JPH0415895B2 - - Google Patents
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- JPH0415895B2 JPH0415895B2 JP60117417A JP11741785A JPH0415895B2 JP H0415895 B2 JPH0415895 B2 JP H0415895B2 JP 60117417 A JP60117417 A JP 60117417A JP 11741785 A JP11741785 A JP 11741785A JP H0415895 B2 JPH0415895 B2 JP H0415895B2
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- G01—MEASURING; TESTING
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、サンプルエア中の塵埃濃度や粒子の
粒径分布を測定する微粒子検出装置に関し、特に
発光源からの光ビームの光軸に対して各ノズルの
位置を容易に微調整できるようにした微粒子検出
装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of Industrial Application The present invention relates to a particulate detection device that measures dust concentration and particle size distribution in sample air, and in particular, The present invention relates to a particulate detection device that allows easy fine adjustment of the position of a nozzle.
従来の技術
微粒子検出装置は、第２図に示すように、レー
ザ発振器等の発光源１の光軸上に設けられた検出
セル２内に塵埃粒子を含むサンプルエアを矢印Ａ
のように導き、上記発光源１から射出される光ビ
ームと交わらせ、その光ビームが上記サンプルエ
ア中の浮遊粒子に当つて散乱した散乱光を集光レ
ンズ３で集光し、これをフオトマル４で検知し
て、その検知信号を信号処理回路５で処理するこ
とにより、サンプルエア中の塵埃濃度や粒子の粒
径分布を測定するものである。なお、第２図にお
いて、符号６は上記検出セル２内にサンプルエア
を吸入すると共に通過後のサンプルエアを再び検
出セル２へ還流させるエアポンプである。BACKGROUND TECHNOLOGY As shown in FIG. 2, a particulate detection device introduces sample air containing dust particles into a detection cell 2 provided on the optical axis of a light emitting source 1 such as a laser oscillator.
The light beam is guided as shown in FIG. 4 and the detection signal is processed by a signal processing circuit 5 to measure the dust concentration and particle size distribution in the sample air. In FIG. 2, reference numeral 6 designates an air pump that sucks the sample air into the detection cell 2 and also causes the sample air that has passed through to flow back into the detection cell 2.
ここで、従来の微粒子検出装置の検出セル２の
部分の構造は、第３図に示すように、検出セル２
の内部空間の一側面にレーザチユーブ７が設けら
れると共にこれと対向する他側面には外部反射鏡
８が設けられ、上記レーザチユーブ７と外部反射
鏡８との間を往復するレーザ光の光軸９と直交す
る方向にて上記検出セル２の相対抗する側面部に
は、上記光軸９を境にしてそれぞれのノズル孔１
０，１１が対向配置されたクリーンエアノズル１
２及び吸引ノズル１３が植設され、上記クリーン
エアノズル１２内にてその中心軸部にはサンプル
エアノズル１４が設けられている。そして、上記
クリーンエアノズル１２及び吸引ノズル１３並び
にサンプルエアノズル１４は、上記光軸９に対す
る位置関係が固定されており、その位置を調整す
る機構は設けられていなかつた。 Here, the structure of the detection cell 2 portion of the conventional particle detection device is as shown in FIG.
A laser tube 7 is provided on one side of the internal space, and an external reflecting mirror 8 is provided on the other side facing the laser tube 7. Opposing side surfaces of the detection cell 2 in the direction perpendicular to the optical axis 9 are provided with respective nozzle holes 1 with the optical axis 9 as a boundary.
Clean air nozzle 1 with 0 and 11 arranged facing each other
A sample air nozzle 14 is provided within the clean air nozzle 12 at its center shaft. The clean air nozzle 12, the suction nozzle 13, and the sample air nozzle 14 have a fixed positional relationship with respect to the optical axis 9, and no mechanism for adjusting their positions is provided.
発明が解決しようとする問題点
しかし、このような微粒子検出装置において
は、上記三本のノズル１２，１３，１４の位置関
係を計算どおりに設計したとしても、機械誤差等
によりそれらの位置関係にはばらつきが生ずるこ
とがあり、この場合に各ノズル１２，１３，１４
の位置を調整することができなかつた。ここで、
クリーンエアノズル１２のノズル孔１０と吸引ノ
ズル１３のノズル孔１１との間隔δ1が狭い場合
は、上記レーザチユーブ７と外部反射鏡８との間
を往復するレーザ光が各ノズル１２，１３の先端
部に当たり、乱反射してその反射光をフオトマル
４が検出してしまうこととなる。従つて、装置と
しては塵埃粒子以外からの反射光を検出してしま
い、Ｓ／Ｎ比が小さくなるものであつた。このこ
とから、塵埃の粒径ごとのクラス分けが不十分と
なり、粒径の識別範囲が狭くなるものであつた。
また、上記ノズル間隔δ1が広い場合は、クリーン
エアノズル１２のノズル孔１０から吸引ノズル１
３のノズル孔１１へ向かうサンプルエアの流れが
ポテンシヤルコア領域（流体が層流で流れる領
域）を過ぎてしまい、上記サンプルエアの流れが
乱流となつて塵埃粒子が渦を巻いた状態となる。
従つて、装置としては一つの塵埃粒子からの反射
光を何回も検出することとなり、検出誤差が生ず
るものであつた。さらに、上記クリーンエアノズ
ル１２のノズル孔１０とサンプルエアノズル１４
のノズル孔との間隔δ2の広狭も、上記サンプルエ
アの流れの状態に影響を与えるものであつた。Problems to be Solved by the Invention However, in such a particulate detection device, even if the positional relationship of the three nozzles 12, 13, and 14 is designed as calculated, the positional relationship may change due to mechanical errors, etc. In this case, each nozzle 12, 13, 14
I was unable to adjust the position of the here,
If the distance δ 1 between the nozzle hole 10 of the clean air nozzle 12 and the nozzle hole 11 of the suction nozzle 13 is narrow, the laser light that reciprocates between the laser tube 7 and the external reflecting mirror 8 will be transmitted to the tip of each nozzle 12, 13. When the light hits the area, it is diffusely reflected, and the photomultiplier 4 detects the reflected light. Therefore, the apparatus detects reflected light from sources other than dust particles, resulting in a low S/N ratio. As a result, the classification of dust by particle size becomes insufficient, and the range of particle size identification becomes narrow.
In addition, when the nozzle interval δ 1 is wide, the suction nozzle 1 is
The flow of sample air toward the nozzle hole 11 of No. 3 passes through the potential core region (region where fluid flows in a laminar flow), and the flow of the sample air becomes turbulent, causing dust particles to swirl. .
Therefore, the apparatus has to detect the reflected light from one dust particle many times, resulting in detection errors. Furthermore, the nozzle hole 10 of the clean air nozzle 12 and the sample air nozzle 14
The width of the distance δ 2 from the nozzle hole also affected the flow state of the sample air.
これらに対処するため、従来は、それぞれのノ
ズル取付部に数種類のスペーサを適宜挿入して上
記間隔δ1及びδ2を調整していたが、その間隔調整
が困難であると共に長時間を要するものであつ
た。そこで、本発明は、各ノズルの位置を容易に
微調整できるようにした微粒子検出装置を提供す
ることを目的とする。 In order to deal with these problems, conventionally the above-mentioned intervals δ 1 and δ 2 were adjusted by appropriately inserting several types of spacers into each nozzle mounting part, but this adjustment was difficult and took a long time. It was hot. SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a particle detection device in which the position of each nozzle can be easily finely adjusted.
問題点を解決するための手段
上記の問題点を解決する本発明の手段は、発光
源からの光ビームの光軸上に設けられた検出セル
と、上記光軸に直交する方向にて上記検出セルの
相対向する側面部に植設され上記光軸を境にして
それぞれのノズル孔が対向配置されたクリーンエ
アノズル及び吸引ノズルと、上記クリーンエアノ
ズル内にてその中心軸部に設けられたサンプルエ
アノズルとを有する微粒子検出装置において、上
記クリーンエアノズル及び吸引ノズルの検出セル
の当該側面部への取付け部に、各々クリーンエア
ノズル及び吸引ノズルを上記検出セルに対して微
調整する移動手段を設けると共に、上記サンプル
エアノズルのクリーンエアノズルへの取付部に、
該サンプルエアノズルを上記クリーンエアノズル
に対して微調整する移動手段を設けたことを特徴
とする微粒子検出装置によつてなされる。Means for Solving the Problems The means of the present invention for solving the above problems includes a detection cell provided on the optical axis of the light beam from the light emitting source, and a detection cell provided in the direction perpendicular to the optical axis. A clean air nozzle and a suction nozzle are installed on opposite side surfaces of the cell, and each nozzle hole is arranged to face each other with the optical axis as a boundary, and a sample air nozzle is provided in the central axis of the clean air nozzle. In the particulate detection device having the above-mentioned, a moving means for finely adjusting the clean air nozzle and the suction nozzle with respect to the detection cell is provided at the attachment portion of the clean air nozzle and the suction nozzle to the side surface of the detection cell, and the above-mentioned At the attachment part of the sample air nozzle to the clean air nozzle,
This is accomplished by a particle detection device characterized in that it is provided with a moving means for finely adjusting the sample air nozzle with respect to the clean air nozzle.
実施例
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳
細に説明する。Embodiments Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the accompanying drawings.
第１図は本発明による微粒子検出装置の実施例
を示す断面図である。この微粒子検出装置は、塵
埃粒子を含むサンプルエア中の塵埃濃度や粒子の
粒径分布を測定するもので、第２図に示すと同様
に、レーザ発振器等の発光源１と、この発光源１
の光軸上に設けられた検出セル２と、上記発光源
１から射出された光ビームが検出セル２内に吸入
されたサンプルエア中の浮遊粒子に当つて生ずる
散乱光を集める集光レンズ３と、この集光レンズ
３で集めた散乱光を検知するフオトマル４と、そ
の検知信号を処理する信号処理回路５と、エアポ
ンプ６とを有している。そして、このような微粒
子検出装置の検出セル２の部分の構造は、第１図
に示すように、検出セル２の内部空間の一側面に
レーザチユーブ７が設けられると共にこれと対向
する他側面には外部反射鏡８が設けられ、上記レ
ーザチユーブ７と外部反射鏡８との間を往復する
レーザ光の光軸９と直交する方向にて上記検出セ
ル２の相対向する側面部には、上記光軸９を境に
してそれぞれのノズル孔１０，１１が対向配置さ
れたクリーンエアノズル１２及び吸引ノズル１３
が植設され、上記クリーンエアノズル１２内にて
その中心軸部にはサンプルエアノズル１４が設け
られている。 FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a particle detection device according to the present invention. This particulate detection device measures the dust concentration and particle size distribution in sample air containing dust particles, and as shown in FIG.
a detection cell 2 provided on the optical axis of the light emitting source 1, and a condenser lens 3 that collects scattered light generated when the light beam emitted from the light source 1 hits suspended particles in the sample air sucked into the detection cell 2. It has a photomultiplier 4 for detecting the scattered light collected by the condenser lens 3, a signal processing circuit 5 for processing the detection signal, and an air pump 6. As shown in FIG. 1, the structure of the detection cell 2 of such a particle detection device is that a laser tube 7 is provided on one side of the internal space of the detection cell 2, and a laser tube 7 is provided on the other side opposite to this. is provided with an external reflecting mirror 8, and the detecting cell 2 is provided with an external reflecting mirror 8 on opposing side surfaces of the detecting cell 2 in a direction perpendicular to the optical axis 9 of the laser beam reciprocating between the laser tube 7 and the external reflecting mirror 8. A clean air nozzle 12 and a suction nozzle 13 with nozzle holes 10 and 11 facing each other with the optical axis 9 as a boundary.
A sample air nozzle 14 is provided at the central axis of the clean air nozzle 12.
ここで、本発明においては、上記吸引ノズル１
３は、検出セル２に対してその取付位置が微調整
可能に設けられている。すなわち、検出セル２の
当該側面部への取付け部に、第一のインナーガイ
ドハウジング１５がボルト１６によつて固定され
ており、このインナーガイドハウジング１５の中
央孔部内に上記吸引ノズル１３の先端部がインロ
ー公差にてスライド可能に挿入されている。そし
て、上記吸引ノズル１３の中間部に形成された段
部１７には第一のアジヤストリング１８が回転可
能に設けられており、このアジヤストリング１８
の内周面に切られた雌ネジが上記第一のインナー
ガイドハウジング１５の筒状部１９の外周面に切
られた雄ネジと螺合している。さらに、上記吸引
ノズル１３の肉厚部内にその長手方向に穿設され
た穴には第一のリーマボルト２０が挿通されてお
り、このリーマボルト２０の先端部は、上記第一
のインナーガイドハウジング１５の筒状部１９の
肉厚部に設けられたネジ穴に螺合している。従つ
て、上記第一のリーマボルト２０を少し緩めた状
態で第一のアジヤストリング１８を適宜回転させ
ると、上記吸引ノズル１３の全体は第一のリーマ
ボルト２０を案内として、第一のインナーガイド
ハウジング１５に対して直線状に移動することと
なる。すなわち、上記第一のアジヤストリング１
８を移動手段として、吸引ノズル１３を検出セル
２に対してその取付位置を微調整することができ
る。 Here, in the present invention, the suction nozzle 1
3 is provided so that its mounting position with respect to the detection cell 2 can be finely adjusted. That is, the first inner guide housing 15 is fixed to the attachment portion of the detection cell 2 to the side surface with bolts 16, and the tip of the suction nozzle 13 is inserted into the center hole of the inner guide housing 15. is slidably inserted with the spigot tolerance. A first adjuster string 18 is rotatably provided in a stepped portion 17 formed at the intermediate portion of the suction nozzle 13.
A female thread cut on the inner peripheral surface of the inner guide housing 15 is engaged with a male thread cut on the outer peripheral surface of the cylindrical portion 19 of the first inner guide housing 15. Furthermore, a first reamer bolt 20 is inserted into a hole drilled in the longitudinal direction in the thick part of the suction nozzle 13, and the tip of this reamer bolt 20 is connected to the first inner guide housing 15. It is screwed into a screw hole provided in the thick part of the cylindrical part 19. Therefore, when the first adjuster string 18 is appropriately rotated with the first reamer bolt 20 slightly loosened, the entire suction nozzle 13 is moved to the first inner guide housing 15 using the first reamer bolt 20 as a guide. It will move in a straight line with respect to. That is, the first Asian string 1
8 as a moving means, the attachment position of the suction nozzle 13 relative to the detection cell 2 can be finely adjusted.
これと同様にして、前記クリーンエアノズル１
２も検出セル２に対してその取付位置が微調整可
能に設けられている。すなわち、検出セル２の他
側面部に第二のインナーガイドハウジング２１が
ボルト２２によつて固定され、このインナーガイ
ドハウジング２１の中央孔部内に上記クリーンエ
アノズル１２の先端部がインロー公差にてスライ
ド可能に挿入されると共に、このクリーンエアノ
ズル１２の中間部に回転可能に設けられた第二の
アジストリング２３の雌ネジが上記第二のインナ
ーガイドハウジング２１の筒状部２４の雄ネジと
螺合している。そして、上記クリーンエアノズル
１２の肉厚部内に挿通された第二のリーマボルト
２５を案内として、上記第二のインナーガイドハ
ウジング２１に対して直線状に移動しうるように
なつている。 In the same way, the clean air nozzle 1
2 is also provided so that its mounting position with respect to the detection cell 2 can be finely adjusted. That is, a second inner guide housing 21 is fixed to the other side surface of the detection cell 2 with bolts 22, and the tip of the clean air nozzle 12 can slide into the central hole of this inner guide housing 21 with a spigot tolerance. The female screw of the second adjustment ring 23 rotatably provided in the middle part of the clean air nozzle 12 is screwed into the male screw of the cylindrical part 24 of the second inner guide housing 21. ing. The second reamer bolt 25 inserted into the thick part of the clean air nozzle 12 is used as a guide to move linearly relative to the second inner guide housing 21.
さらに、前記サンプルエアノズル１４は、上記
クリーンエアノズル１２に対してその取付位置が
微調整可能に設けられている。すなわち、上記ク
リーンエアノズル１２の内径部にサンプルエアノ
ズル１４がインロー公差にてスライド可能に挿入
されると共に、クリーンエアノズル１２の上端部
に回転可能に設けられた第三のアジヤストリング
２６の雌ネジが上記サンプルエアノズル１４の上
部外周面に切られた雄ネジと螺合している。そし
て、このサンプルエアノズル１４の肉厚部内に挿
通された第三のリーマボルト２７を案内として、
上記クリーンエアノズル１２に対して直線状に移
動しうるようになつている。従つて、上記第三の
アジヤストリング２６を移動手段として、サンプ
ルエアノズル１４をクリーンエアノズル１２に対
してその取付位置を微調整することができる。な
お、第１図において、符号２８，２９，３０，３
１，３２は検出セル２内の気密を保つＯリングで
ある。 Further, the sample air nozzle 14 is provided so that its mounting position relative to the clean air nozzle 12 can be finely adjusted. That is, the sample air nozzle 14 is slidably inserted into the inner diameter part of the clean air nozzle 12 with a spigot tolerance, and the female screw of the third adjuster string 26 rotatably provided at the upper end of the clean air nozzle 12 is inserted into the inner diameter part of the clean air nozzle 12. It is screwed into a male thread cut on the upper outer peripheral surface of the sample air nozzle 14. Then, using the third reamer bolt 27 inserted into the thick part of the sample air nozzle 14 as a guide,
It is designed to be able to move linearly with respect to the clean air nozzle 12. Therefore, using the third adjuster string 26 as a moving means, it is possible to finely adjust the mounting position of the sample air nozzle 14 with respect to the clean air nozzle 12. In addition, in FIG. 1, the symbols 28, 29, 30, 3
1 and 32 are O-rings that maintain airtightness within the detection cell 2.
このように構成された微粒子検出装置において
各ノズル１２，１３，１４の位置を調整するに
は、まず、各ノズル１２，１３，１４の先端部を
光ビームの光軸９に対して最も近づけた位置にセ
ツトする。次に、第一のアジヤストリング１８及
び第二のアジヤストリング２３をそれぞれ回転操
作して、吸引ノズル１３のノズル孔１１及びクリ
ーンエアノズル１２のノズル孔１０を光軸９から
少しずつ遠去け、光ビームのビーム径に対して最
適なノズル間隔δ1となるように微調整してセツト
する。この状態で、第三のアジヤストリング２６
を回転操作し、サンプルエアノズル１４のノズル
孔を上記クリーンエアノズル１２のノズル孔１０
から少しずつ遠ざけ、サンプルエアの流れが層流
となる最適なノズル間隔δ2に微調整してセツトす
ればよい。 In order to adjust the position of each nozzle 12, 13, 14 in the particle detection device configured in this way, first, move the tip of each nozzle 12, 13, 14 closest to the optical axis 9 of the light beam. position. Next, by rotating the first adjuster string 18 and the second adjuster string 23, the nozzle hole 11 of the suction nozzle 13 and the nozzle hole 10 of the clean air nozzle 12 are moved little by little away from the optical axis 9, and the Finely adjust and set the nozzle spacing δ 1 that is optimal for the beam diameter of the beam. In this state, the third Asian string 26
rotate the nozzle hole of the sample air nozzle 14 to the nozzle hole 10 of the clean air nozzle 12.
The nozzle spacing δ 2 can be finely adjusted and set to the optimum nozzle spacing δ 2 at which the flow of sample air becomes a laminar flow.
発明の効果
本発明は以上説明したように、クリーンエアノ
ズル１２及び吸引ノズル１３並びサンプルエアノ
ズル１４のそれぞれの取付部にその取付位置を微
調整する移動手段１８，２３，２６を設けたの
で、発光源からの光ビームの光軸９に対して各ノ
ズル１２，１３，１４の位置を容易かつ短時間に
調整することができる。また、上記各ノズル１
２，１３，１４の位置調整は、移動手段としての
アジヤストリング１８，２３，２６によつて連続
的に微調整できるので、第１図に示すノズル間隔
δ1及びδ2を最適状態にセツトすることができ、該
ノズル間隔の広狭による粒径の識別範囲の低下や
検出誤差の発生を防止して測定の信頼性を向上す
ることができる。Effects of the Invention As described above, the present invention is provided with moving means 18, 23, and 26 for finely adjusting the mounting positions of the clean air nozzle 12, suction nozzle 13, and sample air nozzle 14, so that the light emitting source The position of each nozzle 12, 13, 14 can be adjusted easily and in a short time with respect to the optical axis 9 of the light beam. In addition, each of the above nozzles 1
The positions of the nozzles 2, 13, and 14 can be continuously finely adjusted by the adjuster strings 18, 23, and 26 as moving means, so that the nozzle intervals δ 1 and δ 2 shown in FIG. 1 can be set to the optimum state. Therefore, it is possible to prevent a reduction in the particle size identification range and the occurrence of detection errors due to the width of the nozzle interval, thereby improving the reliability of measurement.
第１図は本発明による微粒子検出装置の実施例
を示す断面図、第２図は微粒子検出装置の概要を
示すブロツク図、第３図は従来の微粒子検出装置
を示す断面図である。
１……発光源、２……検出セル、７……レーザ
チユーブ、８……外部反射鏡、９……光軸、１
０，１１……ノズル孔、１２……クリーンエアノ
ズル、１３……吸引ノズル、１４……サンプルエ
アノズル、１５，２１……インナーガイドハウジ
ング、１８，２３，２６……アジヤストリング
（移動手段）、２０，２５，２７……リーマボル
ト。
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of a particle detection device according to the present invention, FIG. 2 is a block diagram showing an outline of the particle detection device, and FIG. 3 is a sectional view showing a conventional particle detection device. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Light emitting source, 2... Detection cell, 7... Laser tube, 8... External reflector, 9... Optical axis, 1
0, 11... Nozzle hole, 12... Clean air nozzle, 13... Suction nozzle, 14... Sample air nozzle, 15, 21... Inner guide housing, 18, 23, 26... Asia ring (transfer means), 20 , 25, 27... Reamer bolt.
Claims (1)
検出セルと、上記光軸に直交する方向にて上記検
出セルの相対向する側面部に植設され上記光軸を
境にしてそれぞれのノズル孔が対向配置されたク
リーンエアノズル及び吸引ノズルと、上記クリー
ンエアノズル内にてその中心軸部に設けられたサ
ンプルエアノズルとを有する微粒子検出装置にお
いて、上記クリーンエアノズル及び吸引ノズルの
検出セルの当該側面部への取付け部に、各々クリ
ーンエアノズル及び吸引ノズルを上記検出セルに
対して微調整する移動手段を設けると共に、上記
サンプルエアノズルのクリーンエアノズルへの取
付部に、該サンプルエアノズルを上記クリーンエ
アノズルに対して微調整する移動手段を設けたこ
とを特徴とする微粒子検出装置。1. A detection cell installed on the optical axis of the light beam from the light emitting source, and a detection cell installed on opposite side surfaces of the detection cell in a direction perpendicular to the optical axis, with the optical axis as a border. In a particulate detection device having a clean air nozzle and a suction nozzle with nozzle holes arranged to face each other, and a sample air nozzle provided in the central axis of the clean air nozzle, the side surface of the detection cell of the clean air nozzle and the suction nozzle. A moving means for finely adjusting the clean air nozzle and the suction nozzle with respect to the detection cell is provided at the attachment portion of the sample air nozzle to the clean air nozzle. What is claimed is: 1. A particulate detection device comprising a moving means for making fine adjustments.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60117417A JPS61274242A (en) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | Fine particle detector |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60117417A JPS61274242A (en) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | Fine particle detector |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61274242A JPS61274242A (en) | 1986-12-04 |
| JPH0415895B2 true JPH0415895B2 (en) | 1992-03-19 |
Family
ID=14711126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60117417A Granted JPS61274242A (en) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | Fine particle detector |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61274242A (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0718785B2 (en) * | 1988-09-19 | 1995-03-06 | 株式会社日立製作所 | Flow cell device |
| JP2732158B2 (en) * | 1991-09-11 | 1998-03-25 | 日立電子エンジニアリング株式会社 | Nozzle fixing method for particle detector |
| JP2750082B2 (en) * | 1993-03-29 | 1998-05-13 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | Particle detecting apparatus and method |
| JP2017151037A (en) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | アズビル株式会社 | Particle detection device |
-
1985
- 1985-05-30 JP JP60117417A patent/JPS61274242A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61274242A (en) | 1986-12-04 |
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