JPH04142787A - Laser turbo-blower - Google Patents
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Landscapes
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ発振器の送風用に使用されるレーザ用タ
ーボブロアに関し、特に振動を低減させたレーザ用ター
ボブロアに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a laser turbo blower used for blowing air to a laser oscillator, and more particularly to a laser turbo blower with reduced vibration.
レーザ発振器にはレーザガスを強制的に循環させるため
にレーザ用ターボブロアが用いられる。A laser turbo blower is used in a laser oscillator to forcibly circulate laser gas.
このレーザ用ターボブロアには、ターボ翼のシャフトを
支持するためにころがり軸受が使用される。This laser turbo blower uses a rolling bearing to support the shaft of the turbo blade.
ころがり軸受には通常、内輪、外輪及びボール間に隙間
が設けられている。この隙間は、ターボブロアが高速回
転すると、外輪やボールの遠心力によって膨張する。そ
こで、ころがり軸受にスラスト方向の予圧（例えば２
ｋｇ ｆ以上）を与えて、隙間ができないようにしてい
る。Rolling bearings usually have a gap between an inner ring, an outer ring, and balls. When the turbo blower rotates at high speed, this gap expands due to the centrifugal force of the outer ring and balls. Therefore, the rolling bearing should be preloaded in the thrust direction (for example, 2
kg f or more) to prevent gaps from forming.
このスラスト方向の予圧は、スラストメタルによって受
は止められる。スラストメタルは、ステンレス製または
黄銅部であり、ころがり軸受に接して設けられる。This preload in the thrust direction is stopped by the thrust metal. The thrust metal is made of stainless steel or brass and is provided in contact with the rolling bearing.
一方、レーザ用ターボブロアでは、１枚の羽根がガスを
移動させるたびごとに発生するガスの圧力変動や流量変
動等によって、流体振動が生じる。On the other hand, in a laser turbo blower, fluid vibrations occur due to gas pressure fluctuations, flow rate fluctuations, etc. that occur each time one blade moves gas.
この振動の基本周波数ｆ （Ｈｚ）は、次式（１）％
式％
ここで、 Ｚ：羽根の数（枚）
Ｎ：回転数（ｒｐｍ）
回転数Ｎは約１０万ｒｐｍであり、羽根の数Ｚは１０枚
程度である。したがって、振動の基本周波数Ｆは数十Ｋ
Ｈｚ以上になる。この流体振動は、ターボ翼やシャフト
にスラスト方向の振動を与える。The fundamental frequency f (Hz) of this vibration is given by the following formula (1)%
Formula % Here, Z: number of blades (sheets) N: rotational speed (rpm) The rotational speed N is about 100,000 rpm, and the number Z of blades is about 10. Therefore, the fundamental frequency F of vibration is several tens of K
It becomes higher than Hz. This fluid vibration gives vibrations in the thrust direction to the turbo blades and shaft.
しかし、従来のレーザ用ターボブロアでは、スラストメ
タルは金属製であり、上述したスラスト方向の振動が発
生しても、その振動を吸収することができなかった。こ
のため、振動は直接、軸受等に伝わっていた。その結果
、以下のような問題が生じていた。However, in the conventional laser turbo blower, the thrust metal is made of metal, and even if the above-mentioned vibration in the thrust direction occurs, the vibration cannot be absorbed. Therefore, vibrations were directly transmitted to the bearings and the like. As a result, the following problems occurred.
第１に、高周波振動により、軸受の転勤面で振動が大き
くなり、転勤面における材料の疲労寿命が短くなる。す
なわち、軸受の寿命が短くなる。First, high-frequency vibrations increase vibrations at the rolling surface of the bearing, shortening the fatigue life of the material at the rolling surface. In other words, the life of the bearing is shortened.
第２に、高周波振動により、スラストメタルと軸受との
当接部で高周波の衝撃が発生する。このため、いわゆる
フレッティングという摩耗現象が起こり、その摩耗粉は
、レーザ発振器の放電管や軸受の内部に侵入して光学部
品や軸受の破損を引き起こす。Second, high-frequency vibrations generate high-frequency shocks at the contact portion between the thrust metal and the bearing. For this reason, a wear phenomenon called fretting occurs, and the wear powder enters the inside of the discharge tube and bearing of the laser oscillator, causing damage to the optical parts and the bearing.
第３に、高周波の騒音が発生する。Third, high frequency noise is generated.
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、ス
ラスト方向の振動を吸収して軸受の振動を抑え、軸受の
寿命を長くしたレーザ用ターボブロアを提供することを
目的とする。The present invention has been made in view of these points, and it is an object of the present invention to provide a laser turbo blower that absorbs vibrations in the thrust direction, suppresses bearing vibrations, and extends the life of the bearings.
また、本発明の他の目的は、スラストメタルと軸受との
当接部でのフレッティングを抑えて、レーザ発振器の光
学部品等の信頼性を改善したレーザ用ターボブロアを提
供することである。Another object of the present invention is to provide a laser turbo blower that suppresses fretting at the abutting portion between the thrust metal and the bearing and improves the reliability of the optical components of the laser oscillator.
さらに、本発明の他の目的は、高周波の騒音を小さくす
ることができるレーザ用ターボブロアを提供することで
ある。Furthermore, another object of the present invention is to provide a laser turbo blower that can reduce high frequency noise.
本発明では上記課題を解決するために、レーザ用発振器
内にレーザガスを循環させるレーザ用ターボブロアにお
いて、先端にターボ翼を有し、モータによって回転する
シャフトと、前記シャフトを支持する軸受と、前記軸受
に予圧を与える弾性体と、テフロンで構成され、前記弾
性体による予圧を受けるスラストメタルと、を有するこ
とを特徴とするレーザ用ターボブロアが、提供される。In order to solve the above problems, the present invention provides a laser turbo blower that circulates laser gas in a laser oscillator, which includes: a shaft having a turbo blade at the tip and rotated by a motor; a bearing supporting the shaft; A turbo blower for a laser is provided, characterized in that it has an elastic body that applies a preload to the body, and a thrust metal that is made of Teflon and receives the preload from the elastic body.
〔作用コ
シャフトは、先端にターボ翼を有し、モータによって回
転する。軸受はシャフトを指示する。弾性体は軸受に予
圧を与える。スラストメタルは弾性体による予圧を受は
止めている。スラストメタルはテフロンで構成されてい
る。このため、ターボ翼とシャフトの回転に伴いスラス
ト方向の振動が発生しても、その振動はテフロンの内部
減衰効果によって吸収される。その結果、軸受の振動が
抑えられ、軸受の寿命が長くなる。また、騒音が小さく
なる。[The working coshaft has a turbo blade at its tip and is rotated by a motor. Bearings direct the shaft. The elastic body provides a preload to the bearing. The thrust metal does not receive preload from the elastic body. The thrust metal is made of Teflon. Therefore, even if vibrations occur in the thrust direction as the turbo blades and shaft rotate, the vibrations are absorbed by the internal damping effect of Teflon. As a result, vibrations in the bearing are suppressed and the life of the bearing is extended. Also, noise is reduced.
さらに、テフロンは低摩擦係数を有し、低粘着性である
。したがって、軸受とスラストメタルとの当接部におけ
るフレッティングが抑えられる。Additionally, Teflon has a low coefficient of friction and is low tack. Therefore, fretting at the contact portion between the bearing and the thrust metal is suppressed.
その結果、摩耗粉が発生せず、レーザ発振器の光学部品
等の信頼性が改善される。As a result, no abrasion powder is generated, and the reliability of the optical components of the laser oscillator is improved.
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described based on the drawings.
第１図は本発明のレーザ用ターボブロアの構成を示す図
である。図において、ターボ翼１は遠心翼であり、シャ
フト２に結合されている。シャフト２にはロータ３が、
またハウジング４にはステータ５が、それぞれ取り付け
られている。ロータ３とステータ５とで高周波モータ６
を構成している。ターボ翼１はこの高周波モータ６によ
って回転数１０万ＲＰＭの高速で回転する。FIG. 1 is a diagram showing the configuration of a laser turbo blower according to the present invention. In the figure, a turbo blade 1 is a centrifugal blade and is connected to a shaft 2. A rotor 3 is attached to the shaft 2,
Furthermore, stators 5 are attached to the housings 4, respectively. High frequency motor 6 with rotor 3 and stator 5
It consists of The turbo blade 1 is rotated by the high frequency motor 6 at a high speed of 100,000 RPM.
シャフト２の支持のために、一対のころがり軸受７及び
８が高周波モータ６の両サイドに設けられている。ころ
がり軸受７及び８内の空間には適量のグリースが封入さ
れ、グリース潤滑が行われる。これによって、オイルミ
ストによるレーザガス汚染を防止している。A pair of rolling bearings 7 and 8 are provided on both sides of the high frequency motor 6 to support the shaft 2. An appropriate amount of grease is sealed in the spaces within the rolling bearings 7 and 8 to perform grease lubrication. This prevents laser gas contamination due to oil mist.
ころがり軸受７及び８とハウジング４との間に、オイル
フィルムダンパ９が設けられている。オイルフィルムダ
ンパ９は、ハウジング４、ころがり軸受７．８の外周に
設けられたスリーブ（図示せず）、及びＯリング１０．
１１によって構成され、その空間にグリースまたはオイ
ルが充填されている。An oil film damper 9 is provided between the rolling bearings 7 and 8 and the housing 4. The oil film damper 9 consists of the housing 4, a sleeve (not shown) provided around the outer circumference of the rolling bearing 7.8, and an O-ring 10.8.
11, and its space is filled with grease or oil.
このオイルフィルムダンパ９を設けることによって、タ
ーボ翼１及びシャフト２が高速回転したときの振動を流
体力学的な減衰効果で減衰させることができる。By providing this oil film damper 9, vibrations caused when the turbo blade 1 and shaft 2 rotate at high speed can be damped by a hydrodynamic damping effect.
ターボ翼１と反対側に位置するころがり軸受７には、コ
イルバネ１２が当接している。コイルバネ１２は、ころ
がり軸受？、８にスラスト方向の予圧（例えば２ ｋｇ
ｆ以上）を与えている。このように、予圧を与えるの
は、ころがり軸受７．８内の内輪、外輪及びボール間に
隙間ができないようにするためである。A coil spring 12 is in contact with a rolling bearing 7 located on the opposite side of the turbo blade 1. Is the coil spring 12 a rolling bearing? , 8 is preloaded in the thrust direction (e.g. 2 kg
f or more). The reason for applying the preload in this manner is to prevent gaps from forming between the inner ring, outer ring, and balls within the rolling bearing 7.8.
ターボ翼１側に位置するころがり軸受８に接してスラス
トメタル２０が設けられている。このスラストメタル２
０はテフロン（例えば四フッ化エチレン）製であり、ボ
ルト２１及び２２によってハウジング４に固定され、コ
イルバネ１２によるスラスト方向の予圧を受は止めてい
る。A thrust metal 20 is provided in contact with a rolling bearing 8 located on the turbo blade 1 side. This thrust metal 2
0 is made of Teflon (for example, tetrafluoroethylene) and is fixed to the housing 4 by bolts 21 and 22, so as to prevent the coil spring 12 from receiving preload in the thrust direction.
レーザガスは矢印１６のように吸収され、矢印１７のよ
うに吐出される。その結果、レーザ発振器にレーザガス
が循環する。Laser gas is absorbed as shown by arrow 16 and discharged as shown by arrow 17. As a result, laser gas circulates in the laser oscillator.
このように、本実施例では、スラストメタル２０をテフ
ロンで構成した。このため、ターボ翼１及びシャフト２
の高速回転に伴ってスラスト方向の振動が発生しても、
そのスラスト方向の振動はテフロンの内部減衰効果によ
って吸収される。その結果、ころがり軸受７．８の振動
が抑えられ、ころがり軸受７．８の寿命が長くなる。さ
らに、振動に伴う高周波の騒音も小さくなる。In this way, in this embodiment, the thrust metal 20 is made of Teflon. For this reason, the turbo blade 1 and the shaft 2
Even if vibrations occur in the thrust direction due to high-speed rotation,
The vibration in the thrust direction is absorbed by the internal damping effect of Teflon. As a result, vibrations of the rolling bearing 7.8 are suppressed and the life of the rolling bearing 7.8 is extended. Furthermore, high-frequency noise accompanying vibrations is also reduced.
また、テフロンは低摩擦係数を有し、また低粘着性であ
る。このため、従来、ころがり軸受８とスラストメタル
２０との当接部２３において発生していたフレッティン
グが抑えられる。したがって、当接部２３に摩耗粉が発
生しない。その結果、レーザ発振器の光学部品等の信頼
性が改善される。Teflon also has a low coefficient of friction and low tack. Therefore, fretting that conventionally occurs at the contact portion 23 between the rolling bearing 8 and the thrust metal 20 can be suppressed. Therefore, no abrasion powder is generated on the contact portion 23. As a result, the reliability of optical components and the like of the laser oscillator is improved.
さらに、テフロンはレーザガスに対して良好な耐蝕性を
示すため、スラストメタル２０の経年変化が小さくなる
。したがって、スラストメタル２０の寿命も長くなる。Furthermore, since Teflon exhibits good corrosion resistance against laser gas, the aging of the thrust metal 20 is reduced. Therefore, the life of the thrust metal 20 is also extended.
従来のレーザ用ターボブロアと本発明のレーザ用ターボ
ブロアにおいて、その振動及び騒音を比較した。その結
果、振動値は、従来は０．８ａｍ／Ｓであったが、本発
明ではその半分に低減した。The vibration and noise of a conventional laser turbo blower and a laser turbo blower of the present invention were compared. As a result, the vibration value was conventionally 0.8 am/S, but in the present invention, it was reduced to half that value.
騒音も、従来は９０ｄＢであったが、本発明では８０ｄ
Ｂと大幅に低減した。Conventionally, the noise was 90 dB, but in the present invention it is 80 dB.
It was significantly reduced to B.
第２図は本発明のレーザ用ターボブロアの他の実施例を
示す図である。第１の実施例との相違点は、スラストメ
タル２０を金属製スラストメタル２４とテフロン製スラ
ストメタル２５とから構成し、テフロン製スラストメタ
ル２５をころがり軸受８と金属製スラストメタル２４と
の間に挟むようにした点にある。FIG. 2 is a diagram showing another embodiment of the laser turbo blower of the present invention. The difference from the first embodiment is that the thrust metal 20 is composed of a metal thrust metal 24 and a Teflon thrust metal 25, and the Teflon thrust metal 25 is placed between the rolling bearing 8 and the metal thrust metal 24. The reason lies in the fact that they are sandwiched together.
スラストメタル２０をこのように構成すると、スラスト
メタル２０をハウジング４にボルト締めする際に、ボル
ト２１．２２を金属製スラストメタル２０側において締
め付けることができ、スラストメタル２０のボルト締め
をより確実に行うことができる。スラスト方向の振動を
テフロンによって吸収することができる等の効果は、第
１の実施例と同様である。By configuring the thrust metal 20 in this way, when bolting the thrust metal 20 to the housing 4, the bolts 21 and 22 can be tightened on the metal thrust metal 20 side, and the bolting of the thrust metal 20 can be more reliably tightened. It can be carried out. The effects, such as being able to absorb vibrations in the thrust direction with Teflon, are the same as in the first embodiment.
第３図は本発明のレーザ用ターボブロアが適用されるレ
ーザ発振器の構成図である。起動時には先ず真空ポンプ
４２によってチャンバー内のガスが排気され、ついで弁
４１が開放されてガスボンベ４０から新鮮なレーザガス
が導入され、その後は真空ポンプ４２の排気とガスボン
ベ４０からのレーザガス供給が続いて、ガス圧は一定に
保たれる。FIG. 3 is a configuration diagram of a laser oscillator to which the laser turbo blower of the present invention is applied. At startup, the gas in the chamber is first evacuated by the vacuum pump 42, then the valve 41 is opened and fresh laser gas is introduced from the gas cylinder 40, after which the vacuum pump 42 is evacuated and the laser gas is supplied from the gas cylinder 40. Gas pressure remains constant.
この状態で、高周波電源３６より例えば２ＭＨ２の高周
波電力が電極３４及び３５を通して供給されて放電管３
１内で放電を生じ、レーザガスが励起される。リア鏡３
３は反射率９９．５％のゲルマニウム（Ｇｅ）製の鏡、
出力鏡３２は反射率６５％のジンクセレン（ＺｎＳｅ）
製の鏡であり、これらはファブリペロ−型共振器を構成
し、励起されたレーザガス分子から放出される１０．６
μｍの光を増幅して一部を出力鏡３２からレーザ光４４
として出力する。In this state, high frequency power of, for example, 2 MH2 is supplied from the high frequency power supply 36 through the electrodes 34 and 35 to the discharge tube 3.
1, a discharge is generated and the laser gas is excited. rear mirror 3
3 is a mirror made of germanium (Ge) with a reflectance of 99.5%,
The output mirror 32 is made of zinc selenium (ZnSe) with a reflectance of 65%.
These mirrors constitute a Fabry-Perot type resonator, and the 10.6
The laser beam 44 amplifies the μm light and outputs a part of it from the output mirror 32.
Output as .
レーザ発振を行って高温となったレーザガスは配管４５
を通って水冷の冷却器３７に流入し、冷却される。レー
ザ用ターボブロア３９はレーザガスを図の左方向に押し
出す。レーザ用ターボブロア３９による圧縮熱は冷却器
３８で除去され、レーザガスは配管４６を通って再び放
電管３１内に流入する。Laser gas that has become hot due to laser oscillation is transferred to piping 45.
It flows into a water-cooled cooler 37 through which it is cooled. The laser turbo blower 39 pushes out the laser gas to the left in the figure. The heat of compression by the laser turbo blower 39 is removed by the cooler 38, and the laser gas flows into the discharge tube 31 again through the pipe 46.
上記の説明では、ターボ翼を遠心翼にしたが、斜流翼ま
たは軸流翼にすることもできる。In the above description, the turbo blades are centrifugal blades, but they may also be mixed flow blades or axial flow blades.
また、ころがり軸受をセラミックで構成することにより
、さらに、ころがり軸受の寿命を長くすることができる
。Further, by forming the rolling bearing with ceramic, the life of the rolling bearing can be further extended.
以上説明したように本発明では、スラストメタルをテフ
ロンで構成した。このため、ターボ翼及びシャフトの高
速回転に伴ってスラスト方向の振動が発生しても、その
スラスト方向の振動はテフロンの内部減衰によって吸収
される。その結果、ころがり軸受の振動を抑えられるこ
とができ、ころがり軸受の寿命を長（することができる
。また、振動に伴う高周波の騒音も小さくすることがで
きる。As explained above, in the present invention, the thrust metal is made of Teflon. Therefore, even if vibrations in the thrust direction occur due to high-speed rotation of the turbo blades and shaft, the vibrations in the thrust direction are absorbed by the internal damping of Teflon. As a result, the vibration of the rolling bearing can be suppressed, and the life of the rolling bearing can be extended. Also, the high frequency noise accompanying the vibration can be reduced.
さらに、テフロンは低摩擦係数を有し、低粘着性である
。このため、従来、ころがり軸受とスラストメタルとの
当接部において発生していたフレッティングが抑えられ
る。したがって、当接部に摩耗粉が発生しない。その結
果、レーザ発振器の光学部品等の信頼性を改善すること
ができる。Additionally, Teflon has a low coefficient of friction and is low tack. Therefore, fretting that conventionally occurs at the contact portion between the rolling bearing and the thrust metal can be suppressed. Therefore, no abrasion powder is generated at the contact portion. As a result, the reliability of the optical components of the laser oscillator can be improved.
第１図は本発明のレーザ用ターボブロアの構成を示す図
、
第２図は本発明のレーザ用ターボブロアの他の実施例を
示す図、
第３図は本発明のレーザ用ターボブロアが適用されるレ
ーザ発振器の構成図である。
７．８
ターボ翼
シャフト
２１、
ころがり軸受
オイルフィルムダンパ
コイルバネ
スラストメタル
ボルト
当接部
金属製スラストメタル
テフロン製スラストメタ
レーザ用ターボブロア
ルFIG. 1 is a diagram showing the configuration of a laser turbo blower according to the present invention, FIG. 2 is a diagram showing another embodiment of the laser turbo blower according to the present invention, and FIG. 3 is a diagram showing a laser to which the laser turbo blower according to the present invention is applied. FIG. 2 is a configuration diagram of an oscillator. 7.8 Turbo blade shaft 21, rolling bearing oil film damper coil spring thrust metal bolt contact part metal thrust metal Teflon thrust turbo blower for meta laser
Claims (5)
用ターボブロアにおいて、 先端にターボ翼を有し、モータによって回転するシャフ
トと、 前記シャフトを指示する軸受と、 前記軸受に予圧を与える弾性体と、 テフロン〔登録商標〕で構成され、前記弾性体による予
圧を受けるスラストメタルと、 を有することを特徴とするレーザ用ターボブロア。(1) A laser turbo blower that circulates laser gas in a laser oscillator includes: a shaft that has a turbo blade at its tip and is rotated by a motor; a bearing that directs the shaft; an elastic body that applies preload to the bearing; and Teflon. A turbo blower for a laser, comprising: a thrust metal made of [registered trademark] and subjected to preload by the elastic body.
徴とする請求項１記載のレーザ用ターボブロア。(2) The laser turbo blower according to claim 1, wherein the Teflon is tetrafluoroethylene.
テフロン製スラストメタルとから成り、前記軸受と前記
金属製スラストメタルとの間に前記テフロン製スラスト
メタルを挟む構成にしたことを特徴とする請求項１記載
のレーザ用ターボブロア。(3) The thrust metal is composed of a metal thrust metal and a Teflon thrust metal, and the Teflon thrust metal is sandwiched between the bearing and the metal thrust metal. 1. The laser turbo blower described in 1.
られていることを特徴とする請求項１記載のレーザ用タ
ーボブロア。(4) The laser turbo blower according to claim 1, wherein the bearing is provided with an oil film damper on its outer periphery.
る請求項１記載のレーザ用ターボブロア。(5) The laser turbo blower according to claim 1, wherein the bearing is a ceramic bearing.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26594190A JPH04142787A (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Laser turbo-blower |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP26594190A JPH04142787A (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Laser turbo-blower |
Publications (1)
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|---|---|
| JPH04142787A true JPH04142787A (en) | 1992-05-15 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP26594190A Pending JPH04142787A (en) | 1990-10-03 | 1990-10-03 | Laser turbo-blower |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04142787A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103953571A (en) * | 2014-05-20 | 2014-07-30 | 无锡杰尔压缩机有限公司 | Flexible supporting structure for fan bearing |
| CN111769426A (en) * | 2020-07-02 | 2020-10-13 | 安徽科技学院 | Antidetonation type laser instrument |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5458004A (en) * | 1977-10-17 | 1979-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pickup arm device |
| JPS6228973A (en) * | 1985-07-31 | 1987-02-06 | Nec Corp | Magnetic head assembling body |
| JPH02194679A (en) * | 1989-01-24 | 1990-08-01 | Fanuc Ltd | Turbo-blower for laser and laser oscillator |
-
1990
- 1990-10-03 JP JP26594190A patent/JPH04142787A/en active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5458004A (en) * | 1977-10-17 | 1979-05-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Pickup arm device |
| JPS6228973A (en) * | 1985-07-31 | 1987-02-06 | Nec Corp | Magnetic head assembling body |
| JPH02194679A (en) * | 1989-01-24 | 1990-08-01 | Fanuc Ltd | Turbo-blower for laser and laser oscillator |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103953571A (en) * | 2014-05-20 | 2014-07-30 | 无锡杰尔压缩机有限公司 | Flexible supporting structure for fan bearing |
| CN111769426A (en) * | 2020-07-02 | 2020-10-13 | 安徽科技学院 | Antidetonation type laser instrument |
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