiはn以下の自然
数)のキュリー温度をTc+で表わし、またTc11.
I=周囲温度と定義したとき、(n−1)/2以下の全
ての自然数mに対して、以下の4条件 (a)第(2m+1)磁性層の、室温における垂直磁気
異方性(Ku)は7 x 10 * erg/cm’以
上であり、かつ室温における飽和磁化(Ms)は300
 emu/cm’以下であり、 (b) Tc2m+l≧Tc+ ≧Tchであり、(c
)Tc==≧Tca (、ellであり、(CI)この
光磁気記録媒体の一部分を第1磁性層のキュリー温度T
c+近傍まで加熱し、加熱した部分の第1磁性層の磁化
の配向状態を加熱前とは異なる状態に遷移させた後の冷
却過程において、第(2m)磁性層の温度がそのキュリ
ー温度Tczm以下に降下したときに、第(2m)磁性
層と第(2m+1)磁性層の磁化が、第(2m−1)磁
性層に対して交換相互作用による結合状態が安定な状態
になるように配向し、第(2m−1)磁性層の磁化は、
第(2m)磁性層の温度がそのキュリー温度Tczwa
以下に降下する直前の配向状態を維持する、 の全ての条件を満たすようになっている。
The magnetic composite film 3 consists of n layers (where n is 3) consisting of a magnetic thin film.
The above (odd number) magnetic layers are laminated so as to have an exchange effect with each other, and in order from the underlayer 2 side, the n-th magnetic layer, the (n-1)-th magnetic layer, etc. They are stacked one on top of the other, and the topmost layer, that is, the side opposite to the undercoat layer 2, is the first magnetic layer. The Curie temperature of the i-th magnetic layer (where i is a natural number equal to or less than n) is expressed as Tc+, and Tc11.
When I = ambient temperature, for all natural numbers m less than or equal to (n-1)/2, the following four conditions (a) Perpendicular magnetic anisotropy (Ku ) is 7 x 10 * erg/cm' or more, and the saturation magnetization (Ms) at room temperature is 300
emu/cm' or less, (b) Tc2m+l≧Tc+ ≧Tch, and (c
)Tc==≧Tca (, ell, (CI) A part of this magneto-optical recording medium is set to the Curie temperature T of the first magnetic layer.
In the cooling process after heating to the vicinity of c+ and transitioning the magnetization orientation state of the heated portion of the first magnetic layer to a state different from that before heating, the temperature of the (2m) magnetic layer becomes equal to or lower than its Curie temperature Tczm. , the magnetization of the (2m)-th and (2m+1)-th magnetic layers is oriented so that the bonding state due to exchange interaction with the (2m-1)-th magnetic layer is stable. , the magnetization of the (2m-1)th magnetic layer is
The temperature of the (2m)th magnetic layer is its Curie temperature Tczwa
All the conditions of maintaining the orientation immediately before descending below are satisfied.

上述の4条件のうち、条件(d)における第1磁性層の
磁化の配向状態の遷移は、外部からのバイアス磁界を印
加することによるものでも、光磁気記録媒体自体によっ
て生ずる磁界によるものでもよい、いずれにせよ、加熱
される部分の第1磁性層に、その配向状態を遷移させる
ような磁界が実効的に加わっていればよい。
Of the above four conditions, the transition of the orientation state of magnetization of the first magnetic layer under condition (d) may be caused by applying an external bias magnetic field or by a magnetic field generated by the magneto-optical recording medium itself. In any case, it is sufficient that a magnetic field is effectively applied to the portion of the first magnetic layer to be heated to change its orientation state.

保護層4は、磁性複合膜3を被覆して磁性複合膜3の腐
食を防止するものであり、例えば5iaN<などの誘電
体からなる。下引きN2、磁性複合膜3、保護層4は、
例えばマグネトロンスパッタ装置による連続スパッタリ
ング、あるいは連続蒸着方法により、基板1上に被着形
成される。特に、磁性複合膜3を形成するときは、各磁
性層を真空を破ることなく連続して成膜することにより
、各磁性層は互いに良好に交換結合するようになる。
The protective layer 4 covers the magnetic composite film 3 to prevent corrosion of the magnetic composite film 3, and is made of a dielectric material such as 5iaN<. The undercoat N2, magnetic composite film 3, and protective layer 4 are as follows:
For example, it is deposited on the substrate 1 by continuous sputtering using a magnetron sputtering device or by a continuous vapor deposition method. In particular, when forming the magnetic composite film 3, each magnetic layer is formed successively without breaking the vacuum, so that each magnetic layer is well exchange-coupled with each other.

上記光磁気記録媒体において、各磁性層は種々の磁性材
料によって構成することが考えられるが、例えば、Pr
、 Nd、 Sm、 Gd、 Tb、 Dy、 Hoな
どの希土類金属元素の一種類あるいは二種類以上を10
〜40原子%程度含み、かつFe、Co、Niなとの鉄
族元素の一種類あるいは二種類以上を90〜60原子%
程度含む希土類−鉄族非晶質合金によって構成しつる。
In the magneto-optical recording medium, each magnetic layer may be made of various magnetic materials, such as Pr.
, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, etc., one or more rare earth metal elements such as 10
~40 at%, and 90 to 60 at% of one or more iron group elements such as Fe, Co, and Ni
It is composed of a rare earth-iron group amorphous alloy containing a certain degree.

また、耐食性向上などのために、これにCr、 Mn、
 Cu、 Ti、 AI、 Si、 Pt、 Inなど
の元素を少量添加してもよい、ただし、第(2m+1)
磁性層については、垂直磁気異方性に関する前記の条件
(条件(a))を満たすために、希土類元素として、T
b、 Dyなどの非S状態の元素を用いることが好まし
い。
In addition, in order to improve corrosion resistance, etc., Cr, Mn,
Small amounts of elements such as Cu, Ti, AI, Si, Pt, and In may be added, however, the (2m+1)th
Regarding the magnetic layer, in order to satisfy the above-mentioned condition regarding perpendicular magnetic anisotropy (condition (a)), T is used as a rare earth element.
It is preferable to use non-S state elements such as b and Dy.

希土類−鉄族非晶質合金においては、希土類元素がGd
、 Tb、 Dy、 Hoなどの重希土類元素である場
合には、希土類元素の磁気モーメントと鉄族元素の磁気
モーメントとは互いに反平行に結合し、いわゆるフェリ
磁性を示す、この場合、正味の磁化はそれぞれの副格子
磁化の差として現われるので、両者の組成比の調整する
ことにより、飽和磁化を自由に制御することができる。
In rare earth-iron group amorphous alloys, the rare earth element is Gd
In the case of heavy rare earth elements such as , Tb, Dy, and Ho, the magnetic moment of the rare earth element and the magnetic moment of the iron group element are coupled antiparallel to each other, exhibiting so-called ferrimagnetism. In this case, the net magnetization is appears as a difference in the respective sublattice magnetizations, so by adjusting the composition ratio of both, the saturation magnetization can be freely controlled.

また、希土類元素がPr、Nd、 Smなどの軽希土類
元素である場合には、希土類元素の磁気モーメントと鉄
族元素の磁気モーメントとは互いに平行に結合し、いわ
ゆるフェロ磁性を示す、この場合は、飽和磁化の制御は
困難であるが、重希土類元素を添加することである程度
の調整ができる。
Furthermore, when the rare earth element is a light rare earth element such as Pr, Nd, or Sm, the magnetic moment of the rare earth element and the magnetic moment of the iron group element are coupled in parallel to each other, exhibiting so-called ferromagnetism. Although it is difficult to control the saturation magnetization, it can be adjusted to some extent by adding heavy rare earth elements.

キュリー温度についても、希土類元素と鉄族元素との組
成比により制御することが可能であるが、飽和磁化と独
立に制御するためには、鉄族元素にFeを主成分として
その一部なCoで置き換えたものを用い、置換量を制御
する方法がより好ましく利用できる。すなわち、Feの
1原子%をCOで置換することにより5℃程度のキュリ
ー温度上昇が見込めるので、この関係を用いて所望のキ
ュリー温度となるようにCoの添加量を調整する。また
、Cr、 Tiなとの非磁性元素を微量添加することに
より、逆にキュリー温度を低下させることも可能である
。あるいはまた、希土類元素として二種類以上の元素を
用いてそれらの組成比を調整することでもキュリー温度
を制御できる。これらの方法により、キュリー温度を自
由に制御することができるので、本発明を実施する上で
要求される、キュリー温度に関する条件(条件(b)、
(c) )の実現は容易である。ただし、動作環境温度
や記録感度などを考慮すると、第1磁性層のキュリー温
度は120〜200℃程度の範囲、第(2m)磁性層の
キュリー温度は70〜200℃程度の範囲、第(2m+
1)磁性層のキュリー温度は180℃程度以上が適当で
ある。
The Curie temperature can also be controlled by the composition ratio of rare earth elements and iron group elements, but in order to control it independently of saturation magnetization, it is necessary to control the Curie temperature by adding Fe as the main component to the iron group elements and some Co. More preferably, a method can be used in which the amount of substitution is controlled using a substituted substance. That is, by substituting 1 atomic % of Fe with CO, it is expected that the Curie temperature will increase by about 5° C., so using this relationship, the amount of Co added is adjusted to obtain the desired Curie temperature. Furthermore, by adding a small amount of non-magnetic elements such as Cr and Ti, it is also possible to lower the Curie temperature. Alternatively, the Curie temperature can be controlled by using two or more types of rare earth elements and adjusting their composition ratio. These methods allow the Curie temperature to be controlled freely, so the conditions regarding the Curie temperature (condition (b),
(c) ) is easy to realize. However, considering the operating environment temperature and recording sensitivity, the Curie temperature of the first magnetic layer is in the range of about 120 to 200°C, the Curie temperature of the (2m) magnetic layer is in the range of about 70 to 200°C, and the Curie temperature of the (2m+
1) The Curie temperature of the magnetic layer is suitably about 180° C. or higher.

磁性材料の種々の物性値の温度依存性については、メカ
ニズムが複雑であり、制御はかなり困難である。そのた
め、本発明の実施にあたって、光磁気記録媒体の温度変
化に伴う磁化配向状態の遷移過程を規定した条件(条件
(d))については、温度依存性がなく制御が容易な“
膜厚”を主要なパラメーターとして実験を行ない、条件
を満たすように膜厚を決定して行くことにする。但し、
記録感度の点からみて、磁性層のトータルの膜厚は25
00人程度以下であるのが望ましい。また、第1磁性層
としては100〜500人、第(2m)磁性層としては
5〜100人、第(2m+1)磁性層としては10〜5
00人程度が妥度量あり、第(2m+1)磁性層のトー
タルの膜厚は200人程度量上であるのが望ましい。
The temperature dependence of various physical properties of magnetic materials has a complex mechanism and is quite difficult to control. Therefore, in carrying out the present invention, the condition (condition (d)) that defines the transition process of the magnetization orientation state due to temperature change of the magneto-optical recording medium is set to "
We will conduct experiments using "film thickness" as the main parameter and determine the film thickness to satisfy the conditions.However,
From the point of view of recording sensitivity, the total thickness of the magnetic layer is 25 mm.
It is desirable that the number of participants be about 0.00 or less. In addition, 100 to 500 people were assigned to the first magnetic layer, 5 to 100 people were assigned to the (2m)th magnetic layer, and 10 to 500 people were assigned to the (2m+1)th magnetic layer.
A suitable thickness is about 0.00 mm, and the total thickness of the (2m+1)th magnetic layer is preferably about 200 mm or more.

ここで、条件(d)を成立させるための、各磁性層の膜
厚や各種物性値の大まかな設計指針を与えるため、典型
的な場合についての簡略化した理論を示しておく。
Here, in order to provide rough design guidelines for the film thickness and various physical property values of each magnetic layer in order to satisfy condition (d), a simplified theory for a typical case will be presented.

一般に、磁性薄膜の磁化状態に関与するエネルギーとし
て、ゼーマンエネルギー、界面磁壁エネルギー、ブロッ
ホ磁壁エネルギー、反磁界エネルギーなどがあり、これ
らのエネルギーの総和としである一つの磁化状態の状態
エネルギーカイ決まる。
In general, the energy involved in the magnetization state of a magnetic thin film includes Zeeman energy, interfacial domain wall energy, Bloch domain wall energy, demagnetizing field energy, etc., and the state energy chi of one magnetization state is determined by the sum of these energies.

物性の均一な一層の磁性薄膜に着目した時、この層のあ
る磁化状態Aにおける状態エネルギーEAが、同じ層の
他の磁化状態Bにおける状態エネルギーEsよりも高く
、その差がこの層の保磁力エネルギーよりも大きくなる
と、状態Aカ)ら状態Bへの状態遷移が起こる。
When focusing on a single-layer magnetic thin film with uniform physical properties, the state energy EA in a certain magnetization state A of this layer is higher than the state energy Es in another magnetization state B of the same layer, and the difference is the coercive force of this layer. When the energy becomes larger than that, a state transition from state A to state B occurs.

さて、交換結合磁性多層構造を有する光磁気記録媒体が
、その初期状態として各磁性層のスピンの配向が全て揃
った状態にあったとする。媒体の一部を加熱し、この部
分の第1磁性層の磁イヒ状態を初期状態とは異なる状態
に遷移させた後の冷却過程で、第3磁性層が初期状態を
維持していたとすれば、第1、第2、第3磁性層間のど
こかにスピンの配向の不整合領域が存在するはずである
Now, suppose that a magneto-optical recording medium having an exchange-coupled magnetic multilayer structure is in an initial state in which all the spin orientations of the magnetic layers are aligned. If a part of the medium is heated and the magnetic state of the first magnetic layer in this part is changed to a state different from the initial state, then during the cooling process, the third magnetic layer maintains its initial state. , there must be a misaligned region of spin orientation somewhere between the first, second, and third magnetic layers.

なお、以下の説明において第i磁性層の温度tにおける
飽和磁化をMSI(t)、保磁力をHc+m、膜厚をり
、とし、温度tにおける第i磁性層と第j磁性層との間
の界面磁壁エネルギー密度をσW(1,Jl (t)と
した、また、Htは外部磁界の大きさであり、温度tに
おいて、第i磁性層の磁化の向きが該外部磁界HEの向
きとなす角度をθ(1)とする。
In the following explanation, the saturation magnetization of the i-th magnetic layer at temperature t is assumed to be MSI(t), the coercive force is Hc+m, and the film thickness is . The interfacial domain wall energy density is σW (1, Jl (t), Ht is the magnitude of the external magnetic field, and the angle between the direction of magnetization of the i-th magnetic layer and the direction of the external magnetic field HE at temperature t is Let be θ(1).

今、第(2m)磁性層の膜厚が比較的薄く、この層のゼ
ーマンエネルギーおよび保磁力エネルギーを無視できる
場合を考える。第2磁性層がそのキュリー温度Tcz以
下尼なりスピン間に交換相互作用が作用し始めた時、各
層間のスピンの不整合領域は、そのキュリー温度に近い
ために相対的に交換相互作用が小さい第2磁性層内に集
中的に形成される。そしてここに界面磁壁エネルギーσ
W(1,3)が蓄えられる。このままの状態で第4磁性
層がそのキュリー温度T C4以下になる場合も含めて
考えると、第5磁性層とのスピンの整合性も考慮しなけ
ればならないが、第5磁性層もこの時点で初期状態を維
持していたとすると、不整合は生じないのでエネルギー
も蓄積されない、したがって、この状態Aにおける第3
磁性層の状態エネルギーEAは、 E a”−MSs (t)・h3・1E−cos θ、
(t)十σW(1,3+ (t)である、第1項はゼー
マンエネルギーに相当する。ブロッホ磁壁エネルギーや
反磁界エネルギーなどは、磁化状態への関与が相対的に
小さいと考えてここでは無視する。
Now, let us consider a case where the thickness of the (2m)th magnetic layer is relatively thin and the Zeeman energy and coercive force energy of this layer can be ignored. When the second magnetic layer is below its Curie temperature Tcz and exchange interaction begins to act between spins, the spin mismatch region between each layer has a relatively small exchange interaction because it is close to its Curie temperature. It is formed intensively within the second magnetic layer. And here the interfacial domain wall energy σ
W(1,3) is stored. Considering the case where the fourth magnetic layer becomes lower than its Curie temperature T C4 in this state, it is also necessary to consider the spin matching with the fifth magnetic layer, but the fifth magnetic layer also has to be at this point. If the initial state is maintained, no mismatch will occur and no energy will be accumulated. Therefore, the third
The state energy EA of the magnetic layer is E a”-MSs (t)・h3・1E-cos θ,
(t) 1σW(1,3+ (t), the first term corresponds to Zeeman energy.Bloch domain wall energy, demagnetizing field energy, etc. are considered to have relatively little influence on the magnetization state, so they are not considered here. ignore.

各層が垂直磁化膜である場合、この温度で第3磁性層の
磁化が180°反転したと仮定すると、第1磁性層と第
3磁性層のスピンの向きが揃い、この界面の磁壁は消失
する。逆に第3磁性層と第5磁性層との間の第4磁性層
内にスピンの不整合領域が生じここに界面磁壁エネルギ
ーOW [3,s+が蓄えられる。(但し、第4磁性層
がそのキュリー温度TC4以上の時は、σW is、 
81 = 0となる。)この仮想の状態Bにおける第3
磁性層の状態エネルギーElは、 Ee;−Mss(t)・hs−)1x・cos(θ、(
t)+180 @)+σwas、 sr (t) である。したがって、 E A−E B =1−2・Mss (t) ・hs 
・Hc−cosθs (t) + a wn、 *)(
t) −a W (3,y)(t) > 2・Mss (t) ・hs・Hcs (t)  
(1)が成立した時、実際に第3磁性層が状態遷移する
。ここで、右辺は第3磁性層の保磁力エネルギーである
If each layer is a perpendicularly magnetized film, and assuming that the magnetization of the third magnetic layer is reversed by 180 degrees at this temperature, the spin directions of the first and third magnetic layers will be aligned, and the domain wall at this interface will disappear. . Conversely, a spin mismatch region is generated in the fourth magnetic layer between the third magnetic layer and the fifth magnetic layer, and the interfacial domain wall energy OW[3,s+ is stored there. (However, when the fourth magnetic layer has a Curie temperature of TC4 or higher, σW is,
81 = 0. ) in this virtual state B
The state energy El of the magnetic layer is Ee;-Mss(t)・hs-)1x・cos(θ, (
t)+180 @)+σwas, sr (t). Therefore, E A−E B =1−2・Mss (t)・hs
・Hc-cosθs (t) + awn, *)(
t) -a W (3,y)(t) > 2・Mss (t) ・hs・Hcs (t)
When (1) is established, the third magnetic layer actually undergoes a state transition. Here, the right side is the coercive force energy of the third magnetic layer.

また、(1)式が成立するより前に、すなわち(1)式
が成立する最も高い温度t111以上の温度で、第1磁
性層が磁化反転しない条件として、同様の考え方により
、 −2・Ms+ (t) ・hl ・Ht−cosθ1(
t) + a w r+、 sr (t)< 2・Ms
+ (t) ・b+ ・)Ic+ (t)  (2)が
常に成り立っていることが必要である。
In addition, as a condition for the magnetization of the first magnetic layer not to be reversed before equation (1) holds true, that is, at a temperature higher than the highest temperature t111 at which equation (1) holds true, -2・Ms+ (t) ・hl ・Ht-cosθ1(
t) + a w r+, sr (t) < 2・Ms
+ (t) ・b+ ・)Ic+ (t) (2) must always hold true.

以下、第(2m)磁性層が、各々のキュリー温度Tc工
以下になった時の、第(2m+1)磁性層の磁化の状態
遷移の条件も、同様の考え方で求められる。これをまと
めると、次の様になる。
Hereinafter, the conditions for the state transition of the magnetization of the (2m+1)th magnetic layer when the (2m)th magnetic layer becomes lower than its respective Curie temperature Tc are determined using the same concept. This can be summarized as follows.

■Tcm以下の温度範囲において、 2・Mszwa+ I(to) ’11zm++ H(
HC211*I (to)+Ht−cosθx−−+ 
(to))くσw、1.−113.。u (to)−σ
wT2sii1.2m+31 (jo)を満たす温度t
0が存在すること。
■In the temperature range below Tcm, 2・Mszwa+ I(to) '11zm++ H(
HC211*I (to)+Ht-cosθx−-+
(to))kuσw, 1. -113. . u(to)−σ
Temperature t that satisfies wT2sii1.2m+31 (jo)
0 must exist.

■少なくとも、前記温度t、のうち最も高い温度t、□
8以上でかつTcxm以下の温度範囲において、 Σm”2−M5+ (t) ・h+’(Hat (t)
+HE−cos  θ+(1))〉0w(2m−1,2
m+Il m が常に成り立つこと。
■At least the highest temperature t among the temperatures t, □
In the temperature range of 8 or more and Tcxm or less, Σm"2-M5+ (t) ・h+'(Hat (t)
+HE-cos θ+(1))〉0w(2m-1,2
m+Il m always holds true.

以上はあくまでも大まかな指針に過ぎない。実際には、
第(2m)磁性層のゼーマンエネルギーや保磁力エネル
ギーもある程度磁化過程に影響を与えるし、ブロッホ磁
壁エネルギーも完全に無視するわけには行かない。
The above is just a rough guideline. in fact,
The Zeeman energy and coercive force energy of the (2m)th magnetic layer also affect the magnetization process to some extent, and the Bloch domain wall energy cannot be completely ignored.

実際に条件(d)が成立しているか否かについて、次の
実施例1に示すような確認方法をとることが可能なので
、上記設計指針を基に試行を重ね、各層の膜厚やキュリ
ー温度を調整して行けば、条件(d)を実現させること
ができる。
It is possible to confirm whether condition (d) actually holds or not, as shown in Example 1 below, so we conducted repeated trials based on the above design guidelines, and determined the film thickness and Curie temperature of each layer. Condition (d) can be realized by adjusting.

次に、本発明の実施例について、比較例と対照しながら
、さらに詳しく説明する。
Next, examples of the present invention will be described in more detail while contrasting with comparative examples.

実施例1 第2図に示すように、磁性複合層13が7層の磁性層2
1〜27からなる光磁気記録媒体を作製した。この光磁
気記録媒体は、ポリカーボネート製の基板11の上に、
SiNからなる下引き層12、磁性複合膜13、SiN
からなる保護層14が順次積層されたものである。磁性
複合膜13は、下引き層12側から第7磁性層27.第
6磁性層26.・・・と順次積層され、保護層14側が
第1磁性層21となっている。
Example 1 As shown in FIG. 2, the magnetic layer 2 has seven magnetic composite layers 13.
Magneto-optical recording media consisting of Nos. 1 to 27 were produced. This magneto-optical recording medium has a substrate 11 made of polycarbonate, and
Undercoat layer 12 made of SiN, magnetic composite film 13, SiN
A protective layer 14 consisting of the following is sequentially laminated. The magnetic composite film 13 includes a seventh magnetic layer 27 . Sixth magnetic layer 26. ... are sequentially laminated, and the first magnetic layer 21 is on the protective layer 14 side.

以下、この光磁気記録媒体の作製方法について詳しく述
べる。
The method for manufacturing this magneto-optical recording medium will be described in detail below.

4元のターゲット源を備えたスパッタ装置内に、トラッ
ク溝とフォーマット信号があらかじめ形成された直径8
6mmのディスク状のポリカーボネート製の基板11を
、ターゲットとの間の距離が20cmなるようセットし
回転させた。
8 diameter diameter pre-formed track grooves and format signals in a sputtering equipment with 4-way target source.
A 6 mm disc-shaped polycarbonate substrate 11 was set and rotated so that the distance between it and the target was 20 cm.

圧力0.15Paのアルゴン雰囲気中で、まず最初に、
5jsN4のターゲットを用いてスパッタを行ない、成
膜速度約40人/minで、600人の厚さのSiNの
下引き層12を基板11上に堆積させた。
In an argon atmosphere with a pressure of 0.15 Pa, first,
Sputtering was carried out using a target of 5jsN4, and a SiN underlayer 12 with a thickness of 600 nm was deposited on the substrate 11 at a deposition rate of about 40 nm/min.

次に、Tb、 Fe、 Coの3個のターゲットを用い
て同時スパッタを行ない、成膜速度50人/minで、
膜厚180人のFeCo副格子磁化優勢Tbo、z+(
Fe0. tocOo、 so) o、 7@の第7磁
性層27を形成した。Tb−Fe−Coの組成の制御は
Tb、 Fe、 Coのそれぞれのターゲットに加える
電力を調整して行なった。
Next, simultaneous sputtering was performed using three targets of Tb, Fe, and Co at a deposition rate of 50 people/min.
FeCo sublattice magnetization dominant Tbo, z+(
Fe0. A seventh magnetic layer 27 of tocOo, so) o, 7@ was formed. The composition of Tb-Fe-Co was controlled by adjusting the power applied to each target of Tb, Fe, and Co.

この層の単層膜としての磁気特性は、室温において、保
磁力15kOe、飽和磁化100 emu/cm’、垂
直磁気異方性定数2. OX 10 ’erg/cm3
であった。また、キュリー温度は270℃であった。
The magnetic properties of this layer as a single layer film at room temperature include a coercive force of 15 kOe, a saturation magnetization of 100 emu/cm', and a perpendicular magnetic anisotropy constant of 2. OX 10'erg/cm3
Met. Further, the Curie temperature was 270°C.

引き続き、Tb、 Fe、 Coの3個のターゲットを
用いて・各ターゲットに加える電力を変化させ、成膜速
度20人/minで、膜厚10人、室温における保磁力
19kOe、飽和磁化50 emu/cm’のTb副格
子磁化優勢Tbo、 a、(Feo、 eacOo、 
04) O,?4の第6磁性層26を形成した。キュリ
ー温度は140℃であった。
Subsequently, using three targets of Tb, Fe, and Co, and changing the power applied to each target, the film formation rate was 20 people/min, the film thickness was 10 people, the coercive force was 19 kOe at room temperature, and the saturation magnetization was 50 emu/min. cm' Tb sublattice magnetization dominant Tbo, a, (Feo, eacOo,
04) O,? 4 of the sixth magnetic layer 26 was formed. Curie temperature was 140°C.

続いて、再び各ターゲットに加える電力を変化させ、成
膜速度50人/minで、膜厚140人のFeCo副格
子磁化優勢Tbo、 gos (Feo、 tocOo
、 so) o、 Willの第5磁性層25を形成し
た。この層の単層膜としての磁気特性は、室温において
、保磁力12、5kOe、飽和磁化120 emu/c
m3.垂直磁気異方性定数2.OX 10 ’erg/
cm’であった。また、キュリー温度は270℃であっ
た。
Subsequently, the power applied to each target was changed again, and the film formation rate was 50 g/min, and the FeCo sublattice magnetization was dominant Tbo, gos (Feo, tocOo) with a film thickness of 140 g/min.
, so) o, Will's fifth magnetic layer 25 was formed. The magnetic properties of this layer as a single layer film are as follows: coercive force: 12.5 kOe, saturation magnetization: 120 emu/c at room temperature
m3. Perpendicular magnetic anisotropy constant2. OX 10 'erg/
cm'. Further, the Curie temperature was 270°C.

次に、再び各ターゲットに加える電力を変化させ、成膜
速度20人/minで、膜厚lO人、室温における保磁
力19kOe、飽和磁化50emu/cm’のTb副格
子磁化優勢Tbo、 t4(Fen、 *4Coo、 
as) 0.74の第4磁性層24を形成した。キュリ
ー温度は150℃であった。
Next, the power applied to each target was changed again, and the film was deposited at a deposition rate of 20 min/min, a film thickness of 10 min, a coercive force of 19 kOe at room temperature, and a Tb sublattice magnetization dominant Tbo, t4(Fen) with a saturation magnetization of 50 emu/cm'. , *4Coo,
as) A fourth magnetic layer 24 of 0.74 was formed. Curie temperature was 150°C.

続いて、再び各ターゲットに加える電力を変化させ、成
膜速度50人/minで、膜厚100人のFeCo副格
子磁化優勢Tbo、 go (Feo、 tocOo、
 so)。、。の第3磁性層23を形成した。この層の
単層膜としての磁気特性は、室温において、保磁力10
.7kOe。
Subsequently, the power applied to each target was changed again, and at a film formation rate of 50 g/min, FeCo sublattice magnetization dominant Tbo, go (Feo, tocOo,
so). ,. A third magnetic layer 23 was formed. The magnetic properties of this layer as a single layer film are as follows: at room temperature, the coercive force is 10
.. 7kOe.

飽和磁化140 emu/cm’ 、垂直磁気異方性定
数2、 OX 10 ’erg/cm’であった。また
、キュリー温度は270℃であった。
The saturation magnetization was 140 emu/cm', the perpendicular magnetic anisotropy constant was 2, and OX 10'erg/cm'. Further, the Curie temperature was 270°C.

さらに再び、各ターゲットに加える電力を変化させ、成
膜速度20人/minで、膜厚10人、室温における保
磁力20 kOe、飽和磁化50 emu/cm’のT
b副格子磁化優勢Tbo、 211 (Feo、 11
2CO(1,oa) o、 taの第2磁性層22を形
成した。キュリー温度は160℃であった。
Furthermore, the power applied to each target was changed again, and a T film was obtained at a deposition rate of 20 min/min, a film thickness of 10 min, a coercive force of 20 kOe at room temperature, and a saturation magnetization of 50 emu/cm'.
b sublattice magnetization dominant Tbo, 211 (Feo, 11
A second magnetic layer 22 of 2CO(1, oa) o, ta was formed. Curie temperature was 160°C.

最後に、成膜速度50人/minで、膜厚350人。Finally, the film thickness was 350 at a deposition rate of 50 people/min.

室温における保磁力12kOe、飽和磁化100emu
/cm”のFeCo副格子磁化優勢Tbo、 zl(F
eo、 eocOo、 to) 0. t。
Coercive force 12 kOe, saturation magnetization 100 emu at room temperature
/cm” FeCo sublattice magnetization dominant Tbo, zl(F
eo, eocOo, to) 0. t.

の第1磁性層21を形成した。キュリー温度器ま170
℃であった。
A first magnetic layer 21 was formed. Curie thermometer 170
It was ℃.

これにより、前記の各条件(a)〜(d)を満たす交換
結合磁性7層膜が形成された。各磁性層間の界面磁壁エ
ネルギー密度は、それぞれ室温番こおし)て約6 er
g/cm”であった。ここで、磁性層21〜27の膜厚
の総和は800人であり、第3磁性層23、第5磁性層
25、第7磁性層27の膜厚の和は420人になってい
る。各磁性層の特性を第1表に示した。また、各磁性層
の単層膜としての保磁力と飽和磁化の温度依存性を第3
図に示しておく。なお第1表中、飽和磁化の欄の“+”
は希土類元素副格子磁化優勢を、“−“は鉄族元素副格
子磁化優勢をそれぞれ表わしている。
As a result, an exchange-coupled magnetic seven-layer film satisfying each of the conditions (a) to (d) above was formed. The interfacial domain wall energy density between each magnetic layer is approximately 6 er (at room temperature).
g/cm". Here, the total thickness of the magnetic layers 21 to 27 is 800, and the total thickness of the third magnetic layer 23, fifth magnetic layer 25, and seventh magnetic layer 27 is 420 people.The characteristics of each magnetic layer are shown in Table 1.In addition, the temperature dependence of the coercive force and saturation magnetization of each magnetic layer as a single layer is shown in Table 3.
It is shown in the figure. In addition, in Table 1, “+” in the column of saturation magnetization
"-" indicates the sublattice magnetization dominance of the rare earth element, and "-" indicates the dominance of the iron group element sublattice magnetization.

この上に、5lsN4のターゲットを用いて、成膜速度
約40人/minで、600人の厚さのSiNの保護層
14を設けた。
On top of this, a protective layer 14 of SiN with a thickness of 600 layers was provided using a 5lsN4 target at a deposition rate of about 40 layers/min.

そののちこの基板11をスパッタ装置から取り出し、膜
面側に紫外線硬化性樹脂をスピンコードした後硬化させ
、厚さ約8μmの保護コート層(不図示)を形成して、
単板の光磁気ディスクを作製した。
After that, this substrate 11 is taken out from the sputtering device, and an ultraviolet curable resin is spin-coded on the film surface side and then cured to form a protective coating layer (not shown) with a thickness of about 8 μm.
A single-plate magneto-optical disk was fabricated.

次に、レーザー光の一波長820nm、 NA =0.
52の光学ヘットを有する光磁気ディスクドライブにこ
の光磁気ディスクを装着し、回転数3600rpmで回
転させ、光磁気ディスクの中心から半径24mmのとこ
ろにレーザー光を照射することによって測定を行なった
Next, one wavelength of laser light is 820 nm, NA = 0.
This magneto-optical disk was mounted on a magneto-optical disk drive having 52 optical heads, rotated at a rotational speed of 3600 rpm, and measurements were performed by irradiating a laser beam at a radius of 24 mm from the center of the magneto-optical disk.

まず、媒体温度が30℃の時に、3000eのバイアス
磁界を印加し、レーザー光を周波数5、8MHz、デユ
ーティ比33%で断続しながら記録を行ない、次に1.
5mWのレーザーパワーて再生を行なって再生のC/N
  (キャリア/ノイズ)を求めた。このとき、記録パ
ワーを変化させたところ、記録パワーが約6.0mWで
再生のC/Nが飽和し、このときC/Nの値は51dB
であった。
First, when the medium temperature is 30° C., a bias magnetic field of 3000e is applied and recording is performed while laser light is intermittent at a frequency of 5.8 MHz and a duty ratio of 33%.
Perform playback using 5mW laser power to improve C/N of playback.
(carrier/noise) was calculated. At this time, when the recording power was changed, the reproduction C/N was saturated at a recording power of about 6.0 mW, and at this time the C/N value was 51 dB.
Met.

次に、消去方向に6000eの磁界を印加した状態で、
記録済の1つのトラックの上を1×105回繰り返し再
生した。この繰り返し再生のときの再生パワーを種々の
値とし、繰り返し再生後に再生ノ\ワーを1.5mWと
して再生を行なって再生信号のC/Nを調べることによ
り、繰り返し再生した後の再生信号の劣化を調べた。こ
の結果、再生ノ<ワーが3.5mWまでならば、繰り返
し再生を行なっても再生信号が劣化しないことがわかっ
た。
Next, with a magnetic field of 6000e applied in the erasing direction,
One recorded track was repeatedly reproduced 1×10 5 times. The deterioration of the reproduced signal after repeated reproduction can be determined by setting the reproduction power during this repeated reproduction to various values, performing reproduction with a reproduction nozzle of 1.5 mW after the repeated reproduction, and checking the C/N of the reproduced signal. I looked into it. As a result, it was found that if the reproduction power is up to 3.5 mW, the reproduction signal does not deteriorate even if reproduction is repeated.

次に、この光磁気記録媒体が、本発明の特徴としている
媒体温度変化に伴う磁化配向状態の遷移の過程の条件、
すなわち上述の条件(d)を満たしているかどうかを調
へた。
Next, the conditions for the process of transition of the magnetization orientation state with a change in medium temperature, which is a feature of the present invention, are set in this magneto-optical recording medium.
That is, it was investigated whether the above-mentioned condition (d) was satisfied.

ポリカーボネート製の基板の代わりにガラス製の基板を
用い、他は上述の光磁気ディスクと同様にして、試験用
のサンプルを作製した。このサンプルと上述の光磁気デ
ィスクとは磁気的時す生i′i完全に同一である。
A test sample was prepared in the same manner as the magneto-optical disk described above, except that a glass substrate was used instead of the polycarbonate substrate. This sample and the above-mentioned magneto-optical disk have completely identical magnetic characteristics i'i.

第4図は、予めマイナス方向に着磁しておいたサンプル
について、室温でプラス方向へ3000eのバイアス磁
化HEを印加し[磁化配向状態(a)]。
In FIG. 4, a bias magnetization HE of 3000 e is applied in the positive direction at room temperature to a sample that has been previously magnetized in the negative direction [magnetization orientation state (a)].

バイアス磁界を印加したままの状態で、170℃以上ま
で加熱し[磁化配向状態(b) ] 、その後冷却させ
[磁化配向状態(c)〜(e) :1.再び室温[磁化
配向状態(f)コとなるような加熱冷却過程における磁
化配向状態の変化を概略的に示したものである。磁化配
向状態は、飽和磁化の向き(図示臼ヌキ矢印)と鉄族元
素の磁気モーメントの向き(図示黒矢印)で表わした。
With the bias magnetic field still applied, it is heated to 170° C. or higher [magnetization orientation state (b)], and then cooled [magnetization orientation state (c) to (e): 1. This diagram schematically shows the change in the magnetization orientation state during the heating and cooling process such that the magnetization orientation state (f) returns to room temperature [magnetization orientation state (f)]. The magnetization orientation state is expressed by the direction of saturation magnetization (the blank arrow in the figure) and the direction of the magnetic moment of the iron group element (the black arrow in the figure).

図中、矢印の示されていない磁性層は、その磁性層がそ
のキュリー温度以上であることを示している。磁化配向
状態(a)と磁化配向状態(f)は、2値の記録にそれ
ぞれ対応する、室温における磁化配向状態である。
In the figure, a magnetic layer without an arrow indicates that the magnetic layer has a temperature equal to or higher than its Curie temperature. The magnetization orientation state (a) and the magnetization orientation state (f) are magnetization orientation states at room temperature that respectively correspond to binary recording.

次に、磁化配向状態の遷移を確認するために行なった実
験について説明する。
Next, an experiment conducted to confirm the transition of the magnetization orientation state will be explained.

まず、このサンプルを、膜面垂直方向に磁界が印加され
るように振動試料型磁力計(VSM)に装着して、バイ
アス磁界HEをマイナス方向に20kOe程度まで印加
して各層を一方向に着磁した後、逆にプラス方向に30
00eまで印加した。この磁化過程を示す磁化曲線を第
5図(’a )に示す。図中の黒点は、この過程の最終
の状態、すなわち磁化配向状態(a)(第4図)に対応
する。
First, this sample was mounted on a vibrating sample magnetometer (VSM) so that a magnetic field was applied in the direction perpendicular to the film surface, and a bias magnetic field HE of about 20 kOe was applied in the negative direction to adhere each layer in one direction. After magnetizing, reversely turn 30 in the positive direction.
The voltage was applied up to 00e. A magnetization curve showing this magnetization process is shown in FIG. 5('a). The black dots in the figure correspond to the final state of this process, that is, the magnetization orientation state (a) (FIG. 4).

次に、磁化状態(a)から、バイアス磁界HEを印加し
たまま、サンプルの温度を170℃以上に加熱した。続
いて、バイアス磁界HEをそのまま印加した状態で、温
度を降下させた時のサンプルの磁化の変化の様子を第6
図に示す。磁化が急激に変化している温度で磁化反転が
起こっていることが分かる。そこで、170℃以上に加
熱した状態から、これら磁化反転の起こる前後の各温度
(165℃、155℃、145℃、135℃の4点)ま
でそれぞれ冷却し、そのときの磁化曲線を測定した。そ
の結果を第5図(b)〜(e)に示す。
Next, from the magnetized state (a), the temperature of the sample was heated to 170° C. or higher while applying the bias magnetic field HE. Next, the change in magnetization of the sample when the temperature is lowered while the bias magnetic field HE is applied is shown in the sixth graph.
As shown in the figure. It can be seen that magnetization reversal occurs at temperatures where magnetization changes rapidly. Therefore, from the heated state of 170°C or higher, the magnetization was cooled to each temperature before and after the magnetization reversal (165°C, 155°C, 145°C, and 135°C), and the magnetization curves at that time were measured. The results are shown in FIGS. 5(b) to (e).

第5図(b)は165℃における磁化曲線である。この
温度では、第2.第4.第6磁性層22゜24、26が
それぞれキュリー温度以上であるので、第1.第3.第
5.第7磁性層21.23.25.27は相互作用を及
ぼしておらず、各層の独立の磁化曲線が重なって4段の
ループとなって現われている。
FIG. 5(b) is a magnetization curve at 165°C. At this temperature, the second. 4th. Since the sixth magnetic layers 22, 24 and 26 each have a temperature higher than the Curie temperature, the first. Third. Fifth. The seventh magnetic layers 21, 23, 25, 27 do not interact, and the independent magnetization curves of each layer overlap to form a four-stage loop.

第3図に示したように、この温度における各層の単層膜
としての保磁力と飽和磁化は分かっているので、この4
段のループの各段がそれぞれどの磁性層の磁化反転に対
応しているのかを判別することができる。この場合はル
ープの右側の下方の段から順に第1.第3.第5.第7
磁性層21.23゜25、27に対応していることがわ
かる。
As shown in Figure 3, since the coercive force and saturation magnetization of each layer as a single layer film at this temperature are known,
It is possible to determine which magnetic layer's magnetization reversal corresponds to each stage of the stage loop. In this case, the first row starts from the lower row on the right side of the loop. Third. Fifth. 7th
It can be seen that the magnetic layers 21.23° correspond to 25 and 27.

図中、黒点は、ループの始点を示しており、プラス方向
に3000eの磁界を印加したままの状態で、170℃
以上の温度からこの温度まで降下してきた時の各層の磁
化配向状態に対応した磁化の大きさになっている6図中
、破線部を含んだマイナーループは、第1磁性層単独の
磁化曲線である。これらのループとその中におけるルー
プの始点の位置とから、この温度まで降下してきた時の
各層の磁化配向状態が、磁化配向状態(b)(第5図)
であったことが判定できる。磁化配向状態(b)と磁化
配向状態(a)とを比較すると、第1磁性層の磁化が反
転していることがわかる。
In the figure, the black dot indicates the starting point of the loop.
The magnitude of magnetization corresponds to the magnetization orientation state of each layer when the temperature drops from the above temperature to this temperature. In Figure 6, the minor loop including the broken line is the magnetization curve of the first magnetic layer alone. be. Based on these loops and the position of the starting point of the loop within them, the magnetization orientation state of each layer when the temperature drops to this temperature is the magnetization orientation state (b) (Figure 5)
It can be determined that it was. Comparing the magnetization orientation state (b) and the magnetization orientation state (a), it can be seen that the magnetization of the first magnetic layer is reversed.

第5図(c)は155℃における磁化曲線である。この
温度では、第2磁性層22がキュリー温度以下であるの
で、第1.第2.第3磁性層21゜22、23は相互作
用を及ぼし合った磁化過程をとるはずである。ループの
右側の上方の2段は、この温度における各層の単層膜と
しての保磁力と照合すると、第5.第7磁性層25.2
7のそれぞれ単独での磁化反転に対応している。したが
って、破線部を含んだマイナーループは、第1.第2.
第3磁性層21.22.23が交換結合により同時に磁
化反転することによって得られた磁化曲線であることが
わかる。そして、図示黒点で示したループの始点の位置
と、この温度における第1.第2.第3磁性層21.2
2.23の磁化の大きさから考えて、170”0以上の
温度からこの温度まで降下してきた時の各層の磁化配向
状態が、第5図に示した磁化配向状態(c)であったこ
とが判定できる。すなわち、第3磁性層23の磁化が反
転し、第2゜第3磁性層22.23の磁化が、第1磁性
層21に対して交換相互作用による結合状態が安定な状
態となるように配向し、第1磁性層21の磁化は165
℃において確認した配向状態を維持している。
FIG. 5(c) is a magnetization curve at 155°C. At this temperature, the temperature of the second magnetic layer 22 is below the Curie temperature. Second. The third magnetic layers 21, 22, 23 are supposed to undergo a magnetization process that causes mutual interaction. The upper two stages on the right side of the loop are 5th. Seventh magnetic layer 25.2
7 corresponds to magnetization reversal independently. Therefore, the minor loop including the broken line part is the first. Second.
It can be seen that the magnetization curve is obtained by simultaneous magnetization reversal of the third magnetic layers 21, 22, and 23 due to exchange coupling. Then, the position of the starting point of the loop indicated by the black dot in the figure and the first point at this temperature. Second. Third magnetic layer 21.2
Considering the magnitude of magnetization in 2.23, the magnetization orientation state of each layer when the temperature dropped from 170"0 or higher to this temperature was the magnetization orientation state (c) shown in Figure 5. In other words, the magnetization of the third magnetic layer 23 is reversed, and the magnetization of the second and third magnetic layers 22 and 23 is in a stable state of coupling with the first magnetic layer 21 by exchange interaction. The magnetization of the first magnetic layer 21 is 165
The orientation state confirmed at ℃ is maintained.

以下同様にして、145℃と135℃において、それぞ
れ第5図(d)、(e)に示した磁化曲線から、それぞ
れ第5図の磁化配向状態(d)。
Similarly, the magnetization orientation state (d) in FIG. 5 was obtained from the magnetization curves shown in FIGS. 5(d) and (e) at 145° C. and 135° C., respectively.

(8)が確認できる。(8) can be confirmed.

以上により、実施例1による光磁気記録媒体の構成が、
本発明の特徴としている媒体温度変化に伴う磁化配向状
態の遷移の過程の条件、すなわち条件(d)を実現して
いることが確認された。
As described above, the structure of the magneto-optical recording medium according to Example 1 is as follows.
It was confirmed that the condition for the process of transition of the magnetization orientation state due to a change in medium temperature, which is a feature of the present invention, that is, the condition (d) was realized.

なお、上述した磁性層の構成においては、各層(2m)
磁性層すなわち第2.第4.第6磁性層22、24.2
6の補償温度が室温とそれぞれのキュリー温度との間に
あるため、第5図に示すように、磁化配向状態(e)か
らさらに温度が降下して周囲温度付近まで冷却されると
、第(2m)磁性層の補償温度を通過し、これらの層の
磁化の極性が状態遷移・を伴わずに反転して、磁化配向
状態(f)となる。
In addition, in the configuration of the magnetic layer described above, each layer (2m)
The magnetic layer, i.e. the second. 4th. Sixth magnetic layer 22, 24.2
Since the compensation temperature of No. 6 is between room temperature and each Curie temperature, as shown in FIG. 2m) The compensation temperature of the magnetic layers is passed, and the polarity of the magnetization of these layers is reversed without any state transition, resulting in the magnetization orientation state (f).

比較例1 実施例1と同様にして、基板上にSiNの下引き層を形
成した後、Gd、 Fe、 Coの3個のターゲットを
用いて同時スパッタを行ない、成膜速度50人/min
で、膜厚400人のFeCo副格子磁化優勢Gdo、 
** (Feo、 ’FOCoo、 so ) o、 
taの読み出し用の磁性層を形成した。この層の単層膜
としての磁気特性は、室温において、保磁力0.5 k
Oe、飽和磁化50emu/2m’、垂直磁気異方性定
数4. OX 1×105erg/2m”であった、ま
た、キュリー温度は300℃以上であった。
Comparative Example 1 After forming a SiN underlayer on a substrate in the same manner as in Example 1, simultaneous sputtering was performed using three targets of Gd, Fe, and Co, and the film formation rate was 50 people/min.
Then, FeCo sublattice magnetization dominant Gdo with a film thickness of 400 people,
** (Feo, 'FOCoo, so) o,
A magnetic layer for reading ta was formed. The magnetic properties of this layer as a single layer film are as follows: at room temperature, the coercive force is 0.5 k
Oe, saturation magnetization 50 emu/2 m', perpendicular magnetic anisotropy constant 4. OX 1×10 5 erg/2 m”, and the Curie temperature was 300° C. or higher.

引き続き、Tb、 Fe、 Coの3個のターゲットを
用いて、成膜速度50人/minで、膜厚400人のF
eC。
Subsequently, using three targets of Tb, Fe, and Co, F was deposited at a deposition rate of 50 people/min and a film thickness of 400 people.
eC.

副格子磁化優勢Tbo、i+(Feo、eoCoo、+
o)o、toの書き込み用の磁性層を形成した。この層
の単層膜としての磁気特性は、実施例1における第1磁
性層と全く同様であり、室温において、保磁力12kO
e。
Sublattice magnetization dominant Tbo, i+(Feo, eoCoo, +
o) A magnetic layer for writing o and to was formed. The magnetic properties of this layer as a single layer film are exactly the same as the first magnetic layer in Example 1, and the coercive force is 12 kO at room temperature.
e.

飽和磁化100 emu/cm’ 、またキュリー温度
は170℃であった。
The saturation magnetization was 100 emu/cm', and the Curie temperature was 170°C.

磁性層以外は実施例1と全く同様の構成・製法にして、
光磁気ディスクを作製した。この比較例1による光磁気
ディスクについて、実施例1と全く同様の評価を行なっ
た。この結果、記録パワー約6.0mWでC/Nが飽和
し、この時のC/Nの値は51dBとなり、実施例1の
場合と同等の記録特性であった。しかし磁界中で再生劣
化を起こさない最大再生パワーは2.1mWとなり、実
施例1の場合と比較して低かった。
Except for the magnetic layer, the structure and manufacturing method were exactly the same as in Example 1,
A magneto-optical disk was fabricated. The magneto-optical disk according to Comparative Example 1 was evaluated in exactly the same manner as in Example 1. As a result, the C/N was saturated at a recording power of about 6.0 mW, and the C/N value at this time was 51 dB, which was the same recording characteristic as in Example 1. However, the maximum reproducing power without causing reproduction deterioration in a magnetic field was 2.1 mW, which was lower than in Example 1.

比較例2 実施例1と同様にして、基板上にSiNの下引き層を形
成した後、Tb、 Fe、 Coの3個のターゲットを
用いて同時スパッタを行ない、成膜速度50人/min
で、膜厚200人のFeCo副格子磁化優勢Tbo、 
ra (Feo、 70CO0,30) O,@2の読
み出し用の磁性層を形成した。この層の単層膜としての
磁気特性は、室温において、保磁力的2 kOe、飽和
磁化250emu/cm’、垂直磁気異方性定数1.5
 X 1×105erg/cm”であった、また、キュ
リー温度は約300℃であつた。
Comparative Example 2 After forming a SiN underlayer on a substrate in the same manner as in Example 1, simultaneous sputtering was performed using three targets of Tb, Fe, and Co, and the film formation rate was 50 people/min.
Then, FeCo sublattice magnetization dominant Tbo with a film thickness of 200 people,
A magnetic layer for reading ra (Feo, 70CO0,30)O,@2 was formed. The magnetic properties of this layer as a single layer film are as follows: coercive force of 2 kOe, saturation magnetization of 250 emu/cm', and perpendicular magnetic anisotropy constant of 1.5 at room temperature.
The Curie temperature was approximately 300°C.

引き続き、Tb、 Fe、 Coの3個のターゲットを
用いて、成膜速度50人/minで、膜厚600人のF
eC。
Subsequently, using three targets of Tb, Fe, and Co, F was deposited at a deposition rate of 50 people/min and a film thickness of 600 people.
eC.

副格子磁化優勢Tbo、 ml (Feo、 *oCO
o、 to’)a、 tsの書き込み用の磁性層を形成
した。この層の単層膜としての磁気特性は、実施例1に
おける第1磁性層と同様であり、室温において、保磁力
12kOe。
Sublattice magnetization dominant Tbo, ml (Feo, *oCO
A magnetic layer for writing (o, to') a, ts was formed. The magnetic properties of this layer as a single layer film are similar to those of the first magnetic layer in Example 1, with a coercive force of 12 kOe at room temperature.

飽和磁化100 emu/2m’ 、またキュリー温度
は170℃であった。
The saturation magnetization was 100 emu/2 m', and the Curie temperature was 170°C.

磁性層以外は実施例1と全く同様の構成・製法にして、
光磁気ディスクを作製した。この比較例2による光磁気
ディスクについて、実施例1と全く同様の評価を行なっ
た。この結果、記録パワー約6.0mWでC/Nが飽和
し、この時のC/Hの値は49dBであった。また、磁
界中で再生劣化を起こさない最大再生パワーは2.8m
Wとなり、実施例1の場合と比較して低かった。
Except for the magnetic layer, the structure and manufacturing method were exactly the same as in Example 1,
A magneto-optical disk was fabricated. The magneto-optical disk according to Comparative Example 2 was evaluated in exactly the same manner as in Example 1. As a result, the C/N was saturated at a recording power of about 6.0 mW, and the C/H value at this time was 49 dB. In addition, the maximum playback power that does not cause playback deterioration in a magnetic field is 2.8m.
W, which was lower than that in Example 1.

比較例2の場合、読み出し用の磁性層の膜厚を厚くする
と、記録ノイズが上がってしまうため、この層の膜厚は
200人とした。そのため、実施例1や比較例1と比べ
てC/Nが若干低くなっている。
In the case of Comparative Example 2, the thickness of this layer was set to 200 because recording noise would increase if the thickness of the read magnetic layer was increased. Therefore, the C/N is slightly lower than that of Example 1 and Comparative Example 1.

比較例3 実施例1と同様にして、基板上にSiNの下引き層を形
成した後、Tb、 Fe、 Coの3個のターゲットを
用いて同時スパッタを行ない、成膜速度50人/min
で、膜厚800人のFeCo副格子磁化優勢Tbo、m
r(Feo、 eocoo、 +o) o、 toの磁
性層を形成した・この層の磁気特性は、実施例1におけ
る第1磁性層の単層膜としての磁気特性と同様であり、
室温において、保磁力12kOe、飽和磁化100 e
mu/cm’、またキュリー温度は170℃であった。
Comparative Example 3 After forming a SiN underlayer on a substrate in the same manner as in Example 1, simultaneous sputtering was performed using three targets of Tb, Fe, and Co, and the film formation rate was 50 people/min.
, FeCo sublattice magnetization dominant Tbo, m with a film thickness of 800
A magnetic layer of r(Feo, eocoo, +o) o, to was formed. The magnetic properties of this layer are similar to those of the first magnetic layer as a single layer film in Example 1,
At room temperature, coercive force 12 kOe, saturation magnetization 100 e
mu/cm', and the Curie temperature was 170°C.

磁性層以外は実施例1と全く同様の構成・製法にして、
光磁気ディスクを作製した。
Except for the magnetic layer, the structure and manufacturing method were exactly the same as in Example 1,
A magneto-optical disk was fabricated.

この比較例3による光磁気ディスクについて、実施例1
と全く同様の評価を行なった。
Regarding the magneto-optical disk according to Comparative Example 3, Example 1
The same evaluation was carried out.

この結果、記録パワー約6.0mWでC/Nが飽和し、
この時のC/N値は47dBであった。また、磁界中で
再生劣化を起こさない最大再生パワーは3、0mWであ
った。
As a result, the C/N saturates at a recording power of approximately 6.0 mW,
The C/N value at this time was 47 dB. Further, the maximum reproducing power without causing reproduction deterioration in a magnetic field was 3.0 mW.

比較例3の場合、読み出し用の磁性層がないので、実施
例や他の比較例に比べてC/Nが低い、−方、磁区の不
安定な層が結合していない分、再生耐久性は比較例1に
比べて高くなっている。しかし、実施例1には及ばない
、実施例1の媒体では、読み出し用の層の磁区が安定で
あり、書き込まれた磁区が、キュリー温度の高いこの読
み出し用の層目体で保持されているためであると考えら
れる。
In the case of Comparative Example 3, since there is no magnetic layer for readout, the C/N is lower than that of Examples and other comparative examples.On the other hand, since the unstable layer of magnetic domains is not bonded, the readout durability is low. is higher than that of Comparative Example 1. However, in the medium of Example 1, which is inferior to Example 1, the magnetic domain of the readout layer is stable, and the written magnetic domain is retained in this readout layer having a high Curie temperature. This is thought to be due to the

比較例4 第3.第5.第7磁性層として、垂直磁気異方性定数が
4.OX 10 ’erg/cm”のGdFeCoを用
いた以外は、実施例1と全く同様の構成・製法にして、
光磁気ディスクを作製した。磁性層の構成・特性を第2
表に示す、なお、第2表中の飽和磁化の欄の“+”は希
土類元素副格子磁化優勢を、“−”は鉄族元素副格子磁
化優勢をそれぞれ示すものである。
Comparative Example 4 3rd. Fifth. The seventh magnetic layer has a perpendicular magnetic anisotropy constant of 4. The structure and manufacturing method were exactly the same as in Example 1 except that GdFeCo with OX 10'erg/cm" was used.
A magneto-optical disk was fabricated. The structure and characteristics of the magnetic layer are
In the column of saturation magnetization in Table 2, "+" indicates dominance of rare earth element sublattice magnetization, and "-" indicates dominance of iron group element sublattice magnetization.

二の比較例4による光磁気ディスクについて、実施例1
と全く同様の評価を行なった。この結果、記録パワー約
6.0mWでC/Nが飽和し、この時のC/N値は51
dBであった。しかし磁界中で再生劣化を起こさない最
大再生パワーは1.9mWであり、実施例1と比較して
再生耐久性が劣っていた。この光磁気ディスクでは、上
述した4条件のうち、(a)の条件が成立していない。
Regarding the magneto-optical disk according to Comparative Example 4 of 2, Example 1
The same evaluation was carried out. As a result, the C/N saturates at a recording power of approximately 6.0 mW, and the C/N value at this time is 51.
It was dB. However, the maximum reproducing power without causing reproducing deterioration in a magnetic field was 1.9 mW, and the reproducing durability was inferior to that of Example 1. In this magneto-optical disk, of the four conditions mentioned above, condition (a) is not satisfied.

実施例2 磁性層の構成を第3表のようにした以外は、実施例1と
全く同様の構成・製法にして、光磁気ディスクを作製し
た。
Example 2 A magneto-optical disk was manufactured using the same structure and manufacturing method as in Example 1, except that the structure of the magnetic layer was changed as shown in Table 3.

以下の各実施例において、各特性値は全て単層膜として
の室温における値である。また、第3表以下の各表にお
いて飽和磁化(M5)欄に希土類元素副格子磁化優勢の
場合には“+”を、鉄族元素副格子磁化優勢の場合には
“−”を付して示しである。
In each of the following examples, all characteristic values are values at room temperature for a single layer film. In addition, in each table following Table 3, in the saturation magnetization (M5) column, add "+" if rare earth element sublattice magnetization is dominant, and "-" if iron group element sublattice magnetization is dominant. This is an indication.

この実施例2による光磁気ディスクについて、実施例1
と全く同様の評価を行なった。この結果、記録パワー約
5.4mWでC/Nが飽和し、この時のC/N値は51
dBであった。また、磁界中で再生劣化を起こさない最
大再生パワーは3’、ImWであった。
Regarding the magneto-optical disk according to Example 2, Example 1
The same evaluation was carried out. As a result, the C/N saturates at a recording power of approximately 5.4 mW, and the C/N value at this time is 51.
It was dB. Further, the maximum reproducing power without causing reproduction deterioration in a magnetic field was 3', ImW.

実施例1と比べて、第1磁性層のキュリー温度が低くな
っているので、必要な最小記録パワーが0、6mW小さ
く、すなわち感度が良くなっている。
Since the Curie temperature of the first magnetic layer is lower than in Example 1, the required minimum recording power is 0.6 mW smaller, that is, the sensitivity is improved.

しかしC/N値は同等である。また、最大再生パワーが
感度に伴って小さくなっているが、最小記録パワーに対
する比率としては、実施例1の0.58い対して実施例
2は0.57と、はぼ同等であり、良好な再生耐久性を
有している。
However, the C/N values are the same. Also, although the maximum reproducing power decreases with sensitivity, the ratio to the minimum recording power is 0.58 in Example 1 and 0.57 in Example 2, which is almost the same, which is good. It has excellent replay durability.

実施例3 磁性層の構成を第4表のようにした以外は、実施例1と
全く同様の構成・製法にして、光磁気ディスクを作製し
た。
Example 3 A magneto-optical disk was manufactured using the same structure and manufacturing method as in Example 1, except that the structure of the magnetic layer was changed as shown in Table 4.

この実施例3による光磁気ディスクについて、実施例1
と全く同様の評価を行なった。この結果、記録パワー約
6.2mWでC/Nが飽和し、この時のC/N値は51
dBであった。また、磁界中で再生劣化を起こさない最
大再生パワーは3.3mWであり、良好な再生耐久性を
有していた。
Regarding the magneto-optical disk according to Example 3, Example 1
The same evaluation was carried out. As a result, the C/N saturates at a recording power of approximately 6.2 mW, and the C/N value at this time is 51.
It was dB. Furthermore, the maximum reproducing power without causing reproduction deterioration in a magnetic field was 3.3 mW, and it had good reproduction durability.

実施例4 磁性層の構成を第5表のようにした以外は、実施例1と
全く同様の構成・製法にして、光磁気ディスクを作製し
た。このディスクの磁性層の構成では、第2磁性層が実
質的に存在せず、仮想的にキュリー温度を第1磁性層と
等しくし、膜厚を0人としである。このように第2Eu
性層を省略できる理由は、第3磁性層の飽和磁化が比較
的大きく、第1磁性層のキュリー温度近傍の温度でも磁
化反転を起こすため、第1磁性層と第3磁性層のスピン
が冷却過程の当初から揃っているためである。
Example 4 A magneto-optical disk was manufactured using the same structure and manufacturing method as in Example 1, except that the structure of the magnetic layer was changed as shown in Table 5. In the configuration of the magnetic layer of this disk, there is substantially no second magnetic layer, the Curie temperature is virtually the same as that of the first magnetic layer, and the film thickness is zero. In this way, the second Eu
The reason why the magnetic layer can be omitted is that the saturation magnetization of the third magnetic layer is relatively large and magnetization reversal occurs even at temperatures near the Curie temperature of the first magnetic layer, so the spins of the first and third magnetic layers are cooled. This is because they have been in place from the beginning of the process.

また、このディスクの磁性層の構成では、第4磁性層の
キュリー温度と第6Mi性層のキュリー温度とが等しく
なっているが、このような場合でも、記録を行なうため
にレーザー光を照射しているので、磁性層の膜厚方向に
わずかな温度勾配があり、本発明の記録プロセスが成り
立つ。
Furthermore, in the configuration of the magnetic layer of this disk, the Curie temperature of the fourth magnetic layer is equal to the Curie temperature of the sixth Mi layer, but even in such a case, laser light is not irradiated for recording. Therefore, there is a slight temperature gradient in the thickness direction of the magnetic layer, and the recording process of the present invention is possible.

この実施例4に光磁気ディスクについて、実施例Iと全
く同様の評価を行なった。この結果、記録パワー約6.
0mWでC/Nが飽和し、この時のC/N値は51dB
であった。また、磁界中で再生劣化を起こさない最大再
生パワーは3.3mWであり、良好な再生耐久性を有し
ていた。
In Example 4, the magneto-optical disk was evaluated in exactly the same manner as in Example I. As a result, the recording power was approximately 6.
C/N is saturated at 0 mW, and the C/N value at this time is 51 dB.
Met. Furthermore, the maximum reproducing power without causing reproduction deterioration in a magnetic field was 3.3 mW, and it had good reproduction durability.

実施例5 磁性層の構成を第6表のようにした以外は、実施例1と
全く同様の構成・製法にして、光磁気ディスクを作製し
た。このディスクの磁性層の構成では、第(2m)磁性
層がフェロ磁性の面内磁化膜となっているが、第(2m
+1)Ml性層の垂直磁気異方性が大きいので、良好な
磁区の形成と保存が可能である。また、軽希土類元素を
用いたため短波長における磁気光学効果が向上した。
Example 5 A magneto-optical disk was manufactured using the same structure and manufacturing method as in Example 1, except that the structure of the magnetic layer was changed as shown in Table 6. In the configuration of the magnetic layer of this disk, the (2m)th magnetic layer is a ferromagnetic in-plane magnetized film;
+1) Since the perpendicular magnetic anisotropy of the Ml layer is large, it is possible to form and preserve good magnetic domains. Furthermore, the use of light rare earth elements improved the magneto-optical effect at short wavelengths.

実施例6 磁性層の構成を第7表のようにした以外は、実施例1と
全く同様の構成・製法にして、光磁気ディスクを作製し
た。このディスクの磁性層の構成も、実施例5と同様に
第(2m)磁性層が面内磁化膜となっている。そして、
第5磁性層の上にもう一層、短波長における磁気光学効
果を向上させることを目的とした磁性層を交換結合させ
て積層した。
Example 6 A magneto-optical disk was manufactured using the same structure and manufacturing method as in Example 1, except that the structure of the magnetic layer was changed as shown in Table 7. The structure of the magnetic layer of this disk is also similar to that of Example 5, in which the (2m)th magnetic layer is an in-plane magnetized film. and,
On the fifth magnetic layer, another magnetic layer was exchange-coupled and laminated for the purpose of improving the magneto-optic effect at short wavelengths.

このように、本発明の磁性複合膜の前後に他の磁性層を
積層したり、本発明の磁性複合膜の内の一層を更に複合
膜化したものなども本発明の範囲である。
In this way, the scope of the present invention also includes laminating other magnetic layers before and after the magnetic composite film of the present invention, or forming one layer of the magnetic composite film of the present invention into a composite film.

以上の実施例1〜6と比較例1〜4とを比較することに
より、n層(ただしnは3以上の奇数)の磁性層を相互
に交換結合するように積層し、さらに上記の4条件(a
)〜(d)を満たすようにすることにより、再生特性が
良好でC/Nが高く、かつ再生耐久性に優れ、再生パワ
ーを上昇させても再生特性の劣化することのない、光磁
気記録媒体が得られることがわかった。
By comparing Examples 1 to 6 and Comparative Examples 1 to 4 above, it was found that n layers (where n is an odd number of 3 or more) of magnetic layers were stacked so as to be mutually exchange-coupled, and further under the four conditions described above. (a
) to (d), magneto-optical recording has good reproduction characteristics, high C/N, excellent reproduction durability, and does not deteriorate in reproduction characteristics even when the reproduction power is increased. It was found that the medium was obtained.

次に、本発明のさらに他の実施例について行なった実験
について説明する。
Next, experiments conducted on still other embodiments of the present invention will be described.

これらの実施例は、磁性層全体の厚さを300人程度量
下として再生光の一部が磁性層を透過できるようにし、
磁気カー効果の他にファラデー効果を用いて書き込まれ
た情報の読み出しを行なおうとする場合の例である。こ
の場合、第1磁性層の厚さは50〜200人程度が望度
量く、第(2m)磁性層すなわち偶数番目の磁性層の厚
さはそれぞれ5〜50人程度度量ることが望ましい。ま
た、第(2m+1)磁性層すなわち第1磁性層を除く奇
数番目の磁性層の厚さはそれぞれ5〜100人程度が度
量しく、第(2m+ 1)磁性層の厚さの総和は100
人程度量上であることが望ましい。
In these embodiments, the thickness of the entire magnetic layer is reduced to about 300 mm, allowing a portion of the reproduction light to pass through the magnetic layer.
This is an example of reading information written using the Faraday effect in addition to the magnetic Kerr effect. In this case, the thickness of the first magnetic layer is preferably about 50 to 200 people, and the thickness of the (2m)th magnetic layer, that is, the even-numbered magnetic layers, is preferably about 5 to 50 people. In addition, the thickness of the (2m+1)th magnetic layer, that is, the odd-numbered magnetic layers excluding the first magnetic layer, is approximately 5 to 100, and the total thickness of the (2m+1)th magnetic layer is 100.
It is desirable that the amount is about the same amount as a person.

実施例7 実施例1と同様にして、基板上に1100人の厚さのS
iNの下引き層を形成した後、第8表に示した構成の磁
性層を第5磁性層から順に積層した。
Example 7 In the same manner as in Example 1, 1100 mm thick S was deposited on the substrate.
After forming the iN undercoat layer, magnetic layers having the configurations shown in Table 8 were laminated in order from the fifth magnetic layer.

この上に500人の厚さのSiNの干渉層を設け、さら
にその上に600人の厚さのA1の反射層を設けた。
A SiN interference layer with a thickness of 500 mm was provided on top of this, and an A1 reflective layer with a thickness of 600 mm was further provided on top of this.

この基板をスパッタ装置から取り出し、実施例1と同様
の工程を経て、光磁気ディスクを作製した。
This substrate was taken out from the sputtering apparatus and subjected to the same steps as in Example 1 to produce a magneto-optical disk.

この実施例7による光磁気ディスクについて、実施例1
と全く同様の評価を行なった。この結果、記録パワー約
5.5mWでC/Nが飽和し、この時のC/N値は52
dBであった。また、磁界中で再生劣化を起こさない最
大再生パワーは3.3mWであり、良好な再生耐久性を
有していた。
Regarding the magneto-optical disk according to Example 7, Example 1
The same evaluation was carried out. As a result, the C/N saturates at a recording power of approximately 5.5 mW, and the C/N value at this time is 52.
It was dB. Furthermore, the maximum reproducing power without causing reproduction deterioration in a magnetic field was 3.3 mW, and it had good reproduction durability.

実施例8 磁性層の構成を第9表のようにした以外は、実施例7と
全く同様の構成・製法にして、光磁気ディスクを作製し
た。このディスクにおける磁性層の構成は、本発明を応
用発展させたものであり、第1磁性層を共有して、その
前後に、本発明の基本的な磁性層の構成が形成されてい
る。この構成によると、磁性層の、干渉層側の表面にも
、磁気光学効果の高い層が形成されているので、再生信
号品質が一層向上する。
Example 8 A magneto-optical disk was manufactured using the same structure and manufacturing method as in Example 7, except that the structure of the magnetic layer was changed as shown in Table 9. The configuration of the magnetic layer in this disk is an application and development of the present invention, in which the first magnetic layer is shared, and the basic magnetic layer configuration of the present invention is formed before and after the first magnetic layer. According to this configuration, since a layer with a high magneto-optic effect is also formed on the surface of the magnetic layer on the interference layer side, the reproduced signal quality is further improved.

この実施例8による光磁気ディスクについて、実施例1
と全く同様の評価を行なった。この結果、記録パワー約
5.8mWでC/Nが飽和し、この時のC/N値は53
dBであった。また、磁界中で再生劣化を起こさない最
大再生パワーは3.5mWであり、良好な再生耐久性を
有していた。
Regarding the magneto-optical disk according to Example 8, Example 1
The same evaluation was carried out. As a result, the C/N saturates at a recording power of approximately 5.8 mW, and the C/N value at this time is 53.
It was dB. Further, the maximum reproducing power without causing reproduction deterioration in a magnetic field was 3.5 mW, and it had good reproduction durability.

実施例9 磁性層の構成を第10表のようにした以外は、実施例7
と全く同様の構成・製法にして、光磁気ディスクを作製
した。このディスクにおける磁性層の構成は、本発明を
応用発展させたものであり、第3磁性層を共有して、そ
の前後に、本発明の基本的な磁性層の構成が形成されて
いる。
Example 9 Example 7 except that the structure of the magnetic layer was changed as shown in Table 10.
A magneto-optical disk was fabricated using exactly the same configuration and manufacturing method. The configuration of the magnetic layer in this disk is an application and development of the present invention, in which the third magnetic layer is shared, and the basic magnetic layer configuration of the present invention is formed before and after the third magnetic layer.

この実施例9による光磁気ディスクについて、実施例1
と全く同様の評価を行なった。この結果、記録パワー約
5.5mWでC/Nが飽和し、この時のC/N値は50
dBであった。また、磁界中で再生劣化を起こさない最
大再生パワーは3.1mWであり、良好な再生耐久性を
有していた。
Regarding the magneto-optical disk according to Example 9, Example 1
The same evaluation was carried out. As a result, the C/N is saturated at a recording power of approximately 5.5 mW, and the C/N value at this time is 50.
It was dB. Further, the maximum reproducing power without causing reproduction deterioration in a magnetic field was 3.1 mW, and it had good reproduction durability.

以上の実施例7〜9の結果より、磁性層の厚さを薄くし
て、ファラデー効果も利用して再生を行なうような場合
であっても、本発明の光磁気記録媒体は、再生特性が良
好でありかつ再生耐久性に優れることがわかる。
From the results of Examples 7 to 9 above, even when the thickness of the magnetic layer is reduced and reproduction is performed using the Faraday effect, the magneto-optical recording medium of the present invention has excellent reproduction characteristics. It can be seen that the quality is good and the reproduction durability is excellent.

以上本発明の実施例について説明してきたが、本発明の
光磁気記録媒体は、前述の実施例以外にも種々の応用が
可能である。また、本発明は、各磁性層の界面が急峻明
瞭な構成に限定するものではなく、材料・組成が膜厚方
向に徐々に変化しているような構成でもよい。さらに、
本発明の光磁気記録媒体は、記録・消去に際して必ずし
も外部磁界を必要とするものではなく、例えば、反磁界
エネルギーやブロッホ磁壁エネルギー等を利用して、記
録・消去を行なうことも可能である。本発明は、特許請
求の範囲から逸脱しない限りにおいて、このような応用
例を全て包含するものである。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the magneto-optical recording medium of the present invention can be applied in various ways other than the above-mentioned embodiments. Further, the present invention is not limited to a structure in which the interface between each magnetic layer is sharp and clear, but may be a structure in which the material/composition gradually changes in the film thickness direction. moreover,
The magneto-optical recording medium of the present invention does not necessarily require an external magnetic field for recording and erasing, but can also perform recording and erasing using, for example, diamagnetic field energy or Bloch domain wall energy. The present invention encompasses all such applications insofar as they do not depart from the scope of the claims.

[発明の効果] 以上説明したように本発明は、磁性薄膜からなるn層(
nは3以上の青wL)の磁性層が基板上に相互に交換結
合しながら積層された光磁気記録媒体において、各磁性
層の特性値が満たすべき条件を明らかにすることにより
、書き込み特性に優れ、繰り返し再生を行なっても書き
込んだ情報が安定に保存され、すなわち再生耐久性に優
れ、かつ再生時には一群の高キュリー温度の磁性層で再
生用レーザー光が反射されるためC/N比が高く再生特
性に優れた光磁気記録媒体が得られるという効果がある
[Effects of the Invention] As explained above, the present invention has an n-layer (
In a magneto-optical recording medium in which magnetic layers (blue wL, where n is 3 or more) are laminated on a substrate while being exchange-coupled with each other, by clarifying the conditions that the characteristic values of each magnetic layer should satisfy, it is possible to improve the writing characteristics. Excellent, the written information is stored stably even after repeated reproduction, that is, it has excellent reproduction durability, and during reproduction, the reproduction laser beam is reflected by a group of magnetic layers with a high Curie temperature, so the C/N ratio is low. This has the effect that a magneto-optical recording medium with high reproduction characteristics can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の光磁気記録媒体の構成を示
す模式断面図、第2図は7層の磁性層からなる本発明の
光磁気記録媒体の一例の構成を示す模式断面図、第3図
は第2図に例示する光磁気記録媒体を構成する各磁性層
の磁気特性の温度変化を示す特性図、第4図は第2図に
例示する光磁気記録媒体の加熱冷却過程における磁化配
向状態の変化を模式的に示す説明図、第5図(a)〜(
e)は、それぞれ第2図に例示する光磁気記録媒体につ
いて各温度で測定した磁化曲線を示す特性図、第6図は
第2図に例示する光磁気記録媒体について加熱したのち
冷却したときの冷却過程における磁化の温度菱化を示す
特性図である。 1.11・・・基板、  2.12・・・下引き層、3
.13・・・磁性複合膜、 4.14・・・保護層、 21・・・第1磁性屡、22
・・・第2磁性層、 23・・・第3磁性層、24・・
・第4磁性層、  25・・・第5磁性層、26・・・
第6磁性層、  27・・・第7磁性層。 特許出願人  キャノン株式会社 代 理 人  弁理士 苦杯 忠
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a magneto-optical recording medium according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the structure of an example of a magneto-optical recording medium of the present invention comprising seven magnetic layers. , FIG. 3 is a characteristic diagram showing temperature changes in the magnetic properties of each magnetic layer constituting the magneto-optical recording medium illustrated in FIG. 2, and FIG. 4 is a heating and cooling process of the magneto-optical recording medium illustrated in FIG. 2. Explanatory diagrams schematically showing changes in the magnetization orientation state in FIGS. 5(a) to (
e) is a characteristic diagram showing the magnetization curve measured at each temperature for the magneto-optical recording medium illustrated in FIG. FIG. 3 is a characteristic diagram showing temperature rhombicization of magnetization during the cooling process. 1.11...Substrate, 2.12...Undercoat layer, 3
.. 13... Magnetic composite film, 4.14... Protective layer, 21... First magnetic layer, 22
...Second magnetic layer, 23...Third magnetic layer, 24...
-Fourth magnetic layer, 25...Fifth magnetic layer, 26...
6th magnetic layer, 27... 7th magnetic layer. Patent applicant Representative of Canon Co., Ltd. Patent attorney Tadashi Kuwai

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、第1磁性層から第n磁性層(ただしnは3以上の奇
数の1つ)までの、磁性薄膜からなるn層の磁性層が基
板上に順次積層された光磁気記録媒体において、 前記各磁性層は室温において相互に交換結合し、 第i磁性層(ただしiはn以下の自然数)のキュリー温
度をTc_iとし、Tc_n_+_1を周囲温度と定義
したとき、(n−1)/2以下の全ての自然数mについ
て、以下の4条件、 (a)第(2m+1)磁性層の、室温における垂直磁気
異方性定数(Ku)は7×10^5erg/cm^3以
上であり、かつ室温における飽和磁化(Ms)は300
em/cm^3以下であり、 (b)Tc_2_m_+_1≧Tc_1≧Tc_2_m
であり、(c)Tc_2_m≧Tc_2_(_m_+_
1_)であり、(d)前記光磁気記録媒体の一部分を前
記第1磁性層のキュリー温度Tc_1近傍まで加熱し、
前記一部分の第1磁性層の磁化の配向状態を加熱前とは
異なる状態に遷移させた後の冷却過程において、第(2
m)磁性層の温度が該第(2m)磁性層のキュリー温度
Tc_2_m以下に降下したときに、前記第(2m)磁
性層と第(2m+1)磁性層の磁化が、第(2m−1)
磁性層に対して交換相互作用による結合状態が安定な状
態となるように配向し、前記第(2m−1)磁性層の磁
化は、第(2m)磁性層の温度が該第(2m)磁性層の
キュリー温度Tc_2_m以下に降下する直前の配向状
態を維持する、 の条件のすべてを満たすことを特徴とする光磁気記録媒
体。 2、各磁性層が希土類−鉄族非晶質合金で構成されてい
る請求項1記載の光磁気記録媒体。 3、(n−1)/2以下の全ての自然数mについて、第
(2m+1)磁性層の、室温における垂直磁気異方性定
数(Ku)が1×10^5erg/cm^3以上であり
、かつ室温における飽和磁化(Ms)が200emu/
cm^3以下である請求項1または2記載の光磁気記録
媒体。
[Claims] 1. An optical device in which n magnetic layers made of magnetic thin films, from the first magnetic layer to the n-th magnetic layer (where n is an odd number of 3 or more) are sequentially laminated on a substrate. In the magnetic recording medium, each of the magnetic layers is exchange-coupled with each other at room temperature, and when the Curie temperature of the i-th magnetic layer (where i is a natural number less than or equal to n) is defined as Tc_i and Tc_n_+_1 is defined as the ambient temperature, (n- 1) For all natural numbers m less than /2, the following four conditions: (a) The perpendicular magnetic anisotropy constant (Ku) of the (2m+1)th magnetic layer at room temperature is 7 x 10^5 erg/cm^3 or more and the saturation magnetization (Ms) at room temperature is 300
em/cm^3 or less, (b) Tc_2_m_+_1≧Tc_1≧Tc_2_m
and (c) Tc_2_m≧Tc_2_(_m_+_
1_), and (d) heating a part of the magneto-optical recording medium to around the Curie temperature Tc_1 of the first magnetic layer,
In the cooling process after transitioning the magnetization orientation state of the first magnetic layer of the portion to a state different from that before heating,
m) When the temperature of the magnetic layer falls below the Curie temperature Tc_2_m of the (2m)th magnetic layer, the magnetization of the (2m)th magnetic layer and the (2m+1)th magnetic layer becomes the (2m-1)th magnetic layer.
The magnetization of the (2m-1)th magnetic layer is such that the temperature of the (2m)th magnetic layer is such that the (2m)th magnetic layer is oriented so that the bonding state due to exchange interaction is stable with respect to the magnetic layer. 1. A magneto-optical recording medium that satisfies all of the following conditions: maintaining the orientation state just before the layer's Curie temperature Tc_2_m drops below. 2. The magneto-optical recording medium according to claim 1, wherein each magnetic layer is composed of a rare earth-iron group amorphous alloy. 3. For all natural numbers m less than or equal to (n-1)/2, the perpendicular magnetic anisotropy constant (Ku) of the (2m+1)th magnetic layer at room temperature is 1 x 10^5 erg/cm^3 or more, And the saturation magnetization (Ms) at room temperature is 200 emu/
3. The magneto-optical recording medium according to claim 1, which has a diameter of cm^3 or less.
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